JP2015008148A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 複数の材料種を備えた試料の照射された表面から放出される電子の検出に対応する情報を受信するステップと、
   前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数を計算するステップと、
   前記試料の照射された表面から放出された前記電子の検出に対応する受信された情報と、前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数とに基づいて、処理装置によって、前記試料の前記表面の３次元モデルを計算するステップと
   を備えた方法。
2. 放出された前記電子の検出に対応する前記情報は、前記試料の照射された表面に対して異なる位置に関連付けられている複数の検出器出力に対応する請求項１に記載の方法。
3. 前記試料の表面の３次元モデルを計算するステップは、
   前記試料の表面の表面高さ勾配を生成するステップと、
   前記表面高さ勾配を積分するステップと
   を備えた請求項１に記載の方法。
4. 前記試料の表面の前記表面高さ勾配を生成するステップは、
   前記試料の前記表面上の所与の点に対して、反射率関数に対応する一組の式を定義するステップと、
   前記一組の式を解いて前記所与の点における対応する表面高さ勾配を導出するステップと
   を備えた請求項１に記載の方法。
5. 前記３次元モデルを算出するステップは、
   前記試料の前記複数の材料種を補償するために、前記較正係数を、前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報に適用するステップを備えた請求項１に記載の方法。
6. 前記較正係数を適用するステップは、
   前記材料種に対して計算された較正係数の特定の較正係数を用いることによって、ある材料種を含む材料の表面上の点に対応する放出された電子の検出に関連付けられた所与の検出器の反射率関数を規格化することを備えた請求項５に記載の方法。
7. 前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報は、少なくとも１つの走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像を備えている請求項１に記載の方法。
8. メモリと、
   複数の材料種を備えた試料の照射された表面から放出される電子の検出に対応する情報を受信し、
   前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数を計算し、
   前記試料の照射された表面から放出された前記電子の検出に対応する受信された情報と、前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数とに基づいて、前記試料の前記表面の３次元モデルを計算する
   ように前記メモリに動作可能に接続された処理装置と
   を備えたシステム。
9. 放出された前記電子の検出に対応する前記情報は、前記試料の照射された表面に対して異なる位置に関連付けられている複数の検出器出力に対応する請求項８に記載のシステム。
10. 前記試料の表面の３次元モデルの計算は、
    前記試料の表面の表面高さ勾配を生成し、
    前記表面高さ勾配を積分する
    ことを備えた請求項８に記載のシステム。
11. 前記試料の表面の前記表面高さ勾配の生成は、
    前記試料の前記表面上の所与の点に対して、反射率関数に対応する一組の式を定義し、
    前記一組の式を解いて前記所与の点における対応する表面高さ勾配を導出する
    ことを備えた請求項８に記載のシステム。
12. 前記３次元モデルの算出は、
    前記試料の前記複数の材料種を補償するために、前記較正係数を、前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報に適用することを備えた請求項８に記載のシステム。
13. 前記較正係数を適用することは、
    前記材料種に対して計算された較正係数の特定の較正係数を用いることによって、ある材料種を含む材料の表面上の点に対応する放出された電子の検出に関連付けられた所与の検出器の反射率関数を規格化することを備えた請求項１２に記載のシステム。
14. 前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報は、少なくとも１つの走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像を備えている請求項８に記載のシステム。
15. 処理装置によってアクセスされたときに、前記処理装置に、
    複数の材料種を備えた試料の照射された表面から放出される電子の検出に対応する情報を受信させ、
    前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数を計算させ、
    前記試料の照射された表面から放出された前記電子の検出に対応する受信された情報と、前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数とに基づいて、前記試料の前記表面の３次元モデルを計算させる
    データを有する非一時的な機械可読記憶媒体。
16. 放出された前記電子の検出に対応する前記情報は、前記試料の照射された表面に対して異なる位置に関連付けられている複数の検出器出力に対応する請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
17. 前記試料の表面の３次元モデルの計算は、
    前記試料の表面の表面高さ勾配を生成し、
    前記表面高さ勾配を積分する
    ことを備えた請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
18. 前記試料の表面の前記表面高さ勾配の生成は、
    前記試料の前記表面上の所与の点に対して、反射率関数に対応する一組の式を定義し、
    前記一組の式を解いて前記所与の点における対応する表面高さ勾配を導出する
    ことを備えた請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
19. 前記３次元モデルの算出は、
    前記試料の前記複数の材料種を補償するために、前記較正係数を、前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報に適用することを備えた請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
20. 前記較正係数を適用することは、
    前記材料種に対して計算された較正係数の特定の較正係数を用いることによって、ある材料種を含む材料の表面上の点に対応する放出された電子の検出に関連付けられた所与の検出器の反射率関数を規格化することを備えた請求項１９に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。