JP2014522555A - 流体ジェット生成方法と装置、そのジェットをプラズマに変換する方法とシステム、並びにそのシステムの使用 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 96
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 20
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 15
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 14
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 9
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 9
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 230000005251 gamma ray Effects 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000009533 lab test Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004846 x-ray emission Methods 0.000 description 2
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000002872 contrast media Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000009021 linear effect Effects 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 150000003481 tantalum Chemical class 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
- H05G2/006—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas details of the ejection system, e.g. constructional details of the nozzle
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3266—Magnetic control means
- H01J37/32669—Particular magnets or magnet arrangements for controlling the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/54—Plasma accelerators
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment
- A61B6/40—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment with arrangements for generating radiation specially adapted for radiation diagnosis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/152—Magnetic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2893/00—Discharge tubes and lamps
- H01J2893/0063—Plasma light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/02—Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma
- H05H1/22—Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma for injection heating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H2277/00—Applications of particle accelerators
- H05H2277/10—Medical devices
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H2277/00—Applications of particle accelerators
- H05H2277/10—Medical devices
- H05H2277/11—Radiotherapy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H2277/00—Applications of particle accelerators
- H05H2277/10—Medical devices
- H05H2277/11—Radiotherapy
- H05H2277/113—Diagnostic systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Lasers (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
本発明は、流体ジェット生成方法と装置、並びにそのジェットをプラズマに変換する方法とシステム、並びにそのシステムの使用に関するものである。本発明によれば、当該方法は、高圧力急速ソレノイドバルブ(5)、ソレノイドバルブの出口開口部に取り付けられたパイプ(7)、原子密度が1020cm−3より大きい、サブミリメートルの大きさのパルス状の流体ジェット(F)を使用した生成の工程を有している。本発明はプラズマ発生器の分野で使用される。
【選択図】図2B
Description
実際に、図3Aでは、ボール24がチャンネルを塞ぐ位置で、チャンネル16を閉じており、図3Bでは、ソレノイド18が作り出す磁場の影響でボールが横方向に移動した位置で、チャンネルを開いている。図3Bは、磁場のラインを38で示しており、ボールの所で、インサート36、37で作られた空隙の非対称性によって、横方向に突出している。従って、ボール24の所で磁場は、チャンネル16に垂直な成分を有し、ボールを横方向に移動させる力を発生させている。
これにより、ボール24の振動、そしてソレノイドバルブへ流れる流体の量、すなわち、流速、そして最終的にソレノイドバルブが、その出口でノズルパイプ7に供給する密度を精密に変えることができる。同様に、ある振動期間で、ソレノイドの入口での流体圧力を変化させることができ、それ故に出口での流速を変えることができる。
レーザーをフィルターするために、円形のフィルター57、例えば、1cm/sあるいはそれより大きい速度で動き、レーザーがその力で損傷した表面を再生できる可能性がある数10から100μmの厚さのアルミニウムシートが使用される。図7では、高振動で、狭いペクトルのイオンビームを59で示している。
61として示す強力レーザーパルスは、ガスのジェット63に高振動、かつ密度が約1019atoms/cm3で集束される。レーザービームが、細分化されることなしに、すなわち分岐した光のような分裂なしに、ジェットの長さに適応した焦点距離の集光レンズが使用され、そのためレーザーは、規則正しく伝播される。
この実施形態では、強力レーザーパルス77が、高振動、かつ約1019atoms/cm3の高密度のガスジェット79に集束されている。レーザーを集束するために、ジェットの長さに適応した焦点距離の集光レンズを使用して、レーザービームは、細分化されることなく、すなわち分岐した光の分裂なしに規則的に伝播する。
電子ビームは、例えば、1cm/秒以上の速度で移動する典型的に厚さ1mmのタンタリウムシートでなる循環コンバーター83を有している。このタンタリウムシートは、レーザーの衝撃で損傷を受けた表面を再生できる。
この実施形態では、流体ジェット92は、特に液体で、高振動の高密度流体ジェット92が、選択的ミラーとして作用している。このミラーは、それ故、入射パルス90の始めで無給電中位レーザー強度を吸収し、より制御された条件下で相互作用を得るに使用されるパルス94の形で強い強度を反射している。
この実施形態では、高強度レーザーパルスが、より高振動で、かつ1019atoms/cm3程度の密度であるガスジェット内に集束される。ジェットの長さに適応した焦点距離の集光レンズが使用されるので、レーザーは、細分化されることなく、規則的に伝播する。
この物理的密度は、次式で与えられる。
Nc[cm−3]〜1.1X1021/L2[μm]
Lは使用するレーザーの波長である。
このことは、この密度により、レーザープラズマ相互作用が、非常に効率的な結合、すなわち、レーザーエネルギーからプラズマの内部エネルギーへのほぼ完全な変換を確実にするので、非常に有益である。
Claims (29)
- 400バール(bar)またはそれ以上の高圧下で急速ソレノイドバルブ(5)、次いでソレノイドバルブの出口開口部に取り付けられたノズルパイプ(7)を用いて、サブミリメートルで1020cm−3以上の原子密度のパルス流体ジェット(F)を生成する工程を有することを特徴とする高原子密度流体ジェットの生成方法。
- 前記流体ジェットの原子密度が、1021cm−3またはそれ以上の値を有することを特徴とする請求項1に記載の高原子密度流体ジェットの生成方法。
- 前記流体が、ヘリウム等の気体であることを特徴とする請求項1又は2に記載の高原子密度流体ジェットの生成方法。
- 前記流体が、凝集ジェットなどの二相であることを特徴とする請求項1又は2に記載の高原子密度流体ジェットの生成方法。
- 前記流体が、水などの液体であることを特徴とする請求項1又は2に記載の高原子密度流体ジェットの生成方法。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法を用いる高原子密度流体ジェット生成装置であって、
加圧流体源(1,2)と、400バール(bar)またはそれ以上の高圧でソレノイドバルブを流れる流体の通路となるチャンネル(16)を急速開閉するソレノイドバルブと、ソレノイドバルブ(5)によって生成したサブミリメートルのパルス流体ジェットの加速と構造化するノズルパイプ(7)と、からなることを特徴とする高原子密度流体ジェット生成装置。 - 前記ソレノイドバルブ(5)が、ソレノイド(18)と、前記ソレノイドバルブを通る流体の通路となるチャンネル(16)を急速開閉する可動部材を有し、前記可動部材が、前記チャンネルに垂直に移動可能で、前記ソレノイドによる磁場により前記チャンネルを開放位置にし、加圧流体によりチャンネルを閉鎖位置に戻すことを特徴とする請求項6に記載の高原子密度流体ジェット生成装置。
- 前記チャンネルに対して垂直方向に磁場成分を発生し、前記可動部材(24)を前記チャンネル(16)の開放位置に向かって移動させることにより、前記チャンネル(16)の周囲の空隙(20)が、前記可動部材(24)で非対称となることを特徴とする請求項7に記載の高原子密度流体ジェット生成装置。
- 請求項1乃至8のいずれか1項の記載によって得られた流体ジェットを用い、真空チャンバー(9)内で、前記ジェットに対して垂直方向に向いたレーザー(L)のビームが、ノズルパイプ(7)から出た前記ジェット(F)に作用すること特徴とするプラズマ生成方法。
- 高原子密度で、充分に小さな幅のパルス状流体ジェットが生成され、前記チャンバー(9)内に真空とするのにターボ分子ポンプなどの超高速ポンプ型が使用できるようにしたことを特徴とする請求項9に記載のプラズマ生成方法。
- 前記チャンバー(9)内に、10−7バール(bar)の真空が生成されることを特徴とする請求項9または10に記載のプラズマ生成方法。
- 請求項4乃至11のいずれか1項に記載の方法を用いたプラズマ生成システムであって、加圧流体源と、
請求項6または7に記載の400バール(bar)またはそれ以上の圧力の流体ジェットを生成する装置(4)と、
サブミリメートル寸法のノズルパイプと、
そのビームが、前記ノズルパイプ(7)の出口で流体ジェット(F)上に作用するレーザー(L)と、
内部に前記ジェットを生成する装置が位置し、内部で前記レーザー(L)が前記流体ジェットに衝突する真空チャンバー(9)と、
前記真空チャンバー(9)内に真空を生成するターボ分子ポンプのような超高速タイプのポンプ(10)と
からなることを特徴とするプラズマ生成システム。 - 請求項12のシステムを実施する方法であって、
前記システムが、レーザー方向に高振動で、全てのイオンが凡そ同じエネルギーを持つ狭いスペクトルのイオンビーム(59)を生成し、レーザーの方向に対し垂直方向に高振動で広いスペクトルのイオン(55)を放出するのに使用されることを特徴とするプラズマ生成システムの実施方法。 - 1つまたは複数の数ピコ秒程度の短パルスと、数ピコ秒のパルス間隔を備えた強力レーザービーム(50)が使用され、このレーザービームが、非常に高振動でこのレーザーの超臨界密度を備えた流体ジェット(52)に集束することを特徴とする請求項13に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- プラズマに存在する高振動イオンビーム(54)が、数十から数百マイクロメーターのアルミニウム箔のような可動フィルター(57)を用いて、有利にはレーザー軸方向にフィルター処理して、ビームが衝突して損傷した表面を再生することを可能にすることを特徴とする請求項14に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 前記システムが、高振動ビーム(X)を生成するのに使用されることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 強力レーザーパルス(61)が、高振動で、かつ1019atoms/cm3のような高密度で流体ジェットに集束され、僅かに発散し、短い持続時間の電子ビーム(65)を生成し、このビームが空間的に再集束され、再集束されたビームが、無停電電源装置を通過することを特徴とする請求項16に記載のプラズマ生成システムの実施方法
- 前記無停電電源装置(71)を通ったビームが、電子を偏向させる装置(73)を通過し、X線(75)のみが得られることを特徴とする請求項17に記載のプラズマ生成システムの実施方法
- 交互に変わる極性を有する一連の磁石からなる前記無停電電源装置(71)が、使用され、電子が前記無停電電源装置を通過するとき波打ち、ビームの前方にX線を放出することを特徴とする請求項17または18に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 前記X線のスペクトル範囲が、前記交互に極性が変わる磁石の振動とその磁力を変化させることによりを変ることを特徴とする請求項19に記載のプラズマ生成システムの実施方法
- 前記システムが、高振動のガンマビーム(88)の生成に用いられることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 前記高振動ガンマビーム(88)が、高振動電子ビーム(81)を変換して生成され、前記高振動電子ビーム(81)が、強力レーザーパルス(77)と、高振動で、かつ密度が1019atoms/cm3のガスジェット(79)の相互作用によって生成されるプラズマから得られることを特徴とする請求項21に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 前記強力レーザーパルス(77)が、前記ガスのジェット(79)に集束され、前記ジェットの長さに適応した焦点距離の集光レンズを使用して、レーザービームが、細分化されることなく規則的に伝播されることを特徴とする請求項22に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 電子ビーム(81)が、可動式コンバーター(83)に衝突して、電子がコンバーターの原子との衝突によって速度を下げることで、ガンマ線を放出することを特徴とする請求項22または23に記載のプラズマ生成システムの実施方法
- 双極磁石(85)などの装置が、電子を偏向し、高振動のガンマ線ビーム(87)を得るのに使用されることを特徴とする請求項24に記載のプラズマ生成システムの実施方法
- 前記システムが、流体ジェット(92)によるレーザーの強力パルス(90)時にクリーニングを行うのに使用されることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ生成システムの実施方法
- パルスの無給電(parasitic)ライトが、プラズマの崩壊を起こすことなく、このライトに対して透明であり、そして流体ジェットによって反射されるレーザーパルスの有用部分でのみ崩壊が起きるために、前記クリーニングされるレーザーパルス(90)が、レーザーの波長での超臨界密度の流体ジェット(92)上に入射されることを特徴とする請求項26に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 前記システムが、レーザーパルス(90)の空間的および時間的圧縮を行うのに使用されることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
- 前記圧縮された強力レーザーパルスが、高振動、かつ密度が例えば1019atoms/cm3の高密度ガスジェットに集束して、パルスのスペクトルの短い波長が、長い波長の前にプラズマに到達し、プラズマの短い波長が、パルスの再圧縮を引き起こせることを特徴とする請求項28に記載のプラズマ生成システムの実施方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1155056 | 2011-06-09 | ||
FR1155056A FR2976440B1 (fr) | 2011-06-09 | 2011-06-09 | Procede et agencement pour engendrer un jet de fluide, procede et systeme de transformation du jet en un plasma et applications de ce systeme |
PCT/FR2012/051297 WO2012168670A1 (fr) | 2011-06-09 | 2012-06-08 | Procédé et agencement pour engendrer un jet de fluide, procédé et système de transformation du jet en un plasma et applications de ce système |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014522555A true JP2014522555A (ja) | 2014-09-04 |
JP6346087B2 JP6346087B2 (ja) | 2018-06-20 |
Family
ID=46456873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014514140A Expired - Fee Related JP6346087B2 (ja) | 2011-06-09 | 2012-06-08 | イオン生成方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9642233B2 (ja) |
EP (1) | EP2719260B1 (ja) |
JP (1) | JP6346087B2 (ja) |
KR (1) | KR101962300B1 (ja) |
CN (1) | CN104012184B (ja) |
CA (1) | CA2838469A1 (ja) |
FR (1) | FR2976440B1 (ja) |
WO (1) | WO2012168670A1 (ja) |
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KR101173272B1 (ko) | 2008-07-29 | 2012-08-13 | 한국생명공학연구원 | 자동유도발현 프로모터 및 변이체를 이용한 단백질생산방법 |
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JP6081711B2 (ja) * | 2011-09-23 | 2017-02-15 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 放射源 |
-
2011
- 2011-06-09 FR FR1155056A patent/FR2976440B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-06-08 US US14/123,791 patent/US9642233B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-06-08 KR KR1020147000517A patent/KR101962300B1/ko active IP Right Grant
- 2012-06-08 EP EP12731554.7A patent/EP2719260B1/fr active Active
- 2012-06-08 CN CN201280038867.5A patent/CN104012184B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-06-08 WO PCT/FR2012/051297 patent/WO2012168670A1/fr active Application Filing
- 2012-06-08 JP JP2014514140A patent/JP6346087B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-06-08 CA CA2838469A patent/CA2838469A1/fr not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2976440B1 (fr) | 2014-01-17 |
EP2719260B1 (fr) | 2020-04-01 |
EP2719260A1 (fr) | 2014-04-16 |
CN104012184B (zh) | 2017-12-12 |
JP6346087B2 (ja) | 2018-06-20 |
CA2838469A1 (fr) | 2012-12-13 |
FR2976440A1 (fr) | 2012-12-14 |
KR101962300B1 (ko) | 2019-03-26 |
US20140254766A1 (en) | 2014-09-11 |
US9642233B2 (en) | 2017-05-02 |
WO2012168670A1 (fr) | 2012-12-13 |
KR20140043114A (ko) | 2014-04-08 |
CN104012184A (zh) | 2014-08-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180424 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |