JP2015021909A

JP2015021909A - インピーダンス測定装置

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Publication number: JP2015021909A
Application number: JP2013152171A
Authority: JP
Inventors: 正美北澤; Masami Kitazawa; 康良鎌田; Yasuyoshi Kamata; 力山口; Tsutomu Yamaguchi
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2013-07-23
Filing date: 2013-07-23
Publication date: 2015-02-02

Abstract

【課題】正常なショート補正値をより高い確度で測定する。【解決手段】処理部１３は、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４がショート状態での第１電流Ｉ１および第１電圧Ｖ１に基づいてショート補正値Ｚｓを測定するショート補正値測定処理、並びに各プローブ３，４が測定対象２に接続されている状態での第１電流Ｉ１および第１電圧Ｖ１に基づいて測定対象２のインピーダンスＺを測定すると共にショート補正値Ｚｓで補正して測定対象２についての最終的なインピーダンスＺを算出するインピーダンス測定処理を実行する。また、処理部１３は、このショート補正値測定処理において、第１電流Ｉ１および第１電圧Ｖ１に基づいて算出した残留インピーダンスが上限値Ｚｔｈ１以下のときにこれをショート補正値Ｚｓとして測定する。【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象の各端部に接触させられる一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブを備えて測定対象のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置に関するものである。

この種のインピーダンス測定装置として、出願人は、下記非特許文献１に開示されたインピーダンス測定装置（ＬＣＲメータ）を既に提案している。このインピーダンス測定装置は、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブを備えて測定対象のインピーダンスを４端子法によって測定可能に構成されている。また、このインピーダンス測定装置は、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブ（以下、「測定プローブ」ともいう）の浮遊アドミタンス（オープン残留成分）を測定してオープン補正値として記憶する機能、および測定プローブの残留インピーダンス（ショート残留成分）を測定してショート補正値として記憶する機能を備え、算出した測定対象のインピーダンスに対して、記憶しているオープン補正値およびショート補正値で補正することにより、測定対象のインピーダンスをより少ない誤差で測定可能になっている。

ＩＭ３５３３ＩＭ３５３３−０１ＬＣＲメータ、取扱説明書、日置電機株式会社、２０１２年９月発行改訂１版、付録８（オープン補正とショート補正について）

ところで、上記の２つの補正値のうちのショート補正値を測定する際には、上記の非特許文献１に記載されているように、例えばショートバーなどを使用して一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてをショート（短絡）させ、この状態においてインピーダンスを測定する。このようにして測定されたインピーダンスは、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブ全体（測定プローブ）の残留インピーダンスであるため、上記のインピーダンス測定装置は、この測定された残留インピーダンスをショート補正値として記憶する。

しかしながら、このショート補正値の測定の際に、希に、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてをショートさせたつもりであっても、一対の電圧検出プローブのうちのいずれか一方または双方が一対の電流供給プローブとショートに近い状態ではあるが良好なショート状態にはなっていない場合がある。この場合には、測定される残留インピーダンスは誤った値であるため、インピーダンス測定装置がこの測定された残留インピーダンスをショート補正値として誤って記憶するという事態が発生することがある。したがって、このインピーダンス測定装置には、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてが良好にショートされていないときに測定されたショート補正値を正常なショート補正値であると誤って記憶することが希に発生するという改善すべき課題が存在している。

また、オープン補正値を測定する際には、一対の電流供給プローブのうちの一方の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのうちの一方の電圧検出プローブ（測定対象の一方の電極に接触させるプローブ）をショート（短絡）させると共に、一対の電流供給プローブのうちの他方の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのうちの他方の電圧検出プローブ（測定対象の他方の電極に接触させるプローブ）をショート（短絡）させ、かつ一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブと他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブとの間をオープンにし（一対の電流供給プローブをオープンにするのと等価である）、この状態においてインピーダンスを測定する。このようにして測定されたインピーダンスの逆数は、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブの浮遊アドミタンスであるため、上記のインピーダンス測定装置は、この測定された浮遊アドミタンスをオープン補正値として記憶する。

しかしながら、このオープン補正値の測定の際にも、希に、一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブをショートさせたつもりであっても、ショートに近い状態ではあるが良好なショート状態にはなっていない場合や、他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブをショートさせたつもりであっても、ショートに近い状態ではあるが良好なショート状態にはなっていない場合がある。また、一対の電流供給プローブをオープンにしたつもりであっても、オープンに近い状態ではあるが良好なオープン状態にはなっていない場合がある。これらのうちの良好なショート状態ではないもののショートに近い状態にはなっている上記の２つの場合においては、オープン補正値はほぼ正常に測定できる。しかしながら、一対の電流供給プローブが良好なオープン状態にはなっていない場合には、測定される浮遊アドミタンスは誤った値であるため、インピーダンス測定装置がこの測定された浮遊アドミタンスをオープン補正値として誤って記憶するという事態が発生することがある。したがって、このインピーダンス測定装置には、一対の電流供給プローブが良好なオープン状態ではないときに測定されたオープン補正値を正常なオープン補正値であると誤って記憶することが希に発生するという改善すべき課題が存在している。

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、正常なショート補正値をより高い確度で測定し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。また、正常なオープン補正値をより高い確度で測定し得るインピーダンス測定装置を提供することを他の主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブがショート状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいてショート補正値を測定するショート補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記ショート補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、前記処理部は、前記ショート補正値測定処理において、前記第１電流および前記第１電圧に基づいて算出した残留インピーダンスが予め規定された上限値以下のときに、当該残留インピーダンスを前記ショート補正値として測定する。

また、請求項２記載のインピーダンス測定装置は、一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、前記一方の電流供給プローブおよび前記一方の電圧検出プローブ間がショート状態であり、前記他方の電流供給プローブおよび前記他方の電圧検出プローブ間がショート状態であり、かつ前記一対の電流供給プローブがオープン状態であるときの前記第１電流および前記第１電圧に基づいてオープン補正値を測定するオープン補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記オープン補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、前記処理部は、前記オープン補正値測定処理において、前記第１電流および前記第１電圧に基づいて算出した浮遊アドミタンスが予め規定された上限値以下のときに、当該浮遊アドミタンスを前記オープン補正値として測定する。

請求項１記載のインピーダンス測定装置では、処理部は、ショート補正値測定処理において、算出したショート補正値と予め規定された上限値とを比較して、ショート補正値が上限値以下のときに（すなわち、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブが互いに良好な状態でショートされているとみなせるときに）、このショート補正値をこのショート補正値測定処理で測定されたショート補正値とする。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、測定したショート補正値が正常なショート補正値を測定し得る状態で測定したショート補正値である確度をより高めることができるため、測定対象のインピーダンスを正確に測定する確度を高めることができる。

また、請求項２記載のインピーダンス測定装置では、処理部は、オープン補正値測定処理において、算出したオープン補正値と予め規定された上限値とを比較して、オープン補正値が上限値以下のときに（すなわち、一対の電流供給プローブがオープン状態にあるとみなせるときに）、このオープン補正値をこのオープン補正値測定処理で測定されたオープン補正値とする。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、測定したオープン補正値が正常なオープン補正値を測定し得る状態で測定したオープン補正値である確度をより高めることができるため、測定対象のインピーダンスを正確に測定する確度を高めることができる。

インピーダンス測定装置１の構成を示す構成図である。ショート補正値測定処理５０を説明するためのフローチャートである。インピーダンス測定処理６０を説明するためのフローチャートである。他のショート補正値測定処理５０Ａを説明するためのフローチャートである。オープン補正値測定処理７０を説明するためのフローチャートである。

以下、添付図面を参照して、インピーダンス測定装置の実施の形態について説明する。

まず、インピーダンス測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。

インピーダンス測定装置１は、図１に示すように、測定対象２のインピーダンスＺを測定する装置であって、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂ（特に区別しないときには「電流供給プローブ３」ともいう）、一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ（特に区別しないときには「電圧検出プローブ４」ともいう）、第１電流供給部５、第２電流供給部６、第３電流供給部７、第１電圧検出部８、第２電圧検出部９、第３電圧検出部１０、スイッチ１１，１２、処理部１３、記憶部１４および出力部１５を備えている。

一対の電流供給プローブ３は、図１に示すように、第１電流供給部５に接続されると共に、一方の電流供給プローブ３ａが測定対象２の一方の端部２ａに接触され、他方の電流供給プローブ３ｂが測定対象２の他方の端部２ｂに接触される。一対の電圧検出プローブ４は、第１電圧検出部８に接続されると共に、一方の電圧検出プローブ４ａが測定対象２の一方の端部２ａに接触され、他方の電圧検出プローブ４ｂが測定対象２の他方の端部２ｂに接触される。

第１電流供給部５は、図１に示すように、一例として定電流源５ａとスイッチ５ｂとを備えて構成されている。また、定電流源５ａは、予め規定された電流値（振幅が一定）の第１電流（一例として、予め規定された周波数の交流定電流）Ｉ１を出力可能に構成されると共に、スイッチ５ｂを介して一対の電流供給プローブ３に接続されている。また、定電流源５ａは処理部１３によって制御されることにより、第１電流Ｉ１の出力およびその停止を実行する。また、定電流源５ａは、電流検出器およびＡ／Ｄ変換器（いずれも図示せず）を備えて、出力している第１電流Ｉ１をこの電流検出器で電圧信号に変換すると共に、この変換された電圧信号をこのＡ／Ｄ変換器で波形データＤｉ（第１電流Ｉ１の電流波形を示す波形データ）に変換して出力する。なお、この波形データＤｉを出力する機能については、上記のように定電流源５ａに内蔵させる構成を採用することもできるし、第１電流供給部５の外部に、上記の機能を有する電流検出器およびＡ／Ｄ変換器を配設する構成を採用することもできる。

また、第１電流供給部５については、定電流源５ａを使用する上記の構成に代えて、電圧源、電流検出器、Ａ／Ｄ変換器、およびスイッチ５ｂを有する構成を採用することもできる。この構成の第１電流供給部５では、電圧源は、予め規定された周波数の交流電圧を出力可能に構成されると共に、スイッチ５ｂを介して一対の電流供給プローブ３に接続されている。また、電流検出器は、電圧源からの交流電圧がスイッチ５ｂを介して一対の電流供給プローブ３間に印加されることによって電圧源から出力される電流を第１電流Ｉ１として検出して電圧信号に変換し、Ａ／Ｄ変換器は、この変換された電圧信号を波形データＤｉに変換して出力する。

また、スイッチ５ｂは、処理部１３によって制御されることにより、オン状態またはオフ状態のいずれか一方の状態に移行して、オン状態のときに一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続し、オフ状態のときに一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａから切り離す。

なお、定電流源５ａは、予め規定された周波数で第１電流Ｉ１を出力する構成に代えて、処理部１３によって設定された周波数で第１電流Ｉ１を出力する構成を採用することもできる。この構成を採用することにより、処理部１３は、定電流源５ａから任意の周波数で第１電流Ｉ１を出力させることが可能になる。

第２電流供給部６は、図１に示すように、予め規定された既知の電流値の第２電流（直流定電流）Ｉ２を一対の出力端子（図示せず）から出力可能に構成されている。また、第２電流供給部６は、一対の出力端子がスイッチ１１を介して一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａに接続されている。また、第２電流供給部６は、処理部１３によって制御されることにより、第２電流Ｉ２の出力およびその停止を実行する。また、スイッチ１１も、処理部１３によって制御されることにより、オン状態またはオフ状態のいずれか一方の状態に移行して、オン状態のときに一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを第２電流供給部６の一対の出力端子に接続し、オフ状態のときに一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａをこの一対の出力端子から切り離す。

第３電流供給部７は、図１に示すように、予め規定された既知の電流値の第３電流（直流定電流）Ｉ３を一対の出力端子（図示せず）から出力可能に構成されている。また、第３電流供給部７は、一対の出力端子がスイッチ１２を介して他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂに接続されている。また、第３電流供給部７は、処理部１３によって制御されることにより、第３電流Ｉ３の出力およびその停止を実行する。また、スイッチ１２も、処理部１３によって制御されることにより、オン状態またはオフ状態のいずれか一方の状態に移行して、オン状態のときに他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを第３電流供給部７の一対の出力端子に接続し、オフ状態のときに他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂをこの一対の出力端子から切り離す。

第１電圧検出部８は、図１に示すように、一例として増幅部８ａおよびＡ／Ｄ変換部８ｂで構成されている。増幅部８ａは、一対の入力端子（図示せず）のうちの一方の入力端子が一方の電圧検出プローブ４ａに接続されると共に、他方の入力端子が他方の電圧検出プローブ４ｂに接続されている。この構成により、増幅部８ａは、一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ間に発生する第１電圧Ｖ１を入力して、所定の増幅率で増幅して電圧信号Ｖ１ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部８ｂは、電圧信号Ｖ１ａを所定の周波数のサンプリングクロック（図示せず）でサンプリングすることにより、電圧信号Ｖ１ａの波形データＤ１を出力する。

第２電圧検出部９は、図１に示すように、一例として増幅部９ａおよびＡ／Ｄ変換部９ｂで構成されている。増幅部９ａは、一対の入力端子（図示せず）のうちの一方の入力端子が第２電流供給部６の一対の出力端子のうちの一方の出力端子に接続されると共に、他方の入力端子が第２電流供給部６の他方の出力端子に接続されている。したがって、増幅部９ａは、一対の入力端子がスイッチ１１を介して一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａに接続されている。この構成により、増幅部９ａは、スイッチ１１がオン状態のときには、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間に発生する第２電圧Ｖ２をスイッチ１１を介して入力して、所定の増幅率で増幅して電圧信号Ｖ２ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部９ｂは、電圧信号Ｖ２ａを所定の周波数（一例としてＡ／Ｄ変換部８ｂと同じ周波数）のサンプリングクロック（図示せず）でサンプリングすることにより、電圧信号Ｖ２ａの波形データＤ２を出力する。

第３電圧検出部１０は、図１に示すように、一例として増幅部１０ａおよびＡ／Ｄ変換部１０ｂで構成されている。増幅部１０ａは、一対の入力端子（図示せず）のうちの一方の入力端子が第３電流供給部７の一対の出力端子のうちの一方の出力端子に接続されると共に、他方の入力端子が第３電流供給部７の他方の出力端子に接続されている。したがって、増幅部１０ａは、一対の入力端子がスイッチ１２を介して他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂに接続されている。この構成により、増幅部１０ａは、スイッチ１２がオン状態のときには、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間に発生する第３電圧Ｖ３をスイッチ１２を介して入力して、所定の増幅率で増幅して電圧信号Ｖ３ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部１０ｂは、電圧信号Ｖ３ａを所定の周波数（一例としてＡ／Ｄ変換部８ｂと同じ周波数）のサンプリングクロック（図示せず）でサンプリングすることにより、電圧信号Ｖ３ａの波形データＤ３を出力する。

処理部１３は、一例としてＣＰＵで構成されて、ショート補正値測定処理５０（図２参照）、オープン補正値測定処理、接続検出処理、およびインピーダンス測定処理６０（図３参照）を実行する。また、処理部１３は、第１電流供給部５、第２電流供給部６、第３電流供給部７およびスイッチ１１，１２に対する上記した制御についても実行する。

この場合、処理部１３は、ショート補正値測定処理５０では、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ全体の残留インピーダンスＺｓをショート補正値（以下、「ショート補正値Ｚｓ」ともいう）として測定して記憶する。また、処理部１３は、オープン補正値測定処理では、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとの間の浮遊アドミタンスＹｏをオープン補正値（以下、「オープン補正値Ｙｏ」ともいう）として測定して記憶する。

また、処理部１３は、接続検出処理では、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが互いに接続されているか否か（ショート状態であるか否か）を検出すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが互いに接続されているか否か（ショート状態であるか否か）を検出する。また、処理部１３は、インピーダンス測定処理６０では、測定対象２のインピーダンスＺを測定する。

記憶部１４は、ＲＯＭやＲＡＭなどの半導体メモリで構成されて、処理部１３のためのワークメモリとして機能する。また、記憶部１４には、処理部１３についての動作プログラム、後述するショート補正値Ｚｓに対する上限値Ｚｔｈ１、および後述するオープン補正値Ｙｏに対する上限値Ｚｔｈ２が予め記憶されている。出力部１５は、一例としてＬＣＤなどの表示装置で構成されて、処理部１３によって実行されたショート補正値測定処理およびオープン補正値測定処理での処理結果（エラー表示）、並びにインピーダンス測定処理での処理結果（エラー表示およびインピーダンスＺ）を表示する。

次に、インピーダンス測定装置１の動作について説明する。

インピーダンス測定装置１では、まず、処理部１３が、図２に示すショート補正値測定処理５０を実行する。なお、処理部１３によるショート補正値測定処理５０の実行前に、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂは、例えばショートバーなどを使用して互いにショート（短絡）させられている。

ショート補正値測定処理５０では、処理部１３は、まず、ショート補正値算出処理を実行する（ステップ５１）。このショート補正値算出処理では、処理部１３は、最初に、第１電流供給部５に対する制御を実行して、スイッチ５ｂをオン状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続する。

次いで、処理部１３は、定電流源５ａに対する制御を実行して、一対の電流供給プローブ３間への第１電流Ｉ１の供給を開始させる。これにより、第１電圧検出部８では、増幅部８ａが、一対の電流供給プローブ３間に第１電流Ｉ１が流れることによって一対の電流供給プローブ３間に発生する第１電圧Ｖ１を入力すると共に増幅して、電圧信号Ｖ１ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部８ｂは、この電圧信号Ｖ１ａを波形データＤ１に変換して処理部１３に出力する。また、定電流源５ａは、第１電流Ｉ１の供給を開始したときには、波形データＤｉの処理部１３への出力についても開始する。処理部１３は、各波形データＤ１，Ｄｉを、例えば第１電流Ｉ１の１周期分だけ取得して、記憶部１４に記憶させる。

続いて、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ全体の残留インピーダンスＺｓをショート補正値Ｚｓとして算出する。

次いで、処理部１３は、算出したショート補正値Ｚｓと予め規定されたショート補正値Ｚｓについての上限値Ｚｔｈ１とを比較して、このショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下か否かを判別する（ステップ５２）。

この場合、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが上記したようにショートバーなどで互いに良好な状態でショートさせられている（ショート補正値の測定条件が満たされている）ときには、相互間の接触抵抗は極めて小さいのに対し、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられていないときには、相互間の接触抵抗は大きくなる。このため、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが上記したようにショートバーなどで互いに良好な状態でショートさせられているときに算出される残留インピーダンスＺｓを実験などで予め複数回測定し、この測定した複数の残留インピーダンスＺｓの上限値を上記した上限値Ｚｔｈ１として使用する。

これにより、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられているときには、算出されたショート補正値Ｚｓは上限値Ｚｔｈ１以下になり、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられていないときには、算出されたショート補正値Ｚｓは上限値Ｚｔｈ１を上回る。言い換えれば、算出されたショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下のときには、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられているとみなすことができ、一方、算出されたショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１を上回るときには、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられていないとみなすことができる。

したがって、処理部１３は、ステップ５２での比較の結果、ショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下ではない（ショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１を上回る）と判別したときには、このショート補正値Ｚｓは一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられていない（ショート補正値の測定条件が満たされていない）ときのものであるため、誤ったショート補正値Ｚｓであるとして、その旨をエラー表示として出力部１５に表示させ（ステップ５３）、ショート補正値測定処理５０を完了させる。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂをショート状態に接続し直して、処理部１３にショート補正値測定処理５０の実行を再度開始させる。

一方、処理部１３は、ステップ５２での比較の結果、ショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下であると判別したときには、このショート補正値Ｚｓは一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂが良好な状態でショートさせられている（ショート補正値の測定条件が満たされている）ときのものであるため、正しいショート補正値Ｚｓであるとして、記憶部１４に記憶させ（ステップ５４）、ショート補正値測定処理５０を完了させる。

このインピーダンス測定装置１では、このようにショート補正値測定処理において、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４のすべてがショート状態になっているとみなせる状態にあることを検出して初めてショート補正値Ｚｓを記憶する構成を採用することで、測定したショート補正値Ｚｓが正常なショート補正値Ｚｓを測定し得る状態で測定したショート補正値Ｚｓである確度をより高めることが可能になっている。

次いで、処理部１３は、図５に示すオープン補正値測定処理７０を実行する。なお、処理部１３によるオープン補正値測定処理７０の実行前に、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを互いに接続（ショート）させると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを互いに接続（ショート）させる。また、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとをオープン状態（未接続状態）に移行させる。この場合、上記のように電流供給プローブ３ａおよび電圧検出プローブ４ａが互いにショートされ、かつ電流供給プローブ３ｂおよび電圧検出プローブ４ｂが互いにショートされている状態においては、電流供給プローブ３ａおよび電圧検出プローブ４ａと、電流供給プローブ３ｂおよび電圧検出プローブ４ｂとをオープン状態にすることと、一対の電流供給プローブ３をオープン状態にすることと同じである。

処理部１３は、このオープン補正値測定処理７０では、まず、オープン補正値算出処理を実行する（ステップ７１）。このオープン補正値算出処理では、処理部１３は、最初に、第１電流供給部５に対する制御を実行して、スイッチ５ｂをオン状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続する。

続いて、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ全体のインピーダンスを算出すると共に、その逆数である浮遊アドミタンスＹｏをオープン補正値Ｙｏとして算出する。

次いで、処理部１３は、算出したオープン補正値Ｙｏと予め規定されたオープン補正値Ｙｏについての上限値Ｚｔｈ２とを比較して、このオープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２以下か否かを判別する（ステップ７２）。

この場合、上記したように、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショートされると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショートされ、かつ、一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行されているときには、浮遊アドミタンスＹｏは小さくなるのに対して、一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行していないときには、浮遊アドミタンスＹｏは大きくなる。このため、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショートされると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショートされ、かつ一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行されているときに算出される浮遊アドミタンスＹｏを実験などで予め複数回測定し、この測定した複数の浮遊アドミタンスＹｏの上限値を上記した上限値Ｚｔｈ２として使用する。

これにより、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショートされると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショートされ、かつ一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行されているとき（オープン補正値の測定条件が満たされているとき）には、算出されるオープン補正値Ｙｏは上限値Ｚｔｈ２以下になり、このオープン補正値の測定条件のうちの一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行されるという条件が満たされていないときには、算出されたオープン補正値Ｙｏは上限値Ｚｔｈ２を上回る。言い換えれば、算出されたオープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２以下のときには、このオープン補正値の測定条件が満たされているとみなすことができ、一方、算出されたオープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２を上回るときには、オープン補正値の測定条件が満たされていない（少なくとも、一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行させられていない）とみなすことができる。

したがって、処理部１３は、ステップ７２での比較の結果、オープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２以下ではない（オープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２を上回る）と判別したときには、このオープン補正値Ｙｏは、一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行させられていない（つまり、オープン補正値の測定条件が満たされていない）ときのものであるとみなし、その結果、誤ったオープン補正値Ｙｏであるとして、その旨をエラー表示として出力部１５に表示させ（ステップ７３）、オープン補正値測定処理７０を完了させる。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａをショート状態に接続し直すと共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂをショート状態に接続し直し、かつ一対の電流供給プローブ３をオープン状態にし直して、処理部１３にオープン補正値測定処理７０の実行を再度開始させる。

一方、処理部１３は、ステップ７２での比較の結果、オープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２以下であると判別したときには、このオープン補正値Ｙｏは、オープン補正値の測定条件が満たされている状態で測定されたものであるとみなし、正常なオープン補正値Ｙｏであるとして、記憶部１４に記憶させ（ステップ７４）、オープン補正値測定処理７０を完了させる。

このインピーダンス測定装置１では、このようにオープン補正値測定処理７０において、上記のオープン補正値Ｙｏを正常に測定するためのオープン補正値の測定条件のうちの一対の電流供給プローブ３が良好なオープン状態に移行させられているという１つの条件を満たすことを検出して初めてオープン補正値Ｙｏを記憶する構成を採用することで、測定したオープン補正値Ｙｏが正常なオープン補正値Ｙｏを測定し得る状態で測定したオープン補正値Ｙｏである確度をより高めることが可能になっている。

次に、インピーダンス測定装置１では、処理部１３が、図３に示すインピーダンス測定処理６０を実行する。なお、処理部１３によるインピーダンス測定処理６０の実行前に、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを測定対象２の一方の端部２ａに接触させ、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを測定対象２の他方の端部２ｂに接触させる。

インピーダンス測定処理６０では、処理部１３は、まず、接続検出処理を実行することにより、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが共に測定対象２の一方の端部２ａに接触し（つまり、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが一方の端部２ａを介してショートし）、かつ他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが共に測定対象２の他方の端部２ｂに接触し（つまり、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが他方の端部２ｂを介してショートし）ているか否かを検出する（ステップ６１）。

具体的には、この接続検出処理では、処理部１３は、まず、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａのショート状態を検出する際には、第１電流供給部５に対する制御を実行して、スイッチ５ｂをオフ状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂを定電流源５ａから切り離す。次いで、処理部１３は、スイッチ１１に対する制御を実行して、スイッチ１１をオフ状態からオン状態に一定時間（例えば数秒）だけ移行させることにより、増幅部９ａの一対の入力端子と第２電流供給部６の一対の出力端子とに、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａをそれぞれ一定時間だけ接続する。

続いて、処理部１３は、第２電流供給部６に対する制御を実行して、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間への第２電流Ｉ２の供給を上記の一定時間の間だけ実行させる。これにより、第２電圧検出部９では、増幅部９ａが、この両プローブ３ａ，４ａに第２電流Ｉ２が流れることによって両プローブ３ａ，４ａ間に発生する第２電圧Ｖ２を入力すると共に増幅して、電圧信号Ｖ２ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部９ｂは、この電圧信号Ｖ２ａを波形データＤ２に変換して出力する。

処理部１３は、上記の一定時間の間にこの波形データＤ２を取得すると共に、この波形データＤ２に基づいて第２電圧Ｖ２の電圧値を算出する。また、処理部１３は、この算出した第２電圧Ｖ２の電圧値と第２電流Ｉ２の既知の電流値とに基づいて、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のインピーダンス（この例では抵抗値）を算出する。また、処理部１３は、算出した抵抗値を予め規定されたしきい値と比較する。この接続検出処理では、処理部１３は、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態（この例ではショートバーを介してのショート状態）であるか否かを検出するため、しきい値は例えば１Ω未満の小さい抵抗値に規定されている。

処理部１３は、この比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値を超えるときには、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態にはないと判別して接続検出処理を一旦終了させ、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ６２）、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂをショート状態に接続し直す作業を作業者に対して促した後に、接続検出処理を再度開始する。

一方、処理部１３は、ステップ６１での比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値以下のときには、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態にあると判別して、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂのショート状態についての検出を開始する。なお、上記の一定時間の間だけオン状態に移行していたスイッチ１１は、処理部１３により、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａのショート状態についての検出が完了するまでにオフ状態に制御されている。

この各プローブ３ｂ，４ｂのショート状態の検出に際して、処理部１３は、スイッチ１２に対する制御を実行して、スイッチ１２をオフ状態からオン状態に一定時間（例えば数秒）だけ移行させることにより、増幅部１０ａの一対の入力端子と第３電流供給部７の一対の出力端子とに、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂをそれぞれ一定時間だけ接続する。

続いて、処理部１３は、第３電流供給部７に対する制御を実行して、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間への第３電流Ｉ３の供給を上記の一定時間の間だけ実行させる。これにより、第３電圧検出部１０では、増幅部１０ａが、この両プローブ３ｂ，４ｂに第３電流Ｉ３が流れることによって両プローブ３ｂ，４ｂ間に発生する第３電圧Ｖ３を入力すると共に増幅して、電圧信号Ｖ３ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部１０ｂは、この電圧信号Ｖ３ａを波形データＤ３に変換して出力する。

処理部１３は、上記の一定時間の間にこの波形データＤ３を取得すると共に、上記した波形データＤ２のときと同様にして、第３電圧Ｖ３の電圧値を算出し、この算出した第３電圧Ｖ３の電圧値と第３電流Ｉ３の既知の電流値とに基づいて、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のインピーダンス（この例では抵抗値）を算出する。また、処理部１３は、算出した抵抗値を予め規定されたしきい値と比較することにより、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態であるか否かを検出する。

処理部１３は、この比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値を超えるときには、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態にはないと判別して接続検出処理を一旦終了させ、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ６２）、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂをショート状態に接続し直す作業を作業者に対して促した後に、接続検出処理を再度開始する。

一方、処理部１３は、ステップ６１での検出の結果、算出した抵抗値がこのしきい値以下のときには、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態にあると判別して接続検出処理を終了させ、次いで、インピーダンス算出処理を実行する（ステップ６３）。なお、処理部１３によって上記の接続検出処理において一定時間だけオン状態に移行させられた各スイッチ１１，１２については、このインピーダンス算出処理の実行前までにいずれもオフ状態に移行させられている。

このインピーダンス算出処理では、処理部１３は、まず、第１電流供給部５のスイッチ５ｂに対する制御を実行して、オン状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続する。次いで、処理部１３は、定電流源５ａに対する制御を実行して、一対の電流供給プローブ３間への第１電流Ｉ１の供給を開始させる。これにより、測定対象２の各端部２ａ，２ｂ間には、第１電流Ｉ１が流れることによって測定対象２のインピーダンスＺに応じた交流電圧が発生する。

第１電圧検出部８では、増幅部８ａが、この交流電圧を一対の電圧検出プローブ４を介して第１電圧Ｖ１として入力すると共に増幅して電圧信号Ｖ１ａとして出力し、Ａ／Ｄ変換部８ｂが、電圧信号Ｖ１ａを波形データＤ１に変換して処理部１３に出力する。

処理部１３は、この波形データＤ１と定電流源５ａから出力される波形データＤｉとを取得して、記憶部１４に記憶させる。次いで、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、一対の電流供給プローブ３、一対の電圧検出プローブ４および測定対象２全体のインピーダンスを算出する。続いて、処理部１３は、この算出したインピーダンスを、記憶部１４に記憶されているショート補正値Ｚｓおよびオープン補正値Ｙｏで補正することにより、測定対象２の最終的なインピーダンスＺを算出して記憶部１４に記憶させる。これによりインピーダンス算出処理が完了する。

次いで、処理部１３は、出力処理を実行して（ステップ６４）、算出したインピーダンスＺを出力部１５にインピーダンス測定処理の処理結果として表示させる。これにより、インピーダンス測定処理が完了する。

このように、このインピーダンス測定装置１では、処理部１３は、ショート補正値測定処理５０において、算出したショート補正値Ｚｓと予め規定されたショート補正値Ｚｓについての上限値Ｚｔｈ１とを比較して、このショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下のときに（つまり、ショート補正値の測定条件が満たされているとみなせるときに）、この算出したショート補正値Ｚｓをショート補正値測定処理５０で測定されたショート補正値Ｚｓとして記憶部１４に記憶させる。

したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、測定したショート補正値Ｚｓが正常なショート補正値Ｚｓを測定し得る状態で測定したショート補正値Ｚｓである確度をより高めることができるため、このショート補正値Ｚｓに基づいて測定対象のインピーダンスＺを正確に測定し得る確度を高めることができる。

また、このインピーダンス測定装置１では、処理部１３は、オープン補正値測定処理７０において、算出したオープン補正値Ｙｏと予め規定されたオープン補正値Ｙｏについての上限値Ｚｔｈ２とを比較して、このオープン補正値Ｙｏが上限値Ｚｔｈ２以下のときに（つまり、オープン補正値の測定条件が満たされているとみなせるときに）、この算出したオープン補正値Ｙｏをオープン補正値測定処理７０で測定されたオープン補正値Ｙｏとして記憶部１４に記憶させる。

したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、測定したオープン補正値Ｙｏが正常なオープン補正値Ｙｏを測定し得る状態で測定したオープン補正値Ｙｏである確度をより高めることができるため、このオープン補正値Ｙｏに基づいて測定対象のインピーダンスＺを正確に測定し得る確度をより高めることができる。

なお、上記の例では、第１電流供給部５の定電流源５ａが予め規定された一定の周波数（１つの周波数）の第１電流Ｉ１を供給し、処理部１３が、このときの各波形データＤ１，Ｄｉに基づいてこの一定の周波数での測定対象２のインピーダンスＺを測定する構成を採用しているため、ショート補正値Ｚｓおよびオープン補正値Ｙｏについてもこの一定の周波数の第１電流Ｉ１を供給して測定する構成を採用しているが、第１電流供給部５の定電流源５ａが予め規定された複数の周波数の第１電流Ｉ１を順次供給し、処理部１３が、各周波数での各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて各周波数での測定対象２のインピーダンスＺを測定する構成を採用することもでき、この構成を採用したときには、ショート補正値Ｚｓやオープン補正値Ｙｏについても周波数毎に測定する必要がある。

以下、ショート補正値Ｚｓを例に挙げて説明する。この場合、処理部１３は、図２に示す上記したショート補正値測定処理５０に、第１電流Ｉ１の周波数を設定するステップ５５と、予め規定された複数の周波数での補正値（ショート補正値Ｚｓ）の測定がすべて完了したか否かを判別するステップ５６とを追加した図４に示すショート補正値測定処理５０Ａを実行することにより、複数の周波数でのショート補正値Ｚｓを測定して記憶部１４に記憶させる。

この構成を採用したインピーダンス測定装置１では、処理部１３は、複数の周波数のうちの１つの周波数に第１電流Ｉ１の周波数を設定し（ステップ５５）、この設定した周波数においてショート補正値算出処理を実行してショート補正値Ｚｓを算出し（ステップ５１）、この算出したショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下か否かを検出し（ステップ５２）、この比較の結果、ショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１を上回っているときには、算出したショート補正値Ｚｓに誤りがあると判別して、その旨を示すエラー表示を行い（ステップ５３）、ショート補正値Ｚｓが上限値Ｚｔｈ１以下のときには、算出したショート補正値Ｚｓがショート補正値の測定条件を満たしたときに測定されたものであるとみなして、算出したショート補正値Ｚｓをショート補正値測定処理でのショート補正値として記憶部１４に記憶させる（ステップ５４）という動作を、ステップ５６において全周波数でのショート補正値Ｚｓの測定が完了したか否かを判別しつつ繰り返すことにより、複数の周波数でのショート補正値Ｚｓの測定を実行する。

したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、正常なショート補正値Ｚｓを測定し得るとみなせる状態で各周波数においてショート補正値Ｚｓを測定することができるため、この正常なショート補正値Ｚｓに基づいて各周波数での測定対象２のインピーダンスＺを正確に測定し得る確度を高めることができる。なお、オープン補正値Ｙｏについても、上記したショート補正値Ｚｓのときと同様にして、複数の周波数でのオープン補正値Ｙｏの測定を実行してもよいのは勿論である。

また、上記のインピーダンス測定装置１では、一対の電流供給プローブ３間に第１電流Ｉ１を供給する第１電流供給部５と、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間に第２電流Ｉ２を供給する第２電流供給部６と、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間に第３電流Ｉ３を供給する第３電流供給部７とを個別に備える構成を採用しているが、第１電流供給部５を不図示の切替スイッチを介して一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４に接続して、この切替スイッチを切り替えることにより、１つの第１電流供給部５を、必要に応じて、一対の電流供給プローブ３間、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間、および他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のいずれかに接続する構成を採用することもできる。この構成を採用することにより、１つの第１電流供給部５で第１電流Ｉ１、第２電流Ｉ２および第３電流Ｉ３を供給することができるため、装置コストを低減することができる。

また、上記のインピーダンス測定装置１では、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のショート状態を検出するために、スイッチ１１、第２電流供給部６および第２電圧検出部９を配設すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のショート状態を検出するために、スイッチ１２、第３電流供給部７および第３電圧検出部１０を配設する構成を採用しているが、第２電流供給部６および第２電圧検出部９か、第３電流供給部７および第３電圧検出部１０のいずれか一方の電流供給部および電圧検出部で他方の電流供給部および電圧検出部を兼用する構成を採用することもできる。

この構成では、スイッチ１１およびスイッチ１２に代えて設けたスイッチ回路を介して、一方の電流供給部および電圧検出部を一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとに切り替えて接続する構成を採用する。この構成を採用することにより、１つの電流供給部と１つの電圧検出部によって一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａのショート状態と、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂのショート状態の双方を検出することができるため、インピーダンス測定装置の回路構成を簡略化することができる。

また、上記のインピーダンス測定装置１では、算出したショート補正値Ｚｓについての測定条件が満たされているか否かを検出してからショート補正値Ｚｓを記憶するショート補正値測定処理５０と、算出したオープン補正値Ｙｏについての測定条件が満たされているか否かを検出してからオープン補正値Ｙｏを記憶するオープン補正値測定処理７０の双方を実行する好ましい構成を採用しているが、ショート補正値Ｚｓについては上記のショート補正値測定処理５０を実行するものの、オープン補正値Ｙｏについては、算出したオープン補正値Ｙｏについての測定条件が満たされているか否かを検出することなく記憶するオープン補正値測定処理を実行する構成や、逆に、オープン補正値Ｙｏについては上記のオープン補正値測定処理７０を実行するものの、ショート補正値Ｚｓについては、算出したショート補正値Ｚｓについての測定条件が満たされているか否かを検出することなく記憶するショート補正値測定処理を実行する構成を採用することもできる。

１インピーダンス測定装置
２測定対象
２ａ一方の端部
２ｂ他方の端部
３ａ，３ｂ電流供給プローブ
４ａ，４ｂ電圧検出プローブ
５第１電流供給部
８第１電圧検出部
１３処理部
Ｉ１第１電流
Ｖ１第１電圧
Ｙｏオープン補正値
Ｚインピーダンス
Ｚｓショート補正値

Claims

一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、
一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、
前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、
前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、
前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブがショート状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいてショート補正値を測定するショート補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記ショート補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、
前記処理部は、前記ショート補正値測定処理において、前記第１電流および前記第１電圧に基づいて算出した残留インピーダンスが予め規定された上限値以下のときに、当該残留インピーダンスを前記ショート補正値として測定するインピーダンス測定装置。
一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、
一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、
前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、
前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、
前記一方の電流供給プローブおよび前記一方の電圧検出プローブ間がショート状態であり、前記他方の電流供給プローブおよび前記他方の電圧検出プローブ間がショート状態であり、かつ前記一対の電流供給プローブがオープン状態であるときの前記第１電流および前記第１電圧に基づいてオープン補正値を測定するオープン補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記オープン補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、
前記処理部は、前記オープン補正値測定処理において、前記第１電流および前記第１電圧に基づいて算出した浮遊アドミタンスが予め規定された上限値以下のときに、当該浮遊アドミタンスを前記オープン補正値として測定するインピーダンス測定装置。