JP2015050156A - 基板載置台及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被処理体が不必要に改質されることを防止することができる基板載置台及びプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】基板載置台は、基板支持部及び円環状のカバー部材を備える。基板支持部は、第1上面及び第2上面を有する。第1上面は、被処理体を支持する円形の面である。第2上面は、第1上面の径方向外側の下方において環状に延在する面である。カバー部材は、第1上面よりも大きな外径を有するとともに被処理体よりも小さい内径を有する。カバー部材は、第1上面に直交する方向からみて第1上面に支持された被処理体の周囲を囲むように配置される。カバー部材は、その下面が第2上面の全周に亘って第2上面と接触して配置されている。
【選択図】図2
【解決手段】基板載置台は、基板支持部及び円環状のカバー部材を備える。基板支持部は、第1上面及び第2上面を有する。第1上面は、被処理体を支持する円形の面である。第2上面は、第1上面の径方向外側の下方において環状に延在する面である。カバー部材は、第1上面よりも大きな外径を有するとともに被処理体よりも小さい内径を有する。カバー部材は、第1上面に直交する方向からみて第1上面に支持された被処理体の周囲を囲むように配置される。カバー部材は、その下面が第2上面の全周に亘って第2上面と接触して配置されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、基板載置台及びプラズマ処理装置に関する。
プラズマ処理装置の処理容器の内面は、その内部で行われるプラズマ処理の結果、改質する場合があることが知られている(例えば特許文献1参照。)特許文献1には、シリコン又はシリコンカーバイドからなる電極の表面がプラズマに露出されることが記載されている。そして、特許文献1には、プラズマ処理中に、汚染物質が電極の表面に堆積してマイクロマスクを形成し、電極の表面が針状又は棒状の改質された形態(ブラックシリコン、ブラックシリコンカーバイド)となることが記載されている。
上述した改質は、被処理体をプラズマ処理する際にも同様に発生し得る。例えば、特許文献2には、シリコンからなる被処理体の外周部における所定領域において、いわゆるブラックシリコンが発生することが記載されている。そして、特許文献2記載の装置では、ベベルカバーリングと称されるリング状の部材を、被処理体の周囲を囲むように配置してブラックシリコンの発生を防止している。ベベルカバーリングは、その内周壁の一端部の全周に亘り、径方向内側方向に突出した庇部を有している。ベベルカバーリングが被処理体の周囲に配置されることで、被処理体の外縁から所定幅の領域を庇部が覆うことになるため、当該領域がプラズマに晒されることを回避することができる。これにより、被処理体の表面にブラックシリコンが発生することを防止することが可能となる。
しかしながら、特許文献2記載のプラズマ処理装置にあっては、例えば被処理体の側面においてブラックシリコンが発生する場合がある。ここで、ブラックシリコンの発生原因と考えられているマイクロマスクをエッチングにより除去し、ブラックシリコンの発生を防止する手法も考えられるが、プロセスが複雑化するおそれがある。このため、本技術分野では、被処理体が不必要に改質されることを、プロセスを改善することなく防止することが望まれている。
すなわち、本発明の一側面に係る基板載置台は、円形の被処理体を収容してプラズマ処理を行う処理容器内に配置され、前記被処理体を支持する基板載置台である。該基板支持台は、基板支持部及びカバー部材を備える。基板支持部は、第1上面及び第2上面を有する。第1上面は、被処理体を支持する円形の上面である。第2上面は、第1上面の径方向外側の下方において環状に延在する上面である。カバー部材は、第1上面よりも大きな外径を有するとともに被処理体よりも小さい内径を有する円環状の部材である。カバー部材は、第1上面に直交する方向からみて第1上面に支持された被処理体の周囲を囲むように配置される。そして、カバー部材は、その下面が第2上面の全周に亘って第2上面と接触して配置されている。
この基板載置台では、第1上面よりも大きな外径を有するとともに被処理体よりも小さい内径を有するカバー部材を用いて、基板支持部の第1上面の外縁及び被処理体の外縁を覆うため、基板支持部の第1上面の外縁及び被処理体の外縁部が直接プラズマに晒されることを回避することができる。よって、被処理体の外縁部の表面が改質されることを防止することが可能となる。さらに、カバー部材の下面が第2上面の全周に亘って第2上面と接触して配置される。このため、カバー部材の内側から外側へカバー部材の下方を通るように流れる処理ガスを遮断することができる。したがって、被処理体の側方に処理ガスが流れ込むことを防止し、被処理体の側面が改質されることを防止することが可能となる。このように、プロセスを改善することなく、被処理体が不必要に改質されることを防止することができる。
一実施形態では、カバー部材は、本体部及び庇部を有してもよい。本体部は、第1上面の直径よりも内径が大きいリング状を呈する。庇部は、本体部の内周の一端部に設けられ、本体部の径方向内側に突出され該カバー部材の内径を形成する。このように構成することで、庇部によって基板支持部の第1上面の外縁及び被処理体の外縁部を適切に覆うことができる。
一実施形態では、カバー部材の下面は、第2上面の全面と接触してもよい。このように構成することで、プラズマからカバー部材へ付与された熱が基板支持部へ伝導するため、カバー部材の温度上昇を抑制することができる。このため、カバー部材の内部に位置する被処理体の側面の反応を抑制することが可能となる。
本発明の他の側面に係るプラズマ処理装置は、処理容器及び基板載置台を備える。処理容器は、円形の被処理体を収容してプラズマ処理を行う。基板載置台は、処理容器内に配置され、被処理体を支持する。該基板支持台は、基板支持部及びカバー部材を備える。基板支持部は、第1上面及び第2上面を有する。第1上面は、被処理体を支持する円形の上面である。第2上面は、第1上面の径方向外側の下方において環状に延在する上面である。カバー部材は、第1上面よりも大きな外径を有するとともに被処理体よりも小さい内径を有する円環状の部材である。カバー部材は、第1上面に直交する方向からみて第1上面に支持された被処理体の周囲を囲むように配置される。そして、カバー部材は、その下面が第2上面の全周に亘って第2上面と接触して配置されている。
上記プラズマ処理装置によれば、上述した基板載置台と同様の効果を奏する。
以上説明したように、本発明の種々の側面及び実施形態によれば、プロセスを改善することなく、被処理体が不必要に改質されることを防止することができる。
以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
図1は、本実施形態に係るプラズマ処理装置の構成を示す概略断面図である。プラズマ処理装置は、処理容器1を有する。処理容器1は、気密に構成され、電気的に接地電位さてれている。処理容器1は、円筒状とされ、例えばアルミニウム等から構成されている。処理容器1内には、基板載置台94が収容されている。基板載置台94は、被処理体である半導体ウェハ(以下、単に「ウェハ」という。)Wを水平に支持する。基板載置台94は、ベース2、静電チャック6及びベベルカバーリング5を備える。なお、ベース2及び静電チャック6は、本発明の一形態における基板支持部に相当し、ベベルカバーリング5は、本発明の一形態におけるカバー部材に相当する。また、ウェハWは例えばシリコンから形成される。
ベース2は、円柱状を呈する。ベース2は、例えばアルミニウム等で構成されており、下部電極としての機能を有する。ベース2は、絶縁板3を介して導体の支持台4に支持される。また、ベース2及び支持台4の周囲を囲むように、例えば石英等からなる円筒状の内壁部材3aが設けられている。ベース2の上方の外周には、円環状のベベルカバーリング5が設けられている。ベベルカバーリング5の詳細な構成については、後述する。
ベース2には、第1の整合器11aを介して第1のRF電源10aが接続される。また、ベース2には、第2の整合器11bを介して第2のRF電源10bが接続される。第1のRF電源10aは、プラズマ発生用である。この第1のRF電源10aからは所定周波数(27MHz以上例えば100MHz)の高周波電力がベース2に供給される。また、第2のRF電源10bは、イオン引き込み用(バイアス用)である。この第2のRF電源10bからは第1のRF電源10aより低い所定周波数(32MHz以下、例えば13.56MHz)の高周波電力がベース2に供給される。一方、ベース2の上方には、ベース2と平行に対向するように、シャワーヘッド16が設けられている。シャワーヘッド16及びベース2は、一対の電極(上部電極と下部電極)として機能する。
ベース2の上面には、静電チャック6が設けられている。静電チャック6は、円板状を呈する。静電チャック6は、図1では省略しているが、その上面が階段状の三平面とされている。静電チャック6の詳細については後述する。なお、最も中心に位置する平面がウェハWを支持するための支持面(第1上面)6eとなる。
ウェハ支持面6eは、円形を呈する。ウェハ支持面6eは、ウェハWの裏面全体と接触して円板状のウェハWを支持してもよい。すなわち、ウェハ支持面6eの直径は、ウェハWの直径と同一か、又はウェハWの直径よりも大きく、ウェハ支持面6eがウェハWの裏面全体と熱的に接触した構成であってもよい。以下では、ウェハ支持面6eの直径が、ウェハWの直径よりも大きい場合を一例として説明する。この静電チャック6は、絶縁体6bの間に電極6aを介在させて構成されている。電極6aには直流電源12が接続される。そして、電極6aに直流電源12から直流電圧が印加される。これにより、電極6aとウェハWとの間にクーロン力が発生し、発生したクーロン力によってウェハWの裏面全体がウェハ支持面6eに吸着される。このようにして、ウェハWは静電チャック6のウェハ支持面6eに支持される。
支持台4の内部には、冷媒流路4aが形成されている。冷媒流路4aには、冷媒入口配管4b、冷媒出口配管4cが接続される。そして、冷媒流路4aには、適宜の冷媒、例えば冷却水等が循環する。これにより、支持台4及びベース2を所定の温度に制御可能な構成とされている。また、ベース2等を貫通するように、バックサイドガス供給配管30が設けられている。バックサイドガス供給配管30は、ウェハWの裏面側にヘリウムガス等の冷熱伝達用ガス(ウェハWと熱交換する冷却ガス:バックサイドガス)を流通させる。バックサイドガス供給配管30は、図示しないバックサイドガス供給源に接続される。上記構成により、静電チャック6によってウェハ支持面6eに吸着支持されたウェハWは、所定の温度に制御される。ウェハWは裏面全体がウェハ支持面6eに接触しているため、ウェハWとウェハ支持面6eとの熱伝導が好適に行われる。
前述したシャワーヘッド16は、処理容器1の天壁部分に設けられている。シャワーヘッド16は、本体部16aと電極板をなす上部天板16bとを備えている。シャワーヘッド16は、絶縁性部材17を介して処理容器1の上部に支持される。本体部16aは、導電性材料、例えば表面が陽極酸化処理されたアルミニウムからなる。本体部16aは、その下部に上部天板16bを着脱自在に支持できるように構成されている。
本体部16aの内部には、ガス拡散室16cが設けられている。このガス拡散室16cの下部に位置するように、本体部16aの底部には、多数のガス通流孔16dが形成されている。また、上部天板16bには、当該上部天板16bを厚さ方向に貫通するようにガス導入孔16eが、上記したガス通流孔16dと重なるように設けられている。このような構成により、ガス拡散室16cに供給された処理ガスは、ガス通流孔16d及びガス導入孔16eを介して処理容器1内にシャワー状に分散されて供給される。なお、本体部16a等には、冷媒を循環させるための図示しない配管が設けられている。当該構成により、プラズマエッチング処理中にシャワーヘッド16が所望の温度に冷却される。
本体部16aには、ガス拡散室16cへエッチング用の処理ガスを導入するためのガス導入口16fが形成されている。このガス導入口16fにはガス供給配管14aが接続されている。ガス供給配管14aの他端には、エッチング用の処理ガスを供給する処理ガス供給源14が接続されている。ガス供給配管14aには、上流側から順にマスフローコントローラ(MFC)14b、及び開閉弁V1が設けられている。そして、処理ガス供給源14からプラズマエッチングのための処理ガスが、ガス供給配管14aを介してガス拡散室16cに供給される。そして、処理ガスが、ガス拡散室16cから、ガス通流孔16d及びガス導入孔16eを介して処理容器1内にシャワー状に分散されて供給される。
また、本体部16aには、ガス拡散室16cへアッシング用の処理ガスを導入するためのガス導入口16gが形成されている。このガス導入口16gにはガス供給配管15aが接続されている。ガス供給配管15aの他端には、アッシング用の処理ガスを供給する処理ガス供給源15が接続される。ガス供給配管15aには、上流側から順にマスフローコントローラ(MFC)15b、及び開閉弁V2が設けられている。そして、処理ガス供給源15からプラズマエッチングのための処理ガスが、ガス供給配管15aを介してガス拡散室16cに供給される。そして、処理ガスが、ガス拡散室16cから、ガス通流孔16d及びガス導入孔16eを介して処理容器1内にシャワー状に分散されて供給される。
前述した上部電極としてのシャワーヘッド16には、ローパスフィルタ(LPF)71を介して可変直流電源72が電気的に接続される。この可変直流電源72は、オン・オフスイッチ73により給電のオン・オフが可能な構成とされている。可変直流電源72の電流電圧ならびにオン・オフスイッチ73のオン・オフは、後述する制御部90によって制御される。なお、後述のように、第1のRF電源10a、第2のRF電源10bから高周波がベース2に印加されて処理空間にプラズマが発生する際には、必要に応じて制御部90によりオン・オフスイッチ73がオンとされ、上部電極としてのシャワーヘッド16に所定の直流電圧が印加される。
処理容器1の天井部には、環状又は同心状に延在する磁場形成機構17aが設けられている。この磁場形成機構17aは、処理空間における高周波放電の開始(プラズマ着火)を容易にして放電を安定に維持するよう機能する。また、処理容器1の側壁からシャワーヘッド16の高さ位置よりも上方に延びるように円筒状の接地導体1aが設けられている。この円筒状の接地導体1aは、その上部に天壁を有している。
処理容器1の底部には、排気口81が形成されている。排気口81には、排気管82を介して排気装置83が接続される。排気装置83は、真空ポンプを有している。真空ポンプを作動させることにより処理容器1内を所定の真空度まで減圧する。一方、処理容器1の側壁には、ウェハWの搬入出口84が設けられている。搬入出口84には、当該搬入出口84を開閉するゲートバルブ85が設けられている。
処理容器1の側部内側には、内壁面に沿ってデポシールド86が設けられている。デポシールド86は、処理容器1にエッチング副生成物(デポ)が付着することを防止する。このデポシールド86のウェハWと略同じ高さ位置には、グランドに対する電位が制御可能に接続された導電性部材(GNDブロック)89が設けられている。これにより、異常放電が防止される。また、デポシールド86の下端部には、内壁部材3aに沿って延在するデポシールド87が設けられている。デポシールド86,87は、着脱自在とされている。
次に、静電チャック6及びベベルカバーリング5の詳細な構成について説明する。図2は、静電チャック6及びベベルカバーリング5の周辺を拡大して模式的に示す断面図である。
図2に示すように、静電チャック6の上面は、互いに高さの異なる三平面6e,6f,6gを有している。三平面6e,6f,6gは、静電チャック6のウェハ支持面6eに直交する方向からみて同心円を構成しており、最も上方かつ中心に位置する円形の平面がウェハ支持面6eである。ウェハ支持面6eを環状に囲んで延在する平面がリング支持面(第2上面)6fである。リング支持面6fは、ウェハ支持面6eよりも下方に位置する。リング支持面6fを環状に囲んで延在する平面が支持面6gである。支持面6gは、リング支持面6fよりも下方に位置する。このように、静電チャック6の上面は、中心から径方向外側に向かって、ウェハ支持面6e、リング支持面6f、支持面6gの順に並んで構成されている。
ベベルカバーリング5は、円環状のリング部材51を有する。リング部材51は、リング支持面6f及びリング支持部材52上に配置されている。リング部材51は、その下面51cがリング支持面6fの全周に亘ってリング支持面6fと面接触している。さらに、リング部材51は、その下面51cの径方向の長さDFがリング支持面6fの径方向の長さDEよりも長くなるように構成されている。すなわち、リング部材51の下面51cは、リング支持面6fの全面と接触している。なお、静電チャック6の電極6aがリング支持面6fの直下に延在し、リング部材51の下面51cとリング支持面6fとを吸着により保持してもよい。
リング支持部材52は、静電チャック6の支持面6gに支持された円環状の部材である。リング支持部材52の上面52aは、リング支持面6fと同一の高さである。これにより、リング部材51がリング支持面6f及びリング支持部材52上に支持される。リング支持部材52の上面52aには、凸部52bが形成されている。リング部材51は、その下面51cに凹部51gが凸部52bに対応して形成されている。リング部材51の凹部51gがリング支持部材52の凸部52bと嵌合することで、リング部材51は、水平方向に拘束されて所定の位置で位置決めされる。
リング部材51は、静電チャック6のウェハ支持面6eに直交する方向からみてウェハ支持面6eに支持されたウェハWの周囲を囲むように配置される。リング部材51は、本体部51a及び庇部51bを有する。本体部51aは、ウェハ支持面6eの直径DBよりも外径DA及び内径が大きい円筒部材(リング形状の部材)である。庇部51bは、本体部51aの内周壁の上端部(一端部)の全周に亘り、本体部51aの内周壁よりも径方向内側に突出するように設けられている。庇部51bは、ウェハ支持面6eの外縁と、静電チャック6に支持されているウェハWの外周部WEにおける所定領域(外縁部)とを庇部51bが覆うように設けられている。すなわち、ウェハ支持面6eの直径DB及びウェハWの直径DOよりも、庇部51bによって形成された窓の直径DIが小さくなるように、庇部51bが設けられている。そして、このリング部材51は、該リング部材51の中心軸M1がベース2及び静電チャック6の中心軸M2と同軸となるように配置される。また、リング部材51は、ウェハWの表面とウェハWの表面に対向するリング部材51の裏面(すなわち庇部51bの裏面)との間に空隙Kが形成されるように配置されている。リング部材51は、庇部51bにより、プラズマがウェハWの外周部WEにおける所定領域に回り込むことを防止する。リング部材51として、石英又はイットリア(Y2O3)を用いることができる。
リング部材51には、下面51cから上面に延びる穴部51dが形成されている。静電チャック6には、リング部材51に形成された穴部51dに対応して穴部6cが形成されている。リフトピン53は、穴部6c内に上下動可能に設けられている。リフトピン53は、駆動機構54(図1参照)により上下駆動される。リフトピン53が上昇するとき、リフトピン53の先端が、リング部材51の穴部51dの上面を押し上げることによって、リング部材51が上昇する。
静電チャック6には、下方から上方に延びる貫通孔6dが形成されている。静電チャック6には、貫通孔6dが形成されている。リフトピン61は、貫通孔6d内に上下動可能に設けられている。リフトピン61は、駆動機構62(図1参照)により上下駆動される。リフトピン61が上昇するとき、リフトピン61の先端が、ウェハWを押し上げることによって、ウェハWが上昇する。
上記構成のプラズマ処理装置は、制御部90によって、その動作が統括的に制御される。この制御部90は、プロセスコントローラ91、ユーザインターフェース92、及び記憶部93を有する。プロセスコントローラ91は、CPUを備えプラズマ処理装置の各部を制御する。
ユーザインターフェース92は、工程管理者がプラズマ処理装置を管理するためにコマンドの入力操作を行うキーボード、プラズマ処理装置の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等を有する。
記憶部93には、制御プログラムや処理条件データ等が記憶されたレシピが格納されている。制御プログラムは、プロセスコントローラ91によって実行され、プラズマ処理装置で実行される各種処理を実現するためのプログラムである。
制御部90は、ユーザインターフェース92からの指示等にて任意のレシピを記憶部93から呼び出してプロセスコントローラ91に実行させる。これにより、プロセスコントローラ91の制御下で、プラズマ処理装置での所望の処理が行われる。なお、記憶部93に格納されたプログラム及びデータは、外付けの記憶媒体に格納されて提供されてもよい。このような外付けの媒体としては、例えば、ハードディスク、CD、フレキシブルディスク、半導体メモリ等が挙げられる。また、記憶部93に格納されたプログラム及びデータは、他の装置からオンラインで伝送されることで提供されてもよい。
次に、プラズマエッチング方法について説明する。図3から図6は、静電チャック6にウェハWが支持される際の、ウェハW及びベベルカバーリング5の状態を模式的に示す断面図である。
始めに、静電チャック6にウェハWが支持されていない状態で(図3参照)、リフトピン53を駆動機構54により上昇させる。上昇したリフトピン53により、リング部材51が突き上げられて上昇する(図4参照)。
次いで、ゲートバルブ85が開かれる。ゲートバルブ85には、図示しないロードロック室が連通している。ロードロック室には、表面にレジストパターンが形成されたウェハWが収容されている。そして、ウェハWが、ロードロック室から、図示しない搬送ロボット等により、搬送される。ウェハWは、搬入出口84を通過し、処理容器1内の静電チャック6上に搬入される。そして、リフトピン61を駆動機構62により上昇させ、上昇したリフトピン61によりウェハWが搬送ロボットから受け取られる(図5参照)。
次いで、搬送ロボットを処理容器1外に退避させ、ゲートバルブ85を閉じる。そして、リフトピン61を駆動機構62により下降させ、ウェハWが静電チャック6に載置される(図6参照)。さらに、直流電源12から静電チャック6の電極6aに所定の直流電圧が印加される。これにより、ウェハWはクーロン力により静電吸着され、支持される。すなわち、ウェハWは、裏面全体が静電チャック6のウェハ支持面6eに接触した状態で支持される。
次いで、リフトピン53を駆動機構54により下降させる。これにより、リング部材51が下降して、静電チャック6上に位置する。このときの状態は、図2に示した状態となる。このように、ウェハ支持面6eの外縁及びウェハWの外周部WEにおける所定領域が、リング部材51の庇部51bにより覆われる。
なお、リング部材51の庇部51bの径方向の長さは、収容されるウェハWとの関係から設定されてもよい。図7は、ベベルカバーリング5及びウェハWの配置の詳細を説明する概要図である。図7に示すように、ウェハWは、リング部材51の庇部51bにより覆われた状態で静電チャック6に支持されている。ウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅Lの領域において、ウェハWはリング部材51により覆われている。ここでは、ウェハWの表面にはレジストパターンが形成されているが、ウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅L1の領域では、レジストPRは除去されており、ウェハWの基体表面が露出している場合を説明する。この場合、所定幅Lは、少なくとも所定幅L1よりも大きい。従って、下記式(1)
L>L1 (1)
となる。ここで、リング部材51の内径をDIとし、ウェハWの外径をDOとするとき(図2参照)、DI、DO、Lは、下記式(2)
L=(DO−DI)/2 (2)
の関係を満たす。従って、式(1)、式(2)に基づいて、下記式(3)
DI<DO−2L1 (3)
の関係を満たす。このように、リング部材51の庇部51bの内径DIは、ウェハWの外径DOと、所定幅L1とに基づいて定められたものであってもよい。
L>L1 (1)
となる。ここで、リング部材51の内径をDIとし、ウェハWの外径をDOとするとき(図2参照)、DI、DO、Lは、下記式(2)
L=(DO−DI)/2 (2)
の関係を満たす。従って、式(1)、式(2)に基づいて、下記式(3)
DI<DO−2L1 (3)
の関係を満たす。このように、リング部材51の庇部51bの内径DIは、ウェハWの外径DOと、所定幅L1とに基づいて定められたものであってもよい。
ウェハWの搬入及びリング部材51の配置が終了すると、排気装置83の真空ポンプにより排気口81を介して処理容器1内が排気される。そして、エッチング用の処理ガスのプラズマをウェハWに照射することによって、エッチング処理が行われる。
エッチング処理では、処理容器1内が所定の真空度になった後、処理容器1内に処理ガス供給源14から所定の処理ガス(エッチングガス)が導入される。その後、処理容器1内が所定の圧力に保持される。レジストパターンをマスクとしてウェハWの基体であるSiをエッチングするときは、処理ガスとして、以下のガスが用いられる。例えば、Cl2、Cl2+HBr、Cl2+O2、CF4+O2、SF6、Cl2+N2、Cl2+HCl、HBr+Cl2+SF6等のいわゆるハロゲン系ガスを用いることができる。あるいは、ウェハWの表面にSiO2、SiN等のハードマスク膜が単層又は複数層形成されており、レジストパターンをマスクとしてそれらのハードマスク膜をエッチングするときは、処理ガスとして、以下のガスが用いられる。例えば、CF4、C4F8、CHF3、CH3F、CH2F2等のCF系ガスと、Arガス等の混合ガス、又は、この混合ガスに必要に応じて酸素を添加したガス等を用いることができる。上記処理ガスを導入した状態で、第1のRF電源10aからベース2へ、例えば周波数100MHzの高周波電力が供給される。そして、上記処理ガスを導入した状態で、第2のRF電源10bからベース2へ、例えば周波数13.56MHzの高周波電力(バイアス用)が供給される。
そして、下部電極であるベース2に高周波電力が印加されることにより、上部電極であるシャワーヘッド16と下部電極であるベース2との間には電界が形成される。ウェハWが存在する処理空間には放電が生じ、この放電によって形成された処理ガスのプラズマがウェハWに照射される。照射されたプラズマにより、外周部WEにおける所定領域がリング部材51により覆われた状態で、静電チャック6に支持されているウェハWの表面がウェハWの表面に形成されたレジストパターンをマスクとして異方性エッチングされる。
そして、上記したエッチング処理が終了すると、引続いて、残存するレジストを除去するアッシング処理が行われる。すなわち、アッシング用の処理ガスのプラズマをウェハWに照射することによって、エッチング処理を行う。
アッシング処理においては、処理容器1内が所定の真空度になっている状態で、処理容器1内に、処理ガス供給源15から所定の処理ガス(アッシングガス)が導入され、処理容器1内が所定の圧力に保持される。処理ガスとして、例えばO2ガス、NOガス、N2Oガス、H2Oガス、O3ガス等のガスを用いることができる。上記処理ガスを導入した状態で、第1のRF電源10aからベース2へ、例えば周波数100MHzの高周波電力が供給される。そして、上記処理ガスを導入した状態で、第2のRF電源10bからベース2へ、例えば周波数13.56MHzの高周波電力(バイアス用)が供給される。
そして、下部電極であるベース2に高周波電力が印加されることにより、上部電極であるシャワーヘッド16と下部電極であるベース2との間には電界が形成される。ウェハWが存在する処理空間には放電が生じる。この放電によって形成された処理ガスのプラズマがウェハWに照射される。ウェハWは、外周部WEにおける所定領域がリング部材51により覆われた状態で静電チャック6に支持されている。照射されたプラズマにより、ウェハWの表面に残存するレジストがアッシングされて除去される。
このようにして、エッチング処理とアッシング処理が行われた後、高周波電力の供給、直流電圧の供給及び処理ガスの供給が停止され、前述の手順とは逆の手順で、ウェハWが処理容器1内から搬出される。なお、レジストパターンをマスクとしてハードマスク膜をエッチングした場合には、当該ハードマスク膜を用いてウェハWをエッチングするエッチング処理が行われてもよい。
以上、本実施形態に係るプラズマ処理装置及び基板載置台94によれば、ウェハWをエッチングする際に、ウェハWの外周部WEにおける所定領域において表面荒れが発生することを防止することができる。例えば、レジストパターンが形成されたウェハWをプラズマ処理する場合を説明する。ここで、ウェハWは、ウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅の領域においてレジストが除去されているとする。この場合には、ウェハWの基体表面が露出した状態でエッチングされることになる。そのため、露出したウェハWの基体表面がプラズマに曝されることによって、図8に示すように、ウェハWの外周部WEにおける所定領域においてウェハWの基体表面に表面荒れ、いわゆるブラックシリコンが発生することがある。一方、本実施形態に係るプラズマ処理装置によれば、ウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅の領域において、ウェハWはリング部材51により覆われている。これにより、エッチング処理において、ウェハWの外周部WEにおける所定領域にプラズマが回り込むのを防止することができる。そのため、ウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅の領域において露出しているウェハWの基体表面がプラズマに曝されず、ウェハWの外周部WEにおいてウェハWの基体表面に表面荒れが発生することを防止することができる。すなわち、ウェハWの外周部WEを保護することができる。
さらに、本実施形態に係るプラズマ処理装置及び基板載置台94によれば、ウェハWをエッチングする際に、ウェハWの側面WSにおいて表面荒れが発生することを防止することができる。対比のために、従来のプラズマ処理装置の基板載置台を説明する。図9は、従来の基板載置台を説明する断面図である。図9に示す基板載置台は、ベベルカバーリング5を備える。このベベルカバーリング5は、上側リング部材510及び下側リング部材55を有する。
上側リング部材510は、リング状の部材であって、静電チャック6の支持面6eに直交する方向からみて支持面6eに支持されたウェハWの周囲を囲むように配置される。下側リング部材55は、上側リング部材510に対応したリング形状を有している。下側リング部材55の上面には、リング形状の溝55aが形成されている。上側リング部材510は、下側リング部材55の上面に形成されたリング形状の溝55aに嵌合することによって、水平方向に拘束される。
下側リング部材55は、周方向に沿って複数箇所(例えば3箇所)に、下側リング部材55を上下に貫通する貫通孔55bが形成されている。上側リング部材510において、貫通孔55bに対応する部分には、突起部510cが形成されている。上側リング部材510は、下側リング部材55に形成された貫通孔55bに突起部510cが嵌合することによって下側リング部材55に対する周方向に沿った移動が拘束される。また、上側リング部材510は、突起部510cが静電チャック6のリング支持面6fと接触することで、支持されている。すなわち、上側リング部材510と下側リング部材55との間には、空隙KGが形成される。図10は、図9の基板載置台のガス流れを説明する概要図である。図10に示すように、上述した空隙KGは、上側リング部材510の下方において、ベベルカバーリング5の内側から外側へと連通している。排気装置83が作動すると、処理容器1の底部の排気口81へ向かって気流が発生する。このとき、空隙KGにおいても、ベベルカバーリング5の内側から外側へ向かって気流が発生する。このため、処理ガスGが、図中の矢印に示すように、ベベルカバーリング5の内側から外側へ向かって上側リング部材510の下方を通るように流れる。このとき、領域R1で示す部分を処理ガスが流通するため、汚染物質がウェハWの側面に堆積してマイクロマスクを形成する場合がある。このため、図8に示すように、ウェハWの側面WSが、電極の表面が針状又は棒状の改質された形態(ブラックシリコン)となるおそれがある。
これに対して、本実施形態に係るプラズマ処理装置及び基板載置台94によれば、リング部材51の下面51cがリング支持面6fの全周に亘ってリング支持面6fと接触して配置される。このため、リング部材51の内側から外側へリング部材51の下方を通るように流れる処理ガスを遮断することができる。したがって、ウェハWの側方に処理ガスが流れ込むことを防止し、ウェハWの側面が改質されることを防止することが可能となる。さらに、リング部材51の下面51cがリング支持面6fの全周に亘ってリング支持面6fと接触して配置されることで、リング部材51の温度上昇が抑制される。図7に示すように、プラズマによって熱H1がリング部材51へ与えられるが、リング部材51から熱H2がリング支持面6fを介して静電チャック6へ伝導する。このように、リング部材51が冷却能力の高い静電チャック6に直接配置されていることで、リング部材51の温度上昇が効果的に抑制される。したがって、ウェハWの側方付近に処理ガスが存在したとしても温度上昇が低いため、処理ガスとウェハWとの反応の進行を妨げることができる。よって、ウェハWの側面が改質されることを防止することが可能となる。また、従来の上側リング部材510に比べてリング部材51は容積が大きいため、プラズマ入熱による温度上昇を一層抑制することができ、結果、ウェハWの側面が改質されることを一層防止することが可能となる。このように、プロセスを改善することなく、ウェハWが不必要に改質されることを防止することができる。
さらに、本実施形態に係るプラズマ処理装置及び基板載置台94によれば、ウェハWの裏面全体がウェハ支持面6eと接触するため、ウェハWの外周部WEまで均一に温度制御をすることができる。エッチングはラジカル反応が支配的に寄与するため、プラズマ照射によるウェハWの温度の上昇を制御する必要がある。特に、貫通孔又はビアホールを形成する工程では、ウェハWをプラズマに長時間晒す必要があるため、プラズマ照射によるウェハWの温度の上昇を積極的に抑える必要がある。ウェハW面内において温度差が生じないように温度を制御しなければ、ウェハW面内においてエッチングレートの不均一の要因となるとともに、ホール深さの不均一性に影響する。本実施形態に係るプラズマ処理装置では、ウェハWの裏面全体がウェハ支持面6eと接触する構成を採用することで、ウェハWの外周部WEまで均一に温度制御をすることができるとともに、ウェハW面内におけるエッチングレートを均一にすることが可能となる。よって、ウェハW面内においてホール深さの均一性を向上させることができる。また、単にウェハ支持面6eの直径DSをウェハWの直径DOよりも大きくした場合には、ウェハ支持面6eがプラズマに直接晒されるおそれがある。本実施形態に係るプラズマ処理装置によれば、ウェハ支持面6eの外縁及びウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅の領域を覆うベベルカバーリング5を用いることで、ウェハ支持面6eの外縁及びウェハWの外周部WEであってウェハWの外縁から所定幅の領域が直接プラズマに曝されることを回避することができる。
以上、一実施形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、基板載置台94が処理容器1の下部に配置される例を説明したが、基板載置台94は、ウェハ支持面6eを下向きにして処理容器1の上部に配置される場合であってもよい。
また、上記実施形態では、ウェハ支持面6eの直径がウェハWの直径と同一か、又はウェハWの直径よりも大きくされている例を説明したが、ウェハ支持面6eの直径がウェハWの直径よりも小さい場合であってもよい。
また、上記実施形態では、リング部材51の下降の前に、静電チャック6によるウェハWの静電吸着を行う例について説明したが、リング部材51が下降した後に、静電チャック6によるウェハWの静電吸着を行ってもよい。
また、上記実施形態では、ベベルカバーリング5を処理中に連続して装着する例を説明したが、処理に応じて取り外してもよい。
また、上記実施形態では、リング部材51の下面5cがリング支持面6fの全面に配置される場合を説明したが、下面5cがリング支持面6fの全面に配置されていなくてもよい。すなわち、リング部材51の下面5cがリング支持面6fの全周に亘ってリング支持面6fと接触していれば、下面5cの径方向の長さを変更してもよい。以下、図11を用いて、変形例を説明する。図11は、変形例に係るプラズマ処理装置の構成を示す概略断面図である。図11は、図2に示すプラズマ処理装置とほぼ同様に構成されており、ベベルカバーリング5がリング部材51及び外側リング部材56を備える点のみが相違する。このため、図2との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
ベベルカバーリング5は、リング部材51及び外側リング部材56を備える。リング部材51は、図2のリング部材51とほぼ同様に構成されており、リング支持面6f上に配置されている。リング部材51は、下方に延在する突起部51eを有している。突起部51eの下面51cがリング支持面6fの全周に亘ってリング支持面6fと面接触している。
外側リング部材56は、リング支持部材52の上面52aに支持された円環状の部材である。外側リング部材56は、その下面56cに凹部56gが凸部52bに対応して形成されている。外側リング部材56の凹部56gがリング支持部材52の凸部52bと嵌合することで、外側リング部材56は、水平方向に拘束されて所定の位置で位置決めされる。また、外側リング部材56の側面と静電チャック6とによって形成される空間に突起部51eが挿入されて、リング部材51が水平方向に拘束されて位置決めされる。その他の構成は、図2と同様である。
以上、変形例に係るプラズマ処理装置及び基板載置台94によれば、リング部材51の下面51cがリング支持面6fの全周に亘ってリング支持面6fと接触して配置される。このため、上述した実施形態に係るプラズマ処理装置及び基板載置台94と同様の効果を奏する。
以下、上記効果を説明すべく本発明者が実施した実施例及び比較例について述べる。
(実施例)
図2に示す基板載置台を用いた。当該基板載置台にて、ウェハWを処理した。具体的には、レジストパターンをマスクとしてハードマスク膜をエッチングし、当該ハードマスク膜を用いてウェハWをエッチングするエッチング処理を行った。ウェハWはシリコンを用いた。
(比較例)
図9に示す基板載置台を用いた。当該基板載置台にて、ウェハWを処理した。処理条件は、実施例と同一である。
(実施例)
図2に示す基板載置台を用いた。当該基板載置台にて、ウェハWを処理した。具体的には、レジストパターンをマスクとしてハードマスク膜をエッチングし、当該ハードマスク膜を用いてウェハWをエッチングするエッチング処理を行った。ウェハWはシリコンを用いた。
(比較例)
図9に示す基板載置台を用いた。当該基板載置台にて、ウェハWを処理した。処理条件は、実施例と同一である。
実施例及び比較例の装置によって処理されたウェハWの側面(図8のWS)の断面をSEM像で観察した。ウェハWの側面の観察位置を図12に示す。図12はウェハWの上面図である。図12に示すウェハWの側面WS1〜WS4において、それぞれSEM像を撮像した。結果を図13及び図14に示す。図13は比較例の観察結果、図14は実施例の観察結果である。図13,13の(A)はウェハWの側面WS1の断面SEM像、(B)はウェハWの側面WS2の断面SEM像、(C)はウェハWの側面WS3の断面SEM像、(D)はウェハWの側面WS4の断面SEM像である。各SEM像の下に表示されている絵はSEM像の概要を示すものである。図13の(B),(C)に示すように、比較例では、ウェハWの上面及び側面において、表面が荒れていることが確認された。すなわち、ブラックシリコンが発生していることが確認された。一方、図14の(B),(C)に示すように、実施例では、ウェハWの上面及び側面において、表面が荒れていないことが確認された。すなわち、ブラックシリコンの発生が防止されていることが確認された。
1…処理容器、2…載置台、4…支持台、5…ベベルカバーリング、5b…庇部、6…静電チャック、16…シャワーヘッド、51…リング部材、52…リング支持部材、90…制御部。
Claims (4)
- 円形の被処理体を収容してプラズマ処理を行う処理容器内に配置され、前記被処理体を支持する基板載置台であって、
前記被処理体を支持する円形の第1上面、及び、前記第1上面の径方向外側の下方において環状に延在する第2上面を有する基板支持部と、
前記第1上面に直交する方向からみて前記第1上面に支持された前記被処理体の周囲を囲むように配置され、前記第1上面よりも大きな外径を有するとともに前記被処理体よりも小さい内径を有する円環状のカバー部材と、
を備え、
前記カバー部材は、その下面が前記第2上面の全周に亘って前記第2上面と接触して配置されている基板載置台。 - 前記カバー部材は、
前記第1上面の直径よりも内径が大きいリング状の本体部と、
前記本体部の内周の一端部に設けられ、前記本体部の径方向内側に突出され該カバー部材の内径を形成する庇部と、
を有する請求項1に記載の基板載置台。 - 前記カバー部材の下面は、前記第2上面の全面と接触する請求項1又は2に記載の基板載置台。
- 円形の被処理体を収容してプラズマ処理を行う処理容器と、
前記処理容器内に配置され、前記被処理体を支持する基板載置台と、
を備え、
前記基板載置台は、
前記被処理体を支持する円形の第1上面、及び、前記第1上面の径方向外側の下方において環状に延在する第2上面を有する基板支持部と、
前記第1上面に直交する方向からみて前記第1上面に支持された前記被処理体の周囲を囲むように配置され、前記第1上面よりも大きな外径を有するとともに前記被処理体よりも小さい内径を有する円環状のカバー部材と、
有し、
前記カバー部材は、その下面が前記第2上面の全周に亘って前記第2上面と接触して配置されているプラズマ処理装置。
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