JP2015051174A - 探触子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】探触子は、エレメント101と該エレメントの取り出し電極102とを備えるトランスデューサ、取り出し電極に電気的に接続された配線を備えるフレキシブル配線基板103、エレメント上に設けられた、段差部を有する音響レンズ104を有する。音響レンズ104は、段差部においてフレキシブル配線基板103の端部に突き当たって固定されている。
【選択図】図1
Description
。
以下、より具体的な実施例1を示す。本実施例では、シリコンウエハ上に、複数の静電容量型トランスデューサと取り出し電極とを、半導体プロセスによって作製する。シリコンウエハから、基板を縦50mm、横10mmに切り出す。エレメント101は縦方向に1次元的に配列されていて、取り出し電極102はそれぞれの静電容量型トランスデューサの左または右に配置されている。
上記静電容量型トランスデューサは、超音波診断装置などの被検体情報取得装置に適用することができる。被検体からの音響波をトランスデューサで受信し、出力される電気信号を用い、光吸収係数などの被検体の光学特性値を反映した被検体情報や音響インピーダンスの違いを反映した被検体情報を取得できる。
Claims (8)
- エレメントと該エレメントの取り出し電極とを備えるトランスデューサと、
前記取り出し電極に電気的に接続された配線を備えるフレキシブル配線基板と、
前記エレメント上に設けられた、段差部を有する音響レンズと、を有し、
前記音響レンズは、前記段差部において前記フレキシブル配線基板の端部に突き当たって固定されていることを特徴とする探触子。 - 前記エレメントと前記取り出し電極とが配置された矩形の基板を有し、前記音響レンズの前記段差部により画される突出部が、前記基板の少なくも一組の対向する2辺側に配置された前記フレキシブル配線基板の端部と前記基板とにより形成される凹部に嵌合するように配置され、前記突出部の底面が前記基板に接着されていることを特徴とする請求項1に記載の探触子。
- 前記フレキシブル配線基板の配線は、異方性導電膜によって前記取り出し電極に接着されていることを特徴とする請求項1または2に記載の探触子
。 - 前記基板と前記フレキシブル配線基板とを接着する際に発生する前記異方性導電膜のはみ出し部が、前記段差部と前記フレキシブル配線基板の端部とで形成される凹部または前記基板に形成された凹部に来るように前記音響レンズが搭載されたことを特徴とする請求項3に記載の探触子
。 - 前記エレメントは、第一の電極と、前記第一の電極と間隙を介して設けられた第二の電極を含む振動膜と、を備えるセルを1つ以上含むことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の探触子。
- 請求項1から5の何れか1項に記載の探触子の製造方法であって、
前記取り出し電極を、異方性導電膜を介して前記フレキシブル配線基板の配線と電気的に接続させる工程と、
前記トランスデューサ上に接着剤を塗布する工程と、
前記フレキシブル配線基板の端部と前記基板とが形成する凹部に前記音響レンズの突出部を嵌合することにより前記音響レンズの位置決めをして、前記接着剤に前記音響レンズを接触させる工程と、
前記音響レンズと前記基板に圧力を印加して両者を押し付けたまま、加熱することにより前記音響レンズを前記トランスデューサ上に接着する工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。 - 請求項1から5の何れか1項に記載の探触子と、前記探触子が出力する電気信号を用いて被検体の情報を取得する処理部と、を有し、
前記探触子は、被検体からの音響波を受信し、前記電気信号を出力することを特徴とする被検体情報取得装置。 - 請求項1から5の何れか1項に記載の探触子と、光源と、処理部と、を有し、
前記探触子は、前記光源から発振した光が被検体に照射されることにより発生する音響波を受信して電気信号に変換し、
前記処理部は、前記電気信号を用いて被検体の情報を取得することを特徴とする被検体情報取得装置。
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