JP2015037079A - 環境制御型透過電子顕微鏡の使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分解能の劣化は試料114の電流密度の関数ではなく電子ビームの合計電流の関数であることから、環境制御型透過電子顕微鏡100の試料チャンバ138内での気体のイオン化が分解能劣化の原因と結論した。そこで、試料チャンバ138内に電場を印加し、イオン化された気体を除去して分解能の劣化を抑制した。電場は、強い場である必要はなく、たとえば試料チャンバ138において電源144を介して試料114にバイアス電圧を100Vほど印加することで十分である。或いは、試料チャンバ138内において、光軸104に対して垂直な電場を、電気的にバイアス印加されたワイヤ又は金網を光軸104を外した状態で設けることによって実現しても良い。
【選択図】図1
Description
− 電子ビームを発生させる電子源;
− 試料チャンバ内に設けられる試料へ電子ビームを導く収束系;
− 前記試料を透過する電子を検出系上で結像する結像系;
− 前記試料チャンバ内で気体の圧力と気体の組成を制御する気体制御系;
を有する。
− 電子ビームを発生させる電子源;
− 試料チャンバ内に設けられる試料へ電子ビームを導く収束系;
− 前記試料を透過する電子を検出系上で結像する結像系;
− 前記試料チャンバの少なくとも一部において0.5乃至50mbarの圧力に維持する、前記試料チャンバ内で気体の圧力と気体の組成を制御する気体制御系;
を有する。動作時において当該ETEMは気体は、誘起する分解能の劣化に悩まされている。
102 電子源
104 光軸
106 収束系
108 レンズ
110 照射部
112 偏向器
114 試料
116 試料ホルダ
118 結像系
120 照射部
122 拡大レンズ
124 偏向器
126 検出器
128 気体制御系
130 流入チャネル
132 戻りチャネル
134 開口部
136 開口部
138 試料チャンバ
140 試料チャンバの壁
142 絶縁部
144 電源
146 電気リード
148 電気フィードスルー
150 環状電極
152 環状電極
154 偏向板
Claims (6)
- 環境制御型透過電子顕微鏡の使用方法であって、当該環境制御型透過電子顕微鏡は:
電子ビームを発生させる電子源;
試料チャンバ内に設けられる試料へ電子ビームを導く収束系;
前記試料を透過する電子を検出系上で結像する結像系;
前記試料チャンバ内で気体の圧力と気体の組成を制御する気体制御系;
を有し、
前記気体制御系は、前記試料チャンバの少なくとも一部において0.5乃至50mbarの圧力に維持し、
当該ETEMは気体が誘起する分解能の劣化に悩まされ、
当該環境制御型透過電子顕微鏡は、イオン化された気体を除去するために前記試料チャンバ内に電場を発生させる手段を有し、その結果として、気体が誘起する分解能の劣化は解消される、することを特徴とする方法。 - 前記電場が前記電子ビームに対して平行である、請求項1に記載の方法。
- 前記電場が前記電子ビームに対して垂直である、請求項1に記載の方法。
- 前記電場が前記ビームに対して垂直な場で、かつ、
前記ビームと前記電場に対して垂直な磁場が、前記ビームへの前記電場の影響に対抗する、
請求項3に記載の方法。 - 前記試料チャンバが当該環境制御型透過電子顕微鏡の排気されたチャンバ内に埋め込まれる、請求項1乃至4のうちのいずれか一項に記載の方法。
- 電子ビームを発生させる電子源;
試料チャンバ内に設けられる試料へ電子ビームを導く収束系;
前記試料を透過する電子を検出系上で結像する結像系;
前記試料チャンバの少なくとも一部において0.5乃至50mbarの圧力に維持する、前記試料チャンバ内で気体の圧力と気体の組成を制御する気体制御系;
を有する、動作時において気体が誘起する分解能の劣化に悩まされる、環境制御型透過電子顕微鏡であって、
当該環境制御型透過電子顕微鏡には、イオン化された気体を除去する電場を前記試料チャンバ内に発生させる手段が供され、
前記手段は、検出器の一部ではなく、又検出器を含まない、
ことを特徴とする環境制御型透過電子顕微鏡。
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