JP2015002348A - 光検出器アレイをドライエッチングするシステム及び方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 13
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910014265 BrCl Inorganic materials 0.000 claims description 8
- CODNYICXDISAEA-UHFFFAOYSA-N bromine monochloride Chemical compound BrCl CODNYICXDISAEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 4
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 3
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004298 light response Effects 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14665—Imagers using a photoconductor layer
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14694—The active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
【解決手段】光検出器のアレイ100を作る方法は、隣接し合う光検出器102の間に画定された少なくとも1つのトレンチ104を含む、InAsSbから形成された光検出器102のアレイのパターンを受容すること、及びBrCl3及びArを含むプラズマを用いて少なくとも1つのトレンチ104をドライエッチングすることを含む。
【選択図】図1
Description
方程式中で、JTは暗電流密度の総和であり、JBulkはバルク部の暗電流密度であり、Pは機器の周囲長であり、Aは機器の面積であり、かつ、JSurfaceは側壁部に沿った表面漏洩密度である。
102 センサ
104 トレンチ
200 トレンチ
202 誘電マスク
204 第1光吸収層
206 バリア層
207 台形状部(mesa)
208 第2光吸収層
209 台形状部(mesa)
210 第1側壁部
212 第2側壁部
214 基底部・マスクとトレンチの中心線との間の距離
216 トレンチの中心線
218 距離
220 距離
222 距離
Claims (10)
- 撮像に使用される光検出器アレイ(100)であって、
InAsSbから形成された第1の光検出器、
InAsSbから形成された第2の光検出器、並びに
前記第1の光検出器と前記第2の光検出器との間に、BrCl3及びArを使用して形成されたトレンチ(200)
を備える光検出器アレイ。 - 前記トレンチ(200)は、前記第1の光検出器が前記第2の光検出器から電気的に絶縁されるように形成される、請求項1に記載の光検出器アレイ。
- 前記トレンチ(200)は、前記第1の光検出器及び前記第2の光検出器の側壁部が滑らかになるように形成される、請求項1又は2に記載の光検出器アレイ。
- 前記トレンチ(200)は、前記第1の光検出器及び前記第2の光検出器の側壁部が直立するように形成される、請求項1から3のいずれか一項に記載の光検出器アレイ。
- 前記第1の光検出器及び前記第2の光検出器は、デュアルバンド容量内で作動するよう構成される、請求項1から4のいずれか一項に記載の光検出器アレイ。
- 前記第1の光検出器及び前記第2の光検出器は、赤外線信号を処理するよう構成される、請求項1から5のいずれか一項に記載の光検出器アレイ。
- 光検出器のアレイを作る方法であって、
隣接し合う光検出器の間に画定された少なくとも1つのトレンチ(200)を含む、InAsSbから形成された前記光検出器のアレイのパターン(302)を受容すること、並びに
BrCl3及びArを含むプラズマを用いて前記少なくとも1つのトレンチをドライエッチングすること
を含む方法。 - 前記少なくとも1つのトレンチ(200)を化学的にエッチングすること、及び、前記ドライエッチングによって形成されたCl合成物の脱離を引き起こすことのうち少なくとも1つのために、Arイオンを機械的にスパッタリングすることを更に含む、請求項7に記載の方法。
- 前記光検出器のアレイの前記パターン(302)は、
誘電ハードマスクを堆積すること、
前記光検出器のアレイの前記パターン(302)を、フォトリソグラフィを使用して前記ハードマスクに画定すること、
前記パターンを前記誘電ハードマスク上にエッチングすること、及び
ストリッパと超音波のうち少なくとも1つを使用して、前記誘電ハードマスクを除去すること
によって形成される、請求項7又は8に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのトレンチ(200)のドライエッチングは更に、前記少なくとも1つのトレンチ(200)をドライエッチングして、前記光検出器のアレイの滑らかな側壁部を形成することを含む、請求項7から9のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/919,541 | 2013-06-17 | ||
US13/919,541 US8941145B2 (en) | 2013-06-17 | 2013-06-17 | Systems and methods for dry etching a photodetector array |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015002348A true JP2015002348A (ja) | 2015-01-05 |
Family
ID=52018523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014120223A Pending JP2015002348A (ja) | 2013-06-17 | 2014-06-11 | 光検出器アレイをドライエッチングするシステム及び方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8941145B2 (ja) |
JP (1) | JP2015002348A (ja) |
TW (1) | TWI553843B (ja) |
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-
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- 2013-06-17 US US13/919,541 patent/US8941145B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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- 2014-05-22 TW TW103117866A patent/TWI553843B/zh not_active IP Right Cessation
- 2014-06-11 JP JP2014120223A patent/JP2015002348A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8941145B2 (en) | 2015-01-27 |
US20140367822A1 (en) | 2014-12-18 |
TWI553843B (zh) | 2016-10-11 |
TW201503338A (zh) | 2015-01-16 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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C141 | Inquiry by the administrative judge |
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C54 | Written response to inquiry |
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|
C23 | Notice of termination of proceedings |
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|
C03 | Trial/appeal decision taken |
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C30A | Notification sent |
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