JP2015079808A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】バーミラー要因で発生するレーザーエラーとその他のレーザーエラーの自動判別をする。
【解決手段】位置検出用のレーザー干渉計とは別に、既存のレーザー光源を流用してバーミラーの反射率を計測するシステムを追加する。そして、計測結果をコントローラに取り込み、バーミラー要因で発生するレーザーエラーとその他のレーザーエラーの自動判別をする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、露光装置のメンテナンス方法に関する。

図２に示す一般的な露光装置の移動ステージは、レーザー干渉計でステージ位置を検出し、リニアモータ等のアクチュエータで制御しながらＸＹ方向に動かす。そして、このステージは、広い範囲での位置検出を要する為、長い反射ミラーを搭載する。

精密制御を行う露光装置では、測長時の参照光や干渉光のレーザーパワーが低下すると制御性能に影響する。その為、従来の露光装置では、参照光のレーザーパワーを測定するパワーメーター８ｅと測定光と参照光の干渉光のレーザーパワーを測定するパワーメーター８ｆを持ち、それぞれの測定値が既定値以下になるとコントローラ７がレーザーエラーと判断して露光装置の一連の動作を停止させる。

特許文献１は、本発明とは構成も目的も異なるが、光ビームを被検査物に照射して被検査面上の表面状態を検査する装置を備えた露光装置である。この従来の露光装置は、被検査物に光ビームを照射すると共に、該光ビームの照射部を被検査面上で相対的に走査する走査手段と、該照射部から生じる光情報を異なる位置で受光する複数の光電検出器と、該光電検出器の各光電信号に基づいて、被検査面上の異物の付着を検知する異物検知回路を備えたことを特徴とする。

特開昭５９−６１７６２号公報

従来の露光装置では、バーミラー要因で発生するレーザーエラーとその他のレーザーエラーの切り分けが出来ない。バーミラーの反射率が低下すると、干渉光のレーザーパワーも低下しレーザーエラーとなる。ステージに搭載されるような長いバーミラーは、全面が均等な反射率になるように作るのは難しい。また、メンテナンス時についた傷やアウトガスによって経時的に反射率は低減するものである。レーザーエラーを誘発する要因は、バーミラーの反射率低下を含め複数存在するため、その切り分けを自動化することはメンテナンス時間の短縮という点から考えて有意性が高い。

位置検出用のレーザー干渉計とは別に、既存のレーザー光源を流用してバーミラーの反射率を計測するシステムを追加する。そして、計測結果をコントローラに取り込み、バーミラー要因で発生するレーザーエラーとその他のレーザーエラーの自動判別をする。

バーミラー要因で発生するレーザーエラーとその他のレーザーエラーの自動判別が出来るので、メンテナンス時間の短縮に繋がる。

加えて、特許文献１のような異物検知装置を別途要せず、既存の光源を流用して反射率を求めることで、安価でシステムが実現できる。

本発明の第１実施形態の露光装置を示した図である。 従来例の露光装置の移動ステージを示した図である。

以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。

〔第1実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態の露光装置の俯瞰図である。図１を参照して、露光装置の説明をする。

徐振台９は、工場などの床１０に設けられる。ステージ５は、リニアモータなどのアクチュエータにより図のＸＹ方向に駆動できるものとする。ステージ５には、反射ミラー４が設けられ、レーザー干渉計３にてＸ方向の位置計測をする。レーザー干渉３は、レーザーヘッド１を光源とする。これらは、全て徐振台１５に固定されている。コントローラ７は、レーザー干渉計３で計測した位置情報をもとにステージ５の位置決め制御を行う手段である。

本発明では、構成Ａを追加する。構成Ａは徐振台９に固定され、分光器２、干渉計１１、１／４λ板１２、パワーメーター１３ａ，１３ｂから成り、参照光を１３ａで測定光を１３ｂで個別に測定する手段である。分光器２は、レーザーヘッド１から出力された測長用の参照光と測定光を其々一部分光して、干渉計１１に入射する。干渉計１１で反射した参照光は、パワーメーター１３ａにてレーザーパワーを測定する。干渉計１１を透光し、反射ミラーで反射した測定光は、干渉計１１で再度反射して、パワーメーター１３ｂにてレーザーパワーを測定する。

コントローラ７は、信号線１４ａ，１４ｂを介してパワーメーター１３ａ，１３ｂと接続され、反射ミラー４の反射率を算出する手段である。ここで反射ミラー４の反射率ｒは、パワーメーター１３ａと１３ｂの計測値をそれぞれα、βとするとｒ＝β／αで表す。但し、αとβは初期値が同じとは限らないので、反射ミラー４をステージ５に搭載する前に、その比率γ = β初期値／α初期値を求める。γを考慮すると、バーミラーの反射率Ｒは、Ｒ＝ｒ／γとなる。

コントローラ７は、ステージ５の各位置おける反射率Ｒの経時変化を監視して、既定値以下になるとアラームを出力することで、レーザーエラーの自動判別を実現することが出来る。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。

２： 分光器
１１： 干渉計
１２： １／４λ板
１３ａ，１３ｂ： パワーメーター
７： コントローラ

Claims (2)

1. ＸＹ移動ステージの位置決め制御に用いているレーザー光を構成Ａの分光器を用いて一部分光し、その分光されたレーザー光を用いて反射ミラーの反射率を計測することを特徴とする露光装置。
2. コントローラは、反射ミラーの反射率が既定値以下になると、アラームを発生することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。