JP2015073114A5 - 非単結晶金属酸化物膜 - Google Patents
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- 絶縁表面上に位置する非単結晶金属酸化物膜であって、
前記非単結晶金属酸化物膜は、第１の結晶領域と、第２の結晶領域とを有し、
前記第１の結晶領域は、ｃ軸が前記絶縁表面の法線ベクトルに平行な方向に配向した結晶を有し、
前記第２の結晶領域は、ｃ軸が前記絶縁表面の法線ベクトルに平行な方向に配向した結晶を有し、
前記第１の結晶領域と前記第２の結晶領域との間の領域は、透過型電子顕微鏡を用いた観察によって結晶粒界が観察されず、且つ、極微電子線回折パターンに輝点が観察される領域であることを特徴とする非単結晶金属酸化物膜。 - 絶縁表面上に位置する非単結晶金属酸化物膜であって、
前記非単結晶金属酸化物膜は、第１の結晶領域と、第２の結晶領域とを有し、
前記第１の結晶領域は、ｃ軸が前記絶縁表面の法線ベクトルに平行な方向に配向した結晶を有し、
前記第２の結晶領域は、ｃ軸が前記絶縁表面の法線ベクトルに平行な方向に配向した結晶を有し、
前記第１の結晶領域と前記第２の結晶領域との間の領域は、透過型電子顕微鏡を用いた観察によって結晶粒界が観察されず、且つ、極微電子線回折パターンに輝点が観察される領域であり、
前記第１の結晶領域のａ軸の方向と、前記第２の結晶領域のａ軸の方向とは、互いに異なり、
前記第１の結晶領域のｂ軸の方向と、前記第２の結晶領域のｂ軸の方向とは、互いに異なることを特徴とする非単結晶金属酸化物膜。 - 請求項１又は２において、
前記第１の領域と前記第２の領域との間の領域における前記極微電子線回折パターンは前記輝点として、帯状の輝点を有することを特徴とする非単結晶金属酸化物膜。 - 請求項１乃至３のいずれか一において、
前記非単結晶金属酸化物膜は、インジウム、ガリウム及び亜鉛を有することを特徴とする非単結晶金属酸化物膜。
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