JP2015019454A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 高周波信号を出力する高周波電源装置において、
   入力される信号の振幅レベルを減衰する可変減衰器と、
   該可変減衰器の減衰量を設定する設定手段と、
   前記減衰された信号を所定の高周波信号に変調して出力するＲＦ回路と、
   前記高周波信号の出力レベル及び反射レベルを検出する手段と、
   前記出力レベルＰｒ及び前記反射レベルＰｆに基づいて、当該高周波電源装置の出力側に接続された負荷と整合するように前記設定手段を制御する制御部を備えた高周波電源装置であって、
   前記制御部は、予め所定の負荷の負荷インピーダンスに基づく複数の反射位相角毎の出力レベルを記憶したテーブルを保有し、
   前記検出した出力レベルＰｒ及び前記反射レベルＰｆから電圧定在波比（ＶＳＷＲ）を算出し、
   該算出したＶＳＷＲ及び前記テーブルに記憶した出力レベルと、前記出力側に接続された負荷の負荷インピーダンスに応じた振幅レベルの高周波信号を出力することを特徴とする高周波電源装置。
2. 前記請求項１に記載の高周波電源装置であって、
   前記制御部は、前記検出した出力レベルより反射係数Γ＝√（Ｐｒ／Ｐｆ）、及びＶＳＷＲ＝（−Γ−１）／（Γ−１）を算出することを特徴とする高周波電源装置。
3. 高周波信号を出力する高周波電源装置の高周波信号出力方法において、
   入力される信号の振幅レベルを減衰する可変減衰ステップと、
   該可変減衰ステップにより減衰量を設定する設定ステップと、
   前記減衰された信号を所定の高周波信号に変調して出力する変調ステップと、
   前記高周波信号の出力レベルＰｒ及び反射レベルＰｆを検出する検出ステップと、
   前記出力レベルＰｒ及び前記反射レベルＰｆに基づいて、当該高周波電源装置の出力側に接続された負荷と整合するように前記設定ステップによる減衰量を制御する制御ステップを有し、
   該制御ステップは、予め所定の負荷の負荷インピーダンスに基づく複数の反射位相角毎の出力レベルを記憶したテーブルを保有し、
   前記検出した出力レベルＰｒ及び前記反射レベルＰｆから電圧定在波比（ＶＳＷＲ）を算出するステップと、
   該算出したＶＳＷＲ及び前記テーブルに記憶した出力レベルと、前記出力側に接続された負荷の負荷インピーダンスに応じた振幅レベルの高周波信号を出力するステップを有することを特徴とする高周波信号出力方法。
4. 前記請求項３に記載の高周波電源装置の高周波信号出力方法であって、
   前記制御ステップは、前記検出した出力レベルより反射係数Γ＝√（Ｐｒ／Ｐｆ）、及びＶＳＷＲ＝（−Γ−１）／（Γ−１）を算出する算出ステップを有することを特徴とする高周波信号出力方法。