JP2014232450A - データ処理装置およびデータ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】データ処理装置40は、入力される時系列に発生する多量のデータを格納する記憶部44と、記憶部44に蓄積されたデータの中から基準となる動作パターンのテンプレートと、このテンプレートに類似する比較パターンとをそれぞれ抽出するパターン抽出部45と、を有し、パターン抽出部45は、記憶部に記憶されたデータの中からテンプレートを作成するテンプレート作成部451と、記憶部に記憶されたデータの中から選択された比較パターンと、テンプレートとの類似度を取得する類似度取得部453と、類似度取得部により取得した類似度に基づいて、テンプレートと類似動作パターンとなる比較パターンを抽出して格納する比較パターン抽出部454と、を含む。
【選択図】図2
Description
すなわち、時系列に発生する多量のデータの中から、動作条件、環境条件、動作パターン等の前提条件が基準となる動作パターンのデータと同じ比較したいデータを精度良く、容易に抽出することが困難であった。
好適には、前記サーボデータは、トルクデータを含み、前記パターン抽出部は、前記テンプレートおよび前記比較パターンの対応する前記トルクデータを比較する。
以下の実施形態においては、産業機械として産業用ロボットを動作制御するために入力される指令データおよび指令データに基づいて動作した産業用ロボットから出力されるサーボデータを収集するデータ処理装置を含むロボット情報処理システムを例に説明する。
本実施形態において、ロボット本体20およびコントローラ30により、たとえば半導体ウェハや液晶表示パネル用ガラス基板(以下、半導体ウェハ等とする)を搬送する産業用ロボット50として構成される。
コントローラ30は、ロボット本体20の動作を制御し、ロボット本体20の通常の生産での入力データとしての指令データ(位置や速度)と出力データとしてのサーボデータ(トルクや偏差など)をデータ処理装置40に時系列に出力する。
すなわち、指令データおよびサーボデータは時系列に発生する多量のデータである。さらに、入力データとしての指令データ(位置や速度)はプログラム等によって作成されるデータであり、経年変化の影響を受けないデータである。
一方、出力データとしてのサーボデータ(トルクや偏差など)は産業用ロボットを構成する機械的な部分である機構部等の経年変化を受けやすいデータである。
第1アーム部23の先端部には、第2アーム部24の基端部が回転自在に取り付けられている。
第2アーム部24の先端部には、搬送対象物である半導体ウェハ等を保持して搬送するハンド25が回転自在に配置されている。
ハンド25は、その上に載置された半導体ウェハ等の搬送対象物を解放可能に保持することができるように形成されている。
ハンド25は、その基端部にて、第2アーム部24の先端部に回転自在に配置されたハンド(Hand)軸27に固定的に取り付けられている。
この種のロボットアーム20ARMは、スカラ型水平多関節アームと呼ばれ、ロボットの制御部としてのコントローラ30によりロボットアーム20ARMの動作を制御することにより、ハンド25をX軸、Y軸、およびZ軸方向の所望の位置まで移動するが可能である。
第2アーム駆動部202は、第1アーム部23の内部空間に配置され、エンコーダを内蔵するサーボモータおおよびその動力伝達機構を含む。
ハンド軸駆動部203は、第2アーム部24の内部空間に配置され、エンコーダを内蔵するサーボモータおよびその動力伝達機構を含む。
このようにして減速機の出力側から出力された動力によって、アーム基軸部22、第2アーム回転軸26、およびハンド軸27のそれぞれが回転駆動される。これにより、第1アーム部23、第2アーム部24、およびハンド25のそれぞれが回転駆動される。
たとえば、昇降駆動部204は、ボールネジと、このボールネジに螺合される螺合体と、ボールネジを回転駆動するモータと、を含み、螺合体にアーム基軸部22が固定される。昇降駆動部204のモータには、エンコーダを内蔵するサーボモータが用いられる。
これにより、第1アーム部23が、ロボット基台21に対して回転軸線RX1周りに回転駆動される。
これにより、第2アーム部24が、第1アーム部23に対して回転軸線RX2周りに回転駆動される。
これにより、ハンド25が、第2アーム部24に対して回転軸線RX3周りに回転駆動される。
これにより、ハンド25を目的位置に精度良く位置合わせすることが可能となる。
ここで、指令データとしての位置データ(または速度データ)は、産業用ロボット50を動作制御するために入力される入力データであり、コントローラ30からロボット本体20の対応する駆動部に出力されるデータである。サーボデータは、指令データに基づいて動作制御する産業用ロボット50から出力される出力データであり、ロボット本体20の駆動部からコントローラ30に出力されるデータである。
コントローラ30は、指令データとしての位置データ(または速度データ)および出力データとしてのサーボデータ(トルク、偏差など)を、ロボット本体20の通常の生産動作にあわせてデータ処理装置としてのCPC40に出力できるように構成されている。
なお、本実施形態では、コントローラ30から上記した位置データ(または速度データ)およびサーボデータ(トルク、偏差など)を時系列に出力するようにしている。
CPU31は、メモリ32に格納される動作プログラムを実行してロボット本体20を制御する。
メモリ32には、ロボット本体20の動作を制御するための教示点に関するデータ(位置データ)を格納することもでき、メモリ32に格納された教示点に関するデータに基づいて、ハンド25が所定の位置へと動かされる。
また、メモリ32には、ハンド25の形状・寸法に関するデータ、ハンド25に保持された半導体ウェハ等の形状・寸法に関するデータも格納される。
次に、本実施形態に係るデータ処理装置の構成および機能について詳細に説明する。
本実施形態に係るデータ処理装置40は、コントローラ30からロボット本体20の通常の生産動作にあわせて出力される、サーボ系駆動源の駆動制御に関する情報である位置データ(または速度データ)およびサーボデータ(トルク、偏差など)を収集して所定の処理を施し、たとえば時系列に発生する多量のデータの中から、動作条件、環境条件、動作パターン等の前提条件が基準データと略同じ比較したいデータを精度良く、容易に抽出する機能を有する。
このように、類似度を相関値を用いて求めることで、式が高次で複雑な式でないことから、処理時間が短くてよく、高い処理能力を持ったコンピュータでなくともよく、汎用性に優れている。
そして、パターン抽出部は、テンプレートおよび比較パターンの対応するデータを比較する。
後述するように、テンプレートおよび比較パターンには、それぞれ対応するサーボデータが関連付けされており、パターン抽出部は、テンプレートおよび比較パターンの対応するサーボデータを比較する。すなわち、本実施形態では、テンプレートと比較パターンに対応するサーボデータを比較することで、経年変化の影響を数値化することが可能となっている。
サーボデータは、たとえばトルクデータを含み、パターン抽出部は、テンプレートおよび比較パターンの対応するトルクデータを比較する。
図2のデータ処理装置40は、パーソナルコンピュータ(PC)等により構成され、制御部41、入力部42、出力部43、記憶部44、パターン抽出部45を有している。
このパターン抽出部45は、テンプレート作成部451、比較(動作)パターン作成部452、類似度取得部453、および比較パターン抽出部(比較部)454を有する。
比較パターン作成部452は、時系列に発生する多量のデータの中から、作成されたテンプレートと比較する対象としての比較パターン(動作パターン)を作成する。
ここで、上述しているように、テンプレートおよび比較パターン(動作パターン)は、入力データとしての指令(位置や速度)はプログラム等によって作成されるデータであり、経年変化の影響を受けないデータである。したがって、テンプレートと比較パターン(動作パターン)は、動作条件、環境条件、動作パターン等の前提条件が略一致していると考えられる。
比較パターン抽出部454は、類似度取得部453により取得した類似度に基づいて、テンプレートと類似動作パターンとなる比較パターンを抽出して、たとえば制御部41の制御の下、記憶部44に格納する。
ここでは、テンプレートと比較パターン間の相関値に基づいて類似度を判別する処理を例に説明する。
図4は、動作テンプレートの作成の一例を示す図である。
データ処理装置40は、コントローラ30から取得した位置指令とトルクデータを、図3に示すような形態で記憶部44に蓄積する。
図3には、データを収集した時刻、各時刻ごとの入力データとしての位置指令パルス、位置指令パルスに対応する出力データとしての出力トルクが明記されている。位置指令パルスは、各モータに取り付けられているエンコーダの出力数(パルス数)で示している。また、トルクデータは電流相当値であり、モータへ供給する電流値に比例する内部制御値である。
図3の例では、約20msec単位での取得している位置指令、トルクデータの一部を抜粋したものである。
なお、Hand、Z、TH….はロボットの動作軸の名称に対応しており、たとえば動作軸Handは図1のハンド軸27に相当し、動作軸ZはZ軸方向に昇降駆動されるアーム基軸部22のアーム基軸に相当する。また、動作軸THは、たとえば図1の第2アーム回転軸26に相当する。
データ処理装置40のパターン抽出部45は、テンプレート作成部451において記憶部44に蓄積されている過去からのサーボデータ変化を確認(チェック)したい軸の位置指令(または速度指令)の連続したデータの固まりを、たとえば図4に示すようなテンプレートTMPとして選択する。
具体的には、テンプレートTMPは、産業用ロボット50が初めて生産に供されるときは試運転が完了した時点、または産業用ロボットの動力伝達機構に修理や部品交換が施されときは通常運転が可能になった時点でもデータの中から作成される。換言すれば、動力伝達機構等に経年劣化が進行していないときに基準データを取得する。このように、基準データは、経年劣化が進んでいなければ、いつの時点で取得しても良いので、基準データ取得段階は厳密に定める必要はない。
図4において、横軸は時間を示し、縦軸はハンド25の移動距離を相対的な値として示している。
図4は、あくまでも一例であって、図3のHand軸の位置指令パルスで連続しデータかたまりを動作テンプレートTMPとして登録したもので、それを分かりやすくするためにグラフ表示したものである。
図6は、ロボット本体におけるハンドと半導体ウェハ等(搬送対象物)を格納するストッカを対応付けて示す図である。
図7は、図5に対応するハンドの動作をハンドとストッカを用いて具体的に示す図である。
図6および図7において、60は半導体ウェハ等(搬送対象物)を格納するストッカを、70は搬送対象物の一例では半導体ウェハ等を示している。また、図7において、61はストッカ60内に形成されている複数の載置棚のある一の棚を示している。
なお、図7は、ロボットが半導体ウェハ等をストッカから搬出する動作を示している。ハンドのZ軸方向、図では下から上に向かって移動する動作を含む。
ステップST1で、第1の位置PT1にあるハンド25をストッカ60の方向に延ばしを開始して、図7(A)に示すように、搬送すべき半導体ウェハ70等を保持できる第2の位置PT2に水平移動させる。この状態がステップST2である。
次に、図7(B)に示すように、第2の位置PT2においてハンド25で半導体ウェハ70等の下面部を吸着等の方法で保持し、図7(C)に示すように、第2の位置PT2でZ軸方向にアーム基軸部22の上昇(垂直移動)を開始する。
そして、ステップST3において、図7(C)に示すように、Z軸方向の第3の位置PT3で上昇を完了する。
次いで、ハンド25をストッカ60から離れる方向に水平移動させ、第4の位置PT4まで戻して、一連の動作が完了する。
次に、比較したい日時のデータ範囲から上記動作テンプレートと同じ動作パターン(比較パターン)をサーチする。
この例では、動作テンプレートの位置指令パルスと対象となるデータ範囲の中の位置指令パルス間の相関値をとる。
切り出す方法の一つの例として相関値をグラフ化したものが図8である。
この中からできるだけ相関値が0.999以上のものを抽出する(図8中符号Aで示す丸部分)。
なお、相関値が0.999以上のものを抽出することにしているのは、図6に示すように、産業ロボット50およびハンド25とストッカ60に形成された載置棚61との関係は、各棚ごとに異なっている。また、図示していないが、ストッカ60は複数のストッカが配置されているため、産業用ロボット50と各ストッカとの位置関係も異なっている。このような違いが、図8に示すような相関値の違いとなって生じている。
図9は、図8中の丸部分の動作をグラフ化して示す図である。
図9の比較パターンと図4の動作テンプレートとを比較すると、両者は実質的にまったく同じ動作(略同一の動作)あるいは類似の動作とみなすことができる。
上述したように、動作テンプレートと抽出した一致する動作パターン(比較パターン)のサーボデータ、たとえばトルクデータを比較する。
これにより、たとえばロボット本体20のサーボ系駆動部のいわゆる経年変化を確認(チェック)することが可能である。
換言すれば、期間の開いた同じ動作パターンが抽出できたので、その間のトルクデータを比較することにより、経年変化を確認(チェック)する。
なお、比較方法は、特許文献1に記載された方法等、種々の方法を採用可能である。
従来は、同じ入力条件に設定することが難しいという問題があったが、本実施形態によれば、同じ入力条件(テンプレートと動作パターン)が同じであるという前提で、このサーボデータを比較することに利点がある。
具体的には、ロボットの経年変化によって、たとえば、モータ、軸受等の寿命、劣化等が生じるが、同じ入力条件(位置指令)に対して、ロボット本体の出力(サーボデータ)を比較することで、出力差を調べて、各部品の寿命や交換時期等を判断することが可能となる。
図10は、本実施形態に係るロボット情報処理システムの全体の動作を説明するためのフローチャートである。
次に、上記構成を有するロボット情報処理システムの全体の動作をデータ処理装置40の動作を中心に、図10のフローチャートに関連付けて説明する。
作業用ロボットの通常の生産動作において(ステップST11)、コントローラ30がサーボ系駆動源の駆動制御に関する情報である指令およびサーボデータをデータS30としてデータ処理装置40へ出力する(ステップST12)。
これにより、データ処理装置40は、入力される指令およびサーボデータを、たとえば約20msec単位で収集し、収集したデータを記憶部44に蓄積する(ステップST13、ST14)。
図7に示す動作をロボットは、図6に示すストッカ内の各段に対して処理するが、1つまたは複数配置されたストッカの位置や各ストッカのロボットとの位置関係等により、ロボットのハンドの位置が微妙に異なってくる。
具体的には、図4等に示す動作パターンの縦軸の値が微妙に異なってくる。
そのために、本実施形態に係るデータ処理装置40では、時系列に発生する多量(膨大)のデータの中から、微妙に異なる動作パターンと略同一の動作パターン(実施形態では相関値が0.999)を取り出すことを、精度良く、容易に短時間で処理することを可能とする。
次に、データ処理装置40は、上記した多量のデータの中から、作成したテンプレートと略同一の動作パターンである比較パターンを類似度(たとえば相関値)を取得して抽出する(ステップST16)。
すなわち、テンプレートと選択した比較パターンとが略一致するか否かを判別し(ステップST17)、一致する場合には(ステップST17のYes)、その一致する比較パターンを抽出し(ステップST18)、記憶部44に格納する(ステップST19)。
ステップST17において、テンプレートと選択した比較パターンとが略一致しないと判別した場合には(ステップST17のNo)、ステップST16の処理に戻る。
なお、テンプレートや動作パターン(比較パターン)の作成は、繰り返し実行される。
位置データ(または速度データ) およびサーボデータ(トルク、偏差など)を常時出力できるコントローラ30を有し、データ処理装置40は、時系列に発生する多量のデータを収集、保存、蓄積する。
データ処理装置40は、所望する動作パターン、たとえば経年変化を確認した動作パターンを位置指令(または、速度指令)を使用してテンプレート(基準データ)とする。
データ処理装置40は、テンプレートにて過去の蓄積された位置指令(または速度指令)と類似度を取得し、一致する(類似度の高い)動作パターンを抽出する。
そして、任意ではあるが、抽出した動作パターンとの動作パターンのテンプレート間のサーボデータを比較し経年変化を確認(チェック)する。
たとえば、図5および図7に示すような動作を、ストッカ60の複数の載置棚61の各棚ごと、また、複数のストッカに対して実施する。また、図5および図7では、ストッカ60に格納された半導体ウェハ70等を搬出する動作であるが、逆に、ハンド25を用いて、半導体ウェハ70等をストッカ60の載置棚61の所定の棚に搬入する動作がある。
具体的には、本実施形態では、産業用ロボット50の動作は図5および図7に示す動作であるので、テンプレートおよび動作パターンとしてのパターンは、位置指令としての位置データを採用している。すなわち、図4および図9に示すような単純な台形形状である。
産業用ロボット50の動作が複雑な場合には、位置パターンで表した場合には単純な台形形状ではなく、複雑な形状となる場合がある。このような場合には、1つの動作、すなわち、図5(図7)のステップST1の動作だけを用いて、速度指令としての速度データを用いてもよい。すなわち、ステップST1の動作を速度指令で考えると、停止した状態から所定の動作になるまで加速されることで速度が増加し、その後、一定の速度、さらに、動作を停止させるために速度を減少させて、速度がゼロとなり、所定の位置で停止することになる。この動作を速度と位置と時間との関係でグラフ化すれば、図4および図9と同じような単純な台形形状で表すことが可能となる。
たとえば、サーボ系のエラーが発生したときにその時点までに蓄積していた位置(または速度)データからエラーが発生した動作パターンをテンプレート化する。
そのテンプレートから過去にさかのぼって同じ動作パターンを抽出する。過去の同じ動作パターンのサーボデータとエラーが発生した動作パターンのサーボデータと比較してエラー要因がサーボに起因するものかチェックする。
産業用ロボットではサイクルタイムの把握が求められる場合が多いがこの機能を応用するとサイクルタイムが自動的に導き出すことができる。
サイクルタイムの動作パターンをテンプレートとして登録する。
過去の動作パターンをサーチして同じ動作パターンを抽出してサイクルタイムを算出する。
その結果、本実施形態のデータ処理装置によれば、時系列に発生する多量のデータの中から、比較したいデータを精度良く、容易に抽出することすることができる。
この構成を有することにより、本実施形態のデータ処理装置40によれば、類似度を相関値を用いて求めることで、式が高次で複雑な式でないことから、処理時間が短くてよく、高い処理能力を持ったコンピュータでなくともよく、汎用性に優れているという利点がある。
サーボデータは、トルクデータを含み、パターン抽出部45は、テンプレートおよび比較パターンの対応するトルクデータを比較する。
換言すれば、本構成を有するデータ処理装置40によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)既存技術のようにサーボ関係の経年変化を見るために、基礎データ取得動作のような通常の生産動作とは異なる動作を用意する必要が無い。
(2)生産動作そのもののトルクデータを検査するので、実データに即した解析が可能である。
(3)この任意の特定動作のテンプレート機能により以下のようなことが可能である。
・生産中にエラーが突然発生したときに、そのときの動作パターンをテンプレートにして過去のデータをサーチし、正常時のトルクデータと比較でき、サーボ系が要因か判断できる。
・特定の動作で音がなるような症状が確認できたときに、そのときの動作パターンをテンプレートにして過去の動作パターンを抽出して、過去のトルクデータと比較し、機構系に変化がないか判断できる。
(4)サイクルを表すテンプレートを登録しておことにより、サイクルタイムの経年変化が把握できる。
本実施形態では、テンプレートとして、経年劣化が進行していない時点の動作を選択したが、これに限定されるものではない。たとえば、本実施形態に示すように、テンプレート作成部451において記憶部44に蓄積されている過去からのサーボデータ変化を確認(チェック)したい軸の位置指令(または速度指令)の連続したデータの固まりをテンプレートとしてもよい。
また、このようなプログラムは、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、フロッピー(登録商標)ディスク等の記録媒体、この記録媒体をセットしたコンピュータによりアクセスし上記プログラムを実行するように構成可能である。
Claims (8)
- 時系列に発生する多量のデータを収集して処理するデータ処理装置であって、
入力される前記データを格納する記憶部と、
前記記憶部に蓄積された前記データの中から、基準となる動作パターンのテンプレートと、当該テンプレートに類似する比較パターンとをそれぞれ抽出するパターン抽出部と、を有し、
前記パターン抽出部は、
前記データの中から前記テンプレートを作成するテンプレート作成部と、
前記データの中から選択された比較パターンと、前記テンプレートとの類似度を取得する類似度取得部と、
前記類似度取得部により取得した類似度に基づいて、前記テンプレートと類似動作パターンとなる比較パターンを抽出して格納する比較パターン抽出部と、を含む
データ処理装置。 - 前記パターン抽出部の前記類似度取得部は、
前記テンプレートと前記比較パターン間の相関値に基づいて前記類似度を判別する
請求項1記載のデータ処理装置。 - 前記時系列に発生するデータは、産業用ロボットを動作制御するために入力される指令データと、当該指令データに基づいて動作した前記産業用ロボットから出力されるサーボデータとを含み、
前記テンプレートおよび前記比較パターンは前記指令データの中から作成され、
前記パターン抽出部は、
前記テンプレートおよび前記比較パターンの前記対応するデータを比較する
請求項1または2記載のデータ処理装置。 - 前記サーボデータは、トルクデータを含み、
前記パターン抽出部は、
前記テンプレートおよび前記比較パターンの対応する前記トルクデータを比較する
請求項3記載のデータ処理装置。 - 時系列に発生する多量のデータを収集して処理するデータ処理方法であって、
入力される前記データを記憶部に格納する記憶ステップと、
前記記憶部に蓄積された前記データの中から、基準となる動作パターンのテンプレートと、当該テンプレートに類似する比較パターンとをそれぞれ抽出するパターン抽出ステップと、を有し、
前記パターン抽出ステップは、
前記データの中から前記テンプレートを作成するテンプレート作成ステップと、
前記データの中から選択された比較パターンと、前記テンプレートとの類似度を取得する類似度取得ステップと、
前記類似度取得ステップにより取得した類似度に基づいて、前記テンプレートと類似動作パターンとなる比較パターンを抽出して格納する比較パターン抽出ステップと、を含む
データ処理方法。 - 前記類似度取得ステップにおいては、
前記テンプレートと前記比較パターン間の相関値に基づいて前記類似度を判別する
請求項5記載のデータ処理方法。 - 前記時系列に発生するデータは、産業用ロボットを動作制御するために入力される指令データと、当該指令データに基づいて動作した前記産業用ロボットから出力されるサーボデータとを含み、
前記テンプレートおよび前記比較パターンは前記指令データの中から作成され、
前記パターン抽出ステップにおいては、
前記テンプレートおよび前記比較パターンの前記対応するデータを比較する
請求項5または6記載のデータ処理方法。 - 前記サーボデータは、トルクデータを含み、
前記パターン抽出ステップにおいては、
前記テンプレートおよび前記比較パターンの対応する前記トルクデータを比較する
請求項7記載のデータ処理方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016150400A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | 動作履歴管理システム、管理装置、及び動作履歴管理方法 |
DE102016003316A1 (de) | 2015-03-24 | 2016-09-29 | Fanuc Corporation | Robotersteuerung mit roboterstörungsdiagnose |
JP2019206054A (ja) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | 富士通株式会社 | 情報処理装置、ロボット動作プログラム生成補助方法及びロボット動作プログラム生成補助プログラム |
JP2021135780A (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-13 | 株式会社東芝 | 状態監視装置、方法及びプログラム |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110308669B (zh) * | 2019-07-27 | 2021-07-30 | 南京市晨枭软件技术有限公司 | 一种模块机器人自修复仿真系统及方法 |
CN113211426B (zh) * | 2020-12-02 | 2023-02-28 | 格创东智(深圳)科技有限公司 | 机器人故障诊断方法、装置、计算机设备以及存储介质 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07160323A (ja) * | 1993-12-02 | 1995-06-23 | Nissan Motor Co Ltd | 産業用ロボットの動作波形診断装置 |
JP2002268728A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-20 | Yamatake Sangyo Systems Co Ltd | 同期診断監視システム、同期診断監視装置、および同期診断監視プログラム |
JP2002287816A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Yaskawa Electric Corp | 遠隔調整及び診断装置 |
JP2003058248A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 運転支援装置 |
JP2007172150A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Honda Motor Co Ltd | 産業機械の故障診断方法 |
JP2008307575A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Fanuc Ltd | スポット溶接システム及び溶接ガン閉速度調整方法 |
JP2009169556A (ja) * | 2008-01-12 | 2009-07-30 | Kanto Auto Works Ltd | トレーシングシステム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57207908A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-20 | Hitachi Ltd | Robot controller |
JP4849804B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2012-01-11 | 日本電産サンキョー株式会社 | ロボットの作動方法 |
JP5578453B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2014-08-27 | パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブ アメリカ | 音声分類装置、方法、プログラム及び集積回路 |
US20130290242A1 (en) * | 2010-08-11 | 2013-10-31 | Naohiro Suzuki | Time series data processing device and method therefor |
JP5743495B2 (ja) * | 2010-11-05 | 2015-07-01 | キヤノン株式会社 | ロボット制御装置 |
JP2012232370A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Seiko Epson Corp | ロボットコントローラー、簡易設置型ロボット、及び簡易設置型ロボットの制御方法 |
JP5284433B2 (ja) * | 2011-09-14 | 2013-09-11 | 株式会社東芝 | プロセス監視・診断・支援装置 |
CN103049459A (zh) * | 2011-10-17 | 2013-04-17 | 天津市亚安科技股份有限公司 | 一种基于特征识别的快速录像检索方法 |
-
2013
- 2013-05-29 JP JP2013113363A patent/JP6211802B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-13 CN CN201480030655.1A patent/CN105247430B/zh active Active
- 2014-05-13 WO PCT/JP2014/062647 patent/WO2014192525A1/ja active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07160323A (ja) * | 1993-12-02 | 1995-06-23 | Nissan Motor Co Ltd | 産業用ロボットの動作波形診断装置 |
JP2002268728A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-20 | Yamatake Sangyo Systems Co Ltd | 同期診断監視システム、同期診断監視装置、および同期診断監視プログラム |
JP2002287816A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Yaskawa Electric Corp | 遠隔調整及び診断装置 |
JP2003058248A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 運転支援装置 |
JP2007172150A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Honda Motor Co Ltd | 産業機械の故障診断方法 |
JP2008307575A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Fanuc Ltd | スポット溶接システム及び溶接ガン閉速度調整方法 |
JP2009169556A (ja) * | 2008-01-12 | 2009-07-30 | Kanto Auto Works Ltd | トレーシングシステム |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016150400A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | 日本電産サンキョー株式会社 | 動作履歴管理システム、管理装置、及び動作履歴管理方法 |
CN105892405A (zh) * | 2015-02-17 | 2016-08-24 | 日本电产三协株式会社 | 动作履历管理系统、管理装置以及动作履历管理方法 |
DE102016003316A1 (de) | 2015-03-24 | 2016-09-29 | Fanuc Corporation | Robotersteuerung mit roboterstörungsdiagnose |
JP2019206054A (ja) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | 富士通株式会社 | 情報処理装置、ロボット動作プログラム生成補助方法及びロボット動作プログラム生成補助プログラム |
JP7192251B2 (ja) | 2018-05-29 | 2022-12-20 | 富士通株式会社 | 情報処理装置、ロボット動作プログラム生成補助方法及びロボット動作プログラム生成補助プログラム |
JP2021135780A (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-13 | 株式会社東芝 | 状態監視装置、方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014192525A1 (ja) | 2014-12-04 |
CN105247430B (zh) | 2017-09-05 |
CN105247430A (zh) | 2016-01-13 |
JP6211802B2 (ja) | 2017-10-11 |
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