JP2015006677A - レーザ穴明け加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2a,2b ガルバノモータ
3a,3b ガルバノ制御部
8 レーザ発振器
9 レーザビーム
9k 変調前のレーザビーム
9d 廃棄レーザビーム
20 ビーム径調整器
21 音響光学変調器(AOM)
50 ガラス基板
51 X−Yテーブル
52 制御部
Claims (1)
- ワークを載置してX及びY方向に駆動可能なX−Yテーブルと、
炭酸ガスレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザを高速に変調してパルスレーザとする変調器と、
前記パルスレーザをワーク上に集光できる光学系を有するレーザ加工装置を用い、
前記パルスレーザのパワー密度を7MW/cm2にし、パルス周期を3〜5μs、パルス幅を2μs、総パルス数を20〜21にすることを特徴とするレーザ加工方法。
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JP2013132264A JP6110225B2 (ja) | 2013-06-25 | 2013-06-25 | レーザ穴明け加工方法 |
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JP6110225B2 JP6110225B2 (ja) | 2017-04-05 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106338337A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-01-18 | 盐城工学院 | 一种激光打孔中在线监测打孔质量的装置及其监测方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09107168A (ja) * | 1995-08-07 | 1997-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 配線基板のレーザ加工方法、配線基板のレーザ加工装置及び配線基板加工用の炭酸ガスレーザ発振器 |
JPH11123577A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-05-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 脆性材のレーザー加工方法 |
JP2012106266A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2013063469A (ja) * | 2007-01-26 | 2013-04-11 | Electro Scientific Industries Inc | 材料加工のためのパルス列を生成する方法及びシステム |
JP2014223671A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-12-04 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
-
2013
- 2013-06-25 JP JP2013132264A patent/JP6110225B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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