JP2015033729A - クランプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クランプ本体のロッド孔や出力部材の環状の壁面を有効活用して、アンクランプ検知用のエア通路を開閉する開閉弁機構を構成したクランプ装置を提供する。【解決手段】環状壁面14bと環状弁面14aとで開閉弁機構47を構成し、出力部材11がアンクランプ位置になった状態では開閉弁機構47が遮断され、検知用エア通路40のうちの開閉弁機構47よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成した。【選択図】図４

Description

本発明は、クランプ装置に関し、特に出力部材がアンクランプ位置（上限位置）に切換えられたことを検知可能にしたクランプ装置に関する。

特許文献１には、機械加工に供するワークを固定する為のワークパレットを工作機械のテーブル等のベース体に位置決め固定するワークパレット位置決め固定装置が開示されている。このワークパレット位置決め固定装置においては、ベース体に４組のクランプ装置が装備され、ワークパレットには、４組のクランプ装置に対応する４つの環状係合部材が装備されている。

クランプ装置は、クランプ本体と、出力部材を皿ばね積層体によりクランプ駆動し且つ加圧油によりアンクランプ駆動する油圧シリンダと、クランプ本体に形成された筒状軸部と、複数の球体を有するボールロック機構とを有する。筒状軸部はテーパ係合面を有し、クランプ本体は環状着座面を有する。

環状係合部材は、テーパ係合面にテーパ係合可能な環状テーパ面と、前記環状着座面に着座可能な環状着座部と、ボールロック機構の複数の球体が係合する球体係合部を有する。クランプ本体には、テーパ係合面、環状テーパ面、環状着座面、環状着座部等をエアブローする加圧エアを供給するブロー用加圧エア通路と、環状着座部が環状着座面に着座したことを検知する為に環状着座面に開口されたエア噴出孔に加圧エアを供給する着座検知用エア通路通路が形成されている。

特許文献２には、特許文献１に記載のようなワークパレットにおいて、油圧シリンダのシールの損傷等により出力部材を上方へアンクランプ駆動できなくなるという問題が開示されている。上方へアンクランプ駆動できない状態で、ワークパレットを交換した場合、ボールロック機構が噛み合ったままなので、クランプ装置やベース体、ワークパレットが損傷する虞がある。

特許文献３には、ボールロック機構と、このボールロック機構を介して圧縮スプリングの弾性力でクランプ駆動し且つ加圧油の油圧力でアンクランプ駆動する油圧シリンダとを有するクランプ装置が開示されている。このクランプ装置は、クランプ対象物側の突入部材をボールロック機構の中心側に挿入させ、その突入部材を油圧シリンダによりボールロック機構を介してクランプする。

このクランプ装置においては、クランプ本体に加圧エアを流すエア通路を形成し、このエア通路の途中部に、上記の突入部材が正しく挿入された場合だけ開弁する第１開閉弁機構と、油圧シリンダのピストン部材が正規のクランプ位置に切換わった場合だけ開弁される第２開閉弁機構が設けられている。突入部材が正しい挿入状態になり且つピストン部材がクランプ位置に切換わった場合に、第１，第２開閉弁機構が開弁するため、正常なクランプ状態になったことを前記エア通路の上流側加圧エアのエア圧から検知できる。

ＷＯ２００５／１１０６７１号公報 特開２００５−３４９４９号公報 ＥＰ２１７７３０９号公報

特許文献２のクランプ装置のように、クランプ状態やアンクランプ状態になったことをエア圧を介して検知する為には、クランプ本体内にエア通路を形成すると共に、そのエア通路を開閉する開閉弁機構を設けなければならない。その開閉弁機構は、通常、少なくとも、弁体とその弁体を収容する装着穴等を必要とし、これらをクランプ本体内に組み込むため、クランプ装置の構造が複雑になり、製作費も高価になる。

特許文献１に示すように、ブロー用エア通路と、着座検知用のエア通路は独立に形成していたため、エア通路の数が多くなる。例えば、特許文献１のワークパレット位置決め固定装置の場合、１組のクランプ装置に２系統のエア通路と１系統の油圧通路が必要であるため、ベース体に形成する流体圧系統が多くなる。

その上、各クランプ装置に、アンクランプ状態検知用の１系統のエア通路を追加的に設ける場合には、各クランプ装置に３系統のエア通路が必要であるため、ベース体に１２系統のエア通路と４系統の油圧通路が必要になり、ベース体の設計・製作費が高価になる。
本発明の目的は、クランプ本体のロッド孔や出力部材に形成された環状の壁面を有効活用して、アンクランプ検知用のエア通路を開閉する開閉弁機構を構成したクランプ装置を提供することである。

請求項１のクランプ装置は、クランプ本体と、このクランプ本体に昇降可能に装備された出力部材と、この出力部材を上方へアンクランプ駆動する流体圧作動室と、クランプ対象物をクランプするように出力部材を下方へクランプ駆動するクランプ駆動手段とを備えたクランプ装置において、前記クランプ本体に形成されたシリンダ孔およびロッド孔と、
前記出力部材を構成するピストン部およびロッド部であって、前記シリンダ孔に装着されたピストン部および前記ロッド孔に挿入されたロッド部と、前記ロッド孔の内面壁部に形成された下向きの環状壁面と、前記出力部材がアンクランプ位置になったとき前記環状壁面に密着するように前記ロッド部の外周部に形成された環状弁面と、前記クランプ本体と出力部材を用いて形成され、一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放される検知用エア通路と、前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構であって、前記環状壁面と前記環状弁面とで構成した開閉弁機構とを備え、前記出力部材がアンクランプ位置になった状態では前記開閉弁機構が遮断され、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成したことを特徴としている。

請求項２のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記ロッド部が、大径ロッド部と小径ロッド部を備え、前記環状弁面が前記大径ロッド部と前記小径ロッド部の境界部に形成されたことを特徴としている。

請求項３のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記クランプ本体は、上方へ突出すると共に前記出力部材のロッド部が挿入された筒状軸部と、この筒状軸部の外周面又は外周側に設けたテーパ係合面と、前記筒状軸部の外周面より外側に環状に形成された環状着座面とを備え、クランプ対象物であるワークパレットは、その下面側開放の凹穴に固定され且つ前記筒状軸部に外嵌可能な環状係合部材であって、前記テーパ係合面に密着可能な環状テーパ面と、前記環状着座面に着座可能な環状着座部とを有する環状係合部材を備え、前記筒状軸部の複数の保持孔に可動に保持された複数の球体と、前記出力部材に形成した球体駆動部を含み、複数の球体を前記環状係合部材の球体係合部に係合可能にしたボールロック機構を設けたことを特徴としている。

請求項４のクランプ装置は、請求項３の発明において、前記クランプ本体に、加圧エア供給源に接続されるブロー用エア通路と、このブロー用エア通路から供給された加圧エアを少なくとも前記環状着座面と前記テーパ係合面に向けて噴出するエアブローノズルを形成したことを特徴としている。

請求項５のクランプ装置は、請求項４の発明において、前記検知用エア通路の一部は前記出力部材の内部の内部エア通路で構成されると共にこの内部エア通路の前記他端側の端部が前記ブロー用エア通路に接続され、前記内部エア通路に、前記検知用エア通路の前記一端から前記他端への加圧エアの流れのみを許すチェック弁を設けたことを特徴としている。

請求項６のクランプ装置は、請求項１〜５の何れか１項の発明において、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側検知用エア通路のエア圧からアンクランプ状態になったことを検知可能に構成したことを特徴としている。

請求項７のクランプ装置は、請求項４又は５の発明において、前記クランプ駆動手段で前記出力部材を下方へクランプ駆動した状態において、前記ブロー用エア通路のエア圧から前記環状係合部材の環状着座部が環状着座面に密着したことを検知可能に構成したことを特徴としている。

請求項８のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記クランプ駆動手段は、前記シリンダ孔のうち前記ピストン部の上側に形成された流体圧作動室を有することを特徴としている。

請求項９のクランプ装置は、請求項１の発明において、前記クランプ駆動手段は、金属製スプリング又はガススプリングからなるスプリング手段で構成されたことを特徴としている。

請求項１０のクランプ装置は、請求項５の発明において、前記検知用エア通路の一部は、前記小径ロッド孔の内周面と小径ロッド部の外周面との間の隙間で構成され、前記チェック弁は、前記小径ロッド孔の内周壁部に装着されたダストシールで構成されたことを特徴としている。

請求項１１のクランプ装置は、クランプ本体と、このクランプ本体に昇降可能に装備された出力部材と、この出力部材を上方へアンクランプ駆動する流体圧作動室と、クランプ対象物をクランプするように出力部材を下方へクランプ駆動するクランプ駆動手段とを備えたクランプ装置において、前記クランプ本体に形成されたシリンダ孔およびロッド孔と、前記出力部材を構成するピストン部およびロッド部であって、前記シリンダ孔に装着されたピストン部および前記ロッド孔に挿入されたロッド部と、前記シリンダ孔の上端壁部に形成された下向きの環状壁面と、前記出力部材がアンクランプ位置になったとき前記環状壁面に密着するように前記ピストン部の外周近傍部に形成された環状弁面と、前記クランプ本体と出力部材を用いて形成され、一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放される検知用エア通路と、前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構であって、前記環状壁面と前記環状弁面とで構成された開閉弁機構とを備え、前記出力部材がアンクランプ位置になった状態では前記開閉弁機構が遮断され、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成したことを特徴としている。

請求項１の発明によれば、クランプ本体のロッド孔の内面壁部に形成した環状壁面と、環状壁面に密着するように出力部材のロッド部の外周部に形成した環状弁面とで開閉弁機構を構成し、この開閉弁機構で検知用エア通路の途中部を開閉可能に構成し、出力部材がアンクランプ位置になった状態では前記開閉弁機構が遮断され、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成したので、クランプ本体に形成した環状壁面と、ロッド部の外周部に形成した環状弁面とを有効活用して開閉弁機構を構成することができる。そのため、簡単でコンパクトな構造で安価に製作可能な開閉弁機構を実現することができる。

請求項２の発明によれば、大径ロッド部と小径ロッド部の境界部を活用して前記環状弁面を形成できる。

請求項３の発明によれば、ワークパレットを固定する場合、筒状軸部とロッド部をワークパレット側の環状係合部材に挿入し、筒状軸部のテーパ係合面に環状係合部材の環状テーパ面を当接させ、クランプ駆動手段によりボールロック機構をクランプ駆動し、複数の球体を環状係合部材の球体係合部に係合させて下方へ押圧することで、クランプ本体の環状着座面に環状係合部材の環状着座部を当接させ、ワークパレットを水平方向と鉛直方向に位置決めしてクランプすることができる。

請求項４の発明によれば、クランプ本体に形成したブロー用エア通路に加圧エアを供給し、エアブローノズルからテーパ係合面と環状着座面に向けて加圧エアを噴出することでクリーニングすることができる。

請求項５の発明によれば、検知用エア通路の一部が出力部材の内部の内部エア通路で構成され、この内部エア通路の下流側の端部がブロー用エア通路に接続され、内部エア通路に検知用エア通路の一端から他端への加圧エアの流れを許すチェック弁を設けたため、検知用の加圧エアを一端側から他端側へ流すことができるうえ、ブロー用エア通路の加圧エアが内部エア通路を逆流するのを防止できる。

請求項６の発明によれば、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側検知用エア通路のエア圧からアンクランプ状態になったことを検知することができる。

請求項７の発明によれば、出力部材を下方へクランプ駆動した状態において、ブロー用エア通路のエア圧から前記環状係合部材の環状着座部が環状着座面に密着したことを検知することができる。そのため、着座検知専用の加圧エア供給系統を省略可能になるため、スペースと製作費の面で有利である。

請求項８の発明によれば、クランプ駆動手段は、前記ピストン部の上側に形成された流体圧作動室を有するため、流体圧でクランプ駆動することができる。

請求項９の発明によれば、クランプ駆動手段は、金属製スプリング又はガススプリングからなるスプリング手段で構成されたため、クランプ駆動手段の構造が簡単になる。

請求項１０の発明によれば、検知用エア通路の一部は、前記小径ロッド孔の内周面と小径ロッド部の外周面との間の隙間で構成され、前記チェック弁は、小径ロッド孔の内周壁部に装着されたダストシールで構成されたため、チェック弁の構造が簡単になる。

請求項１１の発明によれば、シリンダ孔の上端壁部に形成された下向きの環状壁面と、出力部材がアンクランプ位置になったとき環状壁面に密着するようにピストン部の外周近傍部に形成された環状弁面とで、簡単な構造でコンパクトな開閉弁機構を構成することができる。

本発明の実施例に係るワークパレット位置決め固定装置の斜視図である。 位置決め固定装置（アンクランプ状態）の断面図である。 図２のIII −III 線断面図である。 クランプ装置の拡大断面図である。 図２のＡ部拡大図である。 位置決め固定装置（クランプ途中状態）の断面図である。 位置決め固定装置（クランプ状態）の断面図である。 位置決め固定装置（アンクランプ途中状態）の断面図である。 クランプ装置の流体圧回路図である。 実施例２の位置決め固定装置の断面図である。 実施例３の位置決め固定装置の断面図である。 実施例４のクランプ装置の断面図である。 実施例５のクランプ装置の断面図である。 実施例６のクランプ装置の断面図である。 図１４のXV−XV線断面図である。 実施例７の位置決め固定装置の断面図である。 実施例８のクランプ装置の断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について実施例に基づいて説明する。

本実施例に係るワークパレット位置決め固定装置について、図１〜図９に基づいて説明する。図１〜図５に示すように、ワークパレット位置決め固定装置１は、ベース体２と、このベース体２に位置決めして固定されるワークパレット３（クランプ対象物）を有する。ベース体２には例えば４つの位置決め固定装置４が装備され、ワークパレット３には４つの位置決め固定装置４に含まれる４つの環状係合部材５が装備されている。
位置決め固定装置４は、ボールロック機構６を含む油圧式クランプ装置７と、水平方向位置決め機構８と、鉛直方向位置決め機構９とを備えている。

次に、ボールロック機構６を含むクランプ装置７について説明する。
クランプ装置７は、クランプ本体１０と、出力部材１１と、油圧作動室１２ａ，１２ｂと、ボールロック機構６を備えている。

クランプ本体１０は、平面視にて円形の上部本体部１０ａと、この上部本体部１０ａよりも小径で上部本体部１０ａの下端から下方へ延びる筒状の下部本体部１０ｂと、上部本体部１０ａの上端の中央部分から上方へ延びる筒状軸部１０ｃとを備えている。下部本体部１０ｂはベース体２に形成された装着穴２ａに嵌合され、下部本体部１０ｂの外周部にはシール部材１３ａが装着されている。クランプ本体１０は、上部本体部１０ａの下端の取付け面１０ｓをベース体２の上面に当接させた状態で、複数のボルト１０ｆでベース体２に固定されている。

出力部材１１は、ピストン部１１ａと、このピストン部１１ａの上端から上方へ延びる大径ロッド部１１ｂと、この大径ロッド部１１ｂから上方へ延びる小径ロッド部１１ｃとを備えている。ピストン部１１ａの外周部にはシール部材１３ｃが装着されている。大径ロッド部１１ｂと小径ロッド部１１ｃの境界部の外周部（大径ロッド部１１ｂの環状の上端部）に上向きの水平な環状弁面１４ａが形成されている。クランプ本体１０の下部本体部１０ｂに形成されたシリンダ孔１５にピストン部１１ａが昇降可能に装着され、シリンダ孔１５内でピストン部１１ａの上側にクランプ用油圧作動室１２ａが形成され、ピストン部１１ａの下側にアンクランプ用油圧作動室１２ｂが形成されている。シリンダ孔１５の下端近傍部にはピストン部１１ａの脱落を防止するストップ部材２８が装着されている。

図９に示すように、油圧作動室１２ａに加圧油を供給・排出する油圧系統は、油圧供給源５０と、レギュレータ５１と、油圧通路５２と、電磁方向切換弁５３と、油圧通路５４と、クランプ本体１０内の油圧通路５５を備えている。また、油圧作動室１２ｂに加圧油を供給・排出する油圧系統は、油圧供給源５０と、レギュレータ５１と、油圧通路５２ と、電磁方向切換弁５３と、油圧通路５６を備えている。

図２〜図４に示すように、上部本体部１０ａと下部本体部１０ｂには、シリンダ孔１５の上端から上方へ連なる大径ロッド孔１６ａが形成され、上部本体部１０ａと筒状軸部１０ｃには、大径ロッド孔１６ａの上端に連なる小径ロッド孔１６ｂが形成されている。この大径ロッド孔１６ａに大径ロッド部１１ｂが油密摺動自在に挿入され、シール部材１３ｂでシールされている。小径ロッド部１１ｃは小径ロッド孔１６ｂに気密摺動自在に挿入され、小径ロッド孔１６ｂの内周壁部に装着されたシール部材１８で気密にシールされている。大径ロッド孔１６ａと小径ロッド孔１６ｂの境界部の内面壁部（大径ロッド孔１６ａの上端部）に、前記環状弁面１４ａが密着可能な水平な環状壁面１４ｂが形成されている。

次に、クランプ装置７のボールロック機構６について説明する。
図２、図４に示すように、筒状軸部１０ｃの上端近傍部に形成された複数の球体保持穴１９には、複数の球体２０（鋼球）が水平方向へ可動に装着されている。出力部材１１の上端近傍部には、複数の球体２０に対応する複数の球体駆動部２１が形成されている。この球体駆動部２１は、球体２０の約半分を収容可能な凹部２１ａと、この凹部２１ａの上方へ延びる溝状の傾斜部２１ｂであって球体２０を半径方向外側へ駆動する為の傾斜部２１ｂとで形成されている。

ワークパレット３の環状係合部材５は、ワークパレット３の下部に下面側開放状に形成された収容凹穴２２に内嵌状に装着されて複数のボルト２３で固定されている。上記の収容凹穴２２の上端部には浅い小径凹穴２２ａが形成されている。収容凹穴２２の上端壁面と環状係合部材５の間には環状係合部材５の高さ位置を調整する為のライナー２４が装着され、環状係合部材５は収容凹穴２２に装着され、環状係合部材５の外周面と収容凹穴２２の内周壁面間は気密になっている。

環状係合部材５には、筒状軸部１０ｃが挿入される挿入穴５ａが形成されている。環状係合部材５の上端部の内周部分には、外側に向かって上り傾斜状の半円筒溝からなる球体係合部２５が形成されている。尚、複数の球体係合部２５は１つの環状テーパ面で構成してもよい。

次に、水平方向位置決め機構８について説明する。
図２、図４に示すように、筒状軸部１０ｃの下部に上方に向かって小径になるテーパ係合面８ａが形成され、環状係合部材５の下部には、テーパ係合面８ａに密着状に係合可能な環状テーパ面８ｂが形成されている。これらテーパ係合面８ａと環状テーパ面８ｂとで前記水平方向位置決め機構８が構成されている。環状テーパ面８ｂは、環状係合部材５に形成された下端開放状の環状溝２６を介して半径方向へ弾性変形可能に構成され且つ適当な大きさの半径方向剛性を有する弾性リング部２７の内周面に形成されている。尚、環状溝２６の代わりに、周方向適当間隔おきに形成された半径方向のリブを介して分断された複数の円弧溝を形成してもよい。

ワークパレット３をベース体２に対して位置決めして固定する際に、前記弾性リング部２７の微小な径拡大方向への弾性変形を介して、環状テーパ面８ｂがテーパ係合面８ａに密着状に係合した状態になり、環状係合部材５が水平方向の全方向へ精密に位置決めされた状態になる。

次に、鉛直方向位置決め機構９について説明する。
図２、図４に示すように、クランプ本体１０の上部本体部１０ａの上端には、筒状軸部１０ｃの外周面より外側に位置する環状の環状着座面９ａが水平に形成されている。環状係合部材５の下端部には、環状着座面９ａに密着状に着座可能な環状着座部９ｂが形成されている。これら環状着座面９ａと環状着座部９ｂとで前記鉛直方向位置決め機構９が構成されている。ワークパレット３をベース体２に対して位置決めして固定する際に、弾性リング部２７の微小な弾性変形を介して、環状テーパ面８ｂがテーパ係合面８ａに密着状に係合すると共に環状着座部９ｂが環状着座面９ａに密着することにより、環状係合部材５が鉛直方向に精密に位置決めされた状態になる。

上記のように、環状テーパ面８ｂとテーパ係合面８ａの密着と、環状着座部９ｂと環状着座面９ａの密着は、油圧作動室１２ａの加圧油により出力部材１１を下方へクランプ駆動した場合に実現される。油圧作動室１２ａの加圧油を排出させながら、油圧作動室１２ｂに加圧油を供給して出力部材１１をアンクランプ位置（上限位置）にした状態で、ワークパレット３をベース体２の上方から下降させて、筒状軸部１０ｃと小径ロッド部１１ｃを環状係合部材５に挿入させ、小径ロッド部１１ｃの上端で小径凹穴２２ａの上壁面を支持する。このとき、複数の球体２０が複数の凹穴２１ａに夫々部分的に退避するため、球体２０が筒状軸部１０ｃの外周面から突出しないから、筒状軸部１０ｃと小径ロッド部１１ｃを環状係合部材５に挿入することができる。

次に、油圧作動室１２ｂの加圧油を排出しながら油圧作動室１２ａに加圧油を供給すると、筒状軸部１０ｃに対して相対的に小径ロッド部１１ｃが下降するため、複数の傾斜部２１ｂが複数の球体２０を夫々半径方向外側へ駆動し、複数の球体２０が複数の球体係合部２５に夫々係合して環状係合部材５を下方へ押圧するため、環状テーパ面８ｂがテーパ係合面８ａに密着し、環状着座部９ｂが環状着座面９ａに密着し、クランプ状態になる。

次に、ブロー用エア通路３０と、環状着座面９ａとテーパ係合面８ａに向けて加圧エアを噴出するエアブローノズル３１ａ，３１ｂについて図２、図４に基づいて説明する。
前記ブロー用エア通路３０は、上部本体部１０ａに形成されたエア通路３０ａと環状エア通路３０ｂとを備えている。

エア通路３０ｂの上面側に環状の金属製のノズル形成部材３１が装着され、このノズル形成部材３１には、環状着座面９ａに向けて水平方向に加圧エアを噴出する環状のエアブローノズル３１ａが形成され（図５参照）、ノズル形成部材３１と筒状軸部１０ｃの間にはテーパ係合面８ａに向けて加圧エアを噴出する環状のエアブローノズル３１ｂが形成されている。エア通路３０ａの端部から小径ロッド孔１６ｂに流入する加圧エアは、小径ロッド部１１ｃと筒状軸部１０ｃの間の隙間３０ｃを通って上方へ噴出する。

図９に示すように、エア通路３０ａにエアブロー用加圧エアを供給する加圧エア供給系統は、加圧エア供給源６０と、レギュレータ６１と、電磁方向切換弁６２，６３と、エア通路６４となどを備えている。前記エア通路３０に着座検知用加圧エアを供給する加圧エア供給系統は、加圧エア供給源７０と、圧力センサ７１と、電磁方向切換弁７２と、エア通路６４に接続されたエア通路７３などを備えている。

次に、アンクランプ状態を検知する為の検知用加圧エアを流す検知用エア通路４０と、この検知用エア通路４０を開閉可能な開閉弁機構４７について説明する。
この検知用エア通路４０は、クランプ本体１０と出力部材１１とを用いて形成されたエア通路であり、一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放されている。

図２、図４に示すように、この検知用エア通路４０は、上部本体部１０ａ内に形成された縦向きのエア通路４０ａ及び水平なエア通路４０ｂと、シール部材１８よりも下側において小径ロッド部１１ｃの外周側に形成されたエア通路４０ｃと、環状弁面１４ａと環状壁面１４ｂの間の隙間からなるエア通路４０ｄと、大径ロッド孔１６ａ内の大径ロッド部１１ｂの上側のエア通路４０ｅと、出力部材１１内に形成された内部エア通路４１と、小径ロッド部１１ｃの外周側の環状エア通路４０ｆ及び筒状エア通路４０ｇとを備えている。

前記エア通路４０ｂは、環状壁面１４ｂの上方近傍位置でエア通路４０ｃに接続されている。環状エア通路４０ｆは、小径ロッド部１１ｃの外周側の筒状エア通路３０ｃを介してブロー用エア通路３０に接続されている。

上記の内部エア通路４１には、前記検知用エア通路４０の一端から他端への加圧エアの流れのみを許すチェック弁４２が設けられている。このチェック弁４２を構成する為に、出力部材１１内の装着穴４３に軸状部材４４が装着され、軸状部材４４の上端近傍部に合成樹脂製の弁部材４５が装着されている。軸状部材４４の外周部にはシール部材４６が装着されている。

内部エア通路４１は、エア通路４０ｅを装着穴４３に接続する傾斜状の複数のエア通路４１ａと、このエア通路４１ａに接続され且つチェック弁４２が装着された筒状エア通路４１ｂと、軸状部材４４に形成された横断エア通路４１ｃ及び縦向きエア通路４１ｄと、縦向きエア通路４１ｄに連なるように出力部材１１の中心部に形成されたエア通路４１ｅと、このエア通路４１ｅをエア通路４０ｆに接続する水平なエア通路４１ｆとを備えている。

前記開閉弁機構４７は、検知用エア通路４０の途中部を開閉可能に構成され、環状弁面１４ａと環状壁面１４ｂとで構成されている。出力部材１１がアンクランプ位置（上限位置）になった状態では、環状弁面１４ａが環状壁面１４ｂに密着して開閉弁機構４７が閉弁状態になり、検知用エア通路４０のうちの開閉弁機構４７よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成してある。

図９に示すように、検知用エア通路４０に加圧エアを供給する加圧エア供給系統は、加圧エア供給源８０と、圧力センサ８１と、電磁方向切換弁８２と、前記エア通路４０ａに接続されたエア通路８３などを備えている。電磁方向切換弁５３，６２，６３，７２，８２と、圧力センサ７１，８１は制御ユニット９０に電気的に接続され、電磁方向切換弁５３，６２，６３，７２，８２は制御ユニット９０により制御され、圧力センサ７１，８１の検出信号は制御ユニット９０に供給されている。

油圧作動室１２ａ（クランプ駆動手段に相当する）に加圧油を供給して出力部材１１を下方へクランプ駆動した状態において、環状着座部９ｂが環状着座面９ａに密着状に着座した状態では、ブロー用エア通路３０から供給される加圧エアは、環状係合部材５の内周側と外周側から外界へリークすることがなく、検知用エア通路４０のチェック弁４２により検知用エア通路４０へのリークが阻止されるため、ブロー用エア通路３０のエア圧から環状係合部材５の環状着座部９ｂが環状着座面９ａに密着したことを検知するように構成してある。

次に、ワークパレット位置決め固定装置１の作用、効果について説明する。
図１に示すように、４組のクランプ装置７をアンクランプ状態にし、出力部材１１を上限位置にしたアンクランプ状態で、ワークパレット３を上方からベース体２へ接近させていき、図２に示すように、筒状軸部１０ｃと小径ロッド部１１ｃを環状係合部材５へ挿通させる。

上記の表１は、クランプ装置７をアンクランプ状態からクランプ状態へ切換え、そのクランプ状態においてワークパレット３に固定したワークに機械加工を施し、その後、クランプ状態からアンクランプ状態に切換える際の、切換弁５３，６２，６３，７２，８２等の切換え態様を示すものである。

「エアブロー」は、ブロー用加圧エア通路３０にエアブロー用加圧エアを供給して、エアブローノズル３１ａ，３１ｂから加圧エアを噴出してエアブローすることを意味する。「着座確認」は、環状着座部９ｂが環状着座面９ａに密着したか否か確認することを意味する。「アンクランプ確認」は、検知用エア通路４０に加圧エアを供給して開閉弁機構４７が閉弁状態になっているか否か確認することを意味する。

図２、図４に示すように、クランプ装置７が待機中でアンクランプ状態のとき、電磁切換弁５３がＯＮとされ、油圧作動室１２ａの加圧油は排出され、油圧作動室１２ｂに加圧油が充填されている。このアンクランプ状態からクランプ状態に切換えるクランプ開始時には、電磁切換弁５３をＯＦＦとし、油圧作動室１２ｂから加圧油を排出しながら油圧作動室１２ａに加圧油を供給すると共に、電磁切換弁６２，６３をＯＮにしてブロー用エア通路３０に加圧エアを供給することにより、エアブローを行う。クランプ開始からタイマーにセットした所定時間の間、電磁切換弁５３，６２，６３，７２，８２を上記の位置に保持し、エアブローを行う。

このエアブローにより、テーパ係合面８ａと環状テーパ面８ｂがクリーニングされ、環状着座部９ｂと環状着座面９ａがクリーニングされ、小径ロッド部１１ｃと筒状軸部１０ｃの間の隙間及び複数の球体２０の付近がクリーニングされる。図６は、このクランプ開始からクランプ途中の状態を示し、出力部材１１が複数の球体２０を外側へ移動させつつある。このとき、環状テーパ部８ｂがテーパ係合面８ａに当接し、環状着座部９ｂが環状着座面９ａに当接する。

タイマーにセットした所定時間が経過すると、複数の球体２０が環状係合部材５の球体係合部２５に完全に係合して環状係合部材５を下方へ強力に押圧したクランプ状態になる（図７参照）。このクランプ状態において、電磁方向切換弁６２，６３をＯＦＦにし、電磁方向切換弁７２をＯＮにして、圧力センサ７１の検出信号に基づいて着座確認を行う。上記のように電磁方向切換弁６３をＯＦＦに切換えるため、この電磁方向切換弁６３から加圧エアはリークしなくなる。

一方、環状テーパ面８ｂがテーパ係合面８ａに密着し、環状着座部９ｂが環状着座面９ａに密着した正規のクランプ状態（着座状態）になると、加圧エア供給源７０から圧力センサ７１と電磁方向切換弁７２を介してエア通路７３からブロー用エア通路３０に供給される加圧エアは、収容凹穴２２から外部へリークできず、また、チェック弁４２により検出用エア通路４０へのリークも阻止されるため、ブロー用エア通路３０と収容凹穴２２に封入状態になり、そのエア圧が高くなる。

そのため、圧力センサ７１の検出信号から（ブロー用エア通路３０のエア圧から）正規の着座状態になったことを検知することができる。上記のクランプ状態において、ワークパレット３に固定されたワークに対する機械加工等が実施される。このクランプ状態の間、電磁方向切換弁５３，６２，６３，７２，８２は全てＯＦＦに保持される。

次に、アンクランプを開始する際には、エアブローを実行するため電磁方向切換弁６２，６３をＯＮに切換え、電磁方向切換弁５３をＯＮに切換える。タイマーにセットした所定時間の間上記の状態を維持してから、アンクランプ状態の確認を行う。

この場合、電磁方向切換弁６２をＯＦＦに切換えて電磁方向切換弁６２から加圧エアがリーク可能に設定する。そして、電磁方向切換弁８２をＯＮに切換えて、検知用エア通路４０に加圧エアを供給すると、出力部材１１が上限位置になる正規のアンクランプ状態になった場合には、開閉弁機構４７が閉弁状態となるため、エア通路４０ｃからエア通路４０ｅへ加圧エアが流れなくなり、エア通路４０ａ，４０ｂのエア圧が高くなるため、圧力センサ８１の検出信号からアンクランプ状態になったことを確認することができる。

出力部材１１が上限位置に達しない場合には、開閉弁機構４７が開弁状態で、検知用エア通路４０に供給される加圧エアは、チッェク弁４２を通ってブロー用エア通路３０へリークし、電磁方向切換弁６２から外界へ放出されるため、検知用エア通路４０のエア圧が低いままとなるため、圧力センサ８１の検出信号から正規のアンクランプ状態になっていないことを検知することができる。アンクランプ状態において、ワークパレット３を取り外す際には、電磁方向切換弁６２，６３をＯＮにしてエアブローを行なう。このとき、電磁方向切換弁８２をＯＦＦに切換え、検知用エア通路４０への加圧エアの供給を停止する。

クランプ本体１０と出力部材１１に検知用エア通路４０を設け、この検知用エア通路 ４０の途中部を開閉可能な開閉弁機構４７を設け、この開閉弁機構４７を環状弁面１４ａと環状壁面１４ｂとで構成するため、環状弁面１４ａと環状壁面１４ｂを有効活用して、簡単でコンパクトな構造で安価に製作可能な開閉弁機構４７を実現することができる。

検知用エア通路４０の他端側（下流側）の端部がブロー用エア通路３０に接続され、検知用エア通路４０の途中部に前記チェック弁４２を設けたため、ブロー用エア通路３０から検知用エア通路４０へ加圧エアが侵入するのを確実に防止することができ、クランプ装置７の内部に切粉等が侵入するのを防止できる。
ブロー用エア通路３０に供給する加圧エアを有効活用して着座確認を実施可能に構成したため、着座確認専用のエア通路を省略することができ、ベース体２の設計、製作費を節減できる。

次に、実施例２のワークパレット位置決め固定装置について説明する。但し、実施例１と同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。図１０に示すように、このワークパレット位置決め固定装置４Ａにおいては、環状係合部材５Ａの外周部にシール部材２２ｓが装着され、環状係合部材５Ａと収容凹部２２の内周面間が気密にシールされている。それ故、ブロー用エア通路３０に供給する加圧エアを用いて、実施例１よりも高い信頼性で着座確認を行うことができる。

次に、実施例３のクランプ装置７Ｂについて説明する。但し、実施例１と同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。図１１に示すように、このクランプ装置７Ｂにおいては、前記チェック弁４２に代えて、鋼球９１を有するチェック弁４２Ｂが採用され、検知用エア通路４０Ｂのうちの出力部材内の内部エア通路４１Ｂが変更されている。出力部材１１Ｂに形成した装着穴４３Ｂに軸状部材４４Ｂが装着され、装着穴４３Ｂの上端に連なるスプリング収容穴９２が形成されている。

内部エア通路４１Ｂは、複数の傾斜状のエア通路９３と、軸状部材４４Ｂに形成した横断エア通路９４と、縦エア通路９５と、スプリング収容穴９２と、中心部のエア通路９６と、このエア通路９６をエア通路４０ｆに接続するエア通路９７とを有する。チェック弁４２Ｂはスプリング収容穴９２に組み込まれている。チェック弁４２Ｂは、縦エア通路９５の上端に当接する鋼球９１と、この鋼球９１を付勢する圧縮スプリング９８とを有する。
それ故、耐久性に優れるチェック弁４２Ｂとなる。

次に、実施例４のクランプ装置７Ｃについて説明する。但し、実施例１と同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。図１２に示すように、このクランプ装置７Ｃにおいては、前記実施例１のチェック弁４２及び出力部材１１Ｃの内部の内部エア通路４１が省略され、前記シール部材１８に代わるダストシール部材１８Ｃにより上向きの流れのみを許容するチェック弁が構成されている。また、エア通路４０ｂの先端は、環状壁面１４ｂに開口されている。検知用エア通路４０Ｃは、エア通路４０ａ，４０ｂ，４０ｅ，４０ｃと、小径ロッド部１１ｃの外周側の筒状エア通路３０ｃであってダストシール部材１８Ｃが介装されたエア通路３０ｃ等を有する。ダストシール部材１８Ｃによりチェック弁を構成するため、簡単な構造のチェック弁を実現できる。

次に、実施例５のクランプ装置７Ｄについて説明する。但し、実施例１と同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。図１３に示すように、このクランプ装置７Ｄにおいては、前記油圧作動室１２ａが省略され、クランプ本体１０と出力部材１１Ｄに環状のスプリング収容室１００が形成され、このスプリング収容室１００に環状の圧縮状態の皿バネ積層体１０１（これがクランプ駆動手段に相当する）が装着され、この皿バネ積層体１０１により出力部材１１Ｄをクランプ駆動するように構成されている。
検知用エア通路４０Ｄは、エア通路４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、スプリング収容室１００と、内部エア通路４１と、エア通路４１ｆ，３０ｃ等を備えている。このように、皿バネ積層体１０１により出力部材１１Ｄをクランプ駆動するため、クランプ駆動手段のための油圧供給系統を省略できる。

尚、皿バネ積層体１０１の代わりに、ガススプリングを組み込んだクランプ駆動手段を採用することも可能である。このガススプリングを組み込む場合、スプリング収容室１００に代わるガススプリング収容室を設け、このガススプリング収容室に複数のガススプリングを周方向等間隔おきに組み込むものとする。

次に、実施例６のクランプ装置７Ｅについて説明する。但し、実施例１と同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。
図１４、図１５に示すように、エア通路１１１に接続された着座検知用のエア噴出ノズル１１０が環状着座面９ａに開口され、加圧エア供給系統からエア通路１１１に加圧エアが供給可能に構成され、その加圧エア供給系統に設けた圧力センサの検出信号から着座確認を行うように構成してある。

前記シール部材１８に代わるダストシール部材１１２が設けられている。出力部材１１Ｅ内の内部エア通路４１が省略され、検知用エア通路４０Ｅは、クランプ本体１０Ｅの上部本体部１０ａに形成されたエア通路１１３ａ，１１３と、環状弁面１４ａと環状壁面１４ｂの間の隙間のエア通路と、エア通路１１４，１１４ａとを備え、エア通路１１３の下流端が環状壁面１４ｂに開口し、エア通路１１４の上流端が環状壁面１４ｂに開口し、エア通路１１４に連なるエア通路１１４ａは大気へ開放されている。

尚、加圧エア供給系統からエア通路１１３ａに加圧エアが供給可能に構成され、その加圧エア供給系統に設けた圧力センサの検出信号からアンクランプ確認を行うように構成してある。アンクランプ状態になると、開閉弁機構４７Ｅが閉弁状態になるため、上記圧力センサがエア圧「高」を検出する。出力部材１１Ｅ内のエア通路を省略したため、検知用エア通路４０Ｅの構造が簡単になる。

次に、実施例７の位置決め固定装置４Ｆとクランプ装置７Ｆについて説明する。但し、実施例１と同様の構成要素に同様の符号を付して説明を省略する。
図１６に示すように、筒状軸部１０ｆの下部に、環状テーパ部材１１５が昇降自在に装着され、この環状テーパ部材１１５の外周面には上方に向って小径化するテーパ係合面１１６ａであって、環状係合部材５Ｆの環状テーパ面８ｂが密着状に係合可能なテーパ係合面１１６ａが形成されている。

この環状テーパ部材１１５は、クランプ本体１０Ｆに形成した環状溝１１７に装着された圧縮状の皿バネ１１８で上方へ弾性付勢され、環状テーパ部材１１５の上端は止輪１１９で抜け止めされている。前記油圧作動室１２ａは省略され、クランプ本体１０Ｆと出力部材１１Ｆに環状のスプリング収容室１２０が形成され、このスプリング収容室１２０に圧縮状態の皿バネ積層体１２１が装着されている。

ブロー用エア通路３０Ｆは、ベース体２内のエア通路１２２ａと、上部本体部１０ａ内のエア通路１２２ｂと、このエア通路１２２ｂを環状溝１１７に接続するエア通路１２２ｃと、小径ロッド部１１ｆの外周部の環状エア通路１２２ｄと、出力部材１１Ｆ内のエア通路１２２ｅ，１２２ｆとを備えている。前記エア通路１２２ａには、図９に示す加圧エア供給系統（６０〜６４、７０〜７３）と同様のものが接続されている。

シリンダ孔１５Ｆの上端壁部に下向きの環状壁面１２３が形成されている。また、出力部材１１Ｆがアンクランプ位置になったとき環状壁面１２３に密着するようにピストン部１１ｐの外周近傍部に環状弁面１２４が形成されている。検知用エア通路４０Ｆは、クランプ本体１０Ｆと出力部材１１Ｆに設けられ、一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放されている。検知用エア通路４０Ｆの途中部を開閉可能な開閉弁機構４７Ｆは、環状壁面１２３と環状弁面１２４とで構成されている。

検知用エア通路４０Ｆは、上部本体部１０ａ内に形成された縦向きのエア通路１２５ａと、このエア通路１２５ａから水平方向へ延びその後下方へ延びて環状壁面１２３に開口したエア通路１２５ｂと、環状弁面１２４と環状壁面１２３の間の隙間のエア通路と、スプリング収容室１２０と、出力部材内の内部エア通路４１Ｆとを備えている。この内部エア通路４１Ｆに前記検知用エア通路の一端から他端方向への流れのみを許すチェック弁４２が介装されている。

次に、実施例８のクランプ装置７Ｇについて説明する。
図１７に示すように、このクランプ装置７Ｇは、出力部材１１Ｇを下降駆動することによりクランプ対象物をクランプする装置である。クランプ装置７Ｇは、クランプ本体１０Ｇと、このクランプ本体１０Ｇに昇降可能に装備された出力部材１１Ｇと、この出力部材１１Ｇを上方へアンクランプ駆動する油圧作動室１３０ｂと、クランプ対象物をクランプするように出力部材１１Ｇを下方へクランプ駆動する油圧作動室１３０ａ（クランプ駆動手段）とを有する。

前記クランプ本体１０Ｇには、シリンダ孔１３１ａと、大径ロッド孔１３１ｂと、小径ロッド孔１３１ｃとが形成されている。出力部材１１Ｇはピストン部１３２ａと大径ロッド部１３２ｂと小径ロッド部１３２ｃとを備えている。ピストン部１３２ａはシリンダ孔１３１ａに昇降自在に装着され、大径ロッド部１３２ｂは大径ロッド孔１３１ｂに挿入され、小径ロッド部１３２ｃは小径ロッド孔１３１ｃに挿入されている。

大径ロッド孔１３１ｂの上端部の壁部に下向きの環状壁面１３３ｂが形成され、出力部材１１Ｇがアンクランプ位置になったとき環状壁面１３３ｂに密着するように大径ロッド部１３２ｂの上端部に環状弁面１３３ａが形成されている。即ち、大径ロッド孔１３１ｂと小径ロッド孔１３１ｃの境界部に環状壁面１３３ｂが形成され、大径ロッド部１３２ｂと小径ロッド部１３２ｃの境界部に環状弁面１３３ａが形成されている。

検知用エア通路４０Ｇは、クランプ本体１０Ｇに設けられ、その一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放されている。検知用エア通路４０Ｇは、入力ポート１３４ａとエア通路１３４ｂと、環状弁面１３３ａと環状壁面１３３ｂ間の隙間のエア通路と、エア通路１３５ａと、出力ポート１３５ｂとを備えている。エア通路１３４ｂが環状壁面１３３ｂに開口し、エア通路１３５ａの上流端が環状壁面１３３ｂに開口され、出力ポート１３５ｂはエアホースを介して大気開放されている。入力ポート１３４ａには、図９の加圧エア供給系統（８０〜８２）と同様のものが接続される。

検知用エア通路４０Ｇの途中部を開閉可能な開閉弁機構４７Ｇが設けられ、この開閉弁機構４７Ｇは、環状壁面１３３ｂと環状弁面１３３ａとで構成されている。出力部材１１Ｇがアンクランプ位置になった状態では開閉弁機構４７Ｇが遮断され、検知用エア通路４０Ｇのうちの開閉弁機構４７Ｇよりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成してある。

次に、前記実施例を部分的に変更する変更例について説明する。
（１）油圧シリンダに代えて加圧エアで駆動するエアシリンダを採用してもよく、本発明は種々の流体圧シリンダを備えたクランプ装置に適用することができる。また、本発明は、種々の形式のクランプ装置にも同様に適用できる。
（２）実施例に記載した開閉弁機構は複数の例を示すものであり、クランプ本体の環状壁面と、出力部材側の環状弁面とを活用して構成される種々の構成の開閉弁機構を採用することができる。

（３）検知用エア通路の構造は、実施例のものに限定されるものではなく、クランプ本体と出力部材内に形成される種々のエア通路を検知用エア通路として適用できる。
（４）その他、当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を付加した形態で実施可能であり、本発明はそのような変更形態をも包含するものである。

３ ワークパレット
５ 環状係合部材
６ ボールロック機構
７，７Ｂ〜７Ｇ クランプ装置
８ａ テーパ係合面
８ｂ 環状テーパ面
９ａ 環状着座面
９ｂ 環状着座部
１０，１０Ｆ，１０Ｇ クランプ本体
１１，１１Ｂ〜１１Ｇ 出力部材
１１ａ ピストン部
１１ｂ 大径ロッド部
１１ｃ 小径ロッド部
１１ｆ ロッド部
１２ａ，１２ｂ 油圧作動室
１４ａ 環状弁面
１４ｂ 環状壁面
１５，１５Ｆ シリンダ孔
１６ａ 大径ロッド孔
１６ｂ 小径ロッド孔
１９ 保持穴
２０ 球体
２５ 球体係合部
３０ ブロー用エア通路
３１ａ，３１ｂ エアブローノズル

４０，４０Ｂ〜４０Ｇ 検知用エア通路
４１ 内部エア通路
４２，４２Ｂ チェック弁
４７，４７Ｄ〜４７Ｇ 開閉弁機構
１０１，１２１ 皿バネ積層体
１２３ 環状壁面
１２４ 環状弁面

Claims (11)

1. クランプ本体と、このクランプ本体に昇降可能に装備された出力部材と、この出力部材を上方へアンクランプ駆動する流体圧作動室と、クランプ対象物をクランプするように出力部材を下方へクランプ駆動するクランプ駆動手段とを備えたクランプ装置において、
   前記クランプ本体に形成されたシリンダ孔およびロッド孔と、
   前記出力部材を構成するピストン部およびロッド部であって、前記シリンダ孔に装着されたピストン部および前記ロッド孔に挿入されたロッド部と、
   前記ロッド孔の内面壁部に形成された下向きの環状壁面と、
   前記出力部材がアンクランプ位置になったとき前記環状壁面に密着するように前記ロッド部の外周部に形成された環状弁面と、
   前記クランプ本体と出力部材を用いて形成され、一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放される検知用エア通路と、
   前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構であって、前記環状壁面と前記環状弁面とで構成した開閉弁機構とを備え、
   前記出力部材がアンクランプ位置になった状態では前記開閉弁機構が遮断され、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成したことを特徴とするクランプ装置。
2. 前記ロッド部が、大径ロッド部と小径ロッド部を備え、
   前記環状弁面が前記大径ロッド部と前記小径ロッド部の境界部に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
3. 前記クランプ本体は、上方へ突出すると共に前記出力部材のロッド部が挿入された筒状軸部と、この筒状軸部の外周面又は外周側に設けたテーパ係合面と、前記筒状軸部の外周面より外側に環状に形成された環状着座面とを備え、
   クランプ対象物であるワークパレットは、その下面側開放の凹穴に固定され且つ前記筒状軸部に外嵌可能な環状係合部材であって、前記テーパ係合面に密着可能な環状テーパ面と、前記環状着座面に着座可能な環状着座部とを有する環状係合部材を備え、
   前記筒状軸部の複数の保持孔に可動に保持された複数の球体と、前記出力部材に形成した球体駆動部を含み、複数の球体を前記環状係合部材の球体係合部に係合可能にしたボールロック機構を設けたことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
4. 前記クランプ本体に、加圧エア供給源に接続されるブロー用エア通路と、このブロー用エア通路から供給された加圧エアを少なくとも前記環状着座面と前記テーパ係合面に向けて噴出するエアブローノズルを形成したことを特徴とする請求項３に記載のクランプ装置。
5. 前記検知用エア通路の一部は前記出力部材の内部の内部エア通路で構成されると共にこの内部エア通路の前記他端側の端部が前記ブロー用エア通路に接続され、
   前記内部エア通路に、前記検知用エア通路の前記一端から前記他端への加圧エアの流れのみを許すチェック弁を設けたことを特徴とする請求項４に記載のクランプ装置。
6. 前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側検知用エア通路のエア圧からアンクランプ状態になったことを検知可能に構成したことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のクランプ装置。
7. 前記クランプ駆動手段で前記出力部材を下方へクランプ駆動した状態において、前記ブロー用エア通路のエア圧から前記環状係合部材の環状着座部が環状着座面に密着したことを検知可能に構成したことを特徴とする請求項４又は５に記載のクランプ装置。
8. 前記クランプ駆動手段は、前記シリンダ孔のうち前記ピストン部の上側に形成された流体圧作動室を有することを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
9. 前記クランプ駆動手段は、金属製スプリング又はガススプリングからなるスプリング手段で構成されたことを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
10. 前記検知用エア通路の一部は、前記小径ロッド孔の内周面と小径ロッド部の外周面との間の隙間で構成され、前記チェック弁は、前記小径ロッド孔の内周壁部に装着されたダストシールで構成されたことを特徴とする請求項５に記載のクランプ装置。
11. クランプ本体と、このクランプ本体に昇降可能に装備された出力部材と、この出力部材を上方へアンクランプ駆動する流体圧作動室と、クランプ対象物をクランプするように出力部材を下方へクランプ駆動するクランプ駆動手段とを備えたクランプ装置において、
    前記クランプ本体に形成されたシリンダ孔およびロッド孔と、
    前記出力部材を構成するピストン部およびロッド部であって、前記シリンダ孔に装着されたピストン部および前記ロッド孔に挿入されたロッド部と、
    前記シリンダ孔の上端壁部に形成された下向きの環状壁面と、
    前記出力部材がアンクランプ位置になったとき前記環状壁面に密着するように前記ピストン部の外周近傍部に形成された環状弁面と、
    前記クランプ本体と出力部材を用いて形成され、一端が加圧エア供給源に接続されると共に他端が外界に開放される検知用エア通路と、
    前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構であって、前記環状壁面と前記環状弁面とで構成した開閉弁機構とを備え、
    前記出力部材がアンクランプ位置になった状態では前記開閉弁機構が遮断され、前記検知用エア通路のうちの前記開閉弁機構よりも上流側の上流側エア通路のエア圧からアンクランプ状態を検知可能に構成したことを特徴とするクランプ装置。