JP2014500160A - 基板の磁気レオロジー仕上げシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を磁気レオロジー仕上げするシステムである。一体型の流体管理モジュールIFMMは、従来のMR仕上げ装置にてMR流体の磁気レオロジー特性を動的に制御し、且つ流体をホイールに配分する。MR流体が装填された磁気遮蔽したチャンバは、キャリアホイールと接触している。横断管は、リボンが加工領域から去るとき、使用済のMR流体をホイールから除去する。補充流体がドリッパを介してチャンバに追加され、好ましくは、電気モータがチャンバ内にてMR流体を動揺させる。チャンバの出口における溝付きの磁気遮蔽した挿入体は、ホイールが回転するとき、キャリアホイール上にてポリシングリボンを形成する。磁気粒子の濃度を検知可能なセンサは、MR流体の特性、特に、MR流体中の水分量を制御する信号を提供する。チャンバ内の流体を冷却する手段が提供される。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- キャリアホイールを有する磁気レオロジー仕上げシステムにて使用される一体型流体管理モジュールにおいて、
a)磁気遮蔽したチャンバを有するハウジングであって、前記チャンバは前記キャリアホイールの表面に対する開口部を有する、前記ハウジングと、
b)使用済の磁気レオロジー流体を前記チャンバ内に受け入れ且つ補充する装置と、
c)補充した磁気レオロジー流体のリボンを前記チャンバから前記ホイール表面まで押出し成形するよう前記ハウジングに取り付けられた、リボンの押出し成形装置と、を備える、一体型流体管理モジュール。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記ハウジングと前記ホイール表面との間のシールを更に備える、システム。 - 請求項2に記載のシステムにおいて、
前記シールは、前記開口部を部分的に取り囲む、システム。 - 請求項2に記載のシステムにおいて、
前記シールは、複数の棒磁石を備える、システム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記チャンバ内に配設されたミキサ羽根を更に備える、システム。 - 請求項5に記載のシステムにおいて、
前記ミキサ羽根は、電気モータにより作動される、システム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
使用済の磁気レオロジー流体を前記ホイールの表面から前記チャンバ内に向けるよう前記本体上に配設されたリボンディフレクタ管を更に備える、システム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
流体を前記チャンバに供給する手段を更に備える、システム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記チャンバ内にて磁気レオロジー流体中の磁気粒子の濃度を検知する第一のセンサを更に備える、システム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記チャンバ内にて磁気レオロジー流体の温度を検知する第二のセンサを更に備える、システム。 - 請求項1に記載のシステムにおいて、
前記チャンバ内にて磁気レオロジー流体を冷却し、且つ該流体から熱を発散させるよう前記ハウジング上に配設された装置を更に備える、システム。 - 磁気レオロジー流体により基板を磁気レオロジー仕上げするシステムにおいて、
a)キャリアホイールと、
b)前記磁気レオロジー流体が磁気強化される、加工領域内にて磁界を形成するよう前記キャリアホイールの両側部にて互いに対向して配設された一対の実質的に鏡像の磁極片と、
c)一体型流体管理モジュールであって、磁気遮蔽したチャンバを有するハウジングであって、前記チャンバは前記キャリアホイールの表面に対する開口部を有する、前記ハウジングと、
使用済の磁気レオロジー流体を前記チャンバ内に受け入れ且つ補充する装置と、
補充した磁気レオロジー流体のリボンを前記チャンバから前記ホイール表面まで押出し成形するよう前記ハウジングに取り付けられた、リボンの押出し成形装置と、を含む、前記一体型流体管理モジュールと、を備える、システム。
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