JP2015026431A - 球面収差補正装置、球面収差補正方法、および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 球面収差補正装置100は、像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、多段の六極子場を発生させる六極子場発生部110と、前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する八極子場重畳部120と、荷電粒子線を偏向させる偏向部130と、を含む。
【選択図】図1
Description
像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、
多段の六極子場を発生させる六極子場発生部と、
前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する八極子場重畳部と、
荷電粒子線を偏向させる偏向部と、
を含む。
前記偏向部は、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記八極子場によって導入される四回非点収差が補正される大きさにしてもよい。
像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、
多段の六極子場を発生させる六極子場発生部と、
前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する四極子場を重畳する四極子場重畳部と、
荷電粒子線を偏向させる偏向部と、
を含む。
前記偏向部は、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記四極子場によって導入されるスター収差が補正される大きさにしてもよい。
像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、
多段の六極子場を発生させる六極子場発生部と、
前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する偏向場を重畳する偏向場重畳部と、
荷電粒子線を偏向させる偏向部と、
を含む。
前記偏向部は、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記偏向場によって導入されるスター収差が補正される大きさにしてもよい。
前記六極子場発生部は、二段に配置された多極子を有してもよい。
二段に配置された前記多極子の間に配置されている転送レンズを含んでいてもよい。
像および回折図形を取得する荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
多段の六極子場を構成する前記六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する工程と、
荷電粒子線を偏向させて、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記八極子場によって導入される四回非点収差が補正される大きさにする工程と、
を含む。
像および回折図形を取得する荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
多段の六極子場を構成する前記六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する四極子場を重畳する工程と、
荷電粒子線を偏向させて、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記四極子場によって導入されるスター収差が補正される大きさにする工程と、
を含む。
像および回折図形を取得する荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
多段の六極子場を構成する前記六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する偏向場を重畳する工程と、
荷電粒子線を偏向させて、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記偏向場によって導入されるスター収差が補正される大きさにする工程と、
を含む。
前記多段の六極子場は、二段の六極子場であってもよい。
本発明に係る球面収差補正装置を含む。
1.1. 球面収差補正装置
まず、第1実施形態に係る球面収差補正装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る球面収差補正装置100を含む荷電粒子線装置1の構成を示す図である。
し電子線を放出する。電子銃2には、高圧制御部2aから高圧電源が供給される。電子銃2としては、例えば熱電子放出型電子銃、熱電界放出型電子銃、冷陰極電界放出型電子銃等を用いることができる。
ある。
次に、第1実施形態に係る球面収差補正装置100における球面収差補正方法について説明する。図8は、第1実施形態に係る球面収差補正装置100における球面収差補正方法の一例を示すフローチャートである。
本実験例では、第1実施形態に係る球面収差補正装置100を備えた荷電粒子線装置1を用いて、回折図形の真円度のずれを補正した。試料として、金の多結晶を用いた。
次に、第1実施形態の変形例について説明する。図11は、第1実施形態の変形例に係る球面収差補正装置200の光学系を示す図である。
2.1. 球面収差補正装置
次に、第2実施形態に係る球面収差補正装置について、図面を参照しながら説明する。図12は、第2実施形態に係る球面収差補正装置300の光学系を示す図である。
次に、第2実施形態に係る球面収差補正装置300における球面収差補正方法について説明する。図14は、第2実施形態に係る球面収差補正装置300における球面収差補正方法の一例を示すフローチャートである。
次に、第2実施形態の変形例について説明する。図15は、第2実施形態の変形例に係る球面収差補正装置400の光学系を示す図である。
3.1. 球面収差補正装置
次に、第3実施形態に係る球面収差補正装置について、図面を参照しながら説明する。図16は、第3実施形態に係る球面収差補正装置500の光学系を示す図である。
れる。また、第2多極子114の上部の面114aでは、軸ずれが起こらず、二回非点収差も導入されない。このように、六極子場に偏向場を重畳することにより、多極子の中心面とは異なる2つの面に異なる二回非点収差が導入されて、像および回折図形の真円度を変えることができる。
補正される結果として、回折図形の真円度のずれを補正することができる。したがって、軸上収差と回折図形の真円度のずれの補正を個別に行うことができる。
次に、第3実施形態に係る球面収差補正装置500における球面収差補正方法について説明する。図20は、第3実施形態に係る球面収差補正装置500における球面収差補正方法の一例を示すフローチャートである。
次に、第3実施形態の変形例について説明する。図21は、第3実施形態の変形例に係る球面収差補正装置600の光学系を示す図である。
が重畳された重畳場をつくっている。
次に、第4実施形態に係る球面収差補正装置について、図面を参照しながら説明する。
なお、本発明は上述した実施形態や変形例に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
場重畳部、130…偏向部、131,132,133,134,135,136…偏向コイル、140,142…転送レンズ、200,300…球面収差補正装置、310…四極子場重畳部、400,500…球面収差補正装置、510…偏向場重畳部、600…球面収差補正装置
Claims (13)
- 像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、
多段の六極子場を発生させる六極子場発生部と、
前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する八極子場重畳部と、
荷電粒子線を偏向させる偏向部と、
を含む、球面収差補正装置。 - 請求項1において、
前記偏向部は、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記八極子場によって導入される四回非点収差が補正される大きさにする、球面収差補正装置。 - 像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、
多段の六極子場を発生させる六極子場発生部と、
前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する四極子場を重畳する四極子場重畳部と、
荷電粒子線を偏向させる偏向部と、
を含む、球面収差補正装置。 - 請求項3において、
前記偏向部は、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記四極子場によって導入されるスター収差が補正される大きさにする、球面収差補正装置。 - 像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、
多段の六極子場を発生させる六極子場発生部と、
前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する偏向場を重畳する偏向場重畳部と、
荷電粒子線を偏向させる偏向部と、
を含む、球面収差補正装置。 - 請求項5において、
前記偏向部は、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記偏向場によって導入されるスター収差が補正される大きさにする、球面収差補正装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記六極子場発生部は、二段に配置された多極子を有する、球面収差補正装置。 - 請求項7において、
二段に配置された前記多極子の間に配置されている転送レンズを含む、球面収差補正装置。 - 像および回折図形を取得する荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
多段の六極子場を構成する前記六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する工程と、
荷電粒子線を偏向させて、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記八極子場によって導入される四回非点収差が補正される大きさにする工程と、
を含む、球面収差補正方法。 - 像および回折図形を取得する荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
多段の六極子場を構成する前記六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する四極子場を重畳する工程と、
荷電粒子線を偏向させて、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記四極子場によって導入されるスター収差が補正される大きさにする工程と、
を含む、球面収差補正方法。 - 像および回折図形を取得する荷電粒子線装置の球面収差補正方法であって、
多段の六極子場を構成する前記六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する偏向場を重畳する工程と、
荷電粒子線を偏向させて、前記六極子場における前記荷電粒子線の傾きを、前記偏向場によって導入されるスター収差が補正される大きさにする工程と、
を含む、球面収差補正方法。 - 請求項9ないし11のいずれか1項において、
前記多段の六極子場は、二段の六極子場である、球面収差補正方法。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の球面収差補正装置を含む、荷電粒子線装置。
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