JP2015082748A5 - - Google Patents
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Description
本適用例によれば、間隔維持部材を散布した後で音響レンズが設置される。従って、間隔維持部材は超音波素子アレイ基板と音響レンズとに挟まれる。この状態で超音波素子アレイ基板と音響レンズとの間に音響整合部の材料を流動させる。このとき、間隔維持部材は大きさにバラツキがあり、小さな間隔維持部材の中には超音波素子アレイ基板と音響レンズとに挟まれていない間隔維持部材がある。そして、小さな間隔維持部材は音響整合部の材料と共に流動されて超音波素子アレイ基板の周囲に移動される。従って、超音波素子アレイ基板の周囲に間隔維持部材を集結させている為、固定枠で挟まれた場所の超音波素子アレイ基板及び音響レンズの間に間隔維持部材を配置させることができる。
圧電体層４３は、第１電極４２と第２電極４４との間に電圧が印加されることで、面内方向に伸縮する。従って、圧電体層４３に電圧を印加すると、開口部３７ａ側に凸となる撓みが生じ、振動膜３８を撓ませる。圧電体層４３に交流電圧を印加することで、振動膜３８が膜厚方向に対して振動し、この振動膜３８の振動により超音波が開口部３７ａから放射される。圧電体層４３に印加される電圧（駆動電圧）は、例えばピークからピークで１０〜３０Ｖであり、周波数は例えば１〜１０ＭＨｚである。
Claims (13)
- 超音波の発信および受信の少なくとも一方を行う複数の超音波素子を有する超音波素子アレイ基板と、
前記超音波を収束させる音響レンズと、
前記超音波素子アレイ基板と前記音響レンズとの間に配置された複数の球状の間隔維持部材と、を備えることを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項１に記載の超音波デバイスであって、
前記超音波素子アレイ基板の厚み方向からみた平面視において、前記球状の間隔維持部材は前記超音波素子を囲むように配置されることを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項１または２に記載の超音波デバイスであって、
前記超音波素子アレイ基板には電極と前記電極を絶縁する絶縁膜とが設置され、
前記間隔維持部材が前記電極上に位置することを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項１〜３のいずれか一項に記載の超音波デバイスであって、
前記超音波素子アレイ基板は前記超音波素子が設置された基板を備え、
前記超音波素子の前記基板表面からの高さは前記電極の前記基板表面からの高さより高いことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項１〜４のいずれか一項に記載の超音波デバイスであって、
前記超音波素子アレイ基板と前記音響レンズとを挟んで固定する固定枠を備え、
前記超音波素子アレイ基板の厚み方向からみた平面視で前記固定枠に挟まれた場所の前記超音波素子アレイ基板と前記音響レンズとの間には前記間隔維持部材が配置されることを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
前記超音波デバイスを支持する筐体と、を備えることを特徴とする超音波プローブヘッド。 - 請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
前記超音波デバイスを駆動する駆動回路と、を備えることを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
前記超音波デバイスに接続され、前記超音波デバイスの出力を用いて画像を生成する処理部と、を備えることを特徴とする電子機器。 - 請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
前記超音波デバイスに接続され、前記超音波デバイスの出力を用いて画像を生成する処理を行う処理部と、
前記画像を表示する表示部と、を備えることを特徴とする超音波画像装置。 - 超音波素子アレイ基板に設置された電極に第１極性の電圧を印加し、
前記第１極性と異なる第２極性に帯電させた球状の複数の間隔維持部材を前記超音波素子アレイ基板に散布し、
前記間隔維持部材に重ねて音響レンズを設置し、
前記超音波素子アレイ基板に樹脂を含む音響整合部の材料を設置し、
前記音響整合部の材料を固化することを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項１０に記載の超音波デバイスの製造方法であって、
前記超音波素子アレイ基板上には超音波素子が設置され、前記超音波素子は前記超音波素子アレイ基板と反対側の面に上側電極を備え、
複数の前記間隔維持部材を散布する前に、前記上側電極に第１極性の電圧を印加することを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項１０または１１に記載の超音波デバイスの製造方法であって、
前記音響整合部の材料を設置する前に前記間隔維持部材を前記超音波素子アレイ基板に固定することを特徴とする超音波デバイスの製造方法。 - 請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の超音波デバイスの製造方法であって、
前記超音波素子アレイ基板に前記間隔維持部材を散布して前記音響レンズを設置した後で、前記超音波素子アレイ基板と前記音響レンズとの間に前記音響整合部の材料を流動させて前記音響整合部を設置することを特徴とする超音波デバイスの製造方法。
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