JP3221946U

JP3221946U - 熱処理炉

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Publication number: JP3221946U
Application number: JP2019001409U
Authority: JP
Inventors: 陽介森元
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2019-04-18
Filing date: 2019-04-18
Publication date: 2019-06-27
Anticipated expiration: 2029-04-18
Also published as: CN210620882U

Abstract

【課題】被処理物を冷却しやすい熱処理炉を提供する。【解決手段】熱処理炉１０は、容器状の圧力容器１２と、前記圧力容器１２の内部空間１４に配置され断熱本体５２および断熱蓋５４を有する断熱体１６と、前記断熱本体５２の内部空間１８に配置されたヒーター２０と、前記断熱本体５２の内部空間１８に配置され、被処理物２２を収容するタイトボックス２４と、前記圧力容器１２の内部空間１４に配置され、ガスを循環させるファン２６と、前記圧力容器１２の内部空間１４を循環するガスを冷却するクーラー２８と、前記ファン２６の周囲と断熱蓋５４の近傍をつなぐ風路である導風経路３０とを備える。【選択図】図１

Description

本考案は、熱処理炉に関する。

従来、金属または磁性材料などからなる被処理物を熱処理炉に入れ、真空または加圧環境下で熱処理している。たとえば、下記の特許文献１は、圧力容器の炉蓋の内面に冷却フィンを設けた熱処理炉を開示している。冷却フィンによって圧力容器内を流れるガスが冷却される面積を拡大し、冷却能力を高めている。被処理物の処理時間が短縮されることで、熱処理炉の稼働時間を短縮することができ、熱処理の効率が良くなる。

特開２００５−１２１３０８号公報

しかし、冷却フィンでガスを冷却できても、被処理物に効率的にガスを当てないと冷却能力が高くならない。たとえば、冷却フィンで冷却されたガスを最短経路で被処理物に当てないと、ガスが昇温する可能性がある。ガスの温度が上がってしまうと、被処理物を効果的に冷却できなくなる。特許文献１の熱処理炉はガスを単に循環させているだけであり、被処理物を効果的に冷却できない可能性がある。

そこで本考案の目的は、被処理物を冷却しやすい熱処理炉を提供することにある。

以上の課題を解決すべく、本考案に係る熱処理炉は、以下に述べるような構成を有する。

本考案の熱処理炉は、容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され断熱本体および断熱蓋を有する断熱体と、前記断熱本体の内部空間に配置されたヒーターと、前記断熱本体の内部空間に配置され、被処理物を収容するタイトボックスと、前記圧力容器の内部空間に配置され、ガスを循環させるファンと、前記圧力容器の内部空間を循環するガスを冷却するクーラーと、前記ファンの周囲と断熱蓋の近傍をつなぐ風路である導風経路とを備える。

本考案によれば、導風経路によってクーラーで冷却されたガスが断熱蓋の付近まで送られるため、冷却されたガスがタイトボックスの中に送られる。被処理物に冷却されたガスが当てられるため、被処理物の冷却効率が良い。

本考案の熱処理炉の構成を示す図である。熱処理炉の側面断面図である。熱処理炉の平面断面図である。被処理物の熱処理の際の温度変化を示す図である。バッファタンクを備えた熱処理炉の構成を示す図である。熱処理炉の側面断面図である。熱処理炉の平面断面図である。

本考案の熱処理炉について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。

[実施形態１]
図１に示す本願の熱処理炉１０は、容器状の圧力容器１２、圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６、断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０、被処理物２２を収容するタイトボックス（インナーケース）２４、ガスを循環させるファン２６、ガスを冷却するクーラー２８、ガスの風路である導風経路３０を備える。

さらに熱処理炉１０は、圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間３２を減圧するためのポンプ３４、圧力容器１２の内部空間１４にガスを導入する第１ガス源３６、圧力容器１２と第１ガス源３６をつなぐ第１導入パイプ３８、タイトボックス２４の内部空間３２にガスを導入する第２ガス源４０、タイトボックス２４と第２ガス源４０をつなぐ第２導入パイプ４２を備える。

熱処理炉１０は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための炉である。

[圧力容器]
圧力容器１２は容器本体４４および容器蓋４６を備える。容器本体４４は円筒形状になっている。容器蓋４６は容器本体４４の両端を開閉するものである。容器本体４４の両端を容器蓋４６で閉じると、圧力容器１２の内部空間１４は密閉された空間になる。圧力容器１２の内部空間１４は減圧されたり、加圧されたりする。圧力容器１２の耐圧はたとえば約１０ＭＰａであり、各種設計によって変更できる。

圧力容器１２は内壁４８と外壁５０を備えた二重構造になっている。冷却水が流れる配管が内壁４８と外壁５０の間に配置されている。ガスが内壁４８に触れることで、ガスは冷却される。ガスはクーラー２８で冷却される以外に、圧力容器１２によっても冷却される。

[断熱体]
断熱体１６は圧力容器１２の内部空間１４に配置されている。断熱体１６は断熱本体５２と断熱蓋５４を備える。断熱本体５２は筒状になっている。断熱蓋５４は断熱本体５２の両端を開閉するものである。図２、図３に示すように、容器蓋４６が閉じた状態で断熱蓋５４が開閉できるように、断熱蓋５４の開閉装置（図示せず）を備える。断熱体１６はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。

[ヒーター]
断熱体１６によって形成された内部空間１８にヒーター２０が配置されている。ヒーター２０としてグラファイト製のロッドヒーターが挙げられる。ヒーター２０はタイトボックス２４と平行になるように構成されている。ヒーター２０はたとえば電極（図示省略）から三相交流の電力が供給され、発熱する。断熱本体５２の両端を断熱蓋５４で閉じることで、ヒーター２０の熱が断熱体１６の内部空間１８から外部に放熱されることを防止する。

[タイトボックス]
断熱体１６によって形成された内部空間１８の中にタイトボックス２４が配置されている。タイトボックス２４はグラファイトなどで構成されている。タイトボックス２４はタイトボックス本体５６とタイトボックス蓋５８を備える。タイトボックス本体５６は筒状になっている。タイトボックス蓋５８はタイトボックス本体５６の両端を開閉する。図２、図３に示すように、断熱蓋５４にタイトボックス蓋５８が取り付けられており、断熱蓋５４とともにタイトボックス蓋５８が開閉される。タイトボックス本体５６の両端をタイトボックス蓋５８で閉じることで、タイトボックス２４の内部空間３２が密閉される。また、容器蓋４６と断熱蓋５４が開けられた状態で、タイトボックス２４が内部空間１８への出し入れされるためのレール等を備えていてもよい。

[被処理物]
タイトボックス２４の内部空間３２に被処理物２２が配置される。タイトボックス２４の中に被処理物２２を配置するための棚（図示省略）を備える。被処理物２２の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物２２は、粉体または所定形状を有した固体である。タイトボックス２４の中に被処理物２２が収容されることで、被処理物２２を脱脂処理したときに被処理物２２から放出されるバインダー（ガスおよびワックス）がタイトボックスの外に放出されるのを防ぐことができる。圧力容器１２の内壁４８、断熱体１６、ヒーター２０、ファン２６およびクーラー２８などが汚染されることを防止できる。

[ファン]
ファン２６は一方の容器蓋４６に取り付けられている。モーター６０が容器蓋４６の外部に取り付けられており、ファン２６はモーター６０によって回転させられる。圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間３２のガスがファン２６によって循環させられる。ガスの循環については後述する。

[クーラー]
クーラー２８が圧力容器１２の内部空間１４に配置されている。クーラー２８は水冷式クーラーであり、冷却配管６２および冷却フィンを備える。冷却配管６２は圧力容器１２の外から中に通されており、冷却配管６２の中を冷却水が流される。ガスがクーラー２８を通過するときに、冷却水によってガスが冷却される。冷却されたガスが被処理物２２および断熱体１６を冷却する。圧力容器１２の外部で冷却配管６２を熱交換器に接続し、熱交換器で冷却水を冷却し、再びクーラー２８に冷却水を流してもよい。冷却フィンは冷却配管６２に取り付けられている。冷却フィンによってガスの冷却効率を高める。

[導風経路]
導風経路３０はクーラー２８で冷却されたガスを効率よくタイトボックス２４の中に導く風路である。図２、図３に示すように、導風経路３０は、ファン２６の外周に配置された第１ケース６４、第１ケース６４から断熱蓋５４の付近まで配置されたダクト６６、クーラー２８の外周に配置された第２ケース６８、第２ケース６８の中にガスを導くガイド板７０によって形成される。

ファン２６はクーラー２８で冷却されたガスを第１ケース６４の中に吸気する。第１ケース６４の中に吸い込まれたガスは第１ケース６４の内面に当たり、ダクト６６に流れる（図３）。ダクト６６は吸気口７２と排気口７４を備えた管状体である。ダクト６６の吸気口７２が第１ケース６４に設けられており、ガスが第１ケース６４からダクト６６に導かれる。ダクト６６の排気口７４は断熱蓋５４の付近に配置されている。ダクト６６の排気口７４は断熱蓋５４に向けて開口しており、ダクト６６を流れてきたガスが断熱蓋５４の方向に向かうようになっている。断熱蓋５４が開けられていれば、ダクト６６を流れてきたガスが断熱体１６とともに開口されたタイトボックス２４の中に入り込む。

第１ケース６４と第２ケース６８は接続されており、それらの内部空間同士がつながっている。クーラー２８で冷却されたガスが直接第１ケース６４の内部空間に吸気される。ガイド板７０は圧力容器１２の内壁４８に取り付けられている。圧力容器１２の内壁４８と断熱体１６との間７６を通過したガスがガイド板７０に当たり（図３）、第２ケース６８の開口７８に導かれる。第２ケース６８の中にクーラー２８があり、ガスが冷却される。圧力容器１２の内壁４８と断熱体１６との間７６を通過したガスは、クーラー２８、ファン２６、ダクト６６を通過し、タイトボックス２４の内部空間３２に導かれる。ガスはタイトボックス２４の中で被処理物２２に当たり、タイトボックス２４から出た後は、再び圧力容器１２の内壁４８と断熱体１６との間７６を通過する。

[ポンプ]
ポンプ３４は圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間３２に対して排気をおこない、それらの空間１４、３２を減圧する装置である。なお、圧力容器１２の内部空間１４を減圧することで断熱体１６の内部空間１８も一緒に減圧される。ポンプ３４の種類として、ドライポンプターボ分子ポンプ、油回転ポンプおよび油拡散ポンプなどが挙げられる。

圧力容器１２の内部空間１４とポンプ３４が第１排気パイプ８０によってつながっており、タイトボックス２４の内部空間３２とポンプ３４が第２排気パイプ８２によってつながっている。第１排気パイプ８０の途中にバルブ８４が配置されており、バルブ８４が開けられると排気でき、バルブ８４が閉じられると排気できなくなる。

第２排気パイプ８２の途中にバルブ８６、ワックスタンク８８およびワックストラップ９０が設けられている。バルブ８６の開閉によってタイトボックス２４の内部空間３２の排気をおこなったり停止したりすることができる。ワックスタンク８８とワックストラップ９０は被処理物２２から放出されたバインダーを溜めるものである。ポンプ３４にバインダーが到達せず、ポンプ３４の汚染および故障を防止できる。

[ガス源]
第１ガス源３６は圧力容器１２の内部空間１４に導入するガスを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。第２ガス源４０はタイトボックス２４の内部空間３２に導入するガスを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。第１ガス源３６のガスは窒素またはアルゴンなどであり、第２ガス源４０のガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。図１では各ガス源３６、４０を１つにしているが、ガスの種類が増えればガスの種類の数に応じてガス源３６、４０を増やす。各ガス源３６、４０からガスを内部空間１４、３２に導入することで加圧状態にすることができる。

圧力容器１２の内部空間１４と第１ガス源３６とが第１導入パイプ３８によって繋がっており、タイトボックス２４の内部空間３２と第２ガス源４０とが第２導入パイプ４２によって繋がっている。各導入パイプ３８、４０にはバルブ９２、９４が設けられている。バルブ９２は第１ガス源３６から圧力容器１２へのガスの流量を制御し、バルブ９４は第２ガス源４０からタイトボックス２４へのガスの流量を制御する。

[その他]
本願の熱処理炉１０は、断熱体１６の内部空間１８の温度を測定する温度計（図示せず）、圧力容器１２の内部空間１４の圧力を測定する圧力計（図示せず）を備える。温度計で測定された温度に応じてヒーター２０に供給する電力を制御する。圧力計で測定された圧力に応じて、減圧する際はポンプ３４およびバルブ８４、８６を制御し、加圧する際はバルブ９２、９４を制御する。

[熱処理]
次に本願の熱処理炉１０を使用した熱処理について説明する。熱処理は下記の（１）〜（５）の順番でおこなわれる。なお、説明する熱処理は一例であり、温度および圧力は異なる場合がある。

（１）準備工程
タイトボックス蓋５８、断熱蓋５４および容器蓋４６を開け、タイトボックス２４の内部空間３２に被処理物２２を収容した後、タイトボックス蓋５８、断熱蓋５４および容器蓋４６を閉じて図１の状態にする。また、ポンプ３４により排気をおこない、圧力容器１２の内部空間１４とタイトボックス２４の内部空間３２を所定の圧力に制御する。

（２）昇温工程
図４に示すように、ヒーター２０に電流を流し、断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。断熱体１６の内部空間１８に配置されたタイトボックス２４が加熱され、さらに被処理物２２が加熱される。その際、バルブ９２、９４を開け、圧力容器１２の内部空間１４とタイトボックス２４の内部空間３２にそれぞれ第１ガスと第２ガスを導入し、それらの空間１４、３２を加圧してもよい。

（３）脱脂工程
昇温工程よりもヒーター２０に流れる電流を増加させて断熱体１６の内部空間１８を昇温させ、被処理物２２を脱脂処理する。その際、バルブ８４、８６を開け、ポンプ３４を起動させて内部空間１４、３２を減圧させる。被処理物２２を脱脂させた際に被処理物２２から生じたバインダーは、ワックスタンク８８とワックストラップ９０に溜める。その際、バルブ９２、９４を閉じて、第１ガスと第２ガスの導入を停止する。

（４）熱処理工程
被処理物２２の脱脂終了後、ヒーター２０に流れる電流を増加させ、被処理物２２の温度を高めて熱処理する。たとえば、約５００〜２４００℃で被処理物２２を焼結させる。熱処理の方法によって、内部空間１４、３２の圧力を制御する。加圧するのであれば、バルブ８４、８６を閉じてポンプ３４を停止させ、バブル９２，９４を開けて第１ガスと第２ガスを内部空間１４、１８に導入する。減圧するのであれば、バルブ８４、８６を開けてポンプ３４を駆動させ、バルブ９２、９４を閉じて第１ガスと第２ガスの内部空間１４、３２への導入を停止する。

（５）冷却工程
被処理物２２が熱処理された後、下記のように被処理物２２を冷却する。バルブ８４、８６を閉じてポンプ３４を停止状態にし、バルブ９２を開けて第１ガスを圧力容器１２の内部空間１４に導入する。その際、圧力容器１２の内部空間１４を加圧状態にする。たとえば、真空状態から約０．６ＭＰａＧになるように圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを導入する。

第１ガスを圧力容器１２の内部空間１４に導入すると同時に、図２と図３のように、容器蓋４６を閉じた状態で断熱蓋５４およびタイトボックス蓋５８を開け、ファン２６を回転させる。ファン２６の回転によってガスが循環する。ガスは、図２、図３の矢印ｗで示すように、タイトボックス２４の中からタイトボックス２４の外に出され、圧力容器１２の内壁４８と断熱体１６の間７６、クーラー２８、ファン２６およびダクト６６を通り、再びタイトボックス２４の中に入る。ガスはタイトボックス２４の中で被処理物２２に当たって被処理物２２を冷却する。被処理物２２によって昇温されたガスはクーラー２８によって冷却される。

第１ガスを圧力容器１２の内部空間１４に導入すると同時にバルブ９２を開けて第２ガスをタイトボックス２４の内部空間３２に導入してもよい。図２、図３に示すように、冷却工程ではタイトボックス蓋５８が開けられており、第１ガスと第２ガスが混合して循環する。この場合、第１ガスと第２ガスは同種のガスであることが好ましい。

以上のように、導風経路３０によって冷却されたガスを最短経路でタイトボックス２４の内部空間３２に導くことができる。ガスが昇温される前に被処理物２２に当てることができるため、被処理物２２の冷却効率が良くなる。被処理物２２の冷却時間が短縮されるため、熱処理炉１０のサイクルタイムが短くなる。

[実施形態２]
図５の熱処理炉９６のように、第１導入パイプ３８の途中にバッファタンク９８を設けてもよい。ガスがバッファタンク９８に一時的に貯留される。バッファタンク９８にガスが蓄えられることで、圧力容器１２の内部空間１４にガスを一気に導入することができる。圧力容器１２の内部空間１４をガスで加圧状態にできる時間を短縮することができる。バッファタンク９８の容量は、圧力容器１２の内部空間１４の２倍以上（１０気圧時で）、たとえば約２〜４倍の容量にする。バッファタンク９８の容量を圧力容器１２の内部空間１４の容量よりも大きくすることで、圧力容器１２の内部空間１４に一気にガスを導入できる。

第１ガス源３６からバッファタンク９８の間の第１導入パイプ３８は、たとえばその口径は５〜１０ｍｍである。第１ガス源３６からバッファタンク９８には従来と同様の流量でガスを供給し、バッファタンク９８にガスを貯留する。圧力容器１２とバッファタンク９８の間の第１導入パイプ３８の口径は、第１ガス源３６からバッファタンク９８の間の第１導入パイプ３８の口径よりも太くする。バッファタンク９８から圧力容器１２の内部空間１４に一気にガスを導入するためである。たとえば、第１導入パイプ３８の口径は約２０〜１００ｍｍである。バッファタンク９８から圧力容器１２には従来よりも流量を多くし、一気に圧力容器１２をガスで満たし、加圧状態にすることができるようにする。

バッファタンク９８から圧力容器１２に一気にガスを導入するのは被処理物２２の冷却工程時であり、冷却工程時はバルブ１００を開放する。また、他の工程ではバルブ１００を制御してガスの流量を少なくしたり、０にしたりしてバッファタンク９８にガスが貯留できるようにする。バッファタンク９８がガスで満たされるまでは、圧力容器１２の圧力状態に関係なく、第１ガス源３６からバッファタンク９８にガスを供給する。

バッファタンク９８を設けたことで、圧力容器１２の内部空間１４に一気にガスを導入することができる。短時間で圧力容器１２の内部空間１４を加圧状態にすることができる。圧力容器１２の内部空間１４にガスを短時間に導入できるため、圧力容器１２の内部空間１４を被処理物２２を冷却するためのガスで満たすことができる。被処理物２２の冷却時間を短縮できる。

[実施形態３]
図６、図７の圧力容器１２の内部空間１４に設けられた導風経路１０２は、ダクト１０４が圧力容器１２の内壁４８と断熱体１６との間７６と第１ケース６４とをつなげ、ガイド板１０６が断熱蓋５４の付近から第２ケース６８にガスを導くようになっている。実施形態１とは異なり、ファン１０８がダクト１０４からクーラー２８に向けてガスを送風するようにしている。ガスは、図６、図７の矢印ｗで示すように、タイトボックス２４の内部空間３２から圧力容器１２の内壁４８と断熱体１６との間７６を通過した後、ダクト１０４を流れる。ダクト１０４からファン１０８，クーラー２８を通過し、タイトボックス２４の内部空間３２の中に送られる。

[実施形態４]
上述した各実施形態で説明したファン２６、１０８の構造を変更することで、ガスの流れを逆方向にしても良い。

[実施形態５]
圧力容器１２の内壁４８などに冷却用のフィンを取り付けもよい。ガスの熱がフィンから内壁４８と外壁５０の間を通る冷却水に伝熱される。ガスが冷却されることで被処理物２２の冷却効率が良くなる。

（第１項）一態様に係る熱処理炉は、容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置され断熱本体および断熱蓋を有する断熱体と、前記断熱本体の内部空間に配置されたヒーターと、前記断熱本体の内部空間に配置され、被処理物を収容するタイトボックスと、前記圧力容器の内部空間に配置され、ガスを循環させるファンと、前記圧力容器の内部空間を循環するガスを冷却するクーラーと、前記ファンの周囲と断熱蓋の近傍をつなぐ風路である導風経路とを備える。

第１項に記載の熱処理炉によれば、導風経路によってクーラーで冷却されたガスが断熱蓋の付近まで送られるため、冷却されたガスがタイトボックスの中に送られる。被処理物に冷却されたガスが当てられるため、被処理物の冷却効率が良い。

（第２項）前記導風経路が、前記ファンの外周に配置された第１ケースと、吸気口と排気口を備え、該吸気口が前記第１ケースに設けられ、該排気口が前記断熱蓋の近傍に配置されたダクトとを備えても良い。

第２項に記載の熱処理炉によれば、ダクトによってファンから断熱蓋の近傍に直接ガスを送ることができる。冷却されたガスが昇温される前にタイトボックスの中に送ることができる。

（第３項）前記導風経路が、前記クーラーの外周に配置された第２ケースと、前記圧力容器の内壁と断熱体との間から第２ケースの内部にガスを送るためのガイド板とを備え、前記第１ケースと第２ケースがつなげられていても良い。

第３項に記載の熱処理炉によれば、被処理物を冷却した後の暖められたガスが第２ケースの中にあるクーラーに導かれた後、すぐにファンに送ることができ、ファンからダクトを通して断熱蓋の近傍にガスを送ることができる。ガスが冷却されてから断熱蓋の近傍に送られるまでにガスを昇温させる物に触れさせないことで、冷却されたガスをタイトボックスの中に送ることができる。

（第４項）前記圧力容器が内壁と外壁を備え、該内壁と外壁の間に冷却水が流れていても良い。

第４項に記載の熱処理炉によれば、圧力容器の内壁にガスが触れることでガスを冷却することもできる。クーラー以外にもガスを冷却することができるため、ガスの冷却効率が良い。

（第５項）前記クーラーが水冷式クーラーであっても良い。

第５項に記載の熱処理炉によれば、水冷式クーラーによってガスの冷却能力が高くなっている。

（第６項）前記圧力容器の内部空間に導入するガスの第１ガス源と、前記圧力容器と第１ガス源とを接続する第１導入パイプと、前記第１導入パイプの途中に設けられ、第１ガス源から送られるガスを蓄えるバッファタンクとを備えても良い。

第６項に記載の熱処理炉によれば、バッファタンクにガスを蓄えることで一気に圧力容器の中にガスを導入することができる。圧力容器の中を短時間でガスで満たすことができ、冷却効率が高まる。

その他、本考案は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。

１０、９６：熱処理炉
１２：圧力容器
１４：圧力容器の内部空間
１６：断熱体
１８：断熱体の内部空間
２０：ヒーター
２２：被処理物
２４：タイトボックス
２６、１０８：ファン
２８：クーラー
３０、１０２：導風経路
３２：タイトボックスの内部空間
３４：ポンプ
３６：第１ガス源
３８：第１パイプ
４０：第２ガス源
４２：第２パイプ
４４：容器本体
４６：容器蓋
４８：圧力容器の内壁
５０：圧力容器の外壁
５２：断熱本体
５４：断熱蓋
５６：タイトボックス本体
５８：タイトボックス蓋
６０：モーター
６２：冷却配管
６４：第１ケース
６６、１０４：ダクト
６８：第２ケース
７０、１０６：ガイド板
７２：ダクトの吸入口
７４：ダクトの排出口
７６：圧力容器の内壁と断熱体の間
７８：第２ケースの開口
８０：第１排気パイプ
８２：第２排気パイプ
８４、８６：バルブ
８８：ワックスタンク
９０：ワックストラップ
９２、９４、１００：バルブ
９８：バッファタンク

Claims

容器状の圧力容器と、
前記圧力容器の内部空間に配置され、断熱本体および断熱蓋を有する断熱体と、
前記断熱本体の内部空間に配置されたヒーターと、
前記断熱本体の内部空間に配置され、被処理物を収容するタイトボックスと、
前記圧力容器の内部空間に配置され、ガスを循環させるファンと、
前記圧力容器の内部空間を循環するガスを冷却するクーラーと、
前記ファンの周囲と断熱蓋の近傍をつなぐ風路である導風経路と、
を備えた熱処理炉。
前記導風経路が、
前記ファンの外周に配置された第１ケースと、
吸気口と排気口を備え、該吸気口が前記第１ケースに設けられ、該排気口が前記断熱蓋の近傍に配置されたダクトと、
を備えた請求項１の熱処理炉。
前記導風経路が、
前記クーラーの外周に配置された第２ケースと、
前記圧力容器の内壁と断熱体との間から第２ケースの内部にガスを送るためのガイド板と、
を備え、
前記第１ケースと第２ケースがつなげられた請求項２の熱処理炉。
前記圧力容器が内壁と外壁を備え、該内壁と外壁の間に冷却水が流れる請求項１から３のいずれかの熱処理炉。
前記クーラーが水冷式クーラーである請求項１から４のいずれかの熱処理炉。
前記圧力容器の内部空間に導入するガスの第１ガス源と、
前記圧力容器と第１ガス源とを接続する第１導入パイプと、
前記第１導入パイプの途中に設けられ、第１ガス源から送られるガスを蓄えるバッファタンクと、
を備えた請求項１から５のいずれかの熱処理炉。