JP2015064219A

JP2015064219A - 焦電型赤外線センサ

Info

Publication number: JP2015064219A
Application number: JP2013196925A
Authority: JP
Inventors: 堀江　聡; Satoshi Horie; 聡堀江; 石田　謙司; Kenji Ishida; 謙司石田; 明子隅田; Akiko Sumida
Original assignee: SENSORS & WORKS CO Ltd
Current assignee: SENSORS & WORKS CO Ltd
Priority date: 2013-09-24
Filing date: 2013-09-24
Publication date: 2015-04-09
Anticipated expiration: 2033-09-24
Also published as: JP6319872B2

Abstract

【課題】振動や熱などの外乱に強く、検出感度を長期間良好に維持することができる焦電型赤外線センサを提供する。【解決手段】可撓性を有する基板１０と、基板１０に搭載されたフィルム状の焦電素子２０とを備え、焦電素子２０を基板１０と共に湾曲させることが可能な焦電型赤外線センサ１であって、焦電素子２０は、矩形状に形成され、長手方向両側にそれぞれ設けられた支持体２ａ，２ｂにより、基板１０と間隔をあけて支持されており、支持体２ａ，２ｂは、少なくとも一部が焦電素子２０の幅方向の略全体にわたって設けられており、基板１０の電気回路と焦電素子２０とを導通する突起電極３１ａ，３１ｂを有している。【選択図】図２

Description

本発明は、焦電型赤外線センサに関する。

人体等の物体から放出される赤外線を検知するセンサとして、従来から焦電型赤外線センサが知られている。このセンサは、焦電体の両面に電極を備えたキャパシタ構造を受光部素子構成とする（以下焦電素子という）。焦電体は、電気的分極成分を持つ材料が用いられ、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）、タンタル酸リチウム（LT）単結晶などのセラミック系材料の他、ポリフッ化ビニリデン（PVDF）およびその化合物、ポリ尿素などの有機化合物材料が知られている。中でも有機化合物材料の場合、柔軟性を有することからセンサに形状的特徴を与えることができる。特許文献１には、図１３に示すように、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等の可撓性を有する半円筒フィルム状の焦電体５１が、半円筒状の基台５２の外面側に配置され、平板状のプリント基板５３に搭載された焦電素子５０が開示されている。焦電体５１の両面には表電極５１ａおよび裏電極５１ｂが形成されている。表電極５１ａおよび裏電極５１ｂは、導電性接着剤５４，５５によりプリント基板５３の回路に接続されている。

上記従来の焦電素子５０は、焦電体５１自体は可撓性を有する一方で、焦電体５１を支持する基台５２に反りやねじれが生じ易いため、導電性接着剤５４，５５を介してプリント基板５３に固定された部分に応力が集中するおそれがあり、更には振動や熱の外乱の影響を受け易くなっていた。また、基台５２は曲げ変形させることができないため、検出目的等に応じて焦電体５１の所望の曲率を得ることが困難であった。

また、特許文献２には、焦電素子と基板との間に鉛筆硬度が５Ｂ〜６Ｂ程度の柔らかい導電性接着剤を介在させて、焦電素子の電極と基板の導体パターンとを電気的に接続する構成が開示されている。ところが、この構成によれば、焦電素子の長手方向の撓みによる基板との接触を避けるため、あるいは素子と基板間の熱の蓄積による感度低下を避けるために導電性接着剤の高さを高くすると、電気抵抗が高くなって焦電感度が低下するおそれがあった。更にはその際、焦電素子は、更に幅方向にも傾斜するおそれがあるため、検出精度の維持が困難であった。

特開平８−２７１４１６号公報特開平１０−３８６７９号公報

そこで、本発明は、振動や熱などの外乱に強く、検出感度を長期間良好に維持することができる焦電型赤外線センサの提供を目的とする。

本発明の前記目的は、可撓性を有する基板と、前記基板に搭載されたフィルム状の焦電素子とを備え、前記焦電素子を前記基板と共に湾曲させることが可能な焦電型赤外線センサであって、前記焦電素子は、矩形状に形成され、長手方向両側にそれぞれ設けられた支持体により、前記基板と間隔をあけて支持されており、前記支持体は、少なくとも一部が前記焦電素子の幅方向の略全体にわたって設けられており、前記基板の電気回路と前記焦電素子とを導通する突起電極を有する焦電型赤外線センサにより達成される。

この焦電型赤外線センサにおいて、前記支持体は、電気絶縁性を有する弾性樹脂からなる緩衝部を備えていることが好ましく、前記緩衝部は、前記突起電極の少なくとも一部を被覆するように、前記焦電素子の幅方向の略全体にわたって設けられていることが好ましい。前記緩衝部は、少なくとも前記受光部と前記突起電極との間に配置されていることが好ましい。より詳細には、前記基板は、前記受光部と対向する位置に開口部が形成されていることが好ましく、前記緩衝部は、前記開口部の縁部と前記突起電極との間に液状の前記弾性樹脂を供給して形成されることが好ましい。前記弾性樹脂は、アクリル変性シリコーン樹脂、ウレタン樹脂などで構成されることが好ましい。

また、前記支持体は、前記突起電極が前記焦電素子の幅方向の略全体に延びるように形成されることも好ましい。

前記焦電素子の直下に高さ０．１ｍｍ以上の空間を有することが好ましい。

前記焦電素子は、前記受光部を複数備えることが可能である。この構成においては、前記受光部の配置が湾曲部を挟んで線対称となるように湾曲することが好ましい。

前記焦電素子は、前記基板上に設けられたキャップの内部に収容されていることが好ましい。

本発明によれば、振動や熱などの外乱に強く、検出感度を長期間良好に維持することができる焦電型赤外線センサを提供することができる。

本発明の一実施形態に係る焦電型赤外線センサの平面図である。図１のＡ−Ａ断面図である。本発明の他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの平面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの平面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの側面図である。図１に示す焦電型赤外線センサの湾曲部を示す平面図および側面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの湾曲部を示す平面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの平面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの要部側面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの要部平面図および要部断面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの要部側面図である。本発明の更に他の実施形態に係る焦電型赤外線センサの側面図である。従来の焦電型赤外線センサの側面図である。

以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る焦電型赤外線センサの平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。図１および図２に示すように、焦電型赤外線センサ１は、基板１０と、基板１０に搭載されたフィルム状の焦電素子２０とを備えている。基板１０は、ポリイミド樹脂などからなる可撓性のＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）基板であり、表裏面に開口部１２１，１２２を有する貫通孔１２が中央に形成され、貫通孔１２を挟んで両側に電極部１４ａ，１４ｂが設けられている。電極部１４ａ，１４ｂは、配線パターン１５ａ，１５ｂを介して、基板１０に設けられた信号処理回路などの電気回路（図示せず）に電気的に接続されている。電気回路は、焦電素子２０から生じた焦電電流または電荷を電圧に変換するように構成されている。

焦電素子２０は、矩形状に形成され可撓性を有する焦電体膜２１の表面側に受光電極２２を備え、焦電体膜２１の裏面側に対向電極２３を備えている。焦電体膜２１の材料としては、例えば、フッ化ビニリデンを基本構成とする各種ポリマー、オリゴマー、ポリ尿素、奇数ナイロン、ポリ乳酸などの有機焦電材料や、これらの有機焦電材料とチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）のような無機セラミック系焦電体とのハイブリッド材などを挙げることができる。受光電極２２および対向電極２３は、いずれも複数に分割されており、それぞれが焦電体膜２１を挟んで互いに対向するように配置されている。焦電体膜２１は、対向する受光電極２２と対向電極２３との間で分極処理が施されており、これによって複数の受光部２４ａ，２４ｂが形成されている。これらの受光部２４ａ，２４ｂは、基板１０に形成された貫通孔１２の開口部と対向するように配置されている。本実施形態の焦電型赤外線センサ１は、２つの受光部２４ａ，２４ｂを備えるデュアルタイプであり、各受光部２４ａ，２４ｂは、分極方向が互いに相違するように、中間配線２５を介して直列に接続されている。但し、各受光部２４ａ，２４ｂは、互いに逆極性となるように並列に接続することも可能である。焦電素子２０の裏面側には、基板１０との接続用電極である電極パッド２６ａ，２６ｂが、平面視において受光部２４ａ，２４ｂの両側に設けられている。焦電素子２０は、本実施形態では自立膜タイプとしているが、図９に示すように、焦電体膜２１の表裏面に受光電極２２および対向電極２３を備えるキャパシタ構造が、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ポリイミド等からなるフィルム基材２９の面上に設けられた薄膜タイプであってもよい。

基板１０の電極部１４ａ，１４ｂと、焦電素子２０の電極パッド２６ａ，２６ｂは、突起電極３１ａ，３１ｂおよび導電性接着剤３２ａ，３２ｂを介して基板１０の電極部１４ａ，１４ｂに接続されており、突起電極３１ａ，３１ｂおよび導電性接着剤３２ａ，３２ｂにより導通部３３ａ，３３ｂが形成されている。突起電極は、めっきバンプやスタッドバンプ、金属部品など極めて導電性の高いものから選択される。導電部３３ａ，３３ｂは、例えば、基板１０の電極部１４ａ，１４ｂに突起電極３１ａ，３１ｂを形成した後、突起電極３１ａ，３１ｂに導電性接着剤３２ａ，３２ｂを塗布し、この上から焦電素子２０の電極パッド２６ａ，２６ｂを押圧して形成することができる。導電性接着剤３２ａ，３２ｂは、基板１０の電極部１４ａ，１４ｂまたは焦電素子２０の電極パッド２６ａ，２６ｂと、突起電極３１ａ，３１ｂとの間に介在させてもよい。この場合は、検出感度を良好にするため、導電性接着剤３２ａ，３２ｂの厚みをなるべく小さく（例えば、３０μｍ以下）することが好ましい。導電性接着剤３２ａ，３２ｂの代わりに、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）や、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などを使用することも可能である。

導通部３３ａ，３３ｂは、電気絶縁性が高い弾性樹脂からなる緩衝部３４ａ，３４ｂによりそれぞれ側面の一部が被覆されている。緩衝部３４ａ，３４ｂは、例えば、ウレタン系樹脂やシリコーン系樹脂のように、硬化後も良好な弾性を示す樹脂を使用することができ、特にアクリル変性シリコーン樹脂のような変性シリコーンポリマーを主成分とするものを好適に使用することができる。緩衝部３４ａ，３４ｂのＪＩＳＫ６２５３の硬さ試験によるデュロメータ硬度（Ａ硬度）は、好ましい一例を挙げると、樹脂の硬化後において３０〜５０程度である。緩衝部３４ａ，３４ｂは、焦電素子２０の長手方向両側において、長手方向と直交する焦電素子２０の幅方向の略全体にわたって形成されることが好ましい。

このような緩衝部３４ａ，３４ｂにより、導電性接着剤３２ａ，３２ｂを介して突起電極３１ａ，３１ｂの少なくとも一部を被覆することにより（あるいは、導電性接着剤３２ａ，３２ｂを介さずに突起電極３１ａ，３１ｂを直接被覆することにより）、基板１０および焦電素子２０を一体的に湾曲させたときに、導通部３３ａ，３３ｂに作用する曲げ応力の一部を緩衝部３４ａ，３４ｂで負担することができ、導通部３３ａ，３３ｂの剥離やクラック等による導通不良を抑制することができる。したがって、広視野角を有する焦電型赤外線センサ１の耐久性を確保することができ、検出感度を良好に維持することができる。特に、大面積パターンの場合や、後述するアレイタイプの場合には、導通部３３ａ，３３ｂの耐久性の問題が生じ易いため、本発明の構成が有効である。

突起電極３１ａ，３１ｂおよび緩衝部３４ａ，３４ｂは、焦電素子２０の長手方向両側にそれぞれ設けられる支持体２ａ，２ｂを構成しており、これら支持体２ａ，２ｂによって、基板１０と焦電素子２０との間隔が保持される。焦電素子２０は、可撓性を有することによって長手方向に下方への撓み変形を生じるため、基板１０と焦電素子２０との間隔が狭いと焦電素子２０から基板１０への熱移動が生じ易くなり、検出感度が低下するおそれがある。したがって、突起電極３１ａ，３１ｂの高さは、組立加工精度から０．１ｍｍ以上を確保することが好ましく、例えば０．５ｍｍに設定することができる。突起電極３１ａ，３１ｂの高さの上限は特に存在しないが、高すぎると製造が困難になり易いことから、例えば、突起電極３１ａ，３１ｂの高さを１ｍｍ以下に設定することが好ましい。焦電素子２０の直下には高さ０．１ｍｍ以上の空間が確保されていることが好ましい。基板１０と焦電素子２０との間隔を十分大きくできる場合には、基板１０の貫通孔１２は必ずしも必要ではない。

また、支持体２ａ，２ｂは、緩衝部３４ａ，３４ｂが焦電素子２０の幅方向の略全体にわたって設けられているため、基板１０に対して焦電素子２０が幅方向に傾斜するのを防止することができ、検出感度を良好に維持することができる。緩衝部３４ａ，３４ｂの長さは、必ずしも焦電素子２０の幅と完全に一致している必要はなく、焦電素子２０の幅全体を実質的に支持可能であれば焦電素子２０の幅よりも若干短くてもよい。具体的には、緩衝部３４ａ，３４ｂの長さは、焦電素子２０の幅の５０％以上であることが必要であり、焦電素子２０の幅の９０％以上であることが好ましく、焦電素子２０の幅の９５％以上であることがより好ましい。突起電極３１ａ，３１ｂの高さを高くすることで焦電素子２０の幅方向の傾斜が生じ易くなることから、突起電極３１ａ，３１ｂの高さが高いほど、支持体２ａ，２ｂを幅広に形成する上記構成がより効果的なものとなる。

本実施形態においては、緩衝部３４ａ，３４ｂを、基板１０と焦電素子２０との間における導通部３３ａ，３３ｂの外周側の一部を被覆するように設けているが、導通部３３ａ，３３ｂの全体を緩衝部３４ａ，３４ｂで被覆してもよい。特に、受光部２４ａ，２４ｂと導通部３３ａ，３３ｂとの間に緩衝部３４ａ，３４ｂを設けた場合には、２つの受光部２４ａ，２４ｂの間で焦電型赤外線センサ１を湾曲させたときに、湾曲部により近い側を緩衝部３４ａ，３４ｂが支持することができるので、導通部３３ａ，３３ｂに作用する曲げ負荷をより軽減することができる。

図３は、受光部２４ａ，２４ｂと導通部３３ａ，３３ｂとの間に緩衝部３４ａ，３４ｂを設ける場合の一例を示す平面図である。基板１０には受光部２４ａ，２４ｂに対向する位置に貫通孔１２の開口部１２１が形成されているので、受光部２４ａ，２４ｂと導通部３３ａ，３３ｂとの間に供給された液状樹脂は、表面張力により開口部１２１の縁部１２１ａ，１２１ｂに保持される。したがって、液状樹脂を開口部１２１の縁部に沿って毛細管現象を利用して充填することで、図３にハッチングで示すように緩衝部３４ａ，３４ｂを容易に形成することができると共に、受光部２４ａ，２４ｂと基板１０との間に緩衝部３４ａ，３４ｂが介在するおそれがないので、熱の拡散に伴う検出感度の低下を防止することができる。また、図４に示すように、供給された液状樹脂を基板１０の外縁および開口部１２１の縁部で表面張力により保持して、液状樹脂を開口部１２１の縁部に沿って枠状に設けることも可能であり、緩衝部３４ａ，３４ｂを、互いに接続された状態で容易且つ確実に形成することができる。

本実施形態においては、導通部３３ａ，３３ｂにより基板１０の電気回路に導通される２つの電極パッド２６ａ，２６ｂが、いずれも焦電素子２０の裏面側に設けられているが、電極パッド２６ａ，２６ｂの表裏面における配置は特に限定されるものではなく、受光部の個数や接続形態等によって適宜定めることができる。例えば、図５に示すように、電極パッド２６ａ，２６ｂがいずれも焦電素子２０の表面側に設けられている場合には、導電性接着剤３２ａ，３２ｂを複数回塗布する等して、電極パッド２６ａ，２６ｂと突起電極３１ａ，３１ｂとの間を導電性接着剤３２ａ，３２ｂにより導通する。また、受光部の数が奇数であるような場合など、電極パッド２６ａ，２６ｂが焦電素子２０の表裏面にそれぞれ設けられた構成においては、表面側に配置された電極パッド２６ａについては、図５と同様に導電性接着剤３２ａを塗布し、裏面側に配置された電極パッド２６ｂについては、図２と同様に導電性接着剤３２ｂを塗布すればよい。いずれの場合も、緩衝部３４ａ，３４ｂの配置について、本実施形態と同様の変形例を適用可能であり、基板１０と焦電素子２０との間に介在される突起電極３１ａ，３１ｂが、緩衝部３４ａ，３４ｂと共に支持体２ａ，２ｂを構成する。図５に示すように、電極パッド２６ａ，２６ｂがいずれも焦電素子２０の表面側に設けられた構成においては、図１１に示すように、基板１０と焦電素子２０とを中間体１８を介して導通可能に構成してもよく、これによって導電性接着剤３２ａ，３２ｂの厚みを小さくして（例えば、３０μｍ以下）、良伝導性を確保することができ、感度の維持を容易にすることができる。図１１において、図５と同様の構成部分には同一の符号を付している。

焦電型赤外線センサ１を湾曲させる際には、基板１０および焦電素子２０を一体的に湾曲させることが可能であり、物体の位置や距離、移動方向などを検出する一群の受光部２４ａ，２４ｂについて、図６（ａ）に示すように、中間配線２５の中央部を湾曲部Ｗとすることが好ましい。湾曲部Ｗは、図６（ｂ）に示すように、焦電型赤外線センサ１が一定の曲率で湾曲する箇所の曲げ方向に沿った中央部において、当該曲げ方向に垂直な仮想線からなる。図６（ａ）および（ｂ）に示す焦電型赤外線センサ１は、長手方向両側に、一群の受光部２４ａ，２４ｂがそれぞれ設けられており、各群はいずれも受光部２４ａ，２４ｂの間で湾曲されている。焦電型赤外線センサ１の電気回路４０は、本実施形態では基板の中央の湾曲が生じていない領域に形成されているが、湾曲箇所に形成することも可能である。湾曲部Ｗにおける湾曲は、受光部２４ａ，２４ｂの全体に生じていることが好ましく、受光部２４ａ，２４ｂが均一に湾曲することにより、各受光部２４ａ，２４ｂの検出感度のずれを抑制することができ、検出精度を良好に維持することができる。但し、図６（ｃ）に示すように、受光部２４ａ，２４ｂの間で湾曲部Ｗを局所的に形成することも可能である。

受光部が３つ以上の場合にも、上記と同様に、各受光部を湾曲部Ｗを挟んで線対称となるように配置することで、検出精度を良好に維持することができる。長手方向両側にそれぞれ４つの受光部２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを有する焦電型赤外線センサ１の湾曲部Ｗの具体例を、図７（ａ）および（ｂ）に示す。

本発明の焦電型赤外線センサ１は、上記の構成以外に、受光部が縦方向および横方向にアレイ状に配置された構成であってもよい。図１０は、このような焦電型赤外線センサ１の一実施形態を示しており、図１０（ａ）は要部平面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。この焦電型赤外線センサ１は、上記の各実施形態と同様に基板１０および焦電素子２０を備えている。焦電素子２０は、平行に複数設けられた帯状の受光電極２２および対向電極２３が互いに直交するように配置されており、それぞれの交差部に受光部２４が形成されている。基板１０は、受光部２４に対向する位置に貫通孔１２が形成されており、配線パターンが導通部３３ｃ，３３ｄを介して受光電極２２および対向電極２３と導通されている。導通部３３は、その一部が緩衝部３４ｃにより被覆されている。この構成においては、隣接する貫通孔１２，１２の間にも緩衝部３４ｄを設けることが好ましく、基板１０の反りやねじれ等の変形を効果的に緩和して、導通部３３ｃ，３３ｄの検出感度を良好に維持することができる。緩衝部３４ｃ，３４ｄの材料や形成方法は、図２等に示す上記実施形態の緩衝部３４ａ，３４ｂと同様のものを使用することができる。特に、緩衝部３４ｄについては、多数の貫通孔１２を有する構成であっても、液状樹脂の毛細管現象を利用して充填することにより容易に形成可能である。

上記の各実施形態においては、支持体２ａ，２ｂが、突起電極３１ａ，３１ｂの少なくとも一部を被覆するように焦電素子２０の幅方向全体にわたって設けられた緩衝部３４ａ，３４ｂを備えており、焦電素子２０を湾曲させた場合であっても導通部３３ａ，３３ｂでの剥離を防止しつつ、焦電素子２０が幅方向に傾斜するのを防止している。但し、図８に示すように、突起電極３１ａ，３１ｂを、焦電素子２０の幅方向全体に延びるように形成することで、緩衝部３４ａ，３４ｂを備えない構成にしてもよい。この構成は、基板１０を焦電素子２０以外の部分で局所的に湾曲させる場合に、特に効果的である。図８に示す突起電極３１ａ，３１ｂの長さは、必ずしも焦電素子２０の幅と完全に一致している必要はなく、焦電素子２０の幅全体を実質的に支持可能であれば焦電素子２０の幅よりも若干短くてもよい。具体的には、突起電極３１ａ，３１ｂの長さは、焦電素子２０の幅の５０％以上であることが必要であり、焦電素子２０の幅の９０％以上であることが好ましく、焦電素子２０の幅の９５％以上であることがより好ましい。

上記の焦電型赤外線センサ１は、図１１に示すように、焦電素子２０をＩ／Ｖ変換回路８と共に、キャップ４の内部に収容することができる。キャップ４は、あらかじめ基板１０の変形に追従した３次元曲面状に成形されるか、あるいは、基板１０と共に曲げ変形が可能となるように可撓性を有することが好ましい。キャップ４は、導電性材料により形成するか、あるいは、非導電物の内壁を導電性材料によりコーティングしてノイズシールド性を付与したものを好ましく使用することができ、基板１０上にガードリング状に形成されたＧＮＤ配線と導通させることができる。キャップ４の上部中央には、特定波長域の赤外線のみを透過させる窓材６が設けられている。キャップ４の内部には、焦電素子２０を複数設けることも可能であり、この場合、キャップ４の全体を緩やかに湾曲させてもよく、あるいは、キャップ４を焦電素子２０またはＩ／Ｖ変換回路８以外の部分で局所的に湾曲させてもよい。

１焦電型赤外線センサ
２ａ，２ｂ支持体
１０基板
１２貫通孔
１２１開口部
１４ａ，１４ｂ電極部
２０焦電素子
２４ａ，２４ｂ受光部
２６ａ，２６ｂ電極パッド
３１ａ，３１ｂ突起電極
３３ａ，３３ｂ導通部
３４ａ，３４ｂ緩衝部

Claims

可撓性を有する基板と、前記基板に搭載されたフィルム状の焦電素子とを備え、前記焦電素子を前記基板と共に湾曲させることが可能な焦電型赤外線センサであって、
前記焦電素子は、矩形状に形成され、長手方向両側にそれぞれ設けられた支持体により、前記基板と間隔をあけて支持されており、
前記支持体は、少なくとも一部が前記焦電素子の幅方向の略全体にわたって設けられており、前記基板の電気回路と前記焦電素子とを導通する突起電極を有する焦電型赤外線センサ。
前記支持体は、電気絶縁性を有する弾性樹脂からなる緩衝部を備えており、
前記緩衝部は、前記突起電極の少なくとも一部を被覆するように、前記焦電素子の幅方向の略全体にわたって設けられている請求項１に記載の焦電型赤外線センサ。
前記緩衝部は、少なくとも前記受光部と前記突起電極との間に配置されている請求項２に記載の焦電型赤外線センサ。
前記基板は、前記受光部と対向する位置に開口部が形成されており、
前記緩衝部は、前記開口部の縁部と前記突起電極との間に液状の前記弾性樹脂を供給して形成される請求項３に記載の焦電型赤外線センサ。
前記弾性樹脂は、アクリル変性シリコーン樹脂を含む請求項１から４のいずれかに記載の焦電型赤外線センサ
前記支持体は、前記突起電極が前記焦電素子の幅方向の略全体に延びるように形成される請求項１に記載の焦電型赤外線センサ。
前記焦電素子の直下に高さ０．１ｍｍ以上の空間を有する請求項１から６のいずれかに記載の焦電型赤外線センサ。
前記焦電素子は、前記受光部を複数備えており、前記受光部の配置が湾曲部を挟んで線対称となるように湾曲する請求項１から７のいずれかに記載の焦電型赤外線センサ。
前記焦電素子は、前記基板上に設けられたキャップの内部に収容されている請求項１から８のいずれかに記載の焦電型赤外線センサ。