JP2015079781A - テープ貼着方法 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、被加工物の裏面を加工する際にテープが貼着された被加工物の表面側を吸引保持しても、凹部が引っ張られることはないため、被加工物に対して均一高さ位置に加工を施せないおそれを低減できる。また、被加工物の表面側を吸引保持しても局所的に被加工物が引っ張られることもないため、被加工物自体が破損するおそれも低減できる。
まず、図3に示すように、被加工物を保持する保持テーブル7にウェーハ1を搬送する。保持テーブル7は、被加工物を下方から支持する吸引保持面8を有しており、吸引保持面8には、吸引源9が接続されている。ウェーハ1の裏面3側を保持テーブル7の吸引保持面8に載置してウェーハ1の表面2を上向きに露出させた後、吸引源9が作動し、保持テーブル7の吸引保持面8でウェーハ1を吸引保持する。
保持ステップを実施した後、図4に示すように、例えばロール状の押圧ローラ12を用いて粘着性の表面保護テープ10をウェーハ1の表面2側に押圧して貼着する。具体的には、表面保護テープ10の外周縁を環状のフレーム11に貼着するとともに、表面保護テープ10をウェーハ1の表面2に配設された複数のチップ5の凸部6bに貼り合わせる。このとき、押圧ローラ12が表面保護テープ10の上部を押圧しながら、例えば矢印X1方向に転動することによって、ウェーハ1の表面2に配設された全てのチップ5の凸部6bに表面保護テープ10を貼着する。なお、表面保護テープ10は、表面2と接触する側の面が粘着性を有していればよく、特に限定されるものではない。
貼着ステップを実施することにより、図5(a)に示すように、表面保護テープ10が、ウェーハ1の表面2における凹部6aに入り込んで凹部6aの底部に貼着されることがあるため、吸引パッド13を用いて、凹部6aに入り込んだ表面保護テープ10の沈み込み部10aを引き剥がす。吸引パッド13は、多孔質部材14を有しており、多孔質部材14の下面が被吸引物を吸引する吸引保持面15となっている。吸引保持面15は、多孔質部材14を介して吸引孔16に連通しており、当該吸引孔16は吸引源17に接続されている。なお、凹部6aの底部は、ウェーハ1の表面2と同一平面上にある。
引き剥がしステップを実施した後、図6に示すように、保持手段30によりウェーハ1を保持するとともに、レーザビーム照射ヘッド20によってウェーハ1の内部に分割起点となる改質層を形成する。保持手段30は、ウェーハ1を保持する保持部31と、保持部31の外周側に連設されフレーム11が載置されるフレーム載置部32と、フレーム載置部32に配設された軸部33と、軸部33を支点として回転しフレーム載置部32に載置されたフレーム11をクランプするクランプ部34と、を少なくとも備えている。
したがって、ウェーハ1の裏面3を加工する際に表面保護テープ10が貼着されたウェーハの表面3側を吸引保持しても、凹部6aが引っ張られることはなく、ウェーハ1に対して均一高さ位置に切削加工やレーザ加工を施せないおそれを低減できる。また、ウェーハ1の表面2側が局所的に引っ張られることもないため、ウェーハ1自体が破損するおそれも低減できる。
6a:凹部 6b:凸部 7:保持テーブル 8:保持面 9:吸引源
10:表面保護テープ 10a:沈み込み部 11:フレーム 12:押圧ローラ
13:吸引パッド 14:多孔質部材 15:吸引保持面 16:吸引孔
17:吸引源 20:レーザビーム照射ヘッド 21:レーザビーム 22:改質層
30:保持手段 31:保持部 32:フレーム載置部 33:軸部 34:クランプ部
Claims (2)
- 表面に凹凸が形成された被加工物の該表面にテープを貼着するテープ貼着方法であって、
被加工物の裏面側を保持テーブルによって吸引保持し、該表面を露出させる保持ステップと、
該保持テーブルにより吸引保持された被加工物の該表面の凸部にテープを貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップを実施した後、該保持テーブルにおいて被加工物の該裏面側を吸引保持した状態のまま、吸引手段で該テープを吸引して凹部に貼着された該テープを該凹部から引き剥がす引き剥がしステップと、を備えたテープ貼着方法。 - 被加工物は、基板の上面に複数のチップが配設されており、
前記テープ貼着ステップでは、被加工物の該チップの該上面に前記テープを貼着し、
前記引き剥がしステップでは、該基板の該上面に貼着された該テープを該基板の上面から引き剥がす請求項1に記載のテープ貼着方法。
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