JP2014187231A - プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】エッチングレートの局所的な偏りの発生を抑制することができるとともに、チャージアップダメージの発生を抑制することのできるプラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置を提供する。
【解決手段】プラズマエッチング装置を用い、被処理基板のシリコン層をエッチングするプラズマエッチング方法であって、処理チャンバー内の圧力を1.33Pa以上とするとともに、下部電極に第1の周波数の第1高周波電力と、第1の周波数より低い第2の周波数の第2高周波電力であって1MHz以下の周波数の第2高周波電力を印加する。
【選択図】図1
【解決手段】プラズマエッチング装置を用い、被処理基板のシリコン層をエッチングするプラズマエッチング方法であって、処理チャンバー内の圧力を1.33Pa以上とするとともに、下部電極に第1の周波数の第1高周波電力と、第1の周波数より低い第2の周波数の第2高周波電力であって1MHz以下の周波数の第2高周波電力を印加する。
【選択図】図1
Description
本発明は、プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置に関する。
従来から、半導体装置の製造工程では、エッチングガスをプラズマ化して被処理基板(半導体ウエハ)に作用させ、被処理基板のシリコン層等をエッチングするプラズマエッチングが用いられている。このようなプラズマエッチングでは、被処理基板の一部に電荷が蓄積して放電(アーキング)が発生し、絶縁破壊が生じる等の所謂チャージアップダメージが生じる場合があり、このようなチャージアップダメージの発生を抑制するための技術が従来から開発されている(例えば、特許文献1参照。)。
ところで、シリコンエッチングで高いエッチングレートを得る方法として、ラジカルが多いプラズマ状態でプラズマエッチングを行う方法が一般的である。また、このようなプラズマエッチングにおいては、被処理基板上のデバイスの金属汚染を低減するために、被処理基板と対向する対向電極(上部電極)の対向面を石英部材等で覆うことが行われている。
しかしながら、このように上部電極に誘電体を配置すると、実効的なアノードカソード面積比が低下し、被処理基板に掛かる自己バイアス電圧(Vdc)が小さくなる。そのため被処理基板直上のシースが薄くなり、プラズマ中の電子がシースを飛び越えて被処理基板に入射しやすくなる。そのため、被処理基板はプラズマの不均一分布の影響を受けやすくなり、例えば被処理基板の中央部のエッチングレートが高くなる等エッチングレートの局所的な偏りが発生する場合、チャージアップダメージが発生する場合が多くなる。
また、プラズマエッチング装置では、プロセス性能の向上のため、真空処理容器の上部天板に設けた上部電極を駆動させて、真空処理容器の下部に設けた下部電極との間隔(プロセスギャップ)を制御する構成とすることが望まれている。一般的に、上部電極を駆動させる駆動機構部には、大気と真空を遮蔽する金属素材からなるシール材としてベローズを用いている。この場合、真空処理容器の接地(グランド)と、上部電極を含めた上部天板全体との間のインピーダンスが大きくなる傾向にある。そのため、実効的なアノードカソード面積比がさらに低下し、更なるエッチングレートの局所的な偏りやチャージアップダメージを誘発してしまうという問題がある。
近年の半導体デバイスの製造工程においては、上述のようなチャージアップダメージを誘発しやすい装置構成での、プロセス条件の最適化等プロセス性能の向上が必須となってきている。
本発明は、上記の事情に対処してなされたもので、エッチングレートの局所的な偏りの発生を抑制することができるとともに、チャージアップダメージの発生を抑制することのできるプラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置を提供しようとするものである。
本発明のプラズマエッチング方法の一態様は、被処理基板を収容する処理チャンバーと、前記処理チャンバー内に配設され、前記被処理基板が載置される下部電極と、前記処理チャンバー内に配設され、前記下部電極と対向する上部電極と、前記処理チャンバー内に所定のエッチングガスを供給するエッチングガス供給機構と、前記処理チャンバー内を排気する排気機構と、を具備したプラズマエッチング装置を用い、前記被処理基板のシリコン層をエッチングするプラズマエッチング方法であって、前記処理チャンバー内の圧力を13.3Pa以上とするとともに、前記下部電極に第1の周波数の第1高周波電力と、前記第1の周波数より低い第2の周波数の第2高周波電力であって1MHz以下の周波数の第2高周波電力を印加することを特徴とする。
本発明のプラズマエッチング装置の一態様は、被処理基板を収容する処理チャンバーと、前記処理チャンバー内に配設され、前記被処理基板が載置される下部電極と、前記処理チャンバー内に配設され、前記下部電極と対向する上部電極と、前記処理チャンバー内に所定のエッチングガスを供給するエッチングガス供給機構と、前記処理チャンバー内を排気する排気機構と、前記下部電極に80MHz以上150MHz以下の周波数の第1高周波電力を印加する第1高周波電源と、前記下部電極に1MHz以下の周波数の第2高周波電力を印加する第2高周波電源と、を具備し、前記被処理基板のシリコン層をエッチングすることを特徴とする。
本発明によれば、エッチングレートの局所的な偏りの発生を抑制することができるとともに、チャージアップダメージの発生を抑制することのできるプラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、第1実施形態に係るプラズマエッチング装置の概略構成を模式的に示す図である。図1に示すプラズマエッチング装置100は、気密に構成され、電気的に接地電位とされた処理チャンバー1を有している。
この処理チャンバー1は、円筒状とされ、例えば表面に陽極酸化皮膜を形成されたアルミニウム等から構成されている。処理チャンバー1内には、被処理基板である半導体ウエハWが略水平に載置される載置台2が設けられている。この載置台2は、下部電極を兼ねたものであり、例えばアルミニウム等の導電性材料で構成されており、絶縁板3を介して導体の支持台4に支持されている。また、載置台2上の外周部分には、半導体ウエハWの周囲を囲むように、SiC等から環状に形成されたフォーカスリング5が設けられている。
載置台2には、第1マッチングボックス11aを介して第1高周波電源10aが接続されるとともに、第2マッチングボックス11bを介して第2高周波電源10bが接続されている。第1高周波電源10aからは、周波数の高い、例えば80MHz〜150MHzの周波数(本実施形態では100MHz)の高周波電力が載置台2に供給されるようになっている。一方、第2高周波電源10bからは、第1高周波電源10aより低く、かつ、1MHz以下の周波数(本実施形態では0.4MHz)の高周波電力が載置台2に供給されるようになっている。
一方、載置台2に対向してその上方には、シャワーヘッド16が載置台2と平行に対向して設けられており、このシャワーヘッド16は接地電位とされている。したがって、これらのシャワーヘッド16と載置台2とは、一対の対向電極(上部電極と下部電極)として機能するようになっている。
載置台2の上面には、半導体ウエハWを静電吸着するための静電チャック6が設けられている。この静電チャック6は絶縁体6bの間に電極6aを介在させて構成されており、電極6aには直流電源12が接続されている。そして電極6aに直流電源12から直流電圧が印加されることにより、クーロン力等によって半導体ウエハWが吸着されるよう構成されている。
載置台2の内部には、図示しない冷媒流路が形成されており、その中に適宜の冷媒を循環させてその温度を制御できるようになっている。また、載置台2には、半導体ウエハWの裏面側にヘリウムガス等のバックサイドガス(裏面側伝熱ガス)を供給するためのバックサイドガス供給配管30a,30bが接続されており、バックサイドガス供給源31から半導体ウエハWの裏面側にバックサイドガスを供給できるようになっている。なお、バックサイドガス供給配管30aは半導体ウエハWの中央部に、バックサイドガス供給配管30bは半導体ウエハWの周縁部にバックサイドガスを供給するためのものである。このような構成によって、半導体ウエハWを所定の温度に制御可能となっている。また、フォーカスリング5の外側下方には排気リング13が設けられている。排気リング13は支持台4を通して処理チャンバー1と導通している。
処理チャンバー1の天壁部分に、載置台2に対向するように設けられたシャワーヘッド16には、その下面に多数のガス吐出孔18が設けられており、かつその上部にガス導入部16aが設けられている。そして、その内部には空間17が形成されている。ガス導入部16aにはガス供給配管15aが接続されており、このガス供給配管15aの他端には、プラズマエッチング用の処理ガス(エッチングガス)等を供給する処理ガス供給系15が接続されている。なお、シャワーヘッド16には、載置台2との対向面を覆うように、石英部材16bが配設されている。
処理ガス供給系15から供給されるガスは、ガス供給配管15a、ガス導入部16aを介してシャワーヘッド16内部の空間17に至り、ガス吐出孔18から、半導体ウエハWに向けて吐出される。
処理チャンバー1の下部には、排気ポート19が形成されており、この排気ポート19には排気系20が接続されている。そして排気系20に設けられた真空ポンプを作動させることにより処理チャンバー1内を所定の真空度まで減圧することができるようになっている。一方、処理チャンバー1の側壁には、半導体ウエハWの搬入出口を開閉するゲートバルブ24が設けられている。
上記構成のプラズマエッチング装置100は、制御部60によって、その動作が統括的に制御される。この制御部60は、CPUを備えプラズマエッチング装置100の各部を制御するプロセスコントローラ61と、ユーザインターフェース部62と、記憶部63とを具備している。
ユーザインターフェース部62は、工程管理者がプラズマエッチング装置100を管理するためにコマンドの入力操作を行うキーボードや、プラズマエッチング装置100の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等から構成されている。
記憶部63には、プラズマエッチング装置100で実行される各種処理をプロセスコントローラ61の制御にて実現するための制御プログラム(ソフトウエア)や処理条件データ等が記憶されたレシピが格納されている。そして、必要に応じて、ユーザインターフェース部62からの指示等にて任意のレシピを記憶部63から呼び出してプロセスコントローラ61に実行させることで、プロセスコントローラ61の制御下で、プラズマエッチング装置100での所望の処理が行われる。また、制御プログラムや処理条件データ等のレシピは、コンピュータで読取り可能なコンピュータ記録媒体(例えば、ハードディスク、CD、フレキシブルディスク、半導体メモリ等)などに格納された状態のものを利用したり、或いは、他の装置から、例えば専用回線を介して随時伝送させてオンラインで利用したりすることも可能である。
次に、上記構成のプラズマエッチング装置100で、半導体ウエハWをプラズマエッチングする手順について説明する。まず、ゲートバルブ24が開かれ、半導体ウエハWが図示しない搬送ロボット等により、図示しないロードロック室を介して処理チャンバー1内に搬入され、載置台2上に載置される。この後、搬送ロボットを処理チャンバー1外に退避させ、ゲートバルブ24を閉じる。そして、排気系20の真空ポンプにより排気ポート19を介して処理チャンバー1内が排気される。
処理チャンバー1内が所定の真空度になった後、処理チャンバー1内には処理ガス供給系15から所定のエッチングガスが導入され、処理チャンバー1内が所定の圧力、例えば13.3Pa(100mTorr)以上に保持され、この状態で第1高周波電源10a、第2高周波電源10bから載置台2に、高周波電力が供給される。このとき、直流電源12から静電チャック6の電極6aに所定の直流電圧が印加され、半導体ウエハWはクーロン力等により静電チャック6へ吸着される。
この場合に、上述のようにして下部電極である載置台2に高周波電力が印加されることにより、上部電極であるシャワーヘッド16と下部電極である載置台2との間には電界が形成される。これによって、半導体ウエハWが存在する処理空間には放電が生じ、それによってプラズマ化したエッチングガスにより、半導体ウエハWに所定のプラズマエッチングが施される。
そして、所定のプラズマ処理が終了すると、高周波電力の供給及びエッチングガスの供給が停止され、上記した手順とは逆の手順で、半導体ウエハWが処理チャンバー1内から搬出される。
次に、図2を参照して、第2実施形態に係るプラズマエッチング装置110の構成を説明する。図2に示すプラズマエッチング装置110は、例えば、直径が300mmのウエハWを収容する円筒状の処理チャンバー111(筒状容器)を有し、処理チャンバー111内の下方には半導体ウエハWを載置する円板形状の載置台112が配置されている。処理チャンバー111は円管状の側壁113と、側壁113の上方の端部を覆う円板状の蓋114とを有する。
処理チャンバー111には、図示しないTMP(Turbo Molecular Pump)及びDP(Dry Pump)等の排気機構が接続されており、処理チャンバー111内の圧力を所定の減圧雰囲気に維持できるようになっている。
載置台112には、第1の高周波電源115が第1の整合器116を介して接続され、且つ第2の高周波電源117が第2の整合器118を介して接続されている。第1の高周波電源115は、プラズマ生成用の比較的高い周波数、例えば80MHz以上150MHz以下(本実施形態では、100MHz)を載置台112に印加する。また、第2の高周波電源117は、第1の高周波電源115より低い周波数のバイアス電力を載置台112に印加する。本実施形態において、第2の高周波電源117の高周波電力の周波数は、1MHz以下、例えば0.4MHzとされている。
載置台112の上部には、電極板119を内部に有する静電チャック120が配置されている。静電チャック120は、円板状のセラミック部材で構成され、電極板119には、直流電源121が接続されている。電極板119に正の直流電圧が印加されると、半導体ウエハWにおける静電チャック120側の面(裏面)には負の電位が生じて電極板119及びウエハWの裏面の間に電界が生じ、この電界に起因するクーロン力等により、半導体ウエハWは静電チャック120に吸着保持される。
また、載置台112には、吸着保持された半導体ウエハWを囲うように、フォーカスリング122が載置されている。フォーカスリング122は、例えば、SiC等から構成される。
処理チャンバー111内の上方には、載置台112と対向するようにシャワーヘッド123(移動電極)が配置されている。シャワーヘッド123は、多数のガス穴124を有する円板状の導電性の上部電極板125と、該上部電極板125を着脱可能に釣支するクーリングプレート126と、クーリングプレート126をさらに釣支するシャフト127と、シャフト127の上端に配される処理ガス受入部128とを有する。シャワーヘッド123は、蓋114及び側壁113を介して接地され、処理チャンバー111内に印加されるプラズマ生成電力に対する接地電極として機能する。なお、上部電極板125には、載置台112との対向面を覆うように、石英部材125aが配設されている。
シャフト127は、内部を上下方向に貫通するガス流路129を有し、クーリングプレート126は内部にバッファ室130を有する。ガス流路129は、処理ガス受入部128とバッファ室130を接続し、各ガス穴124は、バッファ室130と処理チャンバー111内を連通する。シャワーヘッド123において、ガス穴124、処理ガス受入部128、ガス流路129及びバッファ室130は処理ガス導入系を構成し、該処理ガス導入系は処理ガス受入部128に供給された処理ガス(エッチングガス)を処理チャンバー111内の、シャワーヘッド123と載置台112の間に存在する処理空間へ導入する。
シャワーヘッド123において、上部電極板125の外径は、処理チャンバー111の内径よりも若干小さく設定されるため、シャワーヘッド123は側壁113に接触しない。すなわち、シャワーヘッド123は処理チャンバー111内に遊合するように配置される。また、シャフト127は蓋114を貫通し、該シャフト127の上部は、プラズマエッチング装置110の上方に配置されたリフト機構(図示しない)に接続される。リフト機構はシャフト127を図中上下方向に移動させるが、このとき、シャワーヘッド123は処理チャンバー111内において該処理チャンバー111の中心軸に沿い、ピストンのように上下動する。これにより、シャワーヘッド123と載置台112の間に存在する処理空間の距離であるギャップを調整することができる。なお、シャワーヘッド123の図中上下方向に関する移動量の最大値は、例えば70mm程度である。
ベローズ131は、例えば、ステンレスからなる伸縮自在な圧力隔壁であり、その一端は蓋114に接続され、他端はシャワーヘッド123に接続される。そして、ベローズ131は、処理チャンバー111内を処理チャンバー111外部から遮蔽するシール機能を有する。
プラズマエッチング装置110では、処理ガス受入部128へ供給されたエッチングガスが処理ガス導入系を介して処理空間へ導入され、導入されたエッチングガスは、処理空間へ印加されたプラズマ生成電力によって励起されてプラズマとなる。プラズマ中の正イオンは、載置台112に印加されるバイアス電力に起因する負のバイアス電位によって載置台112に載置された半導体ウエハWに向けて引きこまれ、半導体ウエハWにエッチング処理を施す。
上述したプラズマエッチング装置110の各構成部品、例えば、第1の高周波電源115や第2の高周波電源117の動作は、プラズマエッチング装置110が備える制御部(図示しない)のCPUが、エッチング処理に対応するプログラムに応じて制御する。
ここで、プラズマエッチング装置110では、シャワーヘッド123が側壁113と接触していないため、処理空間へ印加されたプラズマ生成電力に起因する高周波電流はシャワーヘッド123を流れた後、ベローズ131、蓋114及び側壁113を流れて接地に到達するが、ベローズ131のインピーダンス(主にインダクタンス(L)成分)が大きいため、シャワーヘッド123及び蓋114の間において電位差が生じる。
上述したプラズマエッチング装置100及びプラズマエッチング装置110において、半導体ウエハWのシリコン層をプラズマエッチングする際、ラジカルエッチを主体とするエッチングで高いエッチングレートを得る方法として、高圧(例えば13.3Pa(100mTorr)以上)とし、高ハロゲン分圧領域でプラズマエッチングを行う方法がある。この場合、例えば、第1高周波電力の周波数として100MHz、第2高周波電力の周波数として13MHzを用いると、半導体ウエハの中央部のエッチングレートが高くなる等エッチングレートの局所的な偏りが発生したり、チャージアップダメージが発生する場合が多くなる。
また、デバイスへの金属汚染を低減するために、半導体ウエハWと対向する対向電極(上部電極)に石英部材16b、石英部材125aを用いている。そのため、実効的なアノードカソード面積比が低下し、半導体ウエハWに掛かるVdcが小さくなる傾向にある。Vdcが小さくなると、半導体ウエハ直上のシースも薄くなり、プラズマ中の電子がシースを飛び越えて半導体ウエハWに入射しやすくなる。そのため、半導体ウエハWのエッチング処理の状態が、プラズマの不均一な分布の影響を受けやすくなってしまう。また、一般的に、高圧条件でプラズマエッチングを行う場合や、ハロゲン元素を含有するガスを用いるなど負イオンが多く発生する条件でエッチングを行う場合は、シースが薄くなってしまうことも知られている。
さらに、プラズマエッチング装置110のように、上部電極を駆動させプロセスギャップ(上部電極と下部電極との間の間隔)を変更できる構成の場合、前述したとおり、駆動機構部にベローズ131を用いることで 上部ユニットとグランド間のインピーダンス(L成分)が大きくなるため、実効的なアノードカソード面積比がさらに低下し、その結果、エッチングレートの局所的な偏りやチャージアップダメージを誘発しやすくなる。
第2高周波電力の周波数として、従来使用されている13MHz、3MHz等を用いると、質量の大きな正イオン及び負イオンは、第2高周波電力の周期に追随することができず、主に定常的に形成されているVdcによって正イオンのみが半導体ウエハに輸送される。一方、本実施形態のように、第2高周波電力の周波数として、1MHz以下、例えば、0.4MHzを用いた場合には、質量の大きなイオンも第2高周波電力の周期に追随することができるため、プラズマから見た半導体ウエハの電位が負の時間帯は正イオンが輸送され、反対に、プラズマから見た半導体ウエハの電位が正になる時間帯には、負イオンがウエハへ輸送される。それにより、負イオンの消滅が増え、電子に対する負イオンの比率が低下することでVdcが大きくなると考えられる。
これにより、厚いシースが形成され、電子がシースを超えて半導体ウエハに入射するのを阻止することができるので、半導体ウエハ面内に顕著な電位差が生じないことになる。その結果として、エッチングレートの局所的な偏りやチャージアップダメージの発生を抑制することができる。
また、上記条件のプラズマエッチングでは、より高い電子密度を低いパワーで実現することが望ましく、第1高周波電力の周波数は、80MHz〜150MHzとすることが好ましく、100MHzとすることがより好ましい。
上記のように、第1高周波電力の周波数を80MHz〜150MHzとすることは、以下のような観点からも望ましい。すなわち、近年、生産性向上の観点から半導体ウエハを処理チャンバー内に搬入せずに処理チャンバー内でプラズマを生成し、処理チャンバー内壁に着いた付着物を除去する所謂ウエハレスのクリーニングが行われている。その際に重要となるのが、載置台の消耗であり、載置台に入射するイオンのエネルギーが低いことが望まれている。低ダメージの付着物除去プロセスをえるためには、Vdcが低く、高電子密度(高ラジカル密度)が得られる高い周波数でのプラズマ生成が望ましい。そのためには、第1高周波電力の周波数を80MHz以上とすることが必要である。
図4のグラフは、縦軸を電子密度、横軸をVdcとして、第1高周波電力の周波数を100MHzとした場合と、40MHzとして場合について、これらの関係を示したものである。このグラフに示されるように、同じプラズマ密度を達成する場合、第1高周波電力の周波数を高めることによってVdcを減少させることができる。一方、第1高周波電力の周波数が高すぎるとエッチングレートの均一性が悪くなるため、150MHzより高い周波数とすることは好ましくない。したがって、80〜150MHzの帯域の周波数を第1高周波電力の周波数として選択することで、効率的なプラズマ生成、載置台の消耗の少ないチャンバ内壁の付着物除去、エッチングレートの均一性という要求を満たすことができる。
なお、第1高周波電力の周波数を100MHz程度の高い周波数とし、第2高周波電力の周波数を13MHzとしてシリコンのプラズマエッチングを行う場合、圧力を高くしてエッチングレートを高めると、半導体ウエハの中央部でエッチングレートが高くなる傾向があった。これは、一般的に、高圧で負イオンが多い条件下でのエッチングでは、負イオンとそれに伴い正イオンが半導体ウエハ中央部に滞留しやすくなるため、半導体ウエハ中央部でのエッチングレートが増大するためと考えられる。第1高周波電力の周波数を100MHz、第2高周波電力の周波数を13MHz、圧力を20.0Pa(150mTorr)としてプラズマエッチングを行った場合のエッチングレートの面内分布の例を図5(a)のグラフに示す。このグラフに示されるように、半導体ウエハ中央部でのエッチングレートが局所的に高くなっている。
一方、上述した実施形態によれば、第2高周波電力の周波数を、質量の大きなイオンも追随することのできる周波数である1MHz以下(0.4MHz)としているので、プラズマから見た半導体ウエハの電位が正になる時間帯には、負イオンが半導体ウエハへ輸送される。それにより、負イオンの消滅が増え、電子に対する負イオンの比率が低下する。そのため、第1高周波電力の周波数を100MHzとしても、中央部に正イオンが滞留しやすくなる状態にはならない。その結果、半導体ウエハの中央部のエッチングレートが高くなることが抑制される。本実施形態により、第1高周波電力の周波数を100MHz、第2高周波電力の周波数を0.4MHz、圧力を20.0Pa(150mTorr)としてプラズマエッチングを行った場合の酸化膜のエッチングレートの面内分布の例を図5(b)のグラフに示す。このグラフと、図5(a)のグラフとを比較すると明らかなように、本実施形態によれば、半導体ウエハ中央部でのエッチングレートの局所的上昇が抑制されていることが分かる。
次に、テストウエハを用いて、プラズマによるチャージアップダメージの発生の状態を評価した結果を説明する。評価には、図3に示す構造の素子を用いた。すなわち、Si基板(半導体ウエハ)74上に、厚さ4nmのゲート酸化膜相当部分76aおよび厚さ500nmの素子分離領域76bを有するSiO2膜76を形成し、さらにその上にポリシリコン膜78を形成し、このような素子をSi基板74上にマトリクスのセル状に多数形成した。また、ポリシリコン膜78の面積Cを、ゲート酸化膜相当部分76aの面積Dの1万倍(10k)または10万倍(100k)と通常の素子よりも大きく設定して、通常のストレス試験と同様にチャージアップダメージが発生しやすい構造とした。そして、一定時間プラズマに晒した後、各素子のリーク電流を測定し、リーク電流が1×10−9A/μm2以上の場合を絶縁破壊が生じたものとし、それよりも小さい値の場合には絶縁破壊無しとした。
(実施例1)
実施例1として、図1に示したプラズマエッチング装置100を使用し、Si基板(半導体ウエハ)としては直径300mmのものを使用し、以下のプラズマエッチング条件でチャージアップダメージの発生状況の評価を行った。
処理チャンバー内圧力:20.0Pa(150mTorr)
処理ガス:HBr/NF3/O2=250/20/10sccm
第1の高周波:周波数100MHz、電力500W
第2の高周波:周波数0.4MHz、電力1000,2000,3000W
処理時間:10秒
ギャップ:35mm
の条件でプラズマに半導体ウエハを晒した。
実施例1として、図1に示したプラズマエッチング装置100を使用し、Si基板(半導体ウエハ)としては直径300mmのものを使用し、以下のプラズマエッチング条件でチャージアップダメージの発生状況の評価を行った。
処理チャンバー内圧力:20.0Pa(150mTorr)
処理ガス:HBr/NF3/O2=250/20/10sccm
第1の高周波:周波数100MHz、電力500W
第2の高周波:周波数0.4MHz、電力1000,2000,3000W
処理時間:10秒
ギャップ:35mm
の条件でプラズマに半導体ウエハを晒した。
この評価結果を以下に示す。第2の高周波電力が夫々1000,2000,3000Wの場合について、10k及び100k毎に絶縁破壊の起きなかった素子の全素子に対する%(歩留まりに相当する。)で示してある。
1000W:10k=100%、100k=100%
2000W:10k=100%、100k=100%
3000W:10k=100%、100k=87%
1000W:10k=100%、100k=100%
2000W:10k=100%、100k=100%
3000W:10k=100%、100k=87%
比較例1として、第2の高周波の周波数13MHzとした点以外は、実施例1と同一の処理条件で同様な評価を行った。この評価結果を以下に示す。
1000W:10k=95%、100k=49%
2000W:10k=79%、100k=49%
3000W:10k=71%、100k=57%
1000W:10k=95%、100k=49%
2000W:10k=79%、100k=49%
3000W:10k=71%、100k=57%
比較例2として、第2の高周波の周波数3MHzとした点以外は、実施例1と同一の処理条件で同様な評価を行った。この評価結果を以下に示す。
1000W:10k=88%、100k=32%
2000W:10k=58%、100k=3%
1000W:10k=88%、100k=32%
2000W:10k=58%、100k=3%
以上のとおり、実施例1では、第2の高周波電力が1000W,2000Wの場合、100%の素子について、絶縁破壊が生じなかった。また、3000Wの場合、10kでは、絶縁破壊が生じなかったが。100kでは、13%の素子に絶縁破壊が生じ、絶縁破壊が生じなかった素子(歩留まり)は87%であった。
これに対して、比較例1では、かなりの数の素子に絶縁破壊が生じ、特に100kの場合は、半数程度の素子に絶縁破壊が生じた。また、比較例2では、比較例1の場合以上の数の素子に絶縁破壊が生じた。
次に、実施例2として、図2に示したプラズマエッチング装置110を使用し、Si基板(半導体ウエハ)としては直径300mmのものを使用し、以下のプラズマエッチング条件でチャージアップダメージの発生状況の評価を行った。
処理チャンバー内圧力:20.0Pa(150mTorr)
処理ガス:HBr/NF3/O2=250/20/10sccm
第1の高周波:周波数100MHz、電力500W
第2の高周波:周波数0.4MHz、電力2000W
処理時間:10秒
ギャップ:35mm
の条件でプラズマに半導体ウエハを晒した。
処理チャンバー内圧力:20.0Pa(150mTorr)
処理ガス:HBr/NF3/O2=250/20/10sccm
第1の高周波:周波数100MHz、電力500W
第2の高周波:周波数0.4MHz、電力2000W
処理時間:10秒
ギャップ:35mm
の条件でプラズマに半導体ウエハを晒した。
この評価結果を以下に示す。10k及び100k毎に絶縁破壊の起きなかった素子の全素子に対する%(歩留まりに相当する。)で示してある。
2000W:10k=100%、100k=85%
2000W:10k=100%、100k=85%
上記の実施例2では、実施例1に比べると100kの場合のチャージアップダメージの発生が見られるが、比較例1、比較例2に比べると、チャージアップダメージの発生が明らかに抑制されていることが分かる。
また、上記の実施例1、比較例1、比較例2における酸化膜のエッチングレートを半導体ウエハの面内の径方向に離間した複数ポイントにおいて測定し、その平均値とばらつきを算出したところ、エッチングレートの平均値及びそのばらつきは、以下のとおりであった。
(実施例1)
1000W:33.2nm/min,±47.4%
2000W:51.4nm/min,±24.6%
3000W:67.6nm/min,±17.7%
(比較例1)
1000W:25.4nm/min,±44.8%
2000W:45.2nm/min,±37.3%
3000W:67.3nm/min,±23.9%
(比較例2)
1000W:31.2nm/min,±45.2%
2000W:60.7nm/min,±22.6%
(実施例1)
1000W:33.2nm/min,±47.4%
2000W:51.4nm/min,±24.6%
3000W:67.6nm/min,±17.7%
(比較例1)
1000W:25.4nm/min,±44.8%
2000W:45.2nm/min,±37.3%
3000W:67.3nm/min,±23.9%
(比較例2)
1000W:31.2nm/min,±45.2%
2000W:60.7nm/min,±22.6%
上記のように、実施例1では、エッチングレート及びエッチングレートの面内均一性は、比較例1と比べて良好であった。一方で、比較例2と実施例1はほぼ同一のエッチレート及びエッチングレートの面内均一性が得られているが、比較例2は上述のように絶縁破壊の発生すなわちチャージアップダメージの影響が大きくなっている。このように、実施例1では、比較例1、比較例2に比べて、チャージアップダメージの発生を大幅に抑制することができ、かつ、エッチングレート及びエッチングレートの面内均一性も良好であることを確認できた。
次に、上述したチャージアップダメージと圧力依存性を調べるため、図2に示したと同様な構造の装置(但し、第2の高周波電力の周波数は13MHz)を用い、Si基板(半導体ウエハ)としては直径300mmのものを使用し、以下のプラズマエッチング条件でチャージアップダメージの発生状況の評価を行った。
処理チャンバー内圧力:3.99Pa(30mTorr)、13.3Pa(100mTorr)、20.0Pa(150mTorr)
処理ガス:HBr/NF3/O2=250/20/10sccm
第1の高周波:周波数100MHz、電力0W
第2の高周波:周波数13MHz、電力3000W
処理時間:10秒
ギャップ:35mm
の条件でプラズマに半導体ウエハを晒した。
処理チャンバー内圧力:3.99Pa(30mTorr)、13.3Pa(100mTorr)、20.0Pa(150mTorr)
処理ガス:HBr/NF3/O2=250/20/10sccm
第1の高周波:周波数100MHz、電力0W
第2の高周波:周波数13MHz、電力3000W
処理時間:10秒
ギャップ:35mm
の条件でプラズマに半導体ウエハを晒した。
この評価結果を以下に示す。処理チャンバー内圧力が夫々3.99Pa(30mTorr)、13.3Pa(100mTorr)、20.0Pa(150mTorr)の場合について、10k及び100k毎に絶縁破壊の起きなかった素子の全素子に対する%(歩留まりに相当する。)で示してある。
圧力3.99Pa(30mTorr):10k=100%、100k=100%
圧力13.3Pa(100mTorr):10k=90%、100k=68%
圧力20.0Pa(150mTorr):10k=67%、100k=48%
圧力3.99Pa(30mTorr):10k=100%、100k=100%
圧力13.3Pa(100mTorr):10k=90%、100k=68%
圧力20.0Pa(150mTorr):10k=67%、100k=48%
上記の評価結果に示されるように、処理チャンバー内圧力が13.3Pa(100mTorr)以上の高圧になると、チャージアップダメージが顕著に現れることが分かった。
なお、本発明は上記の実施形態及び実施例に限定されるものではなく、各種の変形が可能であることは、勿論である。
1……処理チャンバー、2……載置台、10a……第1高周波電源、10b……第2高周波電源、16……シャワーヘッド、W……半導体ウエハ。
Claims (6)
- 被処理基板を収容する処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に配設され、前記被処理基板が載置される下部電極と、
前記処理チャンバー内に配設され、前記下部電極と対向する上部電極と、
前記処理チャンバー内に所定のエッチングガスを供給するエッチングガス供給機構と、
前記処理チャンバー内を排気する排気機構と、
を具備したプラズマエッチング装置を用い、前記被処理基板のシリコン層をエッチングするプラズマエッチング方法であって、
前記処理チャンバー内の圧力を13.3Pa以上とするとともに、
前記下部電極に第1の周波数の第1高周波電力と、前記第1の周波数より低い第2の周波数の第2高周波電力であって1MHz以下の周波数の第2高周波電力を印加する
ことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1記載のプラズマエッチング方法であって、
前記第1の周波数が80MHz以上150MHz以下である
ことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1又は2記載のプラズマエッチング方法であって、
前記エッチングガスがハロゲン元素を含むガスを含む
ことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 被処理基板を収容する処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に配設され、前記被処理基板が載置される下部電極と、
前記処理チャンバー内に配設され、前記下部電極と対向する上部電極と、
前記処理チャンバー内に所定のエッチングガスを供給するエッチングガス供給機構と、
前記処理チャンバー内を排気する排気機構と、
前記下部電極に80MHz以上150MHz以下の周波数の第1高周波電力を印加する第1高周波電源と、
前記下部電極に1MHz以下の周波数の第2高周波電力を印加する第2高周波電源と、
を具備し、
前記被処理基板のシリコン層をエッチングする
ことを特徴とするプラズマエッチング装置。 - 請求項4記載のプラズマエッチング装置であって、
前記上部電極の前記下部電極との対向面に、石英部材が配設されていることを特徴とするプラズマエッチング装置。 - 請求項4又は5記載のプラズマエッチング装置であって、
前記上部電極が上下動可能とされ、当該上部電極と前記下部電極との間の間隔を変更可能とされていることを特徴とするプラズマエッチング装置。
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