JP2015003433A - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の吐出口21及び第一の吐出口に連通する第一の液体流路を含む第一の液経路23と、第二の吐出口22及び第二の吐出口に連通する第二の液体流路24を含み、第一の液経路よりも流抵抗が大きい第二の液経路と、を形成する流路形成部材2と、エネルギー発生素子12を第一の面上に有し、第一の液体流路及び第二の液体流路に液体を供給するための液体供給口を有する基板3と、を備え、第一の吐出口及び第二の吐出口から液体が吸引される吸引動作が行われる、液体吐出ヘッドであって、第一の液経路側のエネルギー発生素子よりも上流側であってかつ液体供給口よりも下流側に、吸引動作時に変位して液体の流れを調整する負圧調整部材15が配置されている液体吐出ヘッド1。
【選択図】図1
Description
第一の吐出口及び該第一の吐出口に連通する第一の液体流路を含む第一の液経路と、第二の吐出口及び該第二の吐出口に連通する第二の液体流路を含み、前記第一の液経路よりも流抵抗が大きい第二の液経路と、を形成する流路形成部材と、
液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子を第一の面上に有し、前記第一の液体流路及び前記第二の液体流路に前記液体を供給するための液体供給口を有する基板と、
を備え、
前記第一の吐出口及び前記第二の吐出口から前記液体が吸引される吸引動作が行われる、液体吐出ヘッドであって、
前記第一の液経路側の前記エネルギー発生素子よりも上流側であってかつ前記液体供給口よりも下流側に、前記吸引動作時に変位して前記液体の流れを調整する負圧調整部材が配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
上述の液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板上に、前記負圧調整部材を形成する工程と、
(2)前記基板上に、溶解可能な樹脂を用いて、前記第一の液体流路及び前記第二の液体流路の型材となるパターンを形成する工程と、ここで、前記第一の液体流路の型材となるパターンの少なくとも一部は前記負圧調整部材の上に配置され、
(3)前記パターンの上に前記流路形成部材を形成する工程と、
(4)前記基板に前記液体供給口を形成する工程と、
(5)前記パターンを溶解除去する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
図1(A)に、本発明の実施例形態に係る液体吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッドの斜視図を示す。また、図1(B)は、図1(A)におけるインクジェット記録ヘッドのA−A’線における断面を模式的に示した図である。また、このインクジェット記録ヘッド1には、インクを収容するインクタンク(不図示)が接続され、このインクタンクからインク供給口(液体供給口)4に、連通路(不図示)を介してインクが供給される。このインクジェット記録ヘッド1においては、吐出口及びインク流路を形成する流路形成部材2が基板3の表面(第一の面)上に設けられている。
次に、本実施形態におけるインクジェット記録ヘッド1の製造方法の例について説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではない。
図7を参照して本実施形態を説明する。なお、上述の説明と重複している部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図8を参照して本実施形態を説明する。なお、上述の説明と重複している部分については図中同一符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
本実施形態の液体吐出ヘッド装置は、本実施形態の液体吐出ヘッドと、吸引動作時に液体吐出ヘッドの吐出面に装着する回復吸引ユニットと、該回復吸引ユニットと接続する吸引ポンプと、を備える構成とすることができる。
2 流路形成部材
3 基板
4 液体供給口(インク供給口)
6 液体流路(インク流路)
7 マスクパターン
8 熱酸化膜
9 層間絶縁膜
10 保護膜
11 中間層(密着向上層)
12 ヒーター材
13 耐キャビテーション膜
14 撥水層
15 負圧調整部材
16 負圧調整孔
17 第一のパターン
18 第二のパターン
19 コーティング材
20 ストッパー部
21 第一の吐出口(第一のインク吐出口)
22 第二の吐出口(第二のインク吐出口)
31 吸収体
32 キャップ
33 回復吸引ユニット
Claims (12)
- 第一の吐出口及び該第一の吐出口に連通する第一の液体流路を含む第一の液経路と、第二の吐出口及び該第二の吐出口に連通する第二の液体流路を含み、前記第一の液経路よりも流抵抗が大きい第二の液経路と、を形成する流路形成部材と、
液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子を第一の面上に有し、前記第一の液体流路及び前記第二の液体流路に前記液体を供給するための液体供給口を有する基板と、
を備え、
前記第一の吐出口及び前記第二の吐出口から前記液体が吸引される吸引動作が行われる、液体吐出ヘッドであって、
前記第一の液経路側の前記エネルギー発生素子よりも上流側であってかつ前記液体供給口よりも下流側に、前記吸引動作時に変位して前記液体の流れを調整する負圧調整部材が配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記負圧調整部材は前記基板上に配置されている請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記負圧調整部材は、前記基板上に配置されている支持固定部と、該支持固定部から伸長する流れ抵抗部と、を含み、
前記流れ抵抗部は、前記吸引動作時に変位して、前記第一の液経路における前記液体の流れを妨げる請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記負圧調整部材は、前記液体供給口の第一の面側の開口端部から前記液体供給口の上側に張り出した構造を有する請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記流路形成部材は内部にストッパー部を有し、
前記負圧調整部材は、前記吸引動作時に変位して前記ストッパー部に当接する請求項1乃至4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 前記負圧調整部材が変位した際に該負圧調整部材によって形成される前記第一の液体流路への開口の面積が、前記第二の吐出口の開口面積と同程度の面積になる請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記負圧調整部材の材料は、無機材料である請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記負圧調整部材のヤング率が1GPa以上、250GPa以下である請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記負圧調整部材の膜厚が、0.3μm以上1μm以下である請求項1乃至8のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第一の吐出口の開口面積は、前記第二の吐出口の開口面積よりも大きい請求項1乃至9のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1乃至10のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、前記吸引動作時に前記液体吐出ヘッドの前記吐出口が開口する吐出面に装着する回復吸引ユニットと、該回復吸引ユニットと接続する吸引ポンプと、を備える液体吐出ヘッド装置。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記基板上に、前記負圧調整部材を形成する工程と、
(2)前記基板上に、溶解可能な樹脂を用いて、前記第一の液体流路及び前記第二の液体流路の型材となるパターンを形成する工程と、ここで、前記第一の液体流路の型材となるパターンの少なくとも一部は前記負圧調整部材の上に配置され、
(3)前記パターンの上に前記流路形成部材を形成する工程と、
(4)前記基板に前記液体供給口を形成する工程と、
(5)前記パターンを溶解除去する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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