JP2014501618A - 収束電磁放射により物質を処理する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
− 電磁放射を射出する放射源と、
− 放射を物質に導く手段と、
− 放射を物質上またはその中に収束させる手段と、
− 電磁放射の光路内にパターンを生成する手段と、
− 収束放射の焦点より前方の光路内の少なくとも部分反射性の面であって、前記パターンが、前記導く手段の少なくとも一部分および前記収束させる手段を通って、その上に結像される少なくとも部分反射性の面と、
− パターンの画像が、前記面によってその上に反射される少なくとも1つの検出器であって、前記画像に対応する電気信号を生成し、前記画像が焦点の位置の情報を含む、少なくとも1つの検出器と、
− 前記電気信号を受け取り、前記画像を処理して焦点位置に応じる電気信号を生成するようにプログラムされたコンピュータと、
− 前記光路内に配置され、コンピュータの前記電気信号を受け取るようになされ、それによって、前記信号に応じて電磁放射の発散を変化させる発散調節要素と
を備える装置を提供する。
− 特にレーザ構成要素または他の光学構成要素の熱変化、およびさらにレーザ・ビーム方向のドリフトに起因するレーザ・ビームの発散の変化と、
− やはり特に熱変化に起因する、収束に使用される光学構成要素の変化と、
− 圧平面を確定するために眼球に押し付けられる、ガラス板の表面の製造精度不良と
によって生じる。
− 特に熱影響によって生じるレーザ・ビームの発散の変化の認識と、
− 特に熱影響によって生じる収束光学機構の収束特性の変化の認識と、
− レーザ・ビームの形状の変化の認識と、
− ビーム方向の変化の認識と、
− 上記の圧平面およびその寸法に関する製造精度不良の認識と、
− 物質処理箇所、すなわち特にfsレーシックにおける切断部の直前の個所までの光路の検査と、
さらに、
− 特に手術中の、レーザまたは光路内のシステム不具合の認識と
を可能にする。
12 放射
14 ミラー
16 ビーム拡大器
18 発散調節要素
20 パターン発生器
22 ビーム・スプリッタ
24 シャッタ
26 ビーム案内機構
28 収束機構
30 圧平面
F 焦点
L1 レンズ
L2 レンズ
D1 検出器
D2 検出器
C コンピュータ
32 パターン
P 点
34 信号
M 物質
− 電磁放射の放射源と、
− 放射を物質上またはその中に導き収束させる光学構成要素と、
− 電磁放射の光路内にパターンを生成するユニットと、
− 収束放射の焦点より前方の光路内の少なくとも部分反射性の面であって、前記パターンが、前記光学構成要素の少なくとも一部分を通って、その上に結像される少なくとも部分反射性の面と、
− パターンの画像が、前記面によってその上に反射される少なくとも1つの検出器であって、前記画像に対応する電気信号を生成し、前記画像が焦点の位置の情報を含む、少なくとも1つの検出器と、
− 前記電気信号を受け取り、前記画像を処理して焦点位置に応じる電気信号を生成するようにプログラムされたコンピュータと、
− 前記光路内に配置され、コンピュータの前記電気信号を受け取るようになされ、それによって、前記信号に応じて電磁放射の発散を変化させる発散調節要素と
を備える装置を提供する。
Claims (11)
- 収束電磁放射によって物質(M)を処理する装置であって、
− 前記電磁放射(12)を射出する放射源(10)と、
− 前記放射を前記物質(M)に導く手段(14、16、18、22、26)と、
− 前記放射を前記物質上またはその中に収束させる手段(28)と、
− 前記電磁放射の光路内にパターンを生成する手段(20)と、
− 前記収束放射の焦点より前方の前記光路内の少なくとも部分反射性の面(30)であって、前記パターン(32)が、前記導く手段の少なくとも一部分および前記収束させる手段を通って、その上に結像される少なくとも部分反射性の面(30)と、
− 前記パターンの画像が、前記面(30)によってその上に反射される少なくとも1つの検出器(D1、D2)であって、前記画像に対応する電気信号を生成し、前記画像が前記焦点の位置の情報を含む、少なくとも1つの検出器(D1、D2)と、
− 前記電気信号を受け取り、前記画像を処理して前記焦点位置に応じる電気信号を生成するようにプログラムされたコンピュータ(C)と、
− 前記光路内に配置され、前記コンピュータの前記電気信号(34)を受け取り、それによって、前記信号に応じて前記電磁放射の発散を変化させるように構成された発散調節要素(18)と
を備える装置。 - 前記面(30)が、前記電磁放射が前記装置から出る個所に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記物質(M)が眼内組織、好ましくは角膜であることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- 前記放射源(10)がレーザ、好ましくはフェムト秒レーザであることを特徴とする、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 前記面(30)が、角膜に押し付けられるように構成された圧平面であることを特徴とする、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 前記パターン(32)が2つ以上の点(P)を備えることを特徴とする、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 前記発散調節要素(18)が、望遠鏡、可変形ミラー、および可変形レンズの1つを備えることを特徴とする、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 2つの検出器(D1、D2)を特徴とし、それら検出器の一方(D1)が前記放射源(10)によって射出された放射を検出し、それら検出器の他方(D2)が前記面(30)によって反射された放射を検出する、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 前記パターン(32)を生成する前記ユニット(20)が、前記発散調節要素(18)より後方で前記電磁放射の前記光路内に配置されていることを特徴とする、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 前記パターン(32)が、マトリックスの形に配置された点(P)を備えることを特徴とする、前記請求項のいずれか一項に記載の装置。
- 収束電磁放射によって物質を処理する方法であって、
− 放射源(10)を用いて電磁放射(12)を生成するステップと、
− 処理する前記物質上に前記放射を導くステップと、
− 前記放射を前記物質上またはその中に収束させるステップと、
− 前記電磁放射を用いてパターン(32)を生成するステップと、
− 前記収束放射の焦点(F)より前方の前記電磁放射の光路内に少なくとも部分反射性の面(30)を設けるステップと、
− 前記少なくとも部分反射性の面(30)上に前記パターンを結像させるステップと、
− 少なくとも1つの検出器(D1、D2)を用いて、前記面(30)によって反射された放射を検出するステップであって、前記検出された画像が、前記焦点(F)の位置の情報を含む、ステップと、
− 前記検出された画像を表す電気信号を発生するステップと、
− 前記電気信号をコンピュータ(C)で処理するステップであって、それによって前記焦点位置に応じる電気信号(34)を生成する、ステップと、
− 前記電気信号(34)に応じて前記射出された放射の発散を調節するステップと
を含む方法。
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