DE102008015403A1

DE102008015403A1 - Einrichtung zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche einer Werkstückbohrung

Info

Publication number: DE102008015403A1
Application number: DE102008015403A
Authority: DE
Inventors: Agnes Dipl.-Ing. Ott; Steffen Sommer
Original assignee: Dausinger & Giesen GmbH; Daimler AG
Current assignee: Dausinger & Giesen De GmbH
Priority date: 2008-03-22
Filing date: 2008-03-22
Publication date: 2009-09-24

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung (1) zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche (2) einer Werkstückbohrung (3), insbesondere einer Zylinderlauffläche, mit
- einem Laserstrahlwerkzeug, das an einer rotierbaren und insbesondere heb- und senkbaren hohlen Maschinenspindel (5) angebracht ist,
- einer in der hohlen Maschinenspindel (5) angeordneten Optikeinrichtung (6), die einen Laserstrahl (7) aus seiner zur Achse der Maschinenspindel (5) parallelen Richtung in eine radiale Richtung umlenkt.
Erfindungswesentlich ist dabei, dass eine steuerbare Verstelleinrichtung (7) vorgesehen ist, mittels welcher die Optikeinrichtung (6) relativ zur Maschinenspindel (5) verstellbar ist, so dass eine Bewegung des aus der Maschinenspindel (5) austretenden Laserstrahls (4) unabhängig von der Rotationsbewegung der Maschinenspindel (5) steuerbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Bearbeiten einer Innenoberfläche einer Werkstückbohrung, insbesondere zur Bearbeitung einer Zylinderlauffläche, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Die immer schärfer werdenden Abgasgrenzwerte erfordern unter anderem eine Reduzierung des Ölverbrauchs in Verbrennungsmotoren von Kraftfahrzeugen. Um dies zu realisieren, muss ein Ölrückhaltevolumen über eine Zylinderlaufbahn möglichst gering gehalten werden, was beispielsweise mittels einer speziellen Honung erreicht werden kann. Um dabei gleichzeitig den Verschleiß in einem hoch beanspruchten Zwickelbereich reduzieren zu können, werden in diesem Bereich Strukturen mit angepasster Ausprägung eingebracht, wobei sich die Strukturen in Abhängigkeit der Zylinderhöhe beispielsweise im Strukturdurchmesser unterscheiden können. Das Einbringen derartiger Strukturen erfolgt üblicherweise mittels eines Lasers, wobei ein Einbringen von sehr fein dosierten Strukturen, insbesondere bei einer geringen Tiefe von kleiner als 8 μm, nur mit einem sogenannten Ultrakurzpulslaser mit einer Pulsdauer im Pikosekundenbereich reproduzierbar möglich ist. Ein derartiger Ultrakurzpulslaser ermöglicht das Strukturieren ohne Schmelzaufwurf, wodurch insbesondere weitere Nachbearbeitungsschritte beziehungsweise eine nachträgliche Honung entfallen können. Nachteilig bei derartigen Ultrakurzpulslasern ist jedoch, dass diese im Vergleich zu Kurzpulslasern, welche im Nanosekundenbereich arbeiten, eine deutlich geringere Abtragsrate aufweisen. Aufgrund dieser Tatsache kann mit den zur Zeit verfügbaren Einrichtungen eine für die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens erforderliche Taktzeit nicht erreicht werden.
Aus der DE 295 06 005 U1 ist eine gattungsgemäße Einrichtung bekannt, welche mit einem an einer rotierbaren und insbesondere heb- und senkbaren Maschinenspindel angeordneten Laserstrahlwerkzeug ausgerüstet ist. Die Einrichtung enthält daneben eine Optikeinrichtung, mittels welcher der Laserstrahl aus einer zur Achse der Maschinenspindel parallelen Richtung in eine radiale Richtung umgelenkt werden kann. Um die Einrichtung auch bei unterschiedlichen Bohrungsdurchmessern, das heißt bei beispielsweise unterschiedlichen Zylinderdurchmessern, einsetzen zu können, weist die Einrichtung eine Fokussiereinrichtung auf, mit welcher der radial aus der Maschinenspindel austretende Laserstrahl fokussiert, das heißt gebündelt werden kann. Hierzu ist ein vorzugsweise längs der Achse der Maschinenspindel verschiebbares Optikteil vorgesehen.
Eine weitere Einrichtung zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche einer Werkstückbohrung, insbesondere zur Feinbearbeitung einer Zylinderlauffläche ist beispielsweise aus der DE 198 09 367 A1 bekannt.
Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit dem Problem, für eine Einrichtung der gattungsgemäßen Art eine verbesserte oder zumindest eine andere Ausführungsform anzugeben, welche insbesondere eine Wechselwirkungszeit zwischen einem Laserstrahl und einer zu bearbeitenden Werkstückoberfläche verlängert, so dass auch durch den Einsatz eines im Pikosekundenbereich arbeitenden Ultrakurzpulslasers zufriedenstellende Abtragsraten erzielt werden können.
Dieses Problem wird erfindungsgemäß durch den Gegenstand des unabhängigen Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Die Erfindung beruht auf dem allgemeinen Gedanken, in einer rotierbaren hohlen Maschinenspindel einer Einrichtung zum Feinbearbeiten einer Zylinderlauffläche eine insbesondere steuerbare Verstelleinrichtung vorzusehen, mittels welcher eine ebenfalls in der hohlen Maschinenspindel angeordnete Optikeinrichtung, mittels welcher der Laserstrahl umgelenkt wird, zu verstellen und dadurch den aus der Maschinenspindel austretenden Laserstrahl unabhängig von der Rotationsbewegung der Maschinenspindel steuern zu können. Dabei weist die Einrichtung ein Laserstrahlwerkzeug auf, das an der besagten rotierbaren und darüber hinaus insbesondere heb- und senkbaren hohlen Maschinenspindel angeordnet ist, so dass der vom Laserstrahlwerkzeug ausgesandte Laserstrahl in die Maschinenspindel eingeleitet werden kann. Mit der Optikeinrichtung wird der von dem Laserstrahlwerkzeug ausgesandte Laserstrahl aus seiner zur Achse der Maschinenspindel parallelen Richtung in eine radiale Richtung umgelenkt, wobei es die unabhängig von der Hub- und Senkbewegung der Maschinenspindel verstellbaren Verstelleinrichtung ermöglicht, der Rotationsbewegung der Maschinenspindel eine entgegengesetzte Rotationsbewegung zu überlagern, so dass der Laserstrahl bestenfalls stationär austritt und dadurch auf jeden Fall eine erhöhte Wechselwirkungszeit mit der zu bearbeitenden Oberfläche aufweist. Da das Trägheitsmoment der Optikeinrichtung im Vergleich zur Maschinenspindel sehr gering ist, sind schnelle Bewegungen problemlos möglich, so dass die insbesondere zum Einbringen von feinen Strukturen notwendige schrittweise Laserbearbeitung dadurch ermöglicht wird, dass der gleichförmigen Rotationsbewegung der Maschinenspindel die Bewegung der Optikeinrichtung überlagert wird. Ist das vorgesehene Strukturelement in die Zylinderlauffläche eingebrannt, so kann die Verstelleinrichtung die Optikeinrichtung mit einer schnellen Vorwärtsbewegung beaufschlagen, um die rotierende Maschinenspindel quasi zu überholen und dann beim Einbrennen des nächsten Strukturelementes wieder eine die Rotationsbewegung der Maschinenspindel kompensierende Gegenbewegung durchführen zu können. Durch die verstellbare Optikeinrichtung kann somit die Rotationsgeschwindigkeit des Lasers relativ zur Rotationsgeschwindigkeit der Maschinenspindel reduziert werden, wodurch die Wechselwirkungszeit mit der zu bearbeitenden Oberfläche erhöht werden kann und dadurch auch der Einsatz von sogenannten Ultrakurzpulslasern möglich ist.
Weitere wichtige Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen, aus den Zeichnungen und aus der zugehörigen Figurenbeschreibung anhand der Zeichnungen.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert, wobei sich gleiche Bezugszeichen auf gleiche oder ähnliche oder funktional gleiche Bauteile beziehen.
Dabei zeigen, jeweils schematisch,
1 eine erfindungsgemäße Einrichtung zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche einer Werkstückbohrung,
2a bis d unterschiedliche Ausführungsformen einer in die Einrichtung integrierten Optikeinrichtung,
3a bis b mögliche Varianten einer Teleskopeinrichtung zur Aufweitung eines die inneren Oberflächen bearbeitenden Laserstrahls,
4 die Einrichtung in einer teilweise geschnittenen Darstellung,
Entsprechend 1 weist eine erfindungsgemäße Einrichtung zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche 2 einer Werkstückbohrung 3, insbesondere einer Zylinderlauffläche, ein nicht dargestelltes Laserstrahlwerkzeug auf, welches einen Laserstrahl 4 aussendet. Das Laserstrahlwerkzeug ist dabei an einer rotierbaren und insbesondere heb- und senkbaren, hohlen Maschinenspindel 5 angeordnet, bzw. der Laserstrahl ist in die hohle Maschinenspindel 5 einkoppelbar. Innerhalb dieser hohlen Maschinenspindel 5 ist eine Optikeinrichtung 6 angeordnet, die den Laserstrahl 4 aus seiner zur Achse der Maschinenspindel 5 parallelen Richtung in eine radiale Richtung umlenkt und dadurch auf die Innenoberfläche 2 der Werkstückbohrung 3 projiziert. Die Optikeinrichtung 6 kann beispielsweise in der Art eines Spiegels 11 ausgebildet sein. Erfindungsgemäß ist nun eine Verstelleinrichtung 7 vorgesehen, mit Hilfe welcher die Optikeinrichtung 6 relativ zur Maschinenspindel 5 verstellbar ist, so dass eine Bewegung des aus der Maschinenspindel 5 austretenden Laserstrahles 4 unabhängig von der Rotationsbewegung der Maschinenspindel 5 steuerbar ist.
Im Unterschied zum Stand der Technik ist somit die Optikeinrichtung 6 nicht fest an der Maschinenspindel 5 angeordnet, sondern relativ zu dieser beweglich, wobei denkbar ist, dass die Verstelleinrichtung 7 die Optikeinrichtung 6 entgegen der Drehrichtung 8 der Maschinenspindel 5, also in einer Drehrichtung 9, verstellt und dadurch die Einwirkungszeit des Laserstrahles 4 auf einen bestimmten Bereich der Innenoberfläche 2 verlängert. Der so umgeleitete Laserstrahl 4 kann dabei (quasi-)stationär beziehungsweise mit einer deutlich verringerten Relativgeschwindigkeit im Vergleich zur Maschinenspindel 5 die Innenoberfläche 2 der Werkstückbohrung 3 bearbeiten. Ist ein dort einzubrennendes Strukturelement 10 fertig gestellt, so kann die Optikeinrichtung 6 eine schnelle Vorwärtsbewegung ausführen, um die rotierende Maschinenspindel 5 zu „überholen”, um dann beim Einbrennen des nächsten Strukturelementes wieder eine kompensierende Gegenbewegung durchführen zu können. Aufgrund der kleinen Masse der Optikeinrichtung 6 ist auch deren Trägheitsmoment sehr gering, so dass bereits eine klein dimensionierte Verstelleinrichtung 7 ausreicht, um die Optikeinrichtung 6 schnell bewegen zu können. Die insbesondere zum Einbrennen sehr feiner Strukturen notwendige schrittweise Laserbearbeitung der Innenoberfläche 2 wird bei der erfindungsgemäßen Einrichtung 1 also dadurch ermöglicht, dass der gleichförmigen Rotation der Maschinenspindel 5 die Bewegung der Optikeinrichtung 6 überlagert wird.
Selbstverständlich ist dabei denkbar, dass die Verstelleinrichtung 7 die Optikeinrichtung 6 nicht nur entgegen der Rotationsbewegung der Maschinenspindel 5 verstellen kann, sondern beispielsweise auch in weitere davon abweichende Richtungen.
Durch die erfindungsgemäße Einrichtung kann der Laserstrahl 4 länger auf die zu bearbeitende Innenoberfläche 2 einwirken, wodurch eine erhöhte Abtragsrate realisiert werden kann, so dass insbesondere auch so genannte Ultrakurzpulslaser, welche z. B. im Pikosekunden-Bereich arbeiten, eingesetzt werden können. In Abhängigkeit von dem zu bearbeitenden Werkstoff können auch Ultrakurzpulslaser im Femtosekunden-Bereich eingesetzt werden. Derartige Ultrakurzpulslaser konnten bisher nicht verwendet werden, da ihre Abtragsrate für die zu realisierende Strukturausprägung der Strukturelemente 10 zu gering war. Der Einsatz eines Ultrakurzpulslasers ermöglicht jedoch das Strukturieren ohne Schmelzaufwurf (Schmelzgrad), wodurch weitere Nachbearbeitungsschritte beziehungsweise eine nachträgliche Honung entfallen können. Insbesondere die nachträgliche Honung würde dabei Schwankungen in der Strukturtiefe im Bereich von ±2 μm bewirken, was bei einer gewünschten sehr fein dosierten Struktur mit einer Tiefe von kleiner als etwa 8 μm nicht tolerierbar ist. Durch die in die Maschinenspindel 5 integrierte Verstelleinrichtung 7 ist somit der Einsatz des Ultrakurzpulslasers möglich, wodurch die Qualität der in der Werkstückbohrung 3 hergestellten Strukturen verbessert und gleichzeitig deren Herstellungsaufwand gesenkt werden kann.
Selbstverständlich ist dabei auch denkbar, dass die Verstelleinrichtung 7 die Optikeinrichtung 6 lediglich entgegen beziehungsweise mit der Rotationsbewegung der Maschinenspindel 5 verstellen kann, wobei sich im ersteren Fall vorzugsweise die überlagerten Rotationsbewegungen 8, 9 der Maschinenspindel 5 und der Optikeinrichtung 6 aufheben und dadurch die Einwirkungszeit des Laserstrahles 4 auf die zu bearbeitende Innenoberfläche 2 verlängert wird. Durch Überlagerung dieser beiden Bewegungen können unterschiedliche Strukturformen der Strukturelemente 10, z. B. schräge Linien, Dreiecke, Ellipsen etc. erzeugt werden.
Wie den 2a bis 2d zu entnehmen ist, kann die Optikeinrichtung 6 unterschiedlichste Ausführungsformen annehmen, wobei die Optikeinrichtung 6 gemäß der 2a eine plane Spiegelfläche 11 aufweist, die als abgeschrägte Fläche eines Zylinders 21 ausgeführt ist. Generell ist auch eine Umlenkung des Laserstrahles 4 über mehrere Spiegelflächen 11 vorstellbar, wie dies beispielsweise in 2c gezeigt ist. Weiterhin kann die Optikeinrichtung – wie in 2d dargestellt – einen sich um die eigene Achse drehenden schräg gestellten Polygonzylinder 22 (d. h. einen Zylinder mit polygonförmigem Umfang) mit verspiegelten Seitenflächen umfassen.
4 zeigt eine schematische Schnittdarstellung der Einrichtung 1 mit einer Maschinenspindel 5 sowie einer Optikeinrichtung 6. Mit dieser Einrichtung 1 kann eine Wechselwirkungszeit während des Strukturierens der Innenoberfläche 2 im Millisekundenbereich erzielt werden. Zum Antrieb der Maschinenspindel 5 ist beispielsweise ein Torque-Antrieb vorgesehen. Zur Bewegungssteuerung ist eine Steuereinrichtung 17 vorgesehen. Zwischen Steuereinrichtung 17 und Maschinenspindel ist eine Versorgungs- und Kommunikationseinheit 5' angeordnet. Weiterhin ist eine Linearantriebseinheit 30 vorgesehen, welche eine Bewegung der Maschinenspindel 5 in Richtung der Drehachse der Maschinenspindel 5 erzeugt.
Maschinenspindel 5, Versorgungs- und Kommunikationseinheit 5' sowie Steuereinrichtung 17 sind innen hohl ausgeführt, so dass der Laserstrahl 4 durch die Bauteile hindurchgeführt werden kann. Die hochfrequente Relativbewegung der Verstelleinrichtung 7 der Optikeinrichtung 6 erfolgt mit Hilfe einer Antriebseinrichtung 7'. Der Laserstrahl 4 wird durch ein Schutzglas 18 in die Maschinenspindel 5 eingeleitet und mit Hilfe einer Fokussierlinse 19 über die als Spiegel 11 ausgestaltete Optikeinrichtung 6 auf die zu bearbeitende Innenoberfläche 2 geleitet. Zum Spülen des Innenraums der Maschinenspindel 5 sowie der Versorgungs- und Kommunikationseinheit 5' und der Steuereinrichtung 17 ist ein Anschluss 20 zum Einleiten von Schutzgas, insbesondere von Druckluft, vorgesehen. Weiterhin weist die Einrichtung 1 Sensoren 15 zur Positionserkennung sowie einen Kollisionsschutz 16 auf; dieser kann beispielsweise in der Art einer federbelasteten Platte realisiert sein. Die Positionssensoren 15 ermöglichen eine automatisierte Positionierung des zu strukturierenden Werkstücks innerhalb einer Werkstückaufnahme.
Weiterhin ist in der 4 ein Ausführungsbeispiel einer Detektionseinrichtung 29 dargestellt. Zur Detektion wird hier ein Prozesssignal 28 in Form eines Teils der Strahlung 26, die während des Bearbeitens der Innenoberfläche 2 der Werkstückbohrung 3 entsteht, durch die Innenbohrung in Maschinenspindel 5, Steuereinrichtung 17 und Antriebseinheit 5' entgegen der Richtung des Laserstrahls 4 nach oben geleitet. Das Prozesssignal 28 wird von einem teildurchlässigen Spiegel 27, welcher den Laserstrahl 4 durchlässt, zur Detektionseinrichtung 29 abgelenkt. Diese Detektionseinrichtung 29 dient zur Detektion von Prozesssignalen und zur Online-Prozessüberwachung und Qualitätssicherung auf der Grundlage des Prozesssignals 28.
Die Einrichtung 1 umfasst in diesem Fall noch eine Kamera 25, mit der zusätzlich die Qualität der eingeprägten Strukturelemente 10 überwacht werden kann. Diese Kamera 25 kann auch an einer anderen Stelle der Einrichtung 1, beispielsweise auf der Höhe der Fokussierlinse 19 angebracht sein.
Weiterhin kann die Einrichtung 1 eine Teleskopeinrichtung 12 zum Bündeln beziehungsweise zum Streuen, das heißt Erweitern, des Laserstrahles 4 aufweisen (siehe 3a und b). Die Teleskopeinrichtung 12 ermöglicht es dabei, Strukturen unterschiedlicher Größe auf die Innenoberfläche 2 der Werkstückbohrung 3 aufzubringen. In 3a ist eine erste Ausführungsform dieser Teleskopeinrichtung 12 gezeigt. Dabei kann eine variable Einstellung des Durchmessers des Laserstrahles 4 während der Bearbeitung der Innenoberfläche 2 erreicht werden, wobei die Variabilität des Durchmessers des Laserstrahls 4 über bewegliche Umlenkspiegel 13 zum jeweiligen Teleskop 14, 14' oder 14'' erreicht wird.
Eine alternative Ausgestaltung der Teleskopeinheit 12 zeigt 3b. Dort sind zwei Linsenelemente 23, 23' zum Verbreitern bzw. zum Bündeln des Laserstrahls 4 vorgesehen. Um die Variabilität des Durchmessers des Laserstrahls 4 zu erreichen, sind ein oder beide Linsenelemente 23, 23' entlang einer Verschieberichtung 24, 24' aufeinander zu oder voneinander weg verschiebbar angeordnet, so dass sich durch eine Veränderung des Abstandes der Linsenelemente 23, 23' voneinander unterschiedlich breite Laserstrahlen 4 einstellen lassen. Die Verschiebung der Linsenelemente 23, 23' kann beispielsweise durch wenigstens einen Linearantrieb erfolgen.
Beim Betrieb der Einrichtung 1 kann zusätzlich noch eine Absaugevorrichtung vorgesehen werden, die während des Strukturierens entstehende Gase absaugt. Diese kann beispielsweise auf der abgewandten Seite der Werkstückbohrung 3 angebracht sein.
Generell lassen sich durch die erfindungsgemäße Kombination eines Ultrakurzpulslasers mit der erfindungsgemäßen Einrichtung 1, welche eine verstellbare Optikeinrichtung 6 aufweist, sehr fein dosierte Strukturen reproduzierbar und wirtschaftlich auf zylindrischen Innenoberflächen 2 realisieren. Dabei kann durch die Verstelleinrichtung 7 die Abtragsrate des Ultrakurzpulslasers in eine für die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens ausreichende Höhe angehoben werden. Mittels einer optional vorgesehenen Teleskopeinrichtung wird darüber hinaus die flexible, automatisierte Variation der Strukturgröße und -form ermöglicht. Üblicherweise werden dabei derartige Einrichtungen 1 eingesetzt, um Strukturen, insbesondere lokale Vertiefungen, in Zylinderlaufflächen einzuarbeiten, welche beim Betrieb des Verbrennungsmotors als so genannte Öltaschen dienen.
Die Einrichtung 1 ist nicht nur zum Einsatz bei den oben beschriebenen Zylinderlaufflächen geeignet, vielmehr eignet sie sich allgemein zum Bearbeiten von Gleitflächen in Form von Innenoberflächen 2 von Werkstücken.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- DE 29506005 U1 [0003]
- DE 19809367 A1 [0004]

Claims

Einrichtung (1) zum Feinbearbeiten einer Innenoberfläche (2) einer Werkstückbohrung (3), insbesondere einer Zylinderlauffläche, mit – einem Laserstrahlwerkzeug, dessen Strahl (4) in eine rotierbare und insbesondere heb- und senkbare hohlen Maschinenspindel (5) einleitbar ist, – einer in der hohlen Maschinenspindel (5) angeordneten Optikeinrichtung (6), die den Laserstrahl (4) aus seiner zur Achse der Maschinenspindel (5) parallelen Richtung in eine radiale Richtung umgelenkt, dadurch gekennzeichnet, dass eine steuerbare Verstelleinrichtung (7) vorgesehen ist, mittels welcher die Optikeinrichtung (6) relativ zur Maschinenspindel (5) verstellbar ist, so dass eine Bewegung des aus der Maschinenspindel (5) austretenden Laserstrahls (4) unabhängig von der Rotationsbewegung der Maschinenspindel (5) steuerbar ist.
Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Optikeinrichtung (6) zumindest einen Spiegel (11) aufweist.
Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die steuerbare Verstelleinrichtung (7) so ausgebildet ist, dass sie die Optikeinrichtung (6) entgegen der Rotationsbewegung (8) der Maschinenspindel (5) verstellt, so dass sich vorzugsweise die überlagerten Rotationsbewegungen (8, 9) der Maschinenspindel (5) und der Optikeinrichtung (6) aufheben und die Wechselwirkungszeit zwischen Laserstrahl (4) und zu bearbeitender Oberfläche (2) verlängert.
Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Laserstrahlwerkzeug einen Ultrakurzpulslaser umfasst.
Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (1) einen Positionssensor (15) umfasst.
Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (1) einen Kollisionsschutz (16) umfasst.
Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (1) eine Fokussierungsvorrichtung (19) und/oder eine Teleskopeinrichtung (12) zum Bündeln und/oder Streuen des Laserstrahls (4) aufweist.