JP2015008247A - 半導体ウェーハの加工プロセス - Google Patents
半導体ウェーハの加工プロセス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015008247A JP2015008247A JP2013133386A JP2013133386A JP2015008247A JP 2015008247 A JP2015008247 A JP 2015008247A JP 2013133386 A JP2013133386 A JP 2013133386A JP 2013133386 A JP2013133386 A JP 2013133386A JP 2015008247 A JP2015008247 A JP 2015008247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- grinding
- resin
- coating layer
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 99
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 161
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 78
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 78
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 35
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 197
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 40
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 12
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000007518 final polishing process Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008642 heat stress Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02013—Grinding, lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
Abstract
【解決手段】半導体単結晶インゴットをワイヤーソー装置を用いてスライスして得たウェーハの一方の面全面に硬化性材料を塗布した平坦な表面を基準面としてウェーハの他方の面を平面研削し、平面研削したウェーハの他方の面を基準面としてウェーハの一方の面を平面研削することを含む樹脂貼り研削工程を繰り返し行う。
【選択図】図1
Description
本発明の実施例1−1、1−2に係る各工程でのウェーハの状態を図3に示す。図3を基に実施例の加工工程を説明する。スライス後のウェーハ200(図3(a)スライス工程)を第1の塗布層形成工程によってウェーハ200の第2面205にUV硬化性樹脂321を塗布し、硬化させた樹脂の面を基準面225aとした(図3(b)第1の塗布層形成工程)。塗布面を第2面205としたが、最初に、第1面204を塗布面としてもかまわない。塗布面を第1面204とした場合は、以下の文面で、第2面205と第1面204を入れ替えることとする。樹脂の面を基準面225aとして吸引保持したウェーハ200の第一面204を1回目の取代分として実施例1−1で30μm、実施例1−2で20μm(破線301の面)まで平面研削した(図3(c)第1の平面研削工程)。次に、樹脂を引き剥がし(図3(d)第1の塗布層除去工程)、平面研削したウェーハ200の第一面204を基準面225bとして吸引保持したウェーハ200の第二面205を2回目の取代分として実施例1−1で30μm、実施例1−2で20μm(破線302の面)まで平面研削した(図3(e)第2の平面研削工程)。以上を第1の樹脂貼り工程として、以下、第2の樹脂貼り工程として、第2の塗布層形成工程(図3(f))、第3の平面研削工程(3回目の取代分として実施例1−1で20μm、実施例1−2で15μm(図3(g)))、第2の塗布層除去工程(図3(h))、第4の平面研削工程(4回目の取代分として実施例1−1で20μm、実施例1−2で15μm(図3(i)))を繰り返し行った。先に示したように、第2の塗布層工程は、第1面204からでも第2面205からでもかまわない。全工程を終了し、ウェーハの両面ともに高平坦化されたウェーハ200が得られた。このウェーハ200を実施例1−1、1−2のウェーハ200とした(図3(i))。
比較例1に係る各工程でのウェーハの状態を図4に示す。比較例1は実施例1−1、1−2で行った第1の樹脂貼り工程のみを行ったものである。図3(a)から図3(f)は、第2の樹脂貼り工程を行わない以外、図4(a)から図4(f)に対応する。取代は、第1の平面研削工程で50μm、第2の平面研削工程で50μmとして研削した。この状態のウェーハ200を比較例1のウェーハ200とした(図4(f))。
比較例2に係る各工程でのウェーハの状態を図5に示す。比較例2は樹脂貼りを行わない平面研削をした後に樹脂貼り研削をしたものである。スライス後のウェーハ200(図5(a))の第1面204を平面研削し(図5(b))、第2面205を平面研削した(図5(c))。平面研削後に樹脂貼り研削を行った(図5(d)から図5(g))。なお、図5(d)から図5(g)による樹脂貼り研削は、実施例1−1、1−2の樹脂貼り研削の図3(f)から図3(i)に対応する。この状態のウェーハ200を比較例2のウェーハ200とした(図5(g))。
比較例3に係る各工程でのウェーハの状態を図6に示す。比較例3はラッピングをした後に樹脂貼りを行わない平面研削をしたものである。
実施例1−1、1−2と比較例1、2、3で得られた各ウェーハ200の表面形状が、その後に行われる鏡面研磨処理後のウェーハ表面におけるナノトポグラフィーにどのような影響を与えるのかを調査した。具体的には、まず、実施例1−1、1−2と比較例1、2、3で得られた各ウェーハ200それぞれに対して、共通の鏡面研磨処理として、両面研磨装置を用いて各ウェーハの表裏面に同一条件の粗研磨処理を施した後、片面研磨装置を用いて各ウェーハ表面に同一条件の仕上げ研磨処理を施して、各ウェーハ200の表面が鏡面研磨されたウェーハを作成した。図7は、鏡面研磨された各ウェーハ表面を光学干渉式の平坦度測定装置(KLA Tencor社:Wafersight2)を用いて各ウェーハ表面の高さ分布(高低差)を測定したナノトポグラフィーマップであり、鏡面研磨処理後の各ウェーハの測定結果をフィルタリング処理して長波長成分を除去した後、ナノトポグラフィーの測定結果を濃淡色で図示化したものである。図7に記載される高低差の図は、ナノトポグラフィーの高低差を表す図であって、濃い色になるほど高度が低く、一番濃い部分は中心高度から−20nmになり、薄い色になるほど高度は高く、一番薄い部分は中心高度から+20nmになっている。最低高度から最高高度までの高低差は40nmとなる。なお、ナノトポグラフィーの測定は、ウェーハの外縁の任意の3点を固定して測定した。従って、ナノトポグラフィーマップは、ウェーハを非吸着の状態での表面の高低差を表している。
評価試験1と同様に、各ウェーハ200の表面形状が鏡面研磨処理後のウェーハ表面のナノトポグラフィーにどのような影響を与えるのかを調査した。本試験では、実施例1−1、1−2、比較例1、2、3と同条件のウェーハ200をそれぞれ複数枚製造し、その複数のウェーハ200それぞれについて、評価試験1と同条件の鏡面研磨処理(両面研磨装置を用いた粗研磨処理+片面研磨装置を用いた仕上げ研磨処理)を施して、各ウェーハ200の表面が鏡面研磨されたウェーハ200を作成した。図8、9は、鏡面研磨された各ウェーハ200の表面を光学干渉式の平坦度測定装置(KLA Tencor社:Wafersight2)を用いて各ウェーハ200の表面のウィンドウサイズ10mmのナノトポグラフィーを測定し、個々のグラフに表したものである。
次に、鏡面研磨処理を施す前の各ウェーハ200の表面高さを周波数解析し、うねり成分の波長の振幅を調査した。その結果を図10、11に示す。
図10は直径300mmのウェーハ200であって、
図3(i)で示す樹脂貼り研削2回後のウェーハ200(実施例1−1)、
図4(f)で示す樹脂貼り研削1回後のウェーハ200(比較例1)、
図11は直径450mmのウェーハ200であって、
図3(i)で示す樹脂貼り研削2回後のウェーハ200(実施例1−1)、
図4(f)で示す樹脂貼り研削1回後のウェーハ200(比較例1)、
それぞれについて、静電容量方式の形状測定装置(株式会社コベルコ科研:SBW)を用いてウェーハ200の表面高さの周波数解析を行った結果を示している。解析方法は、ウェーハ200の表面高さ測定データに短波長周期成分10mm未満、長波長周期成分100mm超の波長帯域をカットオフしてバンドパスフィルタリング処理し、10mm〜100mmの波長領域におけるうねり成分の波長の振幅を求めた。
221 硬化性材料
232 基準面
Claims (5)
- 半導体単結晶インゴットをワイヤーソー装置を用いてスライスして薄円板状のウェーハを得るスライス工程から得られたウェーハを研削する工程を含む半導体ウェーハの加工プロセスであって、
前記スライス工程後の前記ウェーハの一方の面全体に硬化性材料を塗布して平坦な塗布層を形成する第1の塗布層形成工程と、
前記平坦化したウェーハの一方の面が研削装置のテーブルの基準面に当接するように前記ウェーハを前記テーブルに載置し続いて前記研削装置により前記ウェーハの他方の面を平面研削する第1の平面研削工程と、
前記第1の平面研削工程後の前記塗布層を前記ウェーハの一方の面から除去する第1の塗布層除去工程と、
前記塗布層が除去された前記ウェーハの他方の面が前記研削装置のテーブルの基準面に当接するように前記ウェーハを前記テーブルに載置し続いて前記研削装置により前記ウェーハの一方の面を平面研削する第2の平面研削工程とを含む樹脂貼り研削工程を繰り返し行う半導体ウェーハの加工プロセス。 - 先に行われた前記樹脂貼り研削工程での研削量が後に行われた前記樹脂貼り研削工程での研削量と同じかより大きい研削量である請求項1記載の半導体ウェーハの加工プロセス。
- 先に行われた前記樹脂貼り研削工程での研削量と後に行われた前記樹脂貼り研削工程での研削量の合計を100とするときに先に行われた前記樹脂貼り研削工程での研削量が50〜80であって、後に行われた前記樹脂貼り研削工程での研削量が20〜50である請求項2記載の半導体ウェーハの加工プロセス。
- 前記ワイヤーソー装置が固定砥粒ワイヤーを用いたスライス方式である請求項1ないし3いずれか1項に記載の半導体ウェーハの加工プロセス。
- 前記半導体ウェーハの直径が300mm以上である請求項1ないし4いずれか1項に記載の半導体ウェーハの加工プロセス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013133386A JP6111893B2 (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | 半導体ウェーハの加工プロセス |
KR1020140061998A KR101624151B1 (ko) | 2013-06-26 | 2014-05-23 | 반도체 웨이퍼의 가공 프로세스 |
US14/310,643 US9324558B2 (en) | 2013-06-26 | 2014-06-20 | Machining process for semiconductor wafer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013133386A JP6111893B2 (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | 半導体ウェーハの加工プロセス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015008247A true JP2015008247A (ja) | 2015-01-15 |
JP6111893B2 JP6111893B2 (ja) | 2017-04-12 |
Family
ID=52116003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013133386A Active JP6111893B2 (ja) | 2013-06-26 | 2013-06-26 | 半導体ウェーハの加工プロセス |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9324558B2 (ja) |
JP (1) | JP6111893B2 (ja) |
KR (1) | KR101624151B1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017068945A1 (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 株式会社Sumco | 半導体ウェーハの加工方法 |
WO2017134925A1 (ja) * | 2016-02-03 | 2017-08-10 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法およびウェーハ |
WO2018079222A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-03 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法およびウェーハ |
WO2019163017A1 (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法 |
WO2021166668A1 (ja) * | 2020-02-17 | 2021-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 加工方法及び加工装置 |
WO2021235067A1 (ja) * | 2020-05-21 | 2021-11-25 | 信越半導体株式会社 | 基板ウェーハの製造方法、及び基板ウェーハ |
WO2023228787A1 (ja) * | 2022-05-23 | 2023-11-30 | 信越半導体株式会社 | 研削ウェーハの製造方法及びウェーハの製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104769704B (zh) * | 2013-02-19 | 2017-10-13 | 胜高股份有限公司 | 半导体晶片的加工方法 |
CN109894962B (zh) * | 2017-12-07 | 2020-04-17 | 有研半导体材料有限公司 | 一种硅片边缘抛光工艺 |
DE102018221922A1 (de) * | 2018-12-17 | 2020-06-18 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mittels einer Drahtsäge, Drahtsäge und Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium |
TWI786672B (zh) * | 2021-06-09 | 2022-12-11 | 環球晶圓股份有限公司 | 晶圓的研磨方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10180599A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 薄板ワーク平面研削装置及び方法 |
JP2006269761A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェハの製造方法 |
WO2011105255A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 株式会社Sumco | 半導体ウェーハの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3055401B2 (ja) * | 1994-08-29 | 2000-06-26 | 信越半導体株式会社 | ワークの平面研削方法及び装置 |
KR100931787B1 (ko) | 2008-04-11 | 2009-12-14 | 주식회사 실트론 | 양면 연마 공정에서 웨이퍼의 평탄도를 제어하는 방법 |
JP2010074056A (ja) | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Sumco Corp | 半導体ウェーハおよびその製造方法 |
JP5524716B2 (ja) | 2010-05-28 | 2014-06-18 | 株式会社ディスコ | ウェーハの平坦加工方法 |
-
2013
- 2013-06-26 JP JP2013133386A patent/JP6111893B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-23 KR KR1020140061998A patent/KR101624151B1/ko active IP Right Grant
- 2014-06-20 US US14/310,643 patent/US9324558B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10180599A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 薄板ワーク平面研削装置及び方法 |
JP2006269761A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェハの製造方法 |
WO2011105255A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 株式会社Sumco | 半導体ウェーハの製造方法 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180064518A (ko) * | 2015-10-20 | 2018-06-14 | 가부시키가이샤 사무코 | 반도체 웨이퍼의 가공 방법 |
JP2017079249A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 株式会社Sumco | 半導体ウェーハの加工方法 |
KR102110850B1 (ko) * | 2015-10-20 | 2020-05-14 | 가부시키가이샤 사무코 | 반도체 웨이퍼의 가공 방법 |
WO2017068945A1 (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 株式会社Sumco | 半導体ウェーハの加工方法 |
WO2017134925A1 (ja) * | 2016-02-03 | 2017-08-10 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法およびウェーハ |
JP2017139323A (ja) * | 2016-02-03 | 2017-08-10 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法およびウェーハ |
JP2018074019A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法およびウェーハ |
WO2018079222A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-03 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法およびウェーハ |
DE112017005478T5 (de) | 2016-10-31 | 2019-08-08 | Sumco Corporation | Waferherstellungsverfahren und wafer |
KR20190058667A (ko) | 2016-10-31 | 2019-05-29 | 가부시키가이샤 사무코 | 웨이퍼의 제조 방법 및 웨이퍼 |
JPWO2019163017A1 (ja) * | 2018-02-21 | 2021-02-04 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法 |
KR20200104909A (ko) | 2018-02-21 | 2020-09-04 | 가부시키가이샤 사무코 | 웨이퍼의 제조 방법 |
CN111758152A (zh) * | 2018-02-21 | 2020-10-09 | 胜高股份有限公司 | 晶片的制造方法 |
WO2019163017A1 (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 株式会社Sumco | ウェーハの製造方法 |
CN111758152B (zh) * | 2018-02-21 | 2023-10-31 | 胜高股份有限公司 | 晶片的制造方法 |
US11948789B2 (en) | 2018-02-21 | 2024-04-02 | Sumco Corporation | Wafer production method |
WO2021166668A1 (ja) * | 2020-02-17 | 2021-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 加工方法及び加工装置 |
JP7466622B2 (ja) | 2020-02-17 | 2024-04-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 加工方法及び加工装置 |
WO2021235067A1 (ja) * | 2020-05-21 | 2021-11-25 | 信越半導体株式会社 | 基板ウェーハの製造方法、及び基板ウェーハ |
JP2021184417A (ja) * | 2020-05-21 | 2021-12-02 | 信越半導体株式会社 | 基板ウェーハの製造方法、及び基板ウェーハ |
WO2023228787A1 (ja) * | 2022-05-23 | 2023-11-30 | 信越半導体株式会社 | 研削ウェーハの製造方法及びウェーハの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150004799A1 (en) | 2015-01-01 |
KR20150001611A (ko) | 2015-01-06 |
US9324558B2 (en) | 2016-04-26 |
JP6111893B2 (ja) | 2017-04-12 |
KR101624151B1 (ko) | 2016-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6187579B2 (ja) | 半導体ウェーハの加工方法 | |
JP6111893B2 (ja) | 半導体ウェーハの加工プロセス | |
JP6878676B2 (ja) | ウェーハの製造方法 | |
JP6418130B2 (ja) | 半導体ウェーハの加工方法 | |
KR101994782B1 (ko) | 경면연마 웨이퍼의 제조방법 | |
WO2017134925A1 (ja) | ウェーハの製造方法およびウェーハ | |
WO2018079105A1 (ja) | ウェーハの製造方法およびウェーハ | |
US20130149941A1 (en) | Method Of Machining Semiconductor Substrate And Apparatus For Machining Semiconductor Substrate | |
WO2023228787A1 (ja) | 研削ウェーハの製造方法及びウェーハの製造方法 | |
KR101249857B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6111893 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |