JP2015018831A - 電子部品の気密封止方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお本発明の実施形態の変形例を、前述した実施形態との相違点を中心に図5乃至6を参照しながら説明する。なお前述の実施形態と同一の構成については図5乃至6において同一番号を付すとともに説明を割愛する。
2 容器
3 蓋
4 水晶振動片
5 導電性接着剤
6 封止材
7 搭載用電極
8 外部接続端子
9 内部空間
10、15 封止装置
MC1 第1本室
MC2 第2本室
11 予備ステージ
12、16 予備加熱ステージ
13、18 本加熱ステージ
14 冷却ステージ
Claims (1)
- 電子部品素子を収容した容器に封止材を介して蓋を接合し、電子部品素子を気密に封止してなる電子部品の気密封止方法において、
前記容器と前記蓋とを接合する封止工程には、容器と蓋とを予備的に加熱する予備加熱工程と、容器と蓋とを更に加熱する本加熱工程とが含まれ、
前記予備加熱工程では、封止材の融点以下の温度に加熱されるとともに不活性ガス雰囲気に容器と蓋とが晒され、
前記本加熱工程では、封止材の融点以上の温度に加熱されるとともに、真空中で容器と蓋との接合が行なわれることを特徴とする電子部品の気密封止方法。
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- 2013-07-08 JP JP2013142918A patent/JP2015018831A/ja active Pending
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