JP2015059878A - 弾性表面波センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象における目標の変化量が外乱による変化量に対して小さな場合において、差動検出を行うために、第1弾性表面波素子と、第2弾性表面波素子とを有し、第2弾性表面波素子の伝搬距離を第1弾性表面波素子の伝搬距離に対して、外乱と測定対象の変化量の比率に応じて、あるいは第2弾性表面波素子での測定対象の変化量を弾性表面波センサの検出限界より小さく、または外乱と測定対象の変化量の比率と、第2弾性表面波素子での測定対象の変化量を弾性表面波センサの検出限界より小さく設定する設定する。
【選択図】図1
Description
図5において、SAWセンサ100_1は、圧電素子基板上に形成される、IDT11−1(送信電極11−1a、送信電極11−1b)、IDT11−2(受信電極11−2a、受信電極11−2b)、チャネル領域(反応領域薄膜)Aを含んで構成される。また、SAWセンサ100_2は、圧電素子基板上に形成される、IDT11−3(送信電極11−3a、送信電極11−3b)、IDT11−4(受信電極11−4a、受信電極11−4b)、チャネル領域(反応領域薄膜)Bを含んで構成される。ここで、圧電素子基板とは、SAWを伝播する基板であり、例えば、水晶基板である。また、検体である液体が導入される検出領域(センサ表面となる領域)は、圧電素子基板と反応領域薄膜との重なる部分となるが、ここでは反応領域薄膜の全面が検出領域となるものとする。すなわち、SAWセンサ100は、SAWセンサ100_1とSAWセンサ100_2とを有し、チャネル領域A、及びチャネル領域Bが、それぞれの検出領域である。
交流信号源21は、正弦波交流信号を生成し、RFスイッチ22を介してSAWセンサ100の送信電極IDT11−1または送信電極IDT11−3のいずれか一方、及び位相・振幅検出回路23に出力する。
位相・振幅検出回路23は、SAWセンサ100の受信電極IDT11−2または受信電極IDT11−4のいずれか一方から入力された検出信号、及び交流信号源21からの正弦波交流信号に基づいて、検出信号の入力までに要した伝播時間による位相変化と振幅の減衰量を検出する。位相・振幅検出回路23は、検出した位相変化と振幅の減衰量をPC24に出力する。PC24は、位相・振幅検出回路23から入力された位相変化と振幅の減衰量に基づいて、表面の抗体と特異的に反応した溶液中の抗原の量と種類を特定する。
また、略同じ量の外乱による変換量をそのままキャンセルするため、チャネル領域Aとチャネル領域Bは同じ面積で構成する必要があるため、SAWセンサ100のサイズが増大するという問題があった。
(2)また、本発明の一態様は、測定対象における目標の変化量が外乱による変化量に対して小さな場合において、差動検出を行うために、第1弾性表面波素子と、第2弾性表面波素子とを有し、前記第2弾性表面波素子の伝搬距離を前記第1弾性表面波素子の伝搬距離に対して、前記第2弾性表面波素子での測定対象の変化量を弾性表面波センサの検出限界より小さく設定する、ことを特徴とする弾性表面波センサである。
(3)また、本発明の一態様は、測定対象における目標の変化量が外乱による変化量に対して小さな場合において、差動検出を行うために、第1弾性表面波素子と、第2弾性表面波素子とを有し、前記第2弾性表面波素子の伝搬距離を前記第1弾性表面波素子の伝搬距離に対して、外乱と測定対象の変化量の比率と、前記第2弾性表面波素子での測定対象の変化量を弾性表面波センサの検出限界より小さく設定する、ことを特徴とする弾性表面波センサである。
(4)また、本発明の一態様は、上記の弾性表面波センサにおいて、1つの入力電極と、2つの出力電極により構成される、ことを特徴とする。
(5)また、本発明の一態様は、上記の弾性表面波センサにおいて1つの入出力電極と、反射器により構成される、ことを特徴とする。
(6)また、本発明の一態様は、測定対象における目標の変化量が抗原抗体反応による変化であり、外乱による変化量が、負荷が空気である状態と負荷が試料用水である状態との間における変化である、ことを特徴とする。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。
図1は、本実施形態に係るSAWセンサ1(弾性表面波センサ)の概略的な上面図である。また、図2は、SAWセンサ1の概略的な断面図である。なお、図1において、図5と同一の部分には同一の符号を付している。また、図2は、図1に示すSAWセンサ1_1(第1弾性表面波素子)をSAWの伝搬方向に沿って切断した場合の断面図を示している。
図1に示すように、SAWセンサ1は、同じ圧電素子基板10上に形成されるSAWセンサ1_1、及びSAWセンサ1_2(第2弾性表面波素子)を有している。また、図1、及び図2を参照して、SAWセンサ1_1は、送信電極11−1a、送信電極11−1b、受信電極11−2a、受信電極11−2b、反応領域薄膜12(チャネル領域A)、多孔性基材13、封止構造14_1、及び封止構造14_2を含んで構成される。また、SAWセンサ1_2は、送信電極11−3a、送信電極11−3b、受信電極11−4a、受信電極11−4b、反応領域薄膜(チャネル領域R)、多孔性基材13、封止構造14_3(図1、2において不図示)、及び封止構造14_4(図1、2において不図示)を含んで構成される。
圧電素子基板は、SAWを伝播する基板であり、例えば、水晶基板である。
また、受信電極11−2a、及び受信電極11−2bは、受信側電極部を構成する櫛歯状のパターンにより形成された金属電極である。また、受信電極11−4a、及び受信電極11−4bは、受信側電極部を構成する櫛歯状のパターンにより形成された金属電極である。以下、受信電極11−2a、及び受信電極11−2bを総称してIDT11−2と呼び、受信電極11−4a、及び受信電極11−4bを総称してIDT11−4と呼ぶものとする。
IDT11−1、及びIDT11−2(総称してIDT11_1と呼ぶ)、IDT11−3、及びIDT11−4(総称してIDT11_2と呼ぶ)は、それぞれ圧電素子基板上に構成される電極である。IDT11_1、IDT11_2は、それぞれ対向した一対の電極である。IDT11_1、IDT11_2、IDT11−3、及びIDT11−4は、それぞれ例えばアルミニウム薄膜によって構成される。
多孔性基材13は、滴下された溶液を、毛細管現象により多孔性基材13内及び反応領域薄膜12の表面に移送し、保持する。
つまり、SAWセンサ1_1は、滴下された溶液を多孔性基材13内部及び反応領域薄膜12の表面に保持する。
溶液中の抗原は、チャネル領域A上に担持された抗体と反応し、チャネル領域A上の特定領域に抗原抗体結合物を生成する。
すなわち、チャネル領域Aでは、その表面に抗原を含んだ液体試料を滴下することにより、チャネル領域A上に担持された抗体と、液体試料中の抗原との間で抗原抗体反応が起こる。その結果、チャネル領域A上には、チャネル領域A上に担持した抗体と抗原が結合した抗原抗体結合物が生成する。なお、チャネル領域Aは、金以外であっても抗体を担持できるものであればいかなるものでもよい。
溶液中の抗原は、チャネル領域Aと同じように、チャネル領域R上に担持された抗体と反応し、チャネル領域R上の特定領域に抗原抗体結合物を生成する。
すなわち、チャネル領域Rでは、チャネル領域Aと同じように、その表面に抗原を含んだ液体試料を滴下することにより、チャネル領域R上に担持された抗体と、液体試料中の抗原との間で抗原抗体反応が起こる。その結果、チャネル領域R上には、チャネル領域R上に担持した抗体と抗原が結合した抗原抗体結合物が生成する。なお、チャネル領域Rは、金以外であっても抗体を担持できるものであればいかなるものでもよい。
また、封止天井16−1は、封止壁15−1の上側を塞ぎ、IDT11−1を外部から密閉するための天井である。封止天井16−1は、封止天井16−1の平面領域内に封止壁15−1が収まるように封止壁15−1の上側に配置される。封止天井16−1は、例えばガラス基板で構成される。なお、封止壁15−1と封止天井16−1との間には、不図示の接着層が設けられ、封止壁15−1と封止天井16−1との間を密封して接着する。
封止構造14−1は、IDT11−1を外部から密閉してIDT11−1上に空間を形成するように覆い、IDT11−1が液体と接触することを防ぐ封止構造である。
これら封止構造14−1、及び封止構造14−2により、検出領域における雰囲気(例えば湿度)の変化があったとしても、IDT11−1、及びIDT11−2は、その影響を受けにくくなる。
SAWセンサ1_2は、SAセンサ1_1と同様に、IDT11_3を保護するため、封止構造14−1と同様の封止構造14−3、IDT11_3を保護する封止構造14−2と同様の封止構造14−4を有している。
SAWセンサ1の測定者が、例えば、チャネル領域A、チャネル領域Rの上の多孔性基材に溶液を滴下すると、それぞれの多孔性基材は、滴下された溶液を、毛細管現象により多孔性基材の内部及びチャネル領域A、チャネル領域Rのそれぞれの表面に移送し、保持する。
つまり、多孔性基材が、平面視において検出領域に重ならない部分を有していても、多孔性基材が溶液をチャネル領域A、チャネル領域Rの表面に移送し、保持することで、チャネル領域A、チャネル領域Rを、滴下された溶液により濡らすことができる。
センサ回路20は、SAWセンサ1、交流信号源21、RFスイッチ22、位相・振幅検出回路23、PC24を含んで構成される。
交流信号源21は、例えば、250MHzの正弦波交流信号を発生する。この正弦波交流信号は、RFスイッチ22によりSAWセンサ1のIDT11−1、及びIDT11−3のいずれか一方と、位相・振幅検出回路23とに出力する。
なお、SAWセンサ1から出力される信号に含まれる主とする信号以外の直達波や他のバルク波などを含むノイズ等の妨害信号が十分に小さい場合には、交流信号源21からの正弦波交流信号は連続波でよい。しかしながら、直達波やバルク波などを含むノイズ等の妨害信号が大きい場合には、正弦波交流信号を周期的なバースト信号に変換して、SAWセンサ1に入力してもよい。このバースト信号の周期は、例えば、SAWが圧電素子基板10の表面のIDT11−1からIDT11−2までの間を進行するのに要する時間より大きくなるようにする。バースト信号に変換するには、図示しない既知のバースト回路を交流信号源21の直後に直列に挿入する。
PC24は、位相・振幅検出回路23から入力された位相変化と振幅の減衰量に基づいて、表面の抗体と特異的に反応した溶液中の抗原の量と種類を判定し、判定結果を表示する。
具体的には、SAWセンサ1の測定者は、従来と相違して、図1に示すチャネル領域A、及びチャネル領域Rのいずれの領域にも、その上にある多孔性基材に抗原を含んだ溶液を滴下し、チャネル領域A、及びチャネル領域Rの上を溶液で濡らし、SAWの伝播時間による位相変化をチャネル毎に測定する。チャネル領域Aにおける位相変化とチャネル領域Rにおける位相変化との差が、抗原抗体反応によってチャネル領域Aに生成した抗原抗体結合物に起因する位相の変化量となる。
なお、以下の説明において、実測のデータとして非特許文献1に記載の実験データを用いる。
まず、本実施形態のチャネル領域Aを例にとると、負荷が空気である状態(溶液が滴下されず、SAWセンサ1が空気に晒されている初期状態、以下空気負荷ともいう)から、負荷が試料用水である状態(例えば、SAWセンサ1に純水を滴下した状態、以下純水負荷ともいう)に移行すると、入力信号に対する出力信号の位相の変化量は20.4dBから38.4dBへと変化する(非特許文献1のFig.3.(a)参照)。すなわち、外乱を受けることによるチャネル領域Aの位相の変化量は18dB(=38.4dB−20.4dB)である。
すなわち、
Δα/k=−Aλ×106/(L×8.686×2π)
である。
ここで、Lは滴下する表面の伝搬距離(すなわち、上記L1)であり、λはSAWの波長であり、8.686は所謂Napaerと呼ばれるエネルギー量の単位変換の際の定数である。なお、これらの変換は、図6に示す位相・振幅検出回路23で行うものとする。
例えば、単位辺りの損失Δα/kが30ppmの場合、上記変換式により、チャネル領域Aでの位相の変化量は0.5dBとなる。
例えば、非特許文献1に記載のバイオセンサでは伝搬距離6mmのため、チャネル領域Aの長さL1をL1=6mmとして、チャネル領域Rの長さL2を6mm×1/36=0.167mmとすればよい。このようにすれば、図6に示すセンサ回路20によるSAWセンサ1の測定限界を0.05dB/divとした場合、チャネル領域Rでの抗原抗体反応による位相の変化量は0.5dB×1/36=0.0193dBとなり、チャネル領域Rにおけるバイオ変化(抗原抗体反応)による位相の変化量は測定系により無視することが可能となる。
すなわち、チャネル領域Aにおける位相の変化量CP_Aは、
CP_A=CPext+CPrea
となる。
一方、位相の変化量CP_Bは、
CP_B=(チャネル領域Rでの外乱による位相の変化量)+(チャネル領域Rでの抗原抗体反応による位相の変化量)
=CPext×(L2/L1)+CPrea×(L2/L1)
となる。
一方、チャネル領域Rでの抗原抗体反応による位相の変化量は、CPrea×(L2/L1)となり、この値はチャネル領域Aでの外乱による位相の変化量とは異なり、測定限界以下の値となるので、センサ回路20における位相・振幅検出回路23では検出されず、PC24には入力されない。
また、上述した差動検出では、チャネル領域Aとチャネル領域Rとで、同じ表面構造にできるので、測定が簡易化できる。つまり、チャネル領域A、Bいずれの領域においてもチャネル領域上の多孔性機材に抗原を含んだ溶液を滴下すればよいため、測定を容易に行うことができる。
また、略同じ量の外乱による変換量をそのままキャンセルせず、チャネル領域Rの変化量の値を(長さL1/長さL2)倍すればよいため、チャネル領域Rはチャネル領域Aより小さい面積で構成できるため、SAWセンサ1の検出領域の占有率を低減できる。
このように、本発明によれば、測定の精度を向上できるとともに、簡易に測定でき、かつ、検出領域の小さい弾性表面波センサを提供することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の第2の実施形態について説明する。
なお、以下に示す各実施形態の説明では、図面において前述と同様な構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
本実施形態では、チャネル領域Aを有するSAWセンサ2_1と、チャネル領域Rを有するSAWセンサ2_2とにおいて、入力電極を共通とする構成について説明する。
図3に示すように、SAWセンサ2はSAWセンサ2_1とSAWセンサ2_2とを有する。
図3に示すSAWセンサ2では、図1に示すSAWセンサ1に対して、SAWセンサ1_1のIDT11−1(送信電極11−1a、及び送信電極11−1b)とSAWセンサ1_2のIDT11−3(送信電極11−3a、及び送信電極11−3b)とを共通とし、IDT11−1としている。また、共通化されたIDT11−1を間に挟んで、チャネル領域Aとチャネル領域Rとが互いに反対側に配置されている。
測定に関する方法は、第1の実施形態において説明した測定方法と同じであり、図6に示すセンサ回路20を用いて測定され、チャネル領域Aにおける抗原が特定される。
SAWセンサ2では、入力電極を削減できるので、サイズの小さい弾性表面波センサを提供することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の第3の実施形態について説明する。
本実施形態では、SAWセンサ3_1と、SAWセンサ3_2とにおいて、入力電極を共通とし、また、チャネル領域についても共通とする構成について説明する。
図4は、本発明の第3の実施形態に係るSAWセンサ3の構成を示す模式図である。
図4に示すように、SAWセンサ3はSAWセンサ3_1とSAWセンサ3_2とを有する。
図4に示すSAWセンサ3では、図1に示すSAWセンサ1に対して、SAWセンサ1_1のIDT11−1(送信電極11−1a、及び送信電極11−1b)とSAWセンサ1_2のIDT11−3(送信電極11−3a、及び送信電極11−3b)とを共通とし、IDT11−1としている。また、共通化されたIDT11−1と、SAWセンサ3_1のIDT11−2(受信電極11−2a、及び受信電極11−2b)、及びSAWセンサ3_2のIDT11−4(受信電極11−4a、及び受信電極11−4b)電極との間に、チャネル領域Aとチャネル領域Rとを共通化したチャネル領域Cが設けられる。
測定に関する方法は、第1の実施形態において説明した測定方法と同じであり、図6に示すセンサ回路20を用いて測定され、チャネル領域Aにおける抗原が特定される。
SAWセンサ2では、入力電極を省略できるとともに、チャネル領域を共通化できるので、さらにサイズの小さい弾性表面波センサを提供することができる。また、チャネル領域C上の多孔性基材に、抗原を含む溶液を滴下すれば、SAWセンサ3_1のチャネル領域とSAWセンサ3_2のチャネル領域において抗原抗体反応が起きるので、測定の際、抗原を含む溶液を滴下するという作業を繰り返し行う必要がなくなり、簡易な測定を行うことができる。
Claims (6)
- 測定対象における目標の変化量が外乱による変化量に対して小さな場合において、
差動検出を行うために、第1弾性表面波素子と、第2弾性表面波素子とを有し、
前記第2弾性表面波素子の伝搬距離を前記第1弾性表面波素子の伝搬距離に対して、外乱と測定対象の変化量の比率に応じて設定する、
ことを特徴とする弾性表面波センサ。 - 測定対象における目標の変化量が外乱による変化量に対して小さな場合において、
差動検出を行うために、第1弾性表面波素子と、第2弾性表面波素子とを有し、
前記第2弾性表面波素子の伝搬距離を前記第1弾性表面波素子の伝搬距離に対して、前記第2弾性表面波素子での測定対象の変化量を弾性表面波センサの検出限界より小さく設定する、
ことを特徴とする弾性表面波センサ。 - 測定対象における目標の変化量が外乱による変化量に対して小さな場合において、
差動検出を行うために、第1弾性表面波素子と、第2弾性表面波素子とを有し、
前記第2弾性表面波素子の伝搬距離を前記第1弾性表面波素子の伝搬距離に対して、外乱と測定対象の変化量の比率と、前記第2弾性表面波素子での測定対象の変化量を弾性表面波センサの検出限界より小さく設定する、
ことを特徴とする弾性表面波センサ。 - 1つの入力電極と、2つの出力電極により構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の弾性表面波センサ。 - 1つの入出力電極と、反射器により構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の弾性表面波センサ。 - 測定対象における目標の変化量が抗原抗体反応による変化であり、
外乱による変化量が、負荷が空気である状態と負荷が試料用水である状態との間における変化である、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の弾性表面波センサ。
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