JP2015023098A - 増幅回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、それぞれが窒化物半導体によって構成されたチャネル層14と電子供給層16とを含む第1積層構造を備え、チャネル層14と電子供給層16の間の二次元電子ガスをチャネルとするHEMT102と、HEMT102のチャネル層14および電子供給層16と同じ層を含む第2積層構造を備え、第2積層構造に生じる二次元電子ガスを抵抗要素とする抵抗素子104と、を有し、抵抗素子104がHEMT102の出力および入力の少なくとも一方に対する減衰回路として、HEMT102に接続されてなる増幅回路。
【選択図】図1
Description
microwave integrated circuit:MMIC)である。HEMT40、44及び50のそれぞれが図1(a)のHEMT102に対応する。回路106が備える抵抗R1、R4及びR7のそれぞれは図1(a)の抵抗素子104に対応する。入力端子Inから出力端子Outにかけて、キャパシタC1からキャパシタC6の手前までを一段目108、キャパシタC6からキャパシタC11の手前までを二段目110、キャパシタC11から分布定数線路56の手前までを三段目112とする。
14 チャネル層
16 電子供給層
18 キャップ層
20 ゲート電極
22 ソース電極
24 ドレイン電極
100 増幅回路
40、44、50、102 HEMT
104、104a、104b 抵抗素子
106 回路
Claims (4)
- それぞれが窒化物半導体によって構成されたチャネル層と電子供給層とを含む第1積層構造を備え、前記チャネル層と前記電子供給層の間の二次元電子ガスをチャネルとするトランジスタと、
前記トランジスタの前記チャネル層および電子供給層と同じ層を含む第2積層構造を備え、前記第2積層構造に生じる二次元電子ガスを抵抗要素とする抵抗素子と、を有し、
前記抵抗素子が前記トランジスタの出力および入力の少なくとも一方に対する減衰回路として、前記トランジスタに接続されてなることを特徴とする増幅回路。 - 窒化物半導体層に複数の前記トランジスタ、及び複数の前記抵抗素子が形成され、
前記複数の抵抗素子は、前記複数のトランジスタのそれぞれの出力および入力の少なくとも一方に対する減衰回路として前記トランジスタに接続されてなることを特徴とする請求項1記載の増幅回路。 - 前記トランジスタはHEMTであることを特徴とする請求項1または2記載の増幅回路。
- 前記チャネル層は窒化ガリウム層であり、
前記電子供給層は前記チャネル層の上面に設けられた窒化アルミニウムガリウム層であることを特徴とする請求項1から3いずれか一項記載の増幅回路。
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