JP2015042736A - 潜在性硬化触媒、熱硬化性樹脂組成物及び樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[IV]熱硬化性樹脂、硬化剤及び無機質充填剤を必須成分とする上記[III]記載の熱硬化性樹脂組成物。
[V]上記無機質充填剤として、平均粒子径が0.01〜3μmの金属酸化物を必須成分とて含有することを特徴とする[IV]記載の熱硬化性樹脂組成物。
[VI]上記[III]〜[V]のいずれかに記載の半導体封止用樹脂組成物により半導体素子が封止されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
本発明の潜在性硬化触媒は、下記一般式(1)
本発明の硬化触媒である金属キサンテート化合物は、市販されているものをそのまま使用してもよいし、公知の方法により適宜製造したものを使用してもよい。金属キサンテート化合物の製造方法は、特に限定されるものではなく、例えば、キサンテート酸塩に用いた金属元素よりもイオン化傾向の小さい金属元素を有する金属塩の弱(酸)塩基遊離反応により合成できる。
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂に、先に説明した金属キサンテート構造を有する潜在性硬化触媒を必須成分として含有するものである。本発明の熱硬化性樹脂組成物として、上記成分にさらに、硬化剤、無機質充填剤を含有するものであってもよい。また、必要に応じて、カップリング剤、離型剤、着色剤、応力緩和剤、表面改質剤といった各種添加剤を追加したものであってもよい。以下、本発明による熱硬化性樹脂組成物を構成する主な成分について説明する。
硬化物の物性向上を目的とする場合に用いる無機質充填剤としては、シリカ、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられ、コスト、特性のバランスを考えるとシリカが最適である。無機質充填剤の配合割合は、樹脂組成物中に30〜90質量%含有することが好ましい。この配合割合が、30質量%未満であると硬化物の反りが大きくなり、又、信頼性が低下するおそれがあり、90質量%を超えると流動性が低下して成形性が低下するおそれがある。無機質充填剤の配合割合は、樹脂組成物中に、50〜90質量%であることがより好ましく、封止材用途では75〜90質量%であることが特に好ましい。
(合成例1)カリウムキサンテート化合物[2,2−ジメチルペンタン−3−イル キサントゲン酸カリウム]の合成
アルゴン雰囲気下、カリウム tert−ブトキシド 4.4g(30.12mmol、1.0当量)をテトラヒドロフラン(THF)90mL中に溶解したものを、0℃まで冷却した後、2,2−ジメチル−3−ペンタノール 4.4g(30.12mmol、1.1当量)を加え溶解した。この溶液を1時間撹拌後、二硫化炭素 5g(43.03mmol、1.1当量)を滴下し、5時間撹拌した。その後、THFを減圧除去して黄色生成物を得た。その生成物をアセトンに溶解し、不純物と分離するために吸引ろ過を行った。そのろ液にジエチルエーテルを加え再沈殿させ、減圧下溶媒を除去した。得られた生成物を、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、黄色粉末状の生成物を6.350g(27.56mmol、収率70.66%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 12.59g(54.75mmol、3.2当量)を蒸留水50mLに溶解したものを、無水ガリウム(III)クロリド 3g(17.04mmol、1当量)水溶液40mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、メタノールで洗浄し、P2O5で真空乾燥した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、黄色粉末状の生成物を6.63g(13.41mmol、収率:78.68%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 3.71g(16.10mmol、2.2当量)を蒸留水100mLに溶解したものを、亜鉛(II)クロリド 1g(7.34mmol、1当量)水溶液50mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、2時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、メタノールで洗浄し、P2O5で真空乾燥した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、白色粉末状の生成物を2.91g(6.49mmol、収率:88.52%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 2.76g(15.07mmol、2.2当量)を蒸留水100mLに溶解したものを、無水カドミウム(II)クロリド 1g(5.45mmol、1当量)水溶液50mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、メタノールで洗浄し、P2O5で真空乾燥した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、白色粉末状の生成物を2.40g(4.75mmol、収率:87.10%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 7.54g(15.07mmol、2.2当量)を蒸留水100mLに溶解したものを、インジウム(III)塩化四水和物 3g(10.20mmol、1当量)水溶液50mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、メタノールで洗浄し、P2O5で真空乾燥した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、白色粉末状の生成物を6.18g(8.97mmol、収率:87.96%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 1.53g(6.64mmol、2.2当量)を蒸留水50mLに溶解したものを、硝酸鉛(II)塩 1g(3.02mmol、1当量)水溶液30mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、メタノールで洗浄し、P2O5で真空乾燥した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、灰色粉末状の生成物を1.29g(2.15mmol、収率:71.35%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 3.74g(16.24mmol、2.2当量)を蒸留水80mLに溶解したものを、無水塩化銅(II) 1g(7.38mmol、1当量)水溶液40mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、メタノールで洗浄し、P2O5で真空乾燥した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、黄緑色粉末状の生成物を2.84g(6.36mmol、収率:86.24%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 2.76g(11.98mmol、4.2当量)を蒸留水50mLに溶解したものを、塩化スズ(IV)四水和物 1g(2.85mmol、1当量)水溶液30mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、水、水/メタノール(1:3)の混合溶液、メタノールの順で洗浄した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、暗褐色状の液体生成物を1.78g(2.01mmol、収率:70.60%)得た。
合成例1で得られたカリウムキサンテート化合物 1.20g(5.216mmol、3.2当量)を蒸留水50mLに溶解したものを、酒石酸アンチモンカリウム水和物 1g(1.63mmol、1当量)水溶液40mL中に、室温で撹拌しながら滴下した後、3時間撹拌を行った。反応生成物を吸引ろ過し、水、水/メタノール(1:3)の混合溶液、メタノールの順で洗浄した。得られた生成物をクロロホルム中に抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥、ろ過、真空下で濃縮し、黄緑色の液体生成物を0.78g(1.12mmol、収率:68.77%)得た。
表1に示した配合により、実施例1〜7、比較例1〜3の各熱硬化性樹脂組成物を以下の通り調製し、特性を評価した。なお、ここで使用した材料は以下の通りである。
エポキシ樹脂2:ビスフェノールA型臭素化エポキシ樹脂(旭化成エポキシ株式会社製、商品名:AER−755;当量 460)
硬化剤2:フェノールアラルキル樹脂(商品名:XL2253L;当量 280)
硬化触媒2:合成例4の生成物であるカドミウム(II)キサンテート化合物
硬化触媒3:合成例8の生成物であるスズ(IV)キサンテート化合物
硬化促進剤2:イミダゾール(四国化成株式会社製、商品名:2P4MZ;2−フェニル−4−メチルイミダゾール)
硬化促進剤3:ジメチルウレア(サンアプロ社製、商品名:U−CAT3512T)
無機充填剤2:チタニア(平均粒径 0.03μm;石原産業株式会社製、商品名:TTD−55)
無機充填剤3:球状溶融シリカ(平均粒径 20μm;デンカ株式会社製)
着色剤:カーボンブラック(三菱化学株式会社製、商品名:MA−600)
離型剤:カルナバワックス1号(東洋ペトロ株式会社製)
表1に示したように、エポキシ樹脂1を9質量部、エポキシ樹脂2を1質量部、硬化剤1を4質量部、無機質充填剤3を85質量部、硬化触媒1を1質量部、カップリング剤を0.3質量部、着色剤を0.2質量部、離型剤を0.4質量部、を常温でドライブレンドした後、樹脂温度90〜95℃で加熱混練し、冷却後、粉砕して熱硬化性樹脂組成物を製造した。
硬化剤1を硬化剤2に変更し、エポキシ樹脂1と硬化剤2の配合量を変更した以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を0.9質量部とし、さらに硬化促進剤1を0.03質量部併用した以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を0.9質量部とし、さらに硬化促進剤2を0.01質量部併用した以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を0.9質量部とし、さらに硬化促進剤3を0.05質量部併用した以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を硬化触媒2とした以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を硬化触媒3とした以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を0.4質量部、無機質充填剤3を80質量部とし、さらに無機質充填剤1であるアルミナ(平均粒径 1μm)を7質量部配合した以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を0.4質量部、無機質充填剤3を80質量部とし、さらに無機質充填剤2であるチタニア(平均粒径 0.03μm)を7質量部配合した以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を硬化促進剤1 0.2質量部とした以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を硬化促進剤2 0.2質量部とした以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
実施例1の硬化触媒1を硬化促進剤3 0.2質量部とした以外は、実施例1と同様の方法を用いて熱硬化性樹脂組成物を製造した。
(1)溶融粘度変化
得られた熱硬化性樹脂組成物の初期(製造直後)及び40℃にて7日間放置後の2条件において、フローテスター(株式会社島津製作所製、商品名:CFT−500)を用いて、175℃、荷重98N(剪断応力 1.23×105Paの環境下)における溶融粘度を測定した。これらのゲル化時間から下記式(A)にしたがって溶融粘度の変化率を算出した。
溶融粘度変化率(%)=40℃にて7日間放置後の溶融粘度/初期の溶融粘度×100 …(A)
得られた熱硬化性樹脂組成物のゲルタイムをストロークキュア法で、140℃および180℃の温度で測定した。
得られた熱硬化性樹脂組成物の初期(製造直後)及び40℃にて7日間放置後の2条件において、該樹脂組成物を用いて評価用素子を搭載したQFP80pin(14mm×14mm×1.3mm)を成形した。その後、軟X線装置(株式会社島津製作所製、商品名:MSX−1000)を用いて10個のパッケージのベント部及びコーナー部におけるワイヤーの変化量の有無を調べ、最も変形した箇所の変位量をワイヤー変形量とし、ワイヤー変形率〈(ワイヤー変形量)/(ワイヤーの長さ)×100〉を算出した。ワイヤーはφ18μm、長さ3.5mmの金ワイヤーを用いた。
また、この潜在性硬化触媒を、微細な金属酸化物と併用することで、その反応性を向上させることができ、硬化触媒量が少なくても十分な硬化性を発揮し、低温での硬化性も向上させることができる。
Claims (6)
- 前記一般式(1)におけるMが、Li、Be、B、Na、Mg、Al、Si、K、Ca、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sb、Cs、Ba、La、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Hg、Pb、Bi、Ce、Nb、Sm、Eu、Gd、Ho、Er又はTmである請求項1記載の潜在性硬化触媒。
- 請求項1又は2記載の潜在性硬化触媒を必須成分として含有することを特徴とする熱硬化性樹脂組成物。
- 熱硬化性樹脂、硬化剤及び無機質充填剤を必須成分として含有することを特徴とする請求項3記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記無機質充填剤として、平均粒子径が0.01〜3μmの金属酸化物を必須成分として含有することを特徴とする請求項4記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 請求項3〜5のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物により半導体素子が封止されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
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