JP2015072279A - 超純水の純度を測定する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水精製装置は、フィルタ手段1、酸化手段2、および水磨き手段3を直列に含み、酸化手段2の排出口22と磨き手段3の注入点31との間に直列に配置された抵抗率測定セル4を1つ含む。制御および計算部7、および得られた純度に関する情報をリアルタイムで操作者に提供するようになっている表示装置8を含み、計算モジュール10は、液体の無限大における抵抗率ρを、回帰によって決定し、精製済み液体に含まれる有機化合物の量を計算する。
【選択図】図2
Description
a)フィルタ手段の排出口における液体の抵抗率ρUPWを測定するステップと、
b)所定の数の著しく異なる時間の間、前記酸化手段に液体の一部を曝露し、前記酸化手段へのその曝露の後に液体の対応する抵抗率値を測定することによって、参照モードを確立するステップと、
c)時間tの関数としてその抵抗率ρを表す式を回帰によって確立することによって、前記液体の無限大における抵抗率ρ∞REFを、この参照モードにおいて決定し、前記式はρ=ρ∞REF+(ρUPW−ρ∞REF)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含むステップと、
d)酸化手段からの排出口におけるその抵抗率ρを決定するために、分析されるべき前記液体を前記抵抗率測定手段の1つに通過させることによって、分析モードを確立するステップと、
e)測定された抵抗率ρ、フィルタ手段からの排出口における水の抵抗率ρUPW、および参照モードで推測された無限大における抵抗率ρ∞REFから、水の純度を判定するステップとを含み、
純度を決定する前記ステップe)が:
ステップc)において確立された指数関数の時定数Tを決定するサブステップと、
このパラメータが収束するまで逐次代入法(successive iteration)によってこの分析モードでの前記液体の無限大における抵抗率ρ∞を決定し、tを反復変数とする、ρ=ρ∞+(ρUPW−ρ∞)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含む式によって、および無限大に向かって反復変数tを変化させることによって、無限大におけるこの抵抗率ρ∞の関数として測定抵抗率ρを表すサブステップと、
無限大におけるこの抵抗率ρ∞から、前記精製済み液体に含まれる有機化合物の量を判定するサブステップとを含むことを特徴とする。
ステップb)で使用される異なる時間の数は6以上であって、
分析モードにおける無限大での抵抗率を表すためにステップe)で使用される前記式は指数形式のtの単一関数を含む式であって、
分析モードにおける無限大での抵抗率を表すためにステップe)で使用される式はtの指数関数とtの線形関数の和であって、
全ての抵抗率測定値は同じ抵抗率測定手段において行われる。
所定の数の著しく異なる時間の間、前記酸化手段に液体の一部を曝露する制御手段と、
前記曝露時間の後に酸化手段からの排出口において測定された抵抗率から、前記液体の無限大における抵抗率ρ∞REFを、回帰によって決定する手段とをさらに含み、
前記曝露時間の後に酸化手段からの排出口において測定された抵抗率から、酸化手段からの排出口における抵抗率ρの時間関数として、変化の曲線の時定数Tを決定し、ρUPWをフィルタ手段からの排出口において測定された液体の抵抗率として、ρ=ρ∞REF+(ρUPW−ρ∞REF)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含む式によって表される手段と、
このパラメータが収束するまで、酸化手段からの排出口での液体の無限大における抵抗率ρ∞を逐次代入法によって決定し、tを反復変数とする、ρ=ρ∞+(ρUPW−ρ∞)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含む式によって、および無限大に向かって反復変数tを変化させることによって、無限大におけるこの抵抗率ρ∞の関数として測定抵抗率ρを表す手段と、
無限大におけるこの抵抗率ρ∞から前記精製済み液体に含まれる有機化合物の量を判定する手段と、
得られた結果を表示する手段とをさらに含むことを特徴とする。
ρ(t)=ρ∞+(ρ0−ρ∞)e−t/T+(ρslopet+ρintercept)・ustart,length(t)、ここでρslopeおよびρinterceptは線形関数の勾配および原点における縦座標であり、ustart,length(t)は、純粋な指数関数に対応する横軸の第一部分で値0を有し、横軸の残りの部分では値1を有する関数であって、この関数は指数関数と線形関数との和として扱われることが可能である。
1/kα=1+(ρUPW/ρ∞−1)e−α
を得る。
KREF=ρ(t)REF/ρ∞REF、および
e−α=(1−KREF)/KREF×ρ∞REF/(ρUPW−ρ∞REF)
を得る。
Claims (7)
- フィルタ手段(1)、酸化手段(2)、および磨き手段(3)を直列に含み、前記フィルタ手段(1)の排出口および前記酸化手段(2)の排出口で水の抵抗率を測定する手段(4)をさらに含む精製装置からの排出口において、超純水などの液体の中に存在する有機化合物の量を分析する方法において、
a)フィルタ手段(1)の排出口における液体の抵抗率ρUPWを測定するステップと、
b)所定の数の著しく異なる時間の間、前記酸化手段(2)に液体の一部を曝露し、前記酸化手段への曝露の後に液体の対応する抵抗率値を測定することによって、参照モードを確立するステップと、
c)時間tの関数としてその抵抗率ρを表す式を回帰によって確立することによって、前記液体の無限大における抵抗率ρ∞REFを、この参照モードにおいて決定し、前記式がρ=ρ∞REF+(ρUPW−ρ∞REF)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含むステップと、
d)酸化手段(2)からの排出口におけるその抵抗率ρを決定するために、分析されるべき前記液体を前記抵抗率測定手段(4)の1つに通過させることによって、分析モードを確立するステップと、
e)測定された抵抗率ρ、フィルタ手段(1)からの排出口における水の抵抗率ρUPW、および参照モードで推測された無限大における抵抗率ρ∞REFから、水の純度を判定するステップとを含み、
純度を決定する前記ステップe)が、
ステップc)において確立された指数関数の時定数Tを決定するサブステップと、
このパラメータが収束するまで逐次代入法によってこの分析モードでの前記液体の無限大における抵抗率ρ∞を決定し、tを反復変数とする、ρ=ρ∞+(ρUPW−ρ∞)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含む式によって、および無限大に向かって反復変数tを変化させることによって、無限大におけるこの抵抗率ρ∞の関数として測定抵抗率ρを表すサブステップと、
無限大におけるこの抵抗率ρ∞から、前記精製済み液体に含まれる有機化合物の量を判定するサブステップとを含むことを特徴とする、分析方法。 - ステップc)で使用される式が、tの指数関数とtの線形関数との和である、請求項1に記載の分析方法。
- ステップb)で使用される異なる時間の数が6以上である、請求項2に記載の分析方法。
- 分析モードにおける無限大での抵抗率を表すためにステップe)で使用される式が、指数形式のtの単一関数を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の分析方法。
- 分析モードにおける無限大での抵抗率を表すためにステップe)で使用される式が、tの指数関数とtの線形関数とも和である、請求項1から3のいずれか一項に記載の分析方法。
- 全ての抵抗率測定値が同じ抵抗率測定手段(4)において行われる、請求項1から4のいずれか一項に記載の分析方法。
- フィルタ手段(1)、酸化手段(2)、および磨き手段(3)を直列に含み、前記フィルタ手段(1)からの排出口および前記酸化手段(2)からの排出口で水の抵抗率を測定する手段(4)を含む、超純水などの液体の中に存在する有機化合物の量を分析する装置において、
所定の数の著しく異なる時間の間、前記酸化手段(2)に液体の一部を曝露する制御手段(9)と、
前記曝露時間の後に酸化手段(2)からの排出口において測定された抵抗率から、前記液体の無限大における抵抗率ρ∞REFを回帰によって決定する手段(10)とをさらに含み、
前記曝露時間の後に酸化手段(2)からの排出口において測定された抵抗率から、酸化手段(2)からの排出口における抵抗率ρの時間関数として、変化の曲線の時定数Tを決定し、ρUPWをフィルタ手段(1)からの排出口において測定された液体の抵抗率として、ρ=ρ∞REF+(ρUPW−ρ∞REF)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含む式によって表される手段(10)と、
このパラメータが収束するまで、酸化手段(2)からの排出口での液体の無限大における抵抗率ρ∞を逐次代入法によって決定し、tを反復変数とする、ρ=ρ∞+(ρUPW−ρ∞)e−t/Tのタイプの少なくとも1つの指数関数を含む式によって、および無限大に向かって反復変数tを変化させることによって、無限大におけるこの抵抗率ρ∞の関数として測定抵抗率ρを表す手段(10)と、
無限大におけるこの抵抗率ρ∞から前記精製済み液体に含まれる有機化合物の量を判定する手段(10)と、
得られた結果を表示する手段(8)とをさらに含むことを特徴とする、分析装置。
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