JP2015086878A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】
真空ポンプの真空チャンバーへの組付けおよび解体、特にアクセス困難な場所へのそれを簡易化する。
【解決手段】
課題は、フランジ（１４）を部分的に収容するための収容装置（３０）であって、このフランジ（１４）が真空ポンプ（１０）と接続されているか、または接続可能であり、真空チャンバーに固定するための少なくとも一つの固定部分（３２）、この上にフランジ（１４）が組立状態で置かれる少なくとも一つの載置部分（３４）、および載置部分（３４）によって境界づけられる少なくとも一つの収容開口部（３６）を有し、その際、フランジ（１４）が、真空チャンバーに固定された収容装置（３０）において、収容装置（３０）のアクセス側から、収容開口部（３６）内へと挿入可能であり、および収容開口部（３６）から外へと引出し可能であることにより解決される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、真空ポンプのフランジの部分的収容の為の収容装置に関する。更に本発明は、真空ポンプ並びに真空ポンプおよび収容装置から成るシステムに関する。

真空ポンプのフランジをねじでもって真空チャンバー、例えば真空引きされた容器に固定することが公知である。しかし、真空チャンバーを配置する空間は、しばしば制限されており窮屈である。フランジの固定は、よって、どちらかといえば困難をともなってのみ可能である。

独国特許出願第１０２０１３２２２１６７．３号

よって本発明の課題は、真空ポンプの真空チャンバーへの組付けおよび解体、特にアクセス困難な場所へのそれを簡易化することである。

この課題は、其々、独立請求項に記載の特徴を有する装置によって解決される。

少なくとも部分的に収容装置に収容されることが可能であるフランジは、直接真空ポンプと接続されることが可能である。フランジと真空ポンプは、好ましくは一体式に形成されていることが可能である。

代替として、フランジが間接的にのみ真空ポンプと接続可能であり、および例えばアダプターの一部を形成するということも可能である。よって、真空ポンプは例えば標準フランジ、特にいわゆるＩＳＯ−Ｆフランジを有することができる。このフランジは、アダプターによって取り付けられることができる。これは、特にねじのような固定手段である。アダプターは、ここでは真空ポンプの標準フランジに固定するための標準フランジ、特にＩＳＯ−Ｆフランジと、収容装置内に収容するためのフランジを有している。このようにして、標準フランジを有する従来の真空ポンプも拡張され、そして発明に係る収容装置内に収容されることが可能である。

収容装置は、発明に従い、真空チャンバーに固定するための少なくとも一つの固定部分を有する。真空チャンバーは、例えば真空引きされるべき容器である。真空チャンバーは、ここでは標準フランジ、特にＩＳＯ−Ｆフランジを有することが可能である。このようにして、従来の真空チャンバーが使用されることが可能である。

収容装置は更に、載置部分を有する。この載置部分には、組立状態でフランジが置かれる。組立状態とは、真空ポンプが真空チャンバーとしっかりと接続されるか、または少なくとも真空チャンバーに対して、詳しく言うと発明に係る収容装置によって、真空ポンプが真空チャンバーに固定されることが可能であるよう位置取っている状態のことである。

更に少なくとも一つの収容開口部が意図される。この収容開口部は、載置部分によって境界付けられる。収容開口部は、ここでは全ての方向で取り囲まれていることが可能であり、しかしまたは少なくともひとつの開かれた側を有することが可能である。

発明に従い、フランジは真空チャンバーに固定された収容装置のもと、収容装置の入口側から外へと収容開口部内へ挿入可能であり、そして収容開口部から引き出されることができる。

本発明は、つまり、まず収容装置を真空チャンバーに取り付けることを可能とする。引き続いてフランジは収容開口部内に挿入され、そしてそれに引き続いて真空チャンバーに、またはそのフランジに固定されることが可能である。取り出すために、まずフランジは収容開口部から引き出される。引き続いて、必要な場合、収容装置が真空チャンバーから解体、そして取り外される。

発明に従い、このようにして真空チャンバーのフランジは、アクセス困難な場所に対しても真空チャンバーに固定し、そして再び取り外すことが可能である。特に、組付けまたは解体は、入口方向からのみ可能である。

このようにして、本発明によって真空ポンプの真空チャンバーに対する組立および解体が簡易化される。

本発明の発展形は、従属請求項、明細書ならびに添付の図面からも察知される。

実施形に従い、載置部分は、組立状態において真空チャンバーの方に向けられている、収容装置の上面において、固定部分に対して逆オフセットされている。固定部分の上面は、よって特に載置部分の上面よりも高く位置している。このようにして特に、例えばスリットまたは間隙方式で形成されていることが可能である収容開口部が形成される。

別の実施形に従い、固定部分は、収容装置の入口側において載置部分を越えて突き出している。載置部分は、特に入口側に関して少なくとも部分的に逆オフセットされている。載置部分が、真空ポンプのハウジング形状に合わされており、および例えば、シリンダ状のポンプハウジングの収容のための凹状の膨らみを設けられていることが可能である。

特に、収容装置およびフランジは、組立状態で全体として一つの標準フランジが生じるよう形成されていることが可能である。組立状態でフランジと収容装置からまとめ合わされた装置の輪郭によって境界付けられる平面は、よって、標準フランジのそれよりも大きくなく、そして好ましくは従来のフランジと同じである。

別の実施形に従い、二つの固定部分と、固定部分の間に延在する、載置部分を形成するキャリアが設けられる。キャリアは、特にレールとして形成されていることが可能である。キャリアは、載置面を形成することも可能である。この上に組立状態でフランジがその下面を置く。

固定部分とキャリアの少なくとも複数部分が、共通の一部品式の部材として形成されていることが可能である。

発展形に従い、収容装置は、少なくとも基本的にＵ形状に形成されている。その際、固定部分はキャリアによって接続されるＵ形状脚部を形成する。

好ましい実施形に従い、Ｕ形状脚部の長さはキャリアの長さよりも短い。

特に、各固定部分は少なくとも一つの、好ましくはちょうど一つの固定手段及び／又は少なくとも一つの固定手段を収容するための開口部を有していることが可能である。固定手段は、例えばねじまたはボルトであることが可能である。

代替としてまたは追加的に、キャリアに、特に固定部分の間に、少なくとも一つ、好ましくはちょうど一つの固定手段、及び／又は、少なくとも一つの固定手段、例えばねじまたはボルトの収容のための開口部が設けられることも可能である。

別の実施形に従い、固定部分は、収容開口部の方に、特に漏斗形状、フレア形状、またはラッパ形状に先細となり、収容開口部内に開口している挿入開口部を形成する。フランジは、このようにして挿入の間に固定部分によって載置部分上へ案内されることが可能である。よって、簡単な方法で、正確かつ確実なフランジの位置決めが収容装置上で可能である。

本発明は、さらに真空ポンプに関する。これは、特にターボポンプであり、発明に係る収容装置内での収容のために形成されているフランジを有している。そのような真空ポンプは、特に、狭いスペース状況と、制限されたアクセス可能性においても、簡単に真空チャンバーに固定することが可能である。

実施形に従い、真空ポンプのフランジは、収容装置に対する第一の固定面、および第一の固定面と反対側の、第一の固定面とは異なる第二の固定面を有する。後者は特に独立した固定手段、好ましくはねじ、ボルト等による真空チャンバーへの直接の固定の為に形成されている。フランジは、よってまず収容装置の載置部分にかぶせられることが可能である。引き続く傾けによって、真空ポンプは、真空チャンバーのフランジと真空ポンプのフランジが互いに平行に向けられる位置にもたらされることが可能である。今や、第二の固定面は、独立した固定手段でもってフランジに固定されることが可能である。このようにして真空ポンプのフランジは、その端部位置へともたらされる。この端部位置では、真空ポンプと真空チャンバーの間のシールが保証されている。

更に別の実施形に従い、フランジは少なくとも一つの、収容装置の収容開口部内に挿入可能な舌部を有している。

好ましくは、舌部の幅は、フランジの幅の三分の一、二分の一、または三分の二よりも大きい。舌部は、よって載置部分上で安定して置かれるのに十分な大きさである。代替として、より幅の狭い互いに間隔をあけた複数の舌部が設けられることが可能である。これらによって、真空ポンプは、載置部分に置かれる。

別の実施形に従い、フランジは少なくとも一つの角領域に、一つの、特に凹状に形成されるかまたは傾斜させられた、固定部分に対する当接部分を有している。フランジがキャリアにかぶせられると、当接部分は所定の挿入深さが達成された際に固定部分に当接する。フランジの端部位置は、よって簡単に固定されることが可能である。フランジの反対側の固定面の、場合によっては設けられる独立した固定手段も、真空チャンバーの下の正しい位置に自動的に存在することとなる。

最後に本発明は、発明に係る収容装置と発明に係る真空ポンプからなるシステムに関する。

実施形に従い組立状態でフランジは、真空チャンバーの方に向けられた上面において、少なくとも基本的に、固定部分と同一平面上にある。これによって、特に簡単に、真空密閉された接続が、真空ポンプと真空チャンバーの間に確保されることが可能である。

別の実施形に従い、収容開口部内に挿入可能なフランジの部分に引き続いている、フランジの少なくとも一つの当接部分が、固定部分と協働しかつ挿入深さを制限する端部ストッパーとして形成されている。フランジの正確な位置決めは、これによってある意味自動的に可能となる。

別の実施形に従い、フランジは少なくとも基本的に、収容開口部に対して、および二つの固定部によって形成される挿入開口部に対して補完的に形成されている。フランジ、特にフランジの舌部は、よって正確に収容開口部内に挿入されることが可能であるので、真空ポンプは簡単かつ確実に、真空チャンバーに対する正確な組立位置へともたらされることが可能である。

本発明を以下に、図面を参照しつつ例示的に説明する。

発明に係る収容装置と発明に係る真空ポンプから成るシステムの実施形の図。 図１の収容装置の上面図。 図１の収容装置の正面図。 発明に係る収容装置の別の実施形の上面図。 図３ａの収容装置の正面図。 発明に係る収容装置と発明に係る真空ポンプからなるシステムの別の実施形の図。

図１には、発明に係る真空ポンプ１０が表されている。これは、ポンプ本体１２とフランジ１４を有している。フランジ１４は、図示されていない真空チャンバーに固定されていることが可能である。Оリング１６によって、フランジ１４と真空チャンバーのフランジは、互いに真空密閉されるようすき間をふさがれていることが可能である。

フランジ１４は、第一の固定面１８と第二の固定面２０を有している。第一の固定面１８は、凹状に形成された角領域２２と舌部２４を有している。第二の固定面２０は、ねじ２８として形成された固定手段の為の切欠き部２６を有している。

フランジ１４は、部分的に発明に係る収容装置３０にかぶせられている。収容装置３０は、二つの固定部分３２と、キャリア３４として形成された一つの載置部分を有している。

収容装置３０の上面図と正面図は、図２ａおよび２ｂに表されている。

キャリア３４は、固定部分３２の間に延在しており、凹状の除去部を設けられている。この除去部は、キャリア３４がこれによって、真空ポンプ１０のポンプ本体１２のシリンダ状の形状に合わせられるよう形成されている。その上、キャリア３４は、フランジ１４の舌部２４の挿入を簡単にするために、後方の領域から出発して凹状の除去部の方へとわずかに下に向かって傾斜している。

収容装置３０の代替的な実施形状は、図３ａおよび３ｂに表されている。キャリア３４は、ここではまっすぐに形成されており、そして凹状の除去部も傾斜部も有していない。

両方の実施形において、各固定部分３２は、キャリア３４を越えて突出しており、かつＵ字の脚部を形成している。各固定部分３２には、ねじ２８の為の切欠き部２６’が設けられている。

固定部分３２は、キャリア３４と共にフランジ１４の舌部２４に対する収容開口部３６を定めている。

収容開口部３６内への舌部２４の挿入を簡単にするために、固定部分３２は、収容開口部３６の方へと先細となる挿入開口部３８を形成するよう丸められている。

本発明に係る真空ポンプ１０の更に別の実施形が、収容装置３０と共に図４に表されている。収容装置３０は、アーチ形状またはブーメラン形状に形成されている。特に、キャリア３４は両側で曲げられているので、キャリア３４上に配置された固定部分３２は、標準フランジに比較して、凹状の切欠き部２２’の形状の材料除去部によって中断されているフランジ１４を組立状態で再び完全なフランジへと補足する。換言すると、真空ポンプの当所の標準フランジは、ポンプと収容装置の組合せによるパズルにおけるように生じる。つまり、フランジ１４の舌部２４を、固定部分３２の間に押し込み、そして固定部分３２をフランジ１４の切欠き部２２’へとはめ込むことによって生じる。

これと関連する固定面の最小化、つまり標準フランジの輪郭の維持は、発明に従い、円形状の輪郭を有するここに示されたフランジ１４においてのみならず、他の形状に形成されたフランジにおいても実現可能である。これは、例えばまっすぐな側方部分を有するか、または卵形、楕円形、または不規則に形成されている。

収容装置３０を追加的に真空チャンバーに固定するために、キャリア３４は、別の切欠き部３６’を有する。舌部２４を収容開口部３６内にスライドさせることができるように、ねじ２８’がキャリア３４の切欠き部２６’内にあるとき、舌部２４は舌部切欠き部４０を有している。

真空ポンプ１０を真空チャンバーと接続するために、まず収容装置３０が固定部分３２を使って新旧チャンバーまたはそのフランジに取り付けられる。このため、収容装置３０はねじ２８’によって真空チャンバーとねじ留めされている。このねじは、切欠き部２６’を通して案内されている。場合によっては、収容装置３０は、追加的にキャリア３４の切欠き部２６’を介してねじ留めされている。

引き続いて真空ポンプ１０は、そのフランジ１４の舌部２４とともに収容開口部３６内、つまりキャリア３４上にずらされるので、フランジ１４は舌部２４でもってキャリア３４に置かれる。固定部分２２の丸められた形状は、ここで、押し開きを簡単にする。というのは舌部２４が案内されるからである。

フランジ１４が真空チャンバーに対して適切な位置にあるとすぐに、フランジ１４の角領域２２は、適当に形成された固定部分３２に当たる。フランジ１４の収容快苦オブ３６内への大幅な挿入は、この端部ストッパーによって妨げられる。真空ポンプ１０は、今や、上に向かって傾けられているので、真空ポンプ１０のフランジ１４と真空チャンバーのフランジは、ぴったりと互いに接する。その際、フランジ１４の収容装置１８による位置決めにもとづいて、フランジ１４内の反対の側に形成された切欠き部２８が、真空チャンバーフランジ内の適当な開口部に正確に合わせられている。切欠き部２６を通して案内されるねじ２８は、引き続いて真空チャンバーのフランジとねじ留めされる。これによって、真空ポンプ１０の真空チャンバーに対する固定が完了する。

Оリング１６によって、真空ポンプ１０と真空チャンバーは互いに密閉されている。

真空ポンプの分解の為に、まずねじ２８が緩められる。引き続いてフランジ１４が収容開口部３６から引き出されることが可能である。取り出された真空ポンプ１０において、必要な場合、収容装置３０が取り外される。これはねじ３８’を緩められることによって行われる。

発明に従い、真空ポンプは簡単な方法でアクセス困難な領域に取り付けることができ、かつ取り外すことができる。というのは、この為に特に唯一の入口側が十分だからである。

１０ 真空ポンプ
１２ ポンプ本体
１４ フランジ
１６ Оリング
１８ 第一の固定面
２０ 第二の固定面
２２ 角領域
２２’ 切欠き部
２４ 舌部
２６，２６’ 切欠き部
２８，２８’ ねじ、固定手段
３０ 収容装置
３２ 固定部分
３４ キャリア、載置部分
３６ 収容開口部
３８ 挿入開口部
４０ 舌部切欠き部

Claims (17)

1. フランジ（１４）を部分的に収容するための収容装置（３０）であって、このフランジ（１４）が真空ポンプ（１０）と接続されているか、または接続可能であり、真空チャンバーに固定するための少なくとも一つの固定部分（３２）、この上にフランジ（１４）が組立状態で置かれる少なくとも一つの載置部分（３４）、および載置部分（３４）によって境界づけられる少なくとも一つの収容開口部（３６）を有し、その際、フランジ（１４）が、真空チャンバーに固定された収容装置（３０）において、収容装置（３０）のアクセス側から、収容開口部（３６）内へと挿入可能であり、および収容開口部（３６）から外へと引出し可能であることを特徴とする収容装置（３０）。
2. 載置部分（３４）が組立状態で真空チャンバーの方を向く、収容装置（３０）の上面において、固定部分（３２）に対して逆オフセットされていることを特徴とする請求項１に記載の収容装置（３０）。
3. 固定部分（３２）が収容装置（３０）の入口側において載置部分（３４）を越えて突き出していることを特徴とする請求項１または２に記載の収容装置（３０）。
4. 二つの固定部分（３２）と、固定部分（３２）の間に延在する、載置部分を形成するひとつのキャリア（３４）が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の収容装置（３０）。
5. 収容装置（３０）が、少なくとも基本的にＵ形状に形成されており、その際、固定部分（３２）が、キャリア（３４）によって接続されるＵ形状脚部を形成することを特徴とする請求項４に記載の収容装置（３０）。
6. 各Ｕ形状脚部の長さが、キャリア（３４）の長さより短いことを特徴とする請求項５に記載の収容装置（３０）。
7. 固定部分（３２）が、収容開口部（３６）の方へ、特に漏斗形状、フレア形状、ラッパ形状に先細で、収容開口部（３６）内に開口する挿入開口部（３８）を形成することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の収容装置（３０）。
8. 真空ポンプ（１０）、特にターボポンプが、フランジ（１４）を有し、このフランジ（１４）が、請求項１から７のいずれか一項に記載の収容装置（３０）内で収容するために形成されていることを特徴とする真空ポンプ（１０）。
9. 真空ポンプ（１０）のフランジ（１４）が、収容装置（３０）のための第一の固定面（１８）と、第一の固定面（１８）と反対側に位置する、第一の固定面（１８）と異なる第二の固定面（２０）を有し、この第二の固定面（２０）が、特に独立した固定手段（２８）、好ましくはねじによる真空チャンバーへの直接固定の為に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ（１０）。
10. フランジ（１４）が、収容装置（３０）の収容開口部（３６）内に挿入可能な少なくとも一つの舌部（２４）を有することを特徴とする請求項８または９に記載の真空ポンプ（１０）。
11. 舌部（２４）の幅が、フランジ（１４）の幅の三分の一、二分の一、または三分の二より大きいことを特徴とする請求項１０に記載の真空ポンプ（１０）。
12. フランジ（１４）が、少なくとも一つの角領域（２２）において、固定部分（３２）の為の、特に凹状に形成された当接部分を有することを特徴とする請求項８から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）。
13. 請求項１から７のいずれか一項に記載の収容装置（３０）と、請求項８から１２のいずれか一項に記載の真空ポンプ（１０）からなるシステム。
14. 組立状態でフランジ（１４）が、真空チャンバーの方に向けられた上面において、少なくとも基本的に固定部分（３２）と同一平面であることを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
15. フランジ（１４）の少なくとも一つの当接部分であって、収容開口部（３６）内に挿入可能な、フランジ（１４）の部分に引き続く当該当接部分が、固定部分（３２）と協働する、挿入深さを制限する端部ストッパーとして形成されていることを特徴とする請求項１３または１４に記載のシステム。
16. フランジ（１４）が、少なくとも基本的に、収容開口部（３６）に対して、および、二つの固定部分（３２）により形成される一つの挿入開口部（３８）に対して補完的に形成されていることを特徴とする請求項１３から１５のいずれか一項に記載のシステム。
17. 組立状態で真空ポンプ（１０）のフランジ（１４）と収容装置（３０）の固定部分（３２）が、共に、少なくとも近似的に、真空ポンプ（１０）の標準フランジの輪郭を形成し、その際好ましくは、フランジ（１４）の一つの舌部（２４）が、フランジ（１４）の、特に凹状に形成された二つの材料除去部領域の間に置かれており、これらが其々、組立状態で固定部分（３２）によって満たされていることを特徴とする請求項１３から１６のいずれか一項に記載のシステム。

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