JP2015002201A - 光受信モジュール - Google Patents

光受信モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2015002201A
JP2015002201A JP2013124729A JP2013124729A JP2015002201A JP 2015002201 A JP2015002201 A JP 2015002201A JP 2013124729 A JP2013124729 A JP 2013124729A JP 2013124729 A JP2013124729 A JP 2013124729A JP 2015002201 A JP2015002201 A JP 2015002201A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
substrate
terminal
optical receiver
resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2013124729A
Other languages
English (en)
Inventor
雄鋭 上野
Yuto Ueno
雄鋭 上野
八田 竜夫
Tatsuo Hatta
竜夫 八田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2013124729A priority Critical patent/JP2015002201A/ja
Priority to US14/221,338 priority patent/US9172335B2/en
Priority to CN201410265490.8A priority patent/CN104243051A/zh
Publication of JP2015002201A publication Critical patent/JP2015002201A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/04Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only
    • H03F3/08Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only controlled by light
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B10/00Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/60Receivers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Amplifiers (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、増幅回路のGND電位を安定させ、かつ帯域を拡大できる光受信モジュールを提供することを目的とする。【解決手段】キャリアと、該キャリアの上面に固定され、受光部、アノード端子、及びカソード端子を有し、光信号を光電変換する受光素子と、該キャリアの上面に固定され、第1側辺を有し、該第1側辺に沿って形成された入力端子とGND端子を有する増幅回路と、該アノード端子と該入力端子を接続する第1ワイヤと、該キャリアの上面に固定され、該キャリアに接する金属部分と、抵抗部分とが一体化した混載部品と、該カソード端子と該抵抗部分の一端とを接続する第2ワイヤと、該GND端子と該金属部分の上面を接続する第3ワイヤと、表面電極と裏面電極を有し、該裏面電極が該キャリアに固定されたキャパシタと、該表面電極と該抵抗部分の他端とを接続する第4ワイヤと、を備える。【選択図】図1

Description

本発明は、例えば光ファイバ通信などに用いられる光受信モジュールに関する。
特許文献1には、受光素子を備えた光受信モジュールが開示されている。この光受信モジュールは、受光素子のカソード端子と素子キャリアの間に直列に接続された抵抗器とキャパシタを有している。そして、受光素子のアノード端子は増幅回路にワイヤ接続されている。増幅回路のGND端子は素子キャリアにワイヤ接続されている。
上述の抵抗器は、増幅回路の入力端で生じる反射による共振を減衰させるために設けられている。上述のキャパシタは、バイアス電圧の変動を抑制するために設けられている。
特開2012−169478号公報 特開2012−69681号公報
増幅回路のGND電位を安定させるためには、増幅回路のGND端子とキャリアを電気的に接続するワイヤを短くすることが重要である。しかしながら、特許文献1に開示の光受信モジュールでは増幅回路のGND端子とキャリアを接続するワイヤが長いので、増幅回路のGND電位を安定させることができない問題があった。
また、光受信モジュールの高周波特性を安定させるために、受光素子のカソード端子とキャリアの間に、抵抗とキャパシタを直列接続することがある。このとき、増幅回路の入力端子−受光素子−抵抗−キャパシタ−キャリア(GND)−増幅回路の入力端子という回路が形成されて、この回路長に対応した帯域制限が生じてしまう。帯域を拡大するためには、この回路長を短くすることが重要である。
しかしながら、キャリアに搭載する部品は最小サイズ(例えば0.25mm角)が定められており、かつ実装精度を考慮して一定の部品間隔が必要となる。そのため、上記回路長が長くなってしまう問題があった。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、増幅回路のGND電位を安定させ、かつ帯域を拡大できる光受信モジュールを提供することを目的とする。
本願の発明に係る光受信モジュールは、キャリアと、該キャリアの上面に固定され、受光部、アノード端子、及びカソード端子を有し、光信号を光電変換する受光素子と、該キャリアの上面に固定され、第1側辺を有し、該第1側辺に沿って形成された入力端子とGND端子を有する増幅回路と、該アノード端子と該入力端子を接続する第1ワイヤと、該キャリアの上面に固定され、該キャリアに接する金属部分と、抵抗部分とが一体化した混載部品と、該カソード端子と該抵抗部分の一端とを接続する第2ワイヤと、該GND端子と該金属部分の上面を接続する第3ワイヤと、表面電極と裏面電極を有し、該裏面電極が該キャリアに固定されたキャパシタと、該表面電極と該抵抗部分の他端とを接続する第4ワイヤと、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、増幅回路のGND電位を安定させ、かつ光受信モジュールの帯域を拡大できる。
本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの平面図である。 混載部品の斜視図である。 キャパシタの斜視図である。 本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの回路図である。 第1比較例に係る光受信モジュールの平面図である。 第2比較例に係る光受信モジュールの平面図である。 第2比較例の第3ワイヤを示す正面図である。 本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの第3ワイヤを示す正面図である。 光受信モジュールの周波数特性を示すグラフである。 混載部品の変形例を示す斜視図である。 本発明の実施の形態2に係る光受信モジュールの平面図である。 分岐部によるオープンスタブの通過特性S21を示すグラフである。 本発明の実施の形態3に係る光受信モジュールの平面図である。
本発明の実施の形態に係る光受信モジュールについて図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュール10の平面図である。光受信モジュール10は、導電体で形成されたキャリア12を備えている。キャリア12は部品を搭載する台である。キャリア12は導電体で形成されれば特に限定されないが、例えば鉄、ニッケル、及びコバルトからなる合金で形成される。キャリア12の上面には受光素子14が固定されている。受光素子14は、受光部14a、アノード端子14b、及びカソード端子14c、14dを備えている。受光素子14は、光信号を光電変換する素子であれば特に限定されないが、例えば、フォトダイオードで形成される。
キャリア12の上面には、増幅回路であるTIA(Trans-Impedance Amplifier)16が固定されている。TIA16は、SiGe系材料で形成された本体部16aを備えている。本体部16aの上面に入力端子16b及びGND端子16c、16dが形成されている。入力端子16bとGND端子16c、16dは、TIA16の第1側辺16eに沿って形成されている。アノード端子14bと入力端子16bは第1ワイヤ18で接続されている。第1ワイヤ18を介してTIA16に出力された電流信号は、TIA16にて電圧信号に変換される。
キャリア12の上面には混載部品30が固定されている。混載部品30は、基板32を備えている。基板32は、誘電体で形成される限り特に限定されないが、例えば酸化アルミニウムで形成される。基板32の上面には抵抗体34が形成されている。基板32の上面には、第1ボンディングパッド36と第2ボンディングパッド38が形成されている。
第1ボンディングパッド36は、抵抗体34の一端とつながっている。第2ボンディングパッド38は、抵抗体34の他端とつながっている。抵抗体34、第1ボンディングパッド36、及び第2ボンディングパッド38は、まとめて抵抗部分40と称することがある。抵抗部分40は共振を抑制するために形成されている。
混載部品30は、キャリア12に接する金属部分42を備えている。金属部分42は、基板32に抵抗部分40と接しないように形成されている。金属部分42について、図2を参照して説明する。図2は、混載部品30の斜視図である。基板32の下面に、キャリア12と接するように下面メタライズ部42aが形成されている。下面メタライズ部42aとつながるように、基板32の側面に側面メタライズ部42bが形成されている。側面メタライズ部42bとつながるように、基板32の上面の一部に上面メタライズ部42cが形成されている。
このように、金属部分42は、下面メタライズ部42a、側面メタライズ部42b、及び上面メタライズ部42cを備えている。そして、下面メタライズ部42aがキャリア12と接することで、金属部分42全体がGND電位となっている。
図2から明らかなように、混載部品30には金属部分42と抵抗部分40が混載されている。なお、第1ボンディングパッド36、第2ボンディングパッド38、及び金属部分42は、金属により形成されれば特に限定されないが、例えば金で形成される。
図1の説明に戻る。受光素子14のカソード端子14cと抵抗部分40の一端(第1ボンディングパッド36)は第2ワイヤ50で接続されている。TIA16のGND端子16dと金属部分42の上面(上面メタライズ部42c)は第3ワイヤ52で接続されている。
キャリア12の上面には、キャパシタ60が固定されている。図3は、キャパシタの斜視図である。キャパシタ60は、誘電体60b、誘電体60bの上面に形成された表面電極60a、及び誘電体60bの下面に形成された裏面電極60cを備えている。裏面電極60cがキャリア12に固定される。キャパシタ60は受光素子14への印加電圧を安定させるために形成されている。図1の説明に戻る。キャパシタ60の表面電極60aと抵抗部分40の他端(第2ボンディングパッド38)は第4ワイヤ62で接続されている。
受光素子14の上方には混載部品70とキャパシタ80が形成されている。混載部品70は混載部品30と同じ構成である。キャパシタ80はキャパシタ60と同じ構成である。カソード端子14cから混載部品30の抵抗部分40とキャパシタ60を経由してキャリア12に至る経路長と、カソード端子14dから混載部品70の抵抗部分とキャパシタ80を経由してキャリア12に至る経路長は同等である。
第2ワイヤ72と第2ワイヤ50の長さは等しい。第3ワイヤ74と第3ワイヤ52の長さは等しい。第4ワイヤ76と第4ワイヤ62の長さは等しい。図1から明らかなように、受光素子14と、混載部品30、70と、キャパシタ60、80は、平面視で、第1側辺16eに沿って一列に並んでいる。
図4は、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの回路図である。この回路図には、受光素子14、TIA16、混載部品30、及びキャパシタ60、並びにこれらを接続するワイヤからなる回路が示されている。なお、第1ワイヤ18、第2ワイヤ50、第3ワイヤ52、及び第4ワイヤ62は、インダクタで表されている。
ここで、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの意義の説明に先立ち、比較例について説明する。比較例については、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュール10との相違点のみ説明する。図5は、第1比較例に係る光受信モジュールの平面図である。第1比較例では、金属部分100(GNDポスト)と抵抗部分102が別個の部品となっている。
抵抗部分102は、基板104の上に、第1ボンディングパッド106、抵抗体108、及び第2ボンディングパッド110を備えている。第3配線112は金属部分100の上面とGND端子16dを接続している。ところで、金属部分100は、抵抗部分102よりも第1側辺16e側にある。そのため抵抗部分102を第1側辺1e側に寄せることができず、抵抗部分102は受光素子14及びキャパシタ60に対して右側にずれた部分に位置する。これにより、第2ワイヤ114は図1の第2ワイヤ50より長くなっている。また、第4ワイヤ116は図1の第4ワイヤ62よりも長くなっている。
図6は、第2比較例に係る光受信モジュールの平面図である。第2比較例では、金属部分がなく、第3ワイヤ150が直接キャリア12に接続されている。抵抗部分102は第3ワイヤ150とキャリア120の接続点から一定距離だけ離して配置しなければならないので、抵抗部分102は受光素子14及びキャパシタ60に対して右側にずれた部分に位置する。
図7は、第2比較例の第3ワイヤ150を示す正面図である。第3ワイヤ150は、GND端子16dの上面からキャリア12に接続されるので長い。図8は、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュール10の第3ワイヤ52を示す正面図である。キャリア12からGND端子16dの上面までの距離と、キャリア12から金属部分42の上面までの距離は等しい。従って、第3ワイヤ52は第2比較例の第3ワイヤ150よりも、図7のYで示す分だけ短くなっている。そのため、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールは、インダクタンスを低減してGND電位を安定させることができる。
なお、TIA16をSiGe系材料で形成した場合にはTIAに貫通孔を形成することが困難となるため、TIAを貫通する金属をキャリアに接触させてGND安定化を図ることはできない。
第1比較例では金属部分100があるので、抵抗部分102を第1側辺16eに寄せて配置できない。第2比較例では第3ワイヤ150とキャリア12の接続部があるので、抵抗部分102を第1側辺16eに寄せて配置できない。つまり、どちらの場合も、抵抗部分102が受光素子14及びキャパシタ60に対して右側にずれた部分に位置するので、第2ワイヤ114と第4ワイヤ116が長くなる。そのため、TIAの入力端子−受光素子−抵抗部−キャパシタ−キャリア(GND)−TIAの入力端子からなる回路の回路長(以後、単に回路長ということがある)が長くなり、帯域が狭くなる。
本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールは、金属部分42と抵抗部分40を備えた混載部品30を有する。従って、抵抗部分40を第1側辺16e側に寄せて配置し、抵抗部分40を受光素子14及びキャパシタ60の近くに位置させることができる。そのため、図1の第2ワイヤ50は比較例の第2ワイヤ114より短く、かつ図1の第4ワイヤ62は、比較例の第4ワイヤ116より短い。そのため、回路長を短縮して、帯域を拡大することができる。
図9は、光受信モジュールの周波数特性を示すグラフである。図9(A)は、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの通過特性S21を示すグラフである。図9(C)は、比較例1のS21を示すグラフである。なお、比較例1と比較例2の回路長は同等であるので、比較例2のS21は図9(C)とほぼ等しい。
例えば40Gbpsの変調信号を受信するためには30GHz程度の帯域が必要である。図9(A)から分かるように、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールでは30GHz以上の−3dB帯域を確保できている。他方、図9(C)の場合、図9(A)よりも帯域が縮小している。図9(A)と図9(C)の帯域の差は、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの回路長が、比較例1、2の回路長より短いために生じている。
図9(B)は、本発明の実施の形態1に係る光受信モジュールの反射特性S22を示すグラフである。図9(D)は、比較例1のS22を示すグラフである。両者のS22はほぼ同等となっている。
本発明の効果を得るための混載部品は図2の混載部品に限定されない。混載部品は、キャリア12に接する金属部分と、抵抗部分とが一体化したものであればよい。図10は、混載部品の変形例を示す斜視図である。この混載部品の金属部分は金属板200で形成されている。そして、抵抗部分40は基板202の上に形成されている。そして、金属板200と、抵抗部分40を搭載する基板202とが接合されて、ひとつの混載部品となっている。
TIAの材料はSiGe系材料に限定されない。増幅回路の例としてTIA16を挙げたが、TIA16以外の増幅回路を用いてもよい。その他、本発明の範囲を逸脱しない限り、様々な変形が可能である。なお、これらの変形は以下の実施の形態に係る光受信モジュールにも応用できる。
実施の形態2.
本発明の実施の形態2に係る光受信モジュールは、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図11は、本発明の実施の形態2に係る光受信モジュールの平面図である。混載部品300は、抵抗部分として基板32の上面に形成された金属膜302を備えている。
金属膜302は、本体部302aと、本体部302aから分岐して先端が開放となっている分岐部302bとを備えている。本体部302aの一端には第2ワイヤ50が接続されている。本体部302aの他端には第4ワイヤ62が接続されている。分岐部302bはオープンスタブとして機能する。なお、混載部品310は混載部品300と同じ構成である。
図12は、分岐部302bによるオープンスタブの通過特性S21を示すグラフである。このオープンスタブは30GHz付近で谷をもつフィルタとなっている。これにより、分岐部302bをバンドエリミネーションフィルタ(Band Elimination Filter)として機能させ、共振を抑制することができる。
実施の形態3.
本発明の実施の形態3に係る光受信モジュールは、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図13は、本発明の実施の形態3に係る光受信モジュールの平面図である。混載部品400は、抵抗部分402を備えている。
第1ボンディングパッド404は、先端が開放した分岐部404aを備えている。分岐部404aはオープンスタブとして機能する。なお、混載部品410は混載部品400と同じ構成である。分岐部404aはバンドエリミネーションフィルタ(Band Elimination Filter)として機能させることができる。この分岐部404aと抵抗体34により、共振抑制の効果を高めることができる。
10 光受信モジュール、 12 キャリア、 14 受光素子、 14a 受光部、 14b アノード端子、 14c,14d カソード端子、 16 TIA、 16a 本体部、 16b 入力端子、 16c,16d GND端子、 16e 第1側辺、 18 第1ワイヤ、 30 混載部品、 32 基板、 34 抵抗体、 36 第1ボンディングパッド、 38 第2ボンディングパッド、 40 抵抗部分、 42 金属部分、 42a 下面メタライズ部、 42b 側面メタライズ部、 42c 上面メタライズ部、 50 第2ワイヤ、 52 第3ワイヤ、 60 キャパシタ、 60a 表面電極、 60b 誘電体、 60c 裏面電極、 62 第4ワイヤ、 200 金属板、 202 基板、 300,310 混載部品、 302 金属膜、 302a 本体部、 302b 分岐部、 400,410 混載部品、 402 抵抗部分、 404 第1ボンディングパッド、 404a 分岐部

Claims (8)

  1. キャリアと、
    前記キャリアの上面に固定され、受光部、アノード端子、及びカソード端子を有し、光信号を光電変換する受光素子と、
    前記キャリアの上面に固定され、第1側辺を有し、前記第1側辺に沿って形成された入力端子とGND端子を有する増幅回路と、
    前記アノード端子と前記入力端子を接続する第1ワイヤと、
    前記キャリアの上面に固定され、前記キャリアに接する金属部分と、抵抗部分とが一体化した混載部品と、
    前記カソード端子と前記抵抗部分の一端とを接続する第2ワイヤと、
    前記GND端子と前記金属部分の上面を接続する第3ワイヤと、
    表面電極と裏面電極を有し、前記裏面電極が前記キャリアに固定されたキャパシタと、
    前記表面電極と前記抵抗部分の他端とを接続する第4ワイヤと、を備えたことを特徴とする光受信モジュール。
  2. 前記混載部品は、
    基板と、
    前記基板の下面に前記キャリアと接するように形成された下面メタライズ部と、
    前記下面メタライズ部とつながるように、前記基板の側面に形成された側面メタライズ部と、
    前記側面メタライズ部とつながるように、前記基板の上面の一部に形成された上面メタライズ部と、
    前記基板の上面に形成された抵抗体と、
    前記抵抗体の一端とつながるように前記基板の上面に形成された第1ボンディングパッドと、
    前記抵抗体の他端とつながるように前記基板の上面に形成された第2ボンディングパッドと、を備え、
    前記金属部分は、前記下面メタライズ部、前記側面メタライズ部、及び前記上面メタライズ部で構成され、
    前記抵抗部分は、前記抵抗体、前記第1ボンディングパッド、及び前記第2ボンディングパッドで構成されることを特徴とする請求項1に記載の光受信モジュール。
  3. 前記混載部品は、
    基板と、
    前記基板の上面に形成された抵抗体と、
    前記抵抗体の一端とつながるように前記基板の上面に形成された第1ボンディングパッドと、
    前記抵抗体の他端とつながるように前記基板の上面に形成された第2ボンディングパッドと、を備え、
    前記第1ボンディングパッドは、オープンスタブとして機能する分岐部を有することを特徴とする請求項1に記載の光受信モジュール。
  4. 前記金属部分は金属板で形成され、
    前記混載部品は、前記金属板と前記抵抗部分を接合して形成したことを特徴とする請求項1に記載の光受信モジュール。
  5. 前記混載部品は、
    基板と、
    前記抵抗部分として前記基板の上面に形成された金属膜と、を備え、
    前記金属膜は、オープンスタブとして機能する分岐部を有することを特徴とする請求項1に記載の光受信モジュール。
  6. 前記増幅回路はSiGe系材料で形成されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光受信モジュール。
  7. 前記キャリアから前記GND端子の上面までの距離と、前記キャリアから前記金属部分の上面までの距離は等しいことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光受信モジュール。
  8. 前記受光素子と、前記混載部品と、前記キャパシタは、平面視で、前記第1側辺に沿って一列に並んだことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光受信モジュール。
JP2013124729A 2013-06-13 2013-06-13 光受信モジュール Withdrawn JP2015002201A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013124729A JP2015002201A (ja) 2013-06-13 2013-06-13 光受信モジュール
US14/221,338 US9172335B2 (en) 2013-06-13 2014-03-21 Optical receiver module
CN201410265490.8A CN104243051A (zh) 2013-06-13 2014-06-13 光接收模块

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013124729A JP2015002201A (ja) 2013-06-13 2013-06-13 光受信モジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015002201A true JP2015002201A (ja) 2015-01-05

Family

ID=52018414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013124729A Withdrawn JP2015002201A (ja) 2013-06-13 2013-06-13 光受信モジュール

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9172335B2 (ja)
JP (1) JP2015002201A (ja)
CN (1) CN104243051A (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10135545B2 (en) * 2016-06-20 2018-11-20 Oclaro Japan, Inc. Optical receiver module and optical module
JP7263697B2 (ja) * 2018-04-13 2023-04-25 住友電気工業株式会社 受光装置
CN112740051B (zh) * 2018-09-20 2022-06-10 华为技术有限公司 一种光电子组件及其制造方法
JP2021044437A (ja) * 2019-09-12 2021-03-18 住友電気工業株式会社 受光装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4086265B2 (ja) * 1999-03-19 2008-05-14 株式会社東芝 光信号受信装置
JP5516276B2 (ja) 2010-09-22 2014-06-11 住友電気工業株式会社 受光装置
JP5492116B2 (ja) 2011-02-15 2014-05-14 三菱電機株式会社 光受信モジュール
JP6191348B2 (ja) * 2013-09-10 2017-09-06 富士通株式会社 光受信モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
US20140367557A1 (en) 2014-12-18
US9172335B2 (en) 2015-10-27
CN104243051A (zh) 2014-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3047735B2 (ja) 光受信モジュ−ルとその製造方法
US8987650B2 (en) Front end module for optical receiver
JP2015002201A (ja) 光受信モジュール
JP2008028281A (ja) 半導体装置
US20200273825A1 (en) Semiconductor device
JP5241562B2 (ja) 接続装置、フレキシブル基板付き半導体素子収納用パッケージ、およびフレキシブル基板付き半導体装置
US11503715B2 (en) Optical module
JP5609164B2 (ja) 光レシーバ装置
JP2007242708A (ja) 光受信サブアセンブリ
JP4828103B2 (ja) 光送受信モジュール
US8859946B2 (en) Light detecting device including a peaking circuit
JP6878053B2 (ja) 光受信モジュール及び光モジュール
JPH04354376A (ja) 光受信モジュール
JP2002353493A (ja) 光モジュール
JP2016051751A (ja) 半導体装置
JP2019186379A (ja) 光モジュール
JP2014212228A (ja) 光受信モジュール
JP6094014B2 (ja) 光デバイス
CN110651405B (zh) 光模块
JP6961127B2 (ja) 光受信モジュール
JP6879440B1 (ja) 光受信モジュール
JP2004228552A (ja) 光モジュール
JP2017046091A (ja) 増幅器
CN114512473A (zh) 半导体发光器件和光学组件
JP2003069051A (ja) 光受信モジュ−ル

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160302

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20160906