JP2015013764A - ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱炉内の炉心管2内に多孔質ガラス母材16を収容し、前記炉心管2内に少なくとも腐食性ガスを供給し、前記多孔質ガラス母材16を脱水処理および焼結処理して、透明なガラス母材とした後、前記炉心管2内から漏れ出た腐食性ガスを含む炉内ガスの温度が所定温度以下となってから、前記炉内ガスを熱交換器7を介して循環させて冷却する、ガラス母材の製造方法。
【選択図】図1
Description
本願発明の実施形態に係るガラス母材の製造方法は、
(1)加熱炉内の炉心管内に多孔質ガラス母材を収容し、前記炉心管内に少なくとも腐食性ガスを供給し、前記多孔質ガラス母材を脱水処理および焼結処理して、透明なガラス母材とした後、前記炉心管内から漏れ出た腐食性ガスを含む炉内ガスの温度が所定温度以下となってから、前記炉内ガスを熱交換器を介して循環させて冷却する。
上記の製造方法によれば、循環させた腐食性ガスを含む炉内ガスが熱交換器を通過する際に、所定温度以下となっているため、炉内ガスに腐食性ガスが含まれていたとしても、熱交換器の腐食が抑制される。そして、熱交換器を介して炉内ガスを循環させることにより、多孔質ガラス母材を脱水処理および焼結処理をした後に、炉内の温度を焼結温度から母材取り出し可能な温度まで炉内ガスを冷却する時間を短縮することができる。
使用する熱交換器の材質から求まる耐熱温度と該熱交換器を通過する炉内ガスの流量とに基づいて、熱交換器の腐食が進まない適正な炉内ガス温度を設定するので、熱交換器の腐食の抑制と冷却時間の短縮とを図ることができる。
上記新しいガスの温度は、例えば室温程度であるので、加熱されている炉内ガスよりも温度が低く、これを混合することにより循環する炉内ガスの温度が下がり、さらに冷却効率を上げることができる。
本発明の実施形態に係るガラス母材の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。
なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
図1に示すように、加熱装置1は、炉心管2、ヒータ3、炉体4、断熱部5、ガス循環路6、熱交換器7、ファン8からなる加熱炉、ガス処理装置9、排気ダクト11,12、ロータリーポンプ10、炉心管内ガス導入路13、炉内ガス導入路14を備えている。
断熱部5は、炉外への熱放射を遮断するように、ヒータ3の周囲に設けられている。そして、断熱部5には、ガスの通過を制御する開閉部5a,5bが設けられている。
また、加熱炉の炉心管2内へ、N2、He、SiCl4、SiF4などのガスを導入する炉心管内ガス導入路13が、加熱炉の炉内へN2、Heなどのガスを導入する炉内ガス導入路14が設けられている。
次に、本実施形態に係るガラス母材の製造方法について説明する。
図1に示す加熱装置1において、その炉心管2内に、支持棒15によって吊り下げられた多孔質ガラス母材16を挿入する。そして、Heなどの不活性ガスに加えてSiCl4、SiF4などの腐食性ガスを含むガスを炉心管内ガス導入路13から導入して、ヒータ3を加熱させて脱水処理をする。その後、ヒータ3をさらに加熱させて焼結温度(例えば1500〜1600℃)に上昇させて、多孔質ガラス母材16を焼結させる。
前記所定温度は、熱交換器7の材質から求まる耐熱温度と、ガス循環路6の配管内のガス流量とに基づいて設定する。熱交換器7の材質としては、一例として、SUS316Lを使用した場合について述べる(他にもインコネル等を使用することができる)。また、炉心管2内には、He、SiCl4およびSiF4を含むガスを導入したものとする。
金属の腐食温度は温度の関数となり、一般的には温度が高いほど腐食温度は速くなる。腐食温度が0.125g・m−2・h−1以下であれば、腐食に相当耐えうるとされているため、使用されている金属の材質に応じ、この腐食温度以下になる温度で使用する必要がある。
SUS316Lは、Fe、Ni、Crなどからなるが、これらの成分の内、腐食温度が最も速い(腐食しやすい)のはFeであり、Feの腐食温度が0.125g・m−2・h−1以下になるのは、300℃程度以下の温度である(Ni、Crは400℃程度)。
図2において、例えば、配管内のガス流量Qを48m3/min、ガス温度を570℃とした場合、熱交換器7の表面温度は(7)の範囲内になり、約250℃となる。換言すると、熱交換器7の耐熱温度が250℃の(240〜260℃、温度帯(7))の場合、配管内のガス流量Qが48m3/minのときに配管に流入するガス温度Tの許容値は570℃となる。つまり、上記の例では前記所定温度は570℃に決定すればよい。
なお、熱交換器7の材質によって決まる耐熱温度が300℃である場合、冷却水の配管近くで局所的な温度上昇を生じる可能性があるため、実際のガス温度の算出には、この分を考慮して50℃程度低めになるように見積もっておいた方が良く、許容表面温度は250℃程度と考えておいた方が良い。
また、熱交換器7は、水以外の冷媒を用いるものでもよい。
次に、本発明に係るガラス母材の製造方法の実施例について図3を参照して説明する。
図1に示す加熱装置1を用いて、前記実施形態に係るガラス母材の製造方法の手順に従ってガラス母材を製造し、焼結が終了してから炉内温度が300℃(母材取り出し可能となる温度)まで冷却される時間(以下、単に冷却時間とも記す)を測定した。自然冷却により炉内温度が下がり、この炉内温度から配管に流入するガス温度が、上記説明した所定温度(570℃)以下の、500℃になったと推定された時点で、ファン8を作動させて冷却を行った。なお、本実施例では、材質がSUS316Lである熱交換器7を使用した。
2 炉心管
3 ヒータ
4 炉体
5 断熱部
5a,5b 開閉部
6 ガス循環路
6a 入口
6b 出口
7 熱交換器
8 ファン
9 ガス処理装置
10 ロータリーポンプ
11 排気ダクト
12 排気ダクト
13 炉心管内ガス導入路
14 炉内ガス導入路
15 支持棒
16 多孔質ガラス母材
Claims (3)
- 加熱炉内の炉心管内に多孔質ガラス母材を収容し、前記炉心管内に少なくとも腐食性ガスを供給し、前記多孔質ガラス母材を脱水処理および焼結処理して、透明なガラス母材とした後、前記炉心管内から漏れ出た腐食性ガスを含む炉内ガスの温度が所定温度以下となってから、前記炉内ガスを熱交換器を介して循環させて冷却する、ガラス母材の製造方法。
- 前記熱交換器の材質から求まる耐熱温度と、該熱交換器を通過する前記炉内ガスの流量と、に基づいて、前記所定温度を設定する、請求項1に記載のガラス母材の製造方法。
- 循環する前記炉内ガスに、新しいガスを混合して前記ガラス母材を冷却する、請求項1または2に記載のガラス母材の製造方法。
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