JP2014528165A5 - - Google Patents

Description

上記の説明は、好ましい実施形態の動作を示すために含まれており、本発明の範囲を限定するのが目的ではないと理解されるべきである。上記の議論から、本発明の真意および範囲によって包含されるであろう多くの変形が、この分野の当業者には明白になる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］ 特にリソグラフィシステムのためのターゲット位置決め装置であり、前記ターゲット位置決め装置は、
ターゲットを搬送するための搬送体と、
前記搬送体を第一の方向（Ｘ）に沿って搬送し移動させるためのステージを備えており、前記ステージは、二つのＸステージベースを備えており、両者は共通ベースプレート上に配されており、各ＸステージベースはＸステージキャリッジを搬送し、また前記ステージは、前記搬送体を搬送し、前記搬送体を第二の方向（Ｙ）に移動させるためのＹステージを備えているＹビームを備えており、前記Ｙビームは、前記Ｘステージキャリッジの間の空間にかかっており、フレキシブルカップリングを介して前記Ｘステージキャリッジに連結されており、前記ターゲット位置決め装置はまた、
対応のＸステージキャリッジをその対応のＸステージベースに沿っておのおの駆動するための二つのモーターを備えており、前記二つのモーターは、前記ステージの少なくとも実質的に下方に配されており、前記二つのモーターの各モーターは、クランクシャフトを介して対応のＸステージキャリッジに連結されている偏心カムまたはクランクにつながれている、ターゲット位置決め装置。
［２］ 前記二つのモーターの少なくとも一つは、前記二つのＸステージベースの間の空間に配されている、［１］に記載のターゲット位置決め装置。
［３］ 前記モーターのおのおのは、前記第一の方向に少なくとも実質的に交差する方向に延びているモーターシャフトを有している、［１］または［２］に記載のターゲット位置決め装置。
［４］ 前記第一の方向は実質的に水平であり、前記モーターシャフトは実質的に鉛直に配されている、［３］に記載のターゲット位置決め装置。
［５］ 前記搬送体を搬送し移動させるための前記ステージは壁部上に配されており、その壁部は、使用時に真空チャンバーの壁として配され、前記モーターは、前記壁部に対して少なくとも部分的にその中またはそれに接して配される、［１］ないし［４］のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
［６］ 前記ステージは、使用時に真空チャンバーの内側に面する前記壁部の表面に配されている、［５］に記載のターゲット位置決め装置。
［７］ モーターは、使用時に真空チャンバーの外側に面する前記壁部の面に少なくとも部分的に配されている、［６］に記載のターゲット位置決め装置。
［８］ 前記モーターまたは前記壁部には、少なくとも前記モーターシャフトが前記壁部を横切る位置またはその近くに、ロータリーフィードスルーが設けられている、［７］に記載のターゲット位置決め装置。
［９］ 前記ロータリーフィードスルーは、フェロ流体ロータリーフィードスルーを備えている、［８］に記載のターゲット位置決め装置。
［１０］ 前記モーターにはエンコーダが設けられており、前記エンコーダは、使用時に前記真空チャンバーの外側に面する前記壁部の面に配されている、［７］、［８］または［９］に記載のターゲット位置決め装置。
［１１］ 前記モーターシャフトには、前記モーターシャフトに対して径方向に少なくとも部分的に延びているシールド部材が設けられている、［１］ないし［１０］のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
［１２］ 前記シールド部材は、前記モーターシャフトに、好ましくは前記モーターシャフトの実質的に周囲全体に堅く取り付けられている、［１１］に記載のターゲット位置決め装置。
［１３］ 前記Ｙビームは、一つ以上の可撓支柱を介して前記Ｘステージキャリッジに連結されており、それらの可撓な支柱は、前記支柱の軸方向に少なくとも実質的に堅固であり、前記支柱の軸方向に実質的に交差する方向に可撓である、［１］ないし［１２］のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
［１４］ 各Ｘステージキャリッジは、前記第一の方向に少なくとも実質的に交差する方向に互いに少なくとも実質的に平行に延びている第一および第二の可撓支柱を介してＹビームに連結されており、前記第一および第二の可撓支柱は、前記第一の方向に離間している、［１３］に記載のターゲット位置決め装置。
［１５］ 前記第一の方向は、少なくとも実質的に水平な方向に延びており、前記第一および第二の可撓支柱は、少なくとも実質的に鉛直な方向に延びている、［１４］に記載のターゲット位置決め装置。
［１６］ 前記モーターはトルクモータである、［１］ないし［１５］のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
［１７］ 前記モーターをコントロールするためのコントローラーをさらに備えているおり、前記コントローラーは、前記モーターのおのおのを個々にコントロールするために配されている、［１］ないし［１６］のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
［１８］ 前記コントローラーは、前記Ｙビーム上の前記搬送体の位置に依存して前記モーターのおのおのをコントロールするために配されている、［１７］に記載のターゲット位置決め装置。
［１９］ ［１］ないし［１８］のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置を備えているリソグラフィシステム。
［２０］ システム内の、特にリソグラフィシステム内のターゲット位置決め装置を駆動する方法であり、前記ターゲット位置決め装置は、
ターゲットを搬送するための搬送体と、
前記システム内において前記搬送体を搬送し移動させるためのステージを備えており、前記ステージは、第一のＸステージベースと第二のＸステージベースを備えており、両者は共通ベースプレート上に配されており、前記第一のＸステージベースは第一のＸステージキャリッジを搬送し、前記第二のＸステージベースは第二のＸステージキャリッジを搬送し、また前記ステージは、前記搬送体を搬送し、前記搬送体を第二の方向（Ｙ）に移動させるためのＹステージを備えているＹビームを備えており、前記Ｙビームは、前記Ｘステージキャリッジの間の空間にかかっており、第一のフレキシブルカップリングを介して第一のＸステージキャリッジに、また、第二のフレキシブルカップリングを介して第二のＸステージキャリッジに連結されており、前記ターゲット位置決め装置はまた、
対応のＸステージキャリッジを第一の方向（Ｘ）に沿ったその対応のＸステージベースに沿っておのおの駆動するための二つのモーターと、
前記モーターをコントロールするためのコントローラーを備えており、前記コントローラーは、前記モーターのおのおのを個々にコントロールするために配されており、
前記フレキシブルカップリングによる前記ｘステージベースに対する前記Ｙビームの方位の逸脱を少なくとも実質的に防止するために前記モーターを個々にコントロールするステップを備えている、前記方法。
［２１］ システム内の、特にリソグラフィシステム内のターゲット位置決め装置を駆動する方法であり、前記ターゲット位置決め装置は、
ターゲットを搬送するための搬送体と、
前記システム内において前記搬送体を搬送し移動させるためのステージを備えており、前記ステージは、第一のＸステージベースと第二のＸステージベースを備えており、両者は共通ベースプレート上に配されており、前記第一のＸステージベースは第一のＸステージキャリッジを搬送し、前記第二のＸステージベースは第二のＸステージキャリッジを搬送し、また前記ステージは、前記搬送体を搬送し、前記搬送体を第二の方向（Ｙ）に移動させるためのＹステージを備えているＹビームを備えており、前記Ｙビームは、前記Ｘステージキャリッジの間の空間にかかっており、第一のフレキシブルカップリングを介して第一のＸステージキャリッジに、また、第二のフレキシブルカップリングを介して第二のＸステージキャリッジに連結されており、前記ターゲット位置決め装置はまた、
対応のＸステージキャリッジを第一の方向（Ｘ）に沿ったその対応のＸステージベースに沿っておのおの駆動するための二つのモーターと、
前記モーターをコントロールするためのコントローラーを備えており、前記コントローラーは、前記モーターのおのおのがその対応のＸステージキャリッジに個々に加える力をコントロールするように配されている、前記方法。
［２２］ 前記モーターはトルクモータであり、前記方法は、前記モーターのトルクを個々にコントロールするステップを備えている、［２０］または［２１］に記載の方法。
［２３］ 前記コントローラーは、前記キャリッジにかかる結果のトルクが実質的にゼロに等しくあるように前記モーターをコントロールするために配されている、［２０］ないし［２２］のいずれかひとつに記載の方法。
［２４］ 前記モーターは、前記第一のＸステージベースおよび前記第二のＸステージベースに対する前記Ｙビーム上の搬送体の位置に依存してコントロールされる、［２０］ないし［２３］のいずれかひとつに記載の方法。
［２５］ 前記第一のｘステージベースと前記第二のｘステージベースに対する、前記Ｙビーム、前記Ｙステージ、前記搬送体および／または前記ターゲットの質量中心の相対位置を測定するステップをさらに備えており、前記モーターは、前記質量中心の測定された相対位置に依存してさらにコントロールされる、［２０］ないし［２４］のいずれかひとつに記載の方法。
［２６］ 前記第一のフレキシブルカップリングと前記第二のフレキシブルカップリングに対する、前記Ｙビーム、前記Ｙステージ、前記搬送体およびターゲットの質量中心の相対位置を測定するステップをさらに備えており、前記モーターは、前記質量中心の前記相対位置に依存してコントロールされる、［２０］ないし［２５］のいずれかひとつに記載の方法。
［２７］ 前記Ｙビーム、前記Ｙステージ、前記搬送体および／または前記ターゲットの質量を測定するステップをさらに備えており、前記モーターは、前記質量に依存してさらにコントロールされる、［２５］または［２６］に記載の方法。
［２８］ 前記Ｙビーム、前記Ｙステージ、前記搬送体および／または前記ターゲットの運動量を測定するステップをさらに備えており、前記モーターは、前記運動量に依存してさらにコントロールされる、［２０］ないし［２７］のいずれかひとつに記載の方法。
［２９］ 前記モーターは、前記第一および第二の方向に垂直な軸のまわりのＹビームの回転を実質的に防止するためにコントロールされる、［２０］ないし［２８］のいずれかひとつに記載の方法。
［３０］ 前記第一および第二のフレキシブルカップリングは前記Ｙビームを実質的に支持している、［２０］ないし［２９］のいずれかひとつに記載の方法。
［３１］ 前記第一および第二のモーターは、前記ｘステージキャリッジのそれぞれのｘステージベースの上の移動のあいだ、ゼロに実質的に等しい、前記第一および第二の方向に平行な平面内における前記Ｙビームの角運動量を提供するようにコントロールされる、［２０］ないし［３０］のいずれかひとつに記載の方法。
［３２］ 前記システムは、光学カラムを備えているリソグラフィシステムであり、前記モーターは、前記第一および第二の方向に垂直な軸のまわりの前記ターゲットの回転を実質的に防止するためにコントロールされる、［２０］ないし［３１］のいずれかひとつに記載の方法。
［３３］ 前記第一のモーターと前記第二のモーターによって使用される電力を測定するための二つのセンサーをさらに備えており、前記モーターは、測定された前記電力に基づいてコントロールされる、［２０］ないし［３２］のいずれかひとつに記載の方法。
［３４］ 前記Ｙビームとの各ｘステージの前記フレキシブルカップリングは、前記第一および第二の方向に平行および垂直に離間し配されている二本の可撓支柱を備えている、［２０］ないし［３３］のいずれかひとつに記載の方法。

Claims (19)

1. 特にリソグラフィシステムのためのターゲット位置決め装置であり、前記ターゲット位置決め装置は、
   ターゲット（１３０）を搬送するための搬送体（３００）と、
   前記搬送体（３００）を第一の方向（Ｘ）に沿って搬送し移動させるためのステージ（２１２）を備えており、前記ステージは、二つのＸステージベース（４０１，４０２）を備えており、両者は共通ベースプレート（４０３）上に配されており、各Ｘステージベース（４０１，４０２）はＸステージキャリッジ（４０４，４０５）を搬送し、また前記ステージは、前記搬送体（３００）を搬送し、前記搬送体（３００）を第二の方向（Ｙ）に移動させるためのＹステージ（４０７）を備えているＹビーム（４０６）を備えており、前記Ｙビーム（４０６）は、前記Ｘステージキャリッジ（４０４，４０５）の間の空間にかかっており、フレキシブルカップリング（４０８，４０９）を介して前記Ｘステージキャリッジ（４０４，４０５）に連結されており、前記ターゲット位置決め装置はまた、
   対応のＸステージキャリッジ（４０４，４０５）をその対応のＸステージベース（４０１，４０２）に沿っておのおの駆動するための二つのモーター（Ｍ１，Ｍ２）を備えており、前記二つのモーター（Ｍ１，Ｍ２）は、前記ステージ（２１２）の下方に配されており、前記二つのモーター（Ｍ１，Ｍ２）の各モーター（Ｍ１，Ｍ２）は、クランクシャフト（４１２，４１３）を介して対応のＸステージキャリッジ（４０４，４０５）に連結されている偏心カムまたはクランク（４１０，４１１）につながれている、ターゲット位置決め装置。
2. 前記二つのモーター（Ｍ１，Ｍ２）の少なくとも一つは、前記二つのＸステージベース（４０１，４０２）の間の空間に配されている、請求項１に記載のターゲット位置決め装置。
3. 前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）のおのおのは、前記第一の方向に交差する方向に延びているモーターシャフト（４１４，４１５）を有している、請求項１または２に記載のターゲット位置決め装置。
4. 前記第一の方向は水平であり、前記モーターシャフト（４１４，４１５）は鉛直に配されている、請求項３に記載のターゲット位置決め装置。
5. 前記搬送体（３００）を搬送し移動させるための前記ステージ（２１２）は壁部（２０８）上に配されており、その壁部（２０８）は、使用時に真空チャンバー（４００）の壁として配され、前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）は、前記壁部（２０８）に対して少なくとも部分的にその中またはそれに接して配される、請求項１ないし４のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
6. 前記ステージ（２１２）は、使用時に真空チャンバー（４００）の内側に面する前記壁部（２０８）の表面に配されている、請求項５に記載のターゲット位置決め装置。
7. モーター（Ｍ１，Ｍ２）は、使用時に真空チャンバー（４００）の外側に面する前記壁部（２０８）の面に少なくとも部分的に配されている、請求項６に記載のターゲット位置決め装置。
8. 前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）または前記壁部（２０８）には、少なくとも前記モーターシャフト（４１４，４１５）が前記壁部（２０８）を横切る位置またはその近くに、ロータリーフィードスルー（５０１）が設けられている、請求項７に記載のターゲット位置決め装置。
9. 前記ロータリーフィードスルーは、フェロ流体ロータリーフィードスルー（５０１）を備えている、請求項８に記載のターゲット位置決め装置。
10. 前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）にはエンコーダ（５０５）が設けられており、前記エンコーダ（５０５）は、使用時に前記真空チャンバー（４００）の外側に面する前記壁部（２０８）の面に配されている、請求項７、８または９に記載のターゲット位置決め装置。
11. 前記モーターシャフト（４１４，４１５）には、前記モーターシャフト（４１４，４１５）に対して径方向に少なくとも部分的に延びているシールド部材（６０２，６０４）が設けられている、請求項３ないし１０のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
12. 前記シールド部材（６０２，６０４）は、前記モーターシャフト（４１４，４１５）に、前記モーターシャフト（４１４，４１５）の周囲全体に堅く取り付けられている、請求項１１に記載のターゲット位置決め装置。
13. 前記Ｙビーム（４０６）は、一つ以上の可撓支柱（４０８，４０９）を介して前記Ｘステージキャリッジ（４０４，４０５）に連結されており、それらの可撓な支柱（４０８，４０９）は、前記支柱の軸方向に堅固であり、前記支柱の軸方向に交差する方向に可撓である、請求項１ないし１２のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
14. 各Ｘステージキャリッジ（４０４，４０５）は、前記第一の方向に交差する方向に互いに平行に延びている第一および第二の可撓支柱（４０８，４０９）を介してＹビーム（４０６）に連結されており、前記第一および第二の可撓支柱（４０８，４０９）は、前記第一の方向に離間している、請求項１３に記載のターゲット位置決め装置。
15. 前記第一の方向は、水平な方向に延びており、前記第一および第二の可撓支柱（４０８，４０９）は、鉛直な方向に延びている、請求項１４に記載のターゲット位置決め装置。
16. 前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）はトルクモータである、請求項１ないし１５のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
17. 前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）をコントロールするためのコントローラー（６００）をさらに備えているおり、前記コントローラー（６００）は、前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）のおのおのを個々にコントロールするために配されている、請求項１ないし１６のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置。
18. 前記コントローラー（６００）は、前記Ｙビーム（４０６）上の前記搬送体（３００）の位置に依存して前記モーター（Ｍ１，Ｍ２）のおのおのをコントロールするために配されている、請求項１７に記載のターゲット位置決め装置。
19. 請求項１ないし１８のいずれかひとつに記載のターゲット位置決め装置を備えているリソグラフィシステム。