JP2014228665A - Method for manufacturing flexible printed wiring board and flexible printed wiring board - Google Patents

Method for manufacturing flexible printed wiring board and flexible printed wiring board Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a flexible printed wiring board, by which an insulating film for a flexible printed wiring board excellent in reliability in shock resistance, flexibility and warpage resistance as well as in process accuracy can be collectively formed with good workability.SOLUTION: The method for manufacturing a flexible printed wiring board includes steps of: forming at least one layer of a resin layer (A) comprising an alkali development type photosensitive resin composition (A1) on a flexible printed wiring board; forming at least one layer of a resin layer (B) comprising a photosensitive thermosetting resin composition (B1) containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photo-base generator and a heat-reactive compound on the resin layer (A); irradiating the resin layers (A) and (B) formed in the above-described steps with light along a pattern; heating the resin layers (A) and (B) irradiated with light in the above-described step; and forming a coverlay or the like by subjecting the resin layers (A) and (B) irradiated with light to alkali development.

Description

本発明は、フレキシブルプリント配線板の製造方法及びフレキシブルプリント配線板に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a flexible printed wiring board and a flexible printed wiring board.

近年、スマートフォンやタブレット端末の普及による電子機器の小型薄型により、回路基板の小スペース化が必要となってきている。そのため、折り曲げて収納できるフレキシブルプリント配線板の用途が拡大し、かかるフレキシブルプリント配線板に対する信頼性もこれまで以上に高いものが求められている。   In recent years, it has become necessary to reduce the space of circuit boards due to the small size and thinness of electronic devices due to the spread of smartphones and tablet terminals. Therefore, the use of the flexible printed wiring board which can be folded and accommodated is expanded, and the reliability with respect to such a flexible printed wiring board is required to be higher than ever.

これに対し現在、フレキシブルプリント配線板の絶縁信頼性を確保するための絶縁膜として、折り曲げ部(屈曲部)には、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れたポリイミドをベースとしたカバーレイが用いられ(例えば、特許文献1,2参照)、実装部(非屈曲部)には、電気絶縁性やはんだ耐熱性などに優れ微細加工が可能な感光性樹脂組成物を用いた、混載プロセスが広く採用されている。   On the other hand, as an insulating film to ensure the insulation reliability of flexible printed wiring boards, a cover based on polyimide with excellent mechanical properties such as heat resistance and flexibility is used for the bent part (bent part). Lay is used (for example, see Patent Documents 1 and 2), and the mounting part (non-bent part) uses a photosensitive resin composition that is excellent in electrical insulation and solder heat resistance and can be finely processed. The process is widely adopted.

すなわち、耐熱性および屈曲性などの機械的特性に優れるポリイミドをベースとしたカバーレイでは、金型打ち抜きによる加工を必要とするため、微細配線には不向きである。そのため、微細配線が必要となるチップ実装部には、フォトリソグラフィーによる加工ができるアルカリ現像型の感光性樹脂組成物(ソルダーレジスト)を部分的に併用する必要があった。   That is, a polyimide-based coverlay having excellent mechanical properties such as heat resistance and flexibility is not suitable for fine wiring because it requires processing by die punching. Therefore, it is necessary to partially use an alkali developing type photosensitive resin composition (solder resist) that can be processed by photolithography in a chip mounting portion that requires fine wiring.

特開昭62−263692号公報Japanese Patent Laid-Open No. Sho 62-26392 特開昭63−110224号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-110224

このように、フレキシブルプリント配線板の製造工程では、カバーレイを貼り合わせる工程とソルダーレジストを形成する工程の混載プロセスを採用せざるを得なく、コストと作業性に劣るという問題があった。   Thus, in the manufacturing process of a flexible printed wiring board, there was a problem that it was inferior in cost and workability because it was necessary to employ a mixed mounting process of a process of bonding a cover lay and a process of forming a solder resist.

このような混載プロセスに対し、従来、ソルダーレジストとしての絶縁膜をフレキシブルプリント配線板のカバーレイとして適用する提案がなされている。しかしながら、かかるソルダーレジスト用の樹脂組成物では、カバーレイとしての耐衝撃性や屈曲性などの信頼性が不十分であり、折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)の一括形成プロセスの実用化には至っていない。また、ソルダーレジスト用の樹脂組成物では、アクリル系の光重合による硬化収縮も伴うため、フレキシブル配線板の反りなど寸法安定性にも課題があった。   Conventionally, it has been proposed to apply an insulating film as a solder resist as a coverlay of a flexible printed wiring board for such a mixed mounting process. However, such a resin composition for a solder resist has insufficient reliability such as impact resistance and flexibility as a cover lay, and a process for collectively forming a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion). Has not yet been put to practical use. In addition, since the resin composition for solder resist is accompanied by curing shrinkage due to acrylic photopolymerization, there is a problem in dimensional stability such as warping of a flexible wiring board.

これに対し、アルカリ溶解性と機械特性が両立できる感光性ポリイミドとして従来、ポリイミド前駆体を利用し、パターニングした後に熱閉環する方法も提案されている。しかしながら、高温処理を必要とするなど配線板製造の作業性には課題が残り、依然として実用化には至っていない。   On the other hand, as a photosensitive polyimide capable of achieving both alkali solubility and mechanical properties, a method of thermally ring-closing after patterning using a polyimide precursor has been proposed. However, problems remain in the workability of wiring board manufacture, such as requiring high-temperature treatment, and it has not yet been put into practical use.

また、カバーレイとしての絶縁膜をフレキシブルプリント配線板のソルダーレジストとして適用することも考えられる。しかしながら、かかるカバーレイ用のフィルムでは、パターン形成に煩雑な工程を必要とし、またパンチングによる孔空けなどの加工精度が低いことや熱圧着時の樹脂の滲み出しにより、微細パターンの形成に対応しにくいという問題があった。   It is also conceivable to apply an insulating film as a coverlay as a solder resist for a flexible printed wiring board. However, such a coverlay film requires a complicated process for pattern formation, and has a low processing accuracy such as punching due to punching, and supports the formation of a fine pattern due to resin oozing during thermocompression bonding. There was a problem that it was difficult.

そこで本発明の目的は、耐衝撃性、屈曲性、及び低反り性などの信頼性と加工精度に優れたフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)における絶縁膜、例えば、カバーレイ及びソルダーレジストを作業性良く、一括して形成可能なフレキシブルプリント配線板の製造方法、及びフレキシブルプリント配線板を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an insulating film for a flexible printed wiring board having excellent reliability and processing accuracy such as impact resistance, flexibility, and low warpage, particularly a bent portion (bending portion) and a mounting portion (non-bending portion). A flexible printed wiring board manufacturing method and a flexible printed wiring board capable of forming collectively an insulating film, for example, a coverlay and a solder resist.

発明者らは、上記目的の実現に向け鋭意研究した結果、以下の内容を要旨とする本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は、フレキシブルプリント配線板上に、アルカリ現像型感光性樹脂組成物(A1)からなる樹脂層(A)を少なくとも一層形成する工程、前記樹脂層(A)上に、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂、光塩基発生剤、及び熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物(B1)からなる樹脂層(B)を少なくとも一層形成する工程、前記工程にて形成した樹脂層(A)と(B)に、パターン状に光を照射する工程、前記工程にて光照射した樹脂層(A)と(B)を加熱する工程、及び、前記光照射された樹脂層(A)と(B)をアルカリ現像して、カバーレイ、及びソルダーレジストのうちの少なくともいずれか一方を形成する工程、を含むことを特徴とするものである。
As a result of intensive research aimed at realizing the above object, the inventors have completed the present invention having the following contents.
That is, in the method for producing a flexible printed wiring board of the present invention, the step of forming at least one resin layer (A) made of an alkali-developable photosensitive resin composition (A1) on the flexible printed wiring board, the resin layer ( A) A step of forming at least one resin layer (B) composed of a photosensitive thermosetting resin composition (B1) containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a heat-reactive compound. , A step of irradiating the resin layers (A) and (B) formed in the step with light in a pattern, a step of heating the resin layers (A) and (B) irradiated with the light in the step, and A step of alkali-developing the light-irradiated resin layers (A) and (B) to form at least one of a coverlay and a solder resist.

本発明のフレキシブルプリント配線板は、上記製造方法により製造されたことを特徴とするものである。   The flexible printed wiring board of the present invention is manufactured by the above manufacturing method.

本発明によれば、耐衝撃性、屈曲性、及び低反り性などの信頼性と加工精度に優れたフレキシブルプリント配線板用の絶縁膜、特に折り曲げ部(屈曲部)と実装部(非屈曲部)における絶縁膜、例えば、カバーレイ及びソルダーレジストを作業性良く、一括して形成可能なフレキシブルプリント配線板の製造方法、及びフレキシブルプリント配線板を提供することができる。   According to the present invention, an insulating film for a flexible printed wiring board having excellent reliability and processing accuracy such as impact resistance, flexibility, and low warpage, particularly a bent portion (bent portion) and a mounting portion (non-bent portion). ), A method for producing a flexible printed wiring board capable of forming a cover lay and a solder resist, for example, with good workability, and a flexible printed wiring board can be provided.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of this invention.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は、フレキシブルプリント配線板上に、アルカリ現像型感光性樹脂組成物(A1)からなる樹脂層(A)を少なくとも一層形成する工程、前記樹脂層(A)上に、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂、光塩基発生剤、及び熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物(B1)からなる樹脂層(B)を少なくとも一層形成する工程、前記工程にて形成した樹脂層(A)と(B)に、パターン状に光を照射する工程、前記工程にて光照射した樹脂層(A)と(B)を加熱する工程、及び、前記光照射された樹脂層(A)と(B)をアルカリ現像して、カバーレイ、及びソルダーレジストのうちの少なくともいずれか一方を形成する工程、を含むことを特徴とするものである。   The method for producing a flexible printed wiring board of the present invention includes a step of forming at least one resin layer (A) made of an alkali-developable photosensitive resin composition (A1) on the flexible printed wiring board, the resin layer (A) A step of forming at least one resin layer (B) comprising a photosensitive thermosetting resin composition (B1) containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a thermoreactive compound; A step of irradiating the resin layers (A) and (B) formed in the step with light in a pattern, a step of heating the resin layers (A) and (B) irradiated with the light in the step, and the light A step of alkali-developing the irradiated resin layers (A) and (B) to form at least one of a coverlay and a solder resist.

本発明では、樹脂層(B)において、(1)イミド環が分子中に存在する樹脂を用いること、(2)アルカリ溶解性樹脂と熱反応性化合物との付加反応を起こす組成物を用いることにより、樹脂層(B)を強化層として機能させることができる。
すなわち、従前のソルダーレジスト組成物からなる樹脂層(A)を形成し、その樹脂層(A)上に樹脂層(B)を積層することにより、耐衝撃性、屈曲性、及び低反り性などの信頼性と加工精度に優れたカバーレイとソルダーレジストをフレキシブルプリント配線板上に一括して形成することができる。なお、絶縁膜として層間絶縁膜を形成してもよい。
In the present invention, in the resin layer (B), (1) a resin having an imide ring in the molecule is used, and (2) a composition that causes an addition reaction between an alkali-soluble resin and a thermally reactive compound is used. Thus, the resin layer (B) can function as a reinforcing layer.
That is, by forming a resin layer (A) made of a conventional solder resist composition and laminating the resin layer (B) on the resin layer (A), impact resistance, flexibility, low warpage, etc. A cover lay and a solder resist having excellent reliability and processing accuracy can be collectively formed on a flexible printed wiring board. Note that an interlayer insulating film may be formed as the insulating film.

以下、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の一例を図1に基づき説明する。
[樹脂層(A)の形成工程]
この工程では、フレキシブルプリント配線板上に、アルカリ現像型感光性樹脂組成物(A1)からなる樹脂層(A)を少なくとも一層形成する。樹脂層(A)はアルカリ現像が可能であるためパターン形成が可能となる。また樹脂層(A)を積層することにより回路追従性と基板との密着性を向上させることができる。
フレキシブルプリント配線板は、フレキシブル基材1上に銅回路2が形成されたものである。樹脂層(A)を形成する位置は、屈曲部及び非屈曲部のうちのいずれか一方でよいが、屈曲部と非屈曲部の両方であることが好ましい。屈曲部とは、繰り返し折り曲げされ、屈曲性が要求される部分であり、非屈曲部とは、チップ実装部などの折り曲げされない部分である。
Hereinafter, an example of the manufacturing method of the flexible printed wiring board of this invention is demonstrated based on FIG.
[Formation step of resin layer (A)]
In this step, at least one resin layer (A) made of the alkali development type photosensitive resin composition (A1) is formed on the flexible printed wiring board. Since the resin layer (A) can be alkali-developed, a pattern can be formed. Further, by laminating the resin layer (A), the circuit followability and the adhesion to the substrate can be improved.
The flexible printed wiring board is obtained by forming a copper circuit 2 on a flexible substrate 1. The position where the resin layer (A) is formed may be one of a bent portion and a non-bent portion, but is preferably both a bent portion and a non-bent portion. The bent portion is a portion that is repeatedly bent and requires flexibility, and the non-bent portion is a portion that is not bent, such as a chip mounting portion.

樹脂層(A)の形成方法としては、塗布法と、ラミネート法が挙げられる。
塗布法の場合、スクリーン印刷法、カーテンコート法、スプレーコート法、ロールコート法等の方法により、アルカリ現像型感光性樹脂組成物(A1)をフレキシブルプリント配線板上に塗布し、50〜130℃程度の温度で15〜60分間程度加熱することにより樹脂層(A)を形成する。
ラミネート法の場合、まずは、アルカリ現像型感光性樹脂組成物(A1)を有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、キャリアフィルム上に塗布、乾燥して樹脂層(A)を有するドライフィルムを作成する。次に、ラミネーター等により樹脂層(A)が、フレキシブルプリント配線板と接触するように貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離する。
Examples of the method for forming the resin layer (A) include a coating method and a laminating method.
In the case of the coating method, the alkali-developable photosensitive resin composition (A1) is coated on a flexible printed wiring board by a method such as a screen printing method, a curtain coating method, a spray coating method, or a roll coating method, and 50 to 130 ° C. The resin layer (A) is formed by heating at a temperature of about 15 to 60 minutes.
In the case of the laminating method, first, the alkali developing type photosensitive resin composition (A1) is diluted with an organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, applied onto a carrier film and dried to have a resin layer (A). Create Next, after bonding together so that a resin layer (A) may contact a flexible printed wiring board with a laminator etc., a carrier film is peeled.

[樹脂層(B)の形成工程]
この工程では、樹脂層(A)上に、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂、光塩基発生剤、及び熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物(B1)からなる樹脂層(B)を少なくとも一層形成する。樹脂層(B)は、アルカリ現像が可能であるため、微細なパターン形成が可能となり、加工精度に優れる。また、樹脂層(B)を積層することにより、耐衝撃性と屈曲性と低反り性を向上させることができる。
樹脂層(B)を形成する位置は、樹脂層(A)上で、屈曲部と非屈曲部の両方であることが好ましい。ただし、樹脂層(A)上のうち、屈曲部のみ、又は、非屈曲部のみに樹脂層(B)を形成してもよい。
また、樹脂層(B)と樹脂層(A)との間には、更なる層を介在させてもよい。
樹脂層(B)は、樹脂層(A)の形成方法と同様の方法で形成できる。
なお、樹脂層(A)と(B)は、これらを1つの積層型ドライフィルムとした後、その積層型ドライフィルムをフレキシブルプリント配線板にラミネートすることにより形成してもよい。
本発明では、銅回路への追従性の観点より、樹脂層(A)を樹脂層(B)よりも厚く形成することが好ましい。
[Formation step of resin layer (B)]
In this step, a resin layer (B) comprising a photosensitive thermosetting resin composition (B1) containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a heat-reactive compound on the resin layer (A). ) At least one layer. Since the resin layer (B) can be alkali-developed, a fine pattern can be formed and the processing accuracy is excellent. Further, by laminating the resin layer (B), it is possible to improve impact resistance, flexibility and low warpage.
The position where the resin layer (B) is formed is preferably both a bent portion and a non-bent portion on the resin layer (A). However, the resin layer (B) may be formed only on the bent portion or only on the non-bent portion of the resin layer (A).
Further, a further layer may be interposed between the resin layer (B) and the resin layer (A).
The resin layer (B) can be formed by the same method as the method for forming the resin layer (A).
The resin layers (A) and (B) may be formed by laminating the laminated dry film on a flexible printed wiring board after making them into one laminated dry film.
In the present invention, the resin layer (A) is preferably formed thicker than the resin layer (B) from the viewpoint of followability to the copper circuit.

[光照射工程]
この工程では、樹脂層(A)と(B)に対して、ネガ型のパターン状に光照射する。この工程により、感光性熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化できる。
光照射機としては、直接描画装置(例えばコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)、メタルハライドランプを搭載した光照射機、(超)高圧水銀ランプを搭載した光照射機、水銀ショートアークランプを搭載した光照射機、もしくは(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプを使用した直接描画装置を用いることができる。
[Light irradiation process]
In this step, the resin layers (A) and (B) are irradiated with light in a negative pattern. By this step, the photobase generator contained in the photosensitive thermosetting resin composition can be activated to cure the light irradiation part.
As a light irradiation device, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that directly draws an image with a laser using CAD data from a computer), a light irradiation device equipped with a metal halide lamp, or a light irradiation device equipped with a (ultra) high pressure mercury lamp. In addition, a light irradiator equipped with a mercury short arc lamp or a direct drawing apparatus using an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp can be used.

光照射に用いる活性エネルギー線としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるレーザー光又は散乱光を用いることが好ましい。また、その光照射量は膜厚等によって異なるが、一般には50〜1500mJ/cm、好ましくは100〜1000mJ/cmの範囲内とすることができる。 As the active energy ray used for light irradiation, it is preferable to use laser light or scattered light having a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. Moreover, the light irradiation amount varies depending on the film thickness, etc., generally 50~1500mJ / cm 2, preferably be in the range of 100~1000mJ / cm 2.

[加熱工程]
この工程では、樹脂層(A)と(B)を加熱する。これにより、光照射で発生した塩基によって深部まで十分硬化できる。この工程は、いわゆるPEB(POST EXPOSURE BAKE)工程と言われる工程である。
加熱温度は、例えば、80〜140℃である。加熱温度を80℃以上とすることにより、光照射部を十分に硬化できる。一方、加熱温度を140℃以下とすることにより、光照射部のみを選択的に硬化できる。加熱時間は、例えば、10〜100分である。なお、未照射部では、光塩基発生剤から塩基が発生しないため、熱硬化が抑制される。
[Heating process]
In this step, the resin layers (A) and (B) are heated. Thereby, it can fully harden | cure to a deep part with the base generate | occur | produced by light irradiation. This process is a so-called PEB (POST EXPOSURE BAKE) process.
The heating temperature is, for example, 80 to 140 ° C. By setting the heating temperature to 80 ° C. or higher, the light irradiation part can be sufficiently cured. On the other hand, by setting the heating temperature to 140 ° C. or lower, only the light irradiation part can be selectively cured. The heating time is, for example, 10 to 100 minutes. In the unirradiated portion, no base is generated from the photobase generator, so that thermosetting is suppressed.

[現像工程]
この工程では、光照射された樹脂層(A)と(B)を現像して、カバーレイ、及びソルダーレジストのうちの少なくともいずれか一方を形成する。この現像により、パターン状のカバーレイとソルダーレジストを一括して得ることができる。
現像方法としては、アルカリ現像であり、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等公知の方法によることができる。
アルカリ現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、エタノールアミン、イミダゾールなどのアミン類、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等のアルカリ水溶液またはこれらの混合液を用いることができる。
[Development process]
In this step, the resin layers (A) and (B) irradiated with light are developed to form at least one of a coverlay and a solder resist. By this development, a patterned coverlay and solder resist can be obtained in a lump.
The development method is alkali development, and can be performed by a known method such as a dipping method, a shower method, a spray method, or a brush method.
Examples of the alkaline developer include potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, ethanolamine, amines such as imidazole, tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH), etc. An alkaline aqueous solution or a mixed solution thereof can be used.

[その他の工程]
本発明では、必要に応じて以下の工程を追加してもよい。
(第2光照射工程)
現像工程の後に、樹脂層(A)と(B)に光照射してもよい。この光照射により、先の光照射工程において、樹脂層(B)内で活性化せずに残った光塩基発生剤を活性化して、塩基を十分に発生させる。
この光照射における紫外線の波長および光照射量(露光量)は、前記光照射工程と同じであってもよく、異なっていてもよい。光照射量は、例えば、150〜2000mJ/cmである。
[Other processes]
In the present invention, the following steps may be added as necessary.
(Second light irradiation process)
After the development step, the resin layers (A) and (B) may be irradiated with light. By this light irradiation, the photobase generator remaining without being activated in the resin layer (B) in the previous light irradiation step is activated to sufficiently generate a base.
The wavelength of ultraviolet rays and the light irradiation amount (exposure amount) in this light irradiation may be the same as or different from those in the light irradiation step. The light irradiation amount is, for example, 150 to 2000 mJ / cm 2 .

(熱硬化工程)
また、現像工程の後に、さらに、加熱により樹脂層(A)と(B)を熱硬化(ポストキュア)してもよい。熱硬化することにより、樹脂層(A)と(B)を十分に熱硬化させることができる。加熱温度は、例えば、150℃以上である。
(Thermosetting process)
Further, after the development step, the resin layers (A) and (B) may be further thermally cured (post-cured) by heating. By thermosetting, the resin layers (A) and (B) can be sufficiently thermoset. The heating temperature is, for example, 150 ° C. or higher.

[樹脂層(A)に用いられるアルカリ現像型感光性樹脂組成物]
樹脂層(A)を構成するアルカリ現像型感光性樹脂組成物としては、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂を含む組成物であれば良く、光硬化性樹脂組成物でも熱硬化性樹脂組成物でも用いることができる。好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物を含む樹脂組成物が挙げられ、公知慣用のものが用いられる。
[Alkali development type photosensitive resin composition used for resin layer (A)]
The alkali-developable photosensitive resin composition constituting the resin layer (A) contains a resin that contains one or more functional groups among phenolic hydroxyl groups, thiol groups, and carboxyl groups and that can be developed with an alkaline solution. It is sufficient to use a photocurable resin composition or a thermosetting resin composition. Preferred examples include a resin composition containing a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, a carboxyl group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups. It is done.

例えば、従来からソルダーレジスト組成物として用いられている、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する化合物と、光重合開始剤と、熱反応性化合物を含む光硬化性熱硬化性樹脂組成物が挙げられる。   For example, a light containing a carboxyl group-containing resin or a carboxyl group-containing photosensitive resin, a compound having an ethylenically unsaturated bond, a photopolymerization initiator, and a heat-reactive compound conventionally used as a solder resist composition A curable thermosetting resin composition is mentioned.

ここで、カルボキシル基含有樹脂またはカルボキシル基含有感光性樹脂、エチレン性不飽和結合を有する化合物、光重合開始剤、熱反応性化合物としては、公知慣用のものが用いられる。   Here, as the carboxyl group-containing resin or the carboxyl group-containing photosensitive resin, the compound having an ethylenically unsaturated bond, the photopolymerization initiator, and the heat-reactive compound, known and commonly used ones are used.

[樹脂層(B)に用いられる感光性熱硬化性樹脂組成物]
(イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂)
本発明において、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、カルボキシル基、酸無水物基などのアルカリ溶解性基とイミド環を有するものである。このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環の導入には公知慣用の手法を用いることができる。例えば、カルボン酸無水物成分とアミン成分及び/又はイソシアネート成分とを反応させて得られる樹脂が挙げられる。イミド化は熱イミド化で行っても、化学イミド化で行ってもよく、またこれらを併用して製造することができる。
[Photosensitive thermosetting resin composition used for resin layer (B)]
(Alkali-soluble resin having an imide ring)
In the present invention, the alkali-soluble resin having an imide ring has an alkali-soluble group such as a carboxyl group and an acid anhydride group and an imide ring. For introducing the imide ring into the alkali-soluble resin, a known and usual method can be used. For example, the resin obtained by making a carboxylic anhydride component react with an amine component and / or an isocyanate component is mentioned. The imidization may be performed by thermal imidization or chemical imidization, and these can be used in combination.

ここで、カルボン酸無水物成分としては、テトラカルボン酸無水物やトリカルボン酸無水物などが挙げられるが、これらの酸無水物に限定されるものではなく、アミノ基やイソシアネート基と反応する酸無水物基およびカルボキシル基を有する化合物であれば、その誘導体を含め用いることができる。また、これらのカルボン酸無水物成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Here, examples of the carboxylic acid anhydride component include tetracarboxylic acid anhydrides and tricarboxylic acid anhydrides, but are not limited to these acid anhydrides, and acid anhydrides that react with amino groups or isocyanate groups. Any compound having a physical group and a carboxyl group can be used, including derivatives thereof. These carboxylic anhydride components may be used alone or in combination.

テトラカルボン酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3−フルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ジフルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ビス(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、および2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’”,4,4’”−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3””,4,4””−キンクフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−へキサフルオロプロパン二無水物、ジフルオロメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2−テトラフルオロ−1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロ−1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4−オクタフルオロ−1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4,5,5−デカフルオロ−1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、チオ−4,4’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルシロキサン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,3−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、1,4−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタン二無水物、ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタンニ無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジメチルシラン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、メチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、オキシ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、チオ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、スルホニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、3,3’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、9−フェニル−9−(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ〔2,2,2〕オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、9,9−ビス〔4−(2,3−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、1,2−(エチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,3−(トリメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,4−(テトラメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,5−(ペンタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,6−(ヘキサメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,7−(ヘプタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,8−(オクタメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,9−(ノナメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,10−(デカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,12−(ドデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,16−(ヘキサデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)、1,18−(オクタデカメチレン)ビス(トリメリテート無水物)などが挙げられる。   Examples of the tetracarboxylic acid anhydride include pyromellitic dianhydride, 3-fluoropyromellitic dianhydride, 3,6-difluoropyromellitic dianhydride, 3,6-bis (trifluoromethyl) pyro Merit acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic acid Anhydride, 2,2′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid Anhydride, 6,6′-difluoro-3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-3,3 ′ , 4,4'-biphenyltet Carboxylic dianhydride, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′ , 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride , And 2,2 ', 5,5', 6,6 -Hexakis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ", 4,4 "-Terphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 '", 4,4' "-quaterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3" ", 4,4" "-kinkphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, methylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 2,2-propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 1,2-ethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic acid Anhydride, 1,5-pentamethylene-4,4'-diph Talic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, difluoromethylene-4,4′-diphthal Acid dianhydride, 1,1,2,2-tetrafluoro-1,2-ethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3-hexafluoro-1, 3-trimethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluoro-1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic dianhydride 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-decafluoro-1,5-pentamethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, thio-4,4′- Diphthalic dianhydride, sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphene) ) -1,1,3,3-tetramethylsiloxane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,3-bis [ 2- (3,4-Dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, 1,4-bis [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, bis [ 3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4- Dicarboxyphenoxy Phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, bis (3,4- Dicarboxyphenoxy) dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic Acid dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid Anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ , 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride, carbonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, methylene-4,4′-bis (cyclohexane-1, 2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,2-ethylene-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-bis (cyclohexane) San-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1,1,3,3,3 -Hexafluoro-2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, oxy-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride Thio-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, sulfonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 3,3 ′ -Difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorooxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluorooxy-4,4'-diphthalic acid Anhydride, 3, 3 ', 5, 5', 6 6′-hexafluorooxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (tri Fluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′- Tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5, 5 ', 6,6'-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 5,5 ', 6,6'-hexakis (trifluoromethyl) oxy- 4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'-diflu Orosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluorosulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′- Diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic acid Dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl -4,4'-diphthalate Dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis ( Trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluoro -2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6'-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 3, 3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) -2, 2-perfluoropropylidene-4,4'-diphthalate Acid dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluoro-2,2-perfluoro Propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis ( Trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis (trifluoromethyl) -2,2 -Perfluoropropylidene-4,4'-diph Talic dianhydride, 9-phenyl-9- (trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis (trifluoromethyl) xanthene-2,3 6,7-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis [4- (3 , 4-Dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, 9,9-bis [4- (2,3-dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, ethylene glycol bistrimellitic dianhydride, 1,2- ( Ethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,3- (trimethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,4- (tetramethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,5- (pentamethylene) bis (trimetic anhydride) Retate anhydride), 1,6- (hexamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,7- (heptamethylene) bis (trimellitate anhydride), 1,8- (octamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,9- (nonamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,10- (decamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,12- (dodecamethylene) bis (trimellitic anhydride), 1,16- (hexadeca) Methylene) bis (trimellitate anhydride), 1,18- (octadecamethylene) bis (trimellitate anhydride), and the like.

トリカルボン酸無水物としては、例えば、トリメリット酸無水物や核水添トリメリット酸無水物などが挙げられる。   Examples of the tricarboxylic acid anhydride include trimellitic acid anhydride and nuclear hydrogenated trimellitic acid anhydride.

アミン成分としては、脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンなどのジアミン、脂肪族ポリエーテルアミンなどの多価アミンを用いることができるが、これらのアミンに限定されるものではない。また、これらのアミン成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。   Examples of the amine component include diamines such as aliphatic diamines and aromatic diamines, and polyvalent amines such as aliphatic polyether amines, but are not limited to these amines. These amine components may be used alone or in combination.

ジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン(PPD)、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−トルエンジアミン、2,5−トルエンジアミン、2,6−トルエンジアミン、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,4−ジアミノ安息香酸などのベンゼン核1つのジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルなどのジアミノジフェニルエーテル類、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン(o−トリジン)、2,2’−ジメチルベンジジン(m−トリジン)、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホンなどのベンゼン核2つのジアミン、1,3−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェニル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)−4−トリフルオロメチルベンゼン、3,3’−ジアミノ−4−(4−フェニル)フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジ(4−フェニルフェノキシ)ベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルフィド)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェニルスルホン)ベンゼン、1,3−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(3−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,4−ビス〔2−(4−アミノフェニル)イソプロピル〕ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼンなどのベンゼン核3つのジアミン、3,3’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、3,3’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパンなどのベンゼン核4つのジアミンなどの芳香族ジアミン、1,2−ジアミノエタン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,2−ジアミノシクロヘキサン等の脂肪族ジアミンが挙げられ、脂肪族ポリエーテルアミンとしては、エチレングリコール及び/又はプロピレングリコール系の多価アミン等が挙げられる。   Examples of the diamine include p-phenylenediamine (PPD), 1,3-diaminobenzene, 2,4-toluenediamine, 2,5-toluenediamine, 2,6-toluenediamine, 3,5-diaminobenzoic acid, One diamine nucleus diamine such as 2,5-diaminobenzoic acid and 3,4-diaminobenzoic acid, diaminodiphenyl ether such as 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, and 3,4′-diaminodiphenyl ether 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2,2′-bis (trifluoromethyl ) -4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiph Nilmethane, 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, bis (4-aminophenyl) sulfide, 4, 4'-diaminobenzanilide, 3,3'-dichlorobenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine (o-tolidine), 2,2'-dimethylbenzidine (m-tolidine), 3,3'-dimethoxybenzidine, 2 , 2'-dimethoxybenzidine, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4 , 4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyls Hong, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,3′-diamino-4,4′-dichlorobenzophenone, 3,3′-diamino- 4,4′-dimethoxybenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) -1, 1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone Xoxide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3′-dicarboxy-4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane, 3,3 ′ -Two diamine diamines such as diamino-4,4'-dihydroxydiphenylsulfone, 1,3-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (3-aminophenyl) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4 -Bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) -4-trifluoromethylbenzene, 3,3 -Diamino-4- (4-phenyl) phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-di (4-phenylphenoxy) benzophenone, 1,3-bis (3-aminophenyl sulfide) benzene, 1, 3-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,4-bis (4-aminophenyl sulfide) benzene, 1,3-bis (3-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis (4-aminophenyl) Sulfone) benzene, 1,4-bis (4-aminophenylsulfone) benzene, 1,3-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (3-aminophenyl) Isopropyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-aminophenyl) isopropyl] benzene, 1,3-bis (4-amino) (3-hydroxyphenoxy) benzene and other benzene nucleus three diamines, 3,3′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 3,3′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis ( 3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [3- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophen Noxy) phenyl] ketone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [ 4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) Phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-Aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Tan, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-amino Phenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3 , 3-hexafluoropropane, 2,2-bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3 -Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3 3-hexafluoropropane, etc. Aromatic diamine such as four diamines of benzene nucleus, 1,2-diaminoethane, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7- Examples include aliphatic diamines such as diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1,11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, and 1,2-diaminocyclohexane. Examples of the aliphatic polyether amine include ethylene glycol and / or propylene glycol-based polyvalent amine.

イソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネート及びその異性体や多量体、脂肪族ジイソシアネート類、脂環式ジイソシアネート類及びその異性体などのジイソシアネートやその他汎用のジイソシアネート類を用いることができるが、これらのイソシアネートに限定されるものではない。また、これらのイソシアネート成分は、単独でまたは組み合わせて使用してもよい。
ジイソシアネートとして、例えば4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート、ジフェニルスルホンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート及びその異性体、多量体、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、キシシレンジイソシアネートなどの脂肪族ジイソシアネート類、あるいは前記芳香族ジイソシアネートを水添した脂環式ジイソシアネート類及び異性体、もしくはその他汎用のジイソシアネート類が挙げられる。
Diisocyanates such as aromatic diisocyanates and isomers and multimers, aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and isomers thereof, and other general-purpose diisocyanates can be used as the isocyanate component. It is not limited. These isocyanate components may be used alone or in combination.
Examples of diisocyanates include aromatic diisocyanates such as 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, tolylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, xylylene diisocyanate, biphenyl diisocyanate, diphenyl sulfone diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, and isomers, multimers, hexamethylene diisocyanate, isophorone. Examples thereof include aliphatic diisocyanates such as diisocyanate, dicyclohexylmethane diisocyanate, and xylylene diisocyanate, alicyclic diisocyanates and isomers obtained by hydrogenation of the aromatic diisocyanate, and other general-purpose diisocyanates.

以上説明したようなイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂はアミド結合を有していてもよい。これはイソシアネートとカルボン酸を反応させて得られるアミド結合であってもよく、それ以外の反応によるものでもよい。さらにその他の付加および縮合からなる結合を有していてもよい。   The alkali-soluble resin having an imide ring as described above may have an amide bond. This may be an amide bond obtained by reacting an isocyanate and a carboxylic acid, or may be caused by other reaction. Furthermore, you may have the coupling | bonding which consists of another addition and condensation.

また、このアルカリ溶解性樹脂へのイミド環の導入には、公知慣用のカルボキシル基及び/又は酸無水物基を有するアルカリ溶解性ポリマー、オリゴマー、モノマーを用いてもよく、例えばこれらの公知慣用のアルカリ溶解性樹脂類を単独でもしくは上記のカルボン酸無水物成分と組み合わせて、上記のアミン/イソシアネート類と反応させて得られる樹脂であってもよい。   In addition, for the introduction of the imide ring into the alkali-soluble resin, a known and commonly used alkali-soluble polymer, oligomer or monomer having a carboxyl group and / or an acid anhydride group may be used. It may be a resin obtained by reacting an alkali-soluble resin alone or in combination with the above carboxylic anhydride component and reacting with the above amine / isocyanate.

このようなアルカリ溶解性基とイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂の合成においては、公知慣用の有機溶剤を用いることができる。かかる有機溶媒としては、原料であるカルボン酸無水物類、アミン類、イソシアネート類と反応せず、かつこれら原料が溶解する溶媒であれば問題はなく、特にその構造は限定されない。具体的に例示すると、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド溶媒、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラクトン、α−メチル−γ−ブチロラクトン等の環状エステル溶媒、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート溶媒、カプロラクタム等のラクタム溶媒、ジオキサン等のエーテル系溶媒、トリエチレングリコール等のグリコール系溶媒、m−クレゾール、p−クレゾール、3−クロロフェノ−ル、4−クロロフェノ−ル、4−メトキシフェノール、2,6−ジメチルフェノール等のフェノール系溶媒、アセトフェノン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、スルホラン、ジメチルスルホキシド、テトラメチルウレアなどが挙げられる。さらに、その他の一般的な有機溶剤、即ちフェノール、o−クレゾール、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソブチル、プロピレングリコールメチルアセテート、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、2−メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジエトキシエタン、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロへキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、ブタノール、エタノール、キシレン、トルエン、クロルベンゼン、ターペン、ミネラルスピリット、石油ナフサ系溶媒なども添加して使用することができる。なかでも原料の溶解性が高いことから、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン等の非プロトン性溶媒が好ましい。   In the synthesis of such an alkali-soluble resin having an alkali-soluble group and an imide ring, a known and commonly used organic solvent can be used. Such an organic solvent is not particularly limited as long as it is a solvent that does not react with the carboxylic acid anhydrides, amines, and isocyanates that are raw materials and that dissolves these raw materials, and the structure is not particularly limited. Specifically, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, γ-caprolactone, ε-caprolactone , Cyclic ester solvents such as α-methyl-γ-butyrolactone, carbonate solvents such as ethylene carbonate and propylene carbonate, lactam solvents such as caprolactam, ether solvents such as dioxane, glycol solvents such as triethylene glycol, m-cresol, Phenolic solvents such as p-cresol, 3-chlorophenol, 4-chlorophenol, 4-methoxyphenol, 2,6-dimethylphenol, acetophenone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, sulfolane, dimethyl Sulfo Sid, such as tetramethylurea. Furthermore, other common organic solvents such as phenol, o-cresol, butyl acetate, ethyl acetate, isobutyl acetate, propylene glycol methyl acetate, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, 2-methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, tetrahydrofuran , Dimethoxyethane, diethoxyethane, dibutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, methyl isobutyl ketone, diisobutyl ketone, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, butanol, ethanol, xylene, toluene, chlorobenzene, terpene, mineral spirit, petroleum naphtha solvents, etc. Can also be used. Of these, aprotic solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, and γ-butyrolactone are preferred because of the high solubility of the raw materials.

以上説明したようなカルボキシル基又は酸無水物基などのアルカリ溶解性基とイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂は、フォトリソグラフィー工程に対応するために、その酸価が20〜200mgKOH/gであることが好ましく、より好適には60〜150mgKOH/gであることが好ましい。この酸価が20mgKOH/g以上の場合、アルカリに対する溶解性が向上し、現像性が向上する。さらには光照射後の熱硬化成分との架橋度が高くなるため、十分な現像コントラストを得ることができる。
また、この酸価が200mgKOH/g以下の場合には、後述する光照射後のPEB工程でのいわゆる熱かぶりを抑制でき、プロセスマージンが大きくなる。
The alkali-soluble resin having an alkali-soluble group such as a carboxyl group or an acid anhydride group and an imide ring as described above has an acid value of 20 to 200 mgKOH / g in order to cope with the photolithography process. Is more preferable, and 60 to 150 mgKOH / g is more preferable. When this acid value is 20 mgKOH / g or more, solubility in alkali is improved, and developability is improved. Furthermore, since the degree of crosslinking with the thermosetting component after light irradiation is increased, a sufficient development contrast can be obtained.
Moreover, when this acid value is 200 mgKOH / g or less, what is called a hot fog in the PEB process after light irradiation mentioned later can be suppressed, and a process margin becomes large.

また、このアルカリ溶解性樹脂の分子量は、現像性と硬化塗膜特性を考慮すると、質量平均分子量1,000〜100,000が好ましく、さらに2,000〜50,000がより好ましい。
この分子量が1,000以上の場合、光照射及びPEB後に、十分な耐現像性と硬化物性を得ることができる。また、分子量が100,000以下の場合、アルカリ溶解性が向上し、現像が良好となる。
The molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably from 1,000 to 100,000, more preferably from 2,000 to 50,000, considering developability and cured coating properties.
When the molecular weight is 1,000 or more, sufficient development resistance and cured product properties can be obtained after light irradiation and PEB. On the other hand, when the molecular weight is 100,000 or less, alkali solubility is improved and development is improved.

(光塩基発生剤)
樹脂層(B)において用いる光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、後述する熱反応性化合物の重合反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。
光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。
(Photobase generator)
The photobase generator used in the resin layer (B) is used as a catalyst for the polymerization reaction of a thermoreactive compound, which will be described later, when the molecular structure is changed by light irradiation such as ultraviolet light or visible light, or when the molecule is cleaved. It is a compound that produces one or more basic substances that can function. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.
Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group. Of these, oxime ester compounds and α-aminoacetophenone compounds are preferred. As the α-aminoacetophenone compound, those having two or more nitrogen atoms are particularly preferable.

その他の光塩基発生剤として、WPBG-018(商品名:9-anthrylmethylN,N’-diethylcarbamate),WPBG-027(商品名:(E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine),WPBG-082(商品名:guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate), WPBG-140 (商品名:1-(anthraquinon-2-yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。   Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethylN, N'-diethylcarbamate), WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-propenoyl ] piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinon-2-yl) ethyl imidazolecarboxylate), and the like can also be used.

α―アミノアセトフェノン化合物は、分子中にベンゾインエーテル結合を有し、光照射を受けると分子内で開裂が起こり、硬化触媒作用を奏する塩基性物質(アミン)が生成する。α−アミノアセトフェノン化合物の具体例としては、(4−モルホリノベンゾイル)−1−ベンジル−1−ジメチルアミノプロパン(イルガキュア369、商品名、BASFジャパン社製)や4−(メチルチオベンゾイル)−1−メチル−1−モルホリノエタン(イルガキュア907、商品名、BASFジャパン社製)、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(イルガキュア379、商品名、BASFジャパン社製)などの市販の化合物またはその溶液を用いることができる。   The α-aminoacetophenone compound has a benzoin ether bond in the molecule, and when irradiated with light, cleavage occurs in the molecule to produce a basic substance (amine) that exhibits a curing catalytic action. Specific examples of the α-aminoacetophenone compound include (4-morpholinobenzoyl) -1-benzyl-1-dimethylaminopropane (Irgacure 369, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) and 4- (methylthiobenzoyl) -1-methyl. -1-morpholinoethane (Irgacure 907, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.), 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]- A commercially available compound such as 1-butanone (Irgacure 379, trade name, manufactured by BASF Japan Ltd.) or a solution thereof can be used.

オキシムエステル化合物としては、光照射により塩基性物質を生成する化合物であればいずれをも使用することができる。かかるオキシムエステル化合物としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュアーOXE01、イルガキュアーOXE02、アデカ社製N−1919、NCI−831などが挙げられる。また、特許第4344400号公報に記載された、分子内に2個のオキシムエステル基を有する化合物も好適に用いることができる。   Any oxime ester compound can be used as long as it is a compound that generates a basic substance by light irradiation. Examples of such oxime ester compounds include CGI-325, Irgacure OXE01, Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan, N-1919, and NCI-831 manufactured by Adeka. Moreover, the compound which has two oxime ester groups in the molecule | numerator described in the patent 4344400 gazette can also be used suitably.

その他、特開2004−359639号公報、特開2005−097141号公報、特開2005−220097号公報、特開2006−160634号公報、特開2008−094770号公報、特表2008−509967号公報、特表2009−040762号公報、特開2011−80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。   In addition, JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-A-2008-509967, Specific examples include carbazole oxime ester compounds described in JP2009-040762A and JP2011-80036A.

このような光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。感光性熱硬化性樹脂組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱反応性化合物100質量部に対して0.1〜40質量部であり、さらに好ましくは、0.1〜30質量部である。0.1質量部以上の場合、光照射部/未照射部の耐現像性のコントラストを良好に得ることができる。また、40質量部以下の場合、硬化物特性が向上する。   Such a photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The blending amount of the photobase generator in the photosensitive thermosetting resin composition is preferably 0.1 to 40 parts by mass, more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermoreactive compound. Part by mass. In the case of 0.1 parts by mass or more, the development resistance contrast of the light irradiated part / non-irradiated part can be favorably obtained. Moreover, in 40 mass parts or less, hardened | cured material characteristic improves.

(熱反応性化合物)
樹脂層(B)において用いる熱反応性化合物は、熱による硬化反応が可能な官能基を有する樹脂であり、好ましくは、環状(チオ)エーテル基を有する樹脂であり、より好ましくは、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。なお、環状(チオ)エーテル基とは、環状エーテル基及び環状チオエーテル基のうちの少なくともいずれか1方を意味する。
(Thermo-reactive compound)
The heat-reactive compound used in the resin layer (B) is a resin having a functional group capable of undergoing a curing reaction by heat, preferably a resin having a cyclic (thio) ether group, more preferably an epoxy resin, Examples include polyfunctional oxetane compounds. The cyclic (thio) ether group means at least one of a cyclic ether group and a cyclic thioether group.

上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。   The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule, and a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.

多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂、CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられる。   Polyfunctional epoxy compounds include bisphenol A type epoxy resin, brominated epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, hydantoin type epoxy resin, alicyclic ring Epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bixylenol type or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy Resin, diglycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene skeleton, glycidyl meta Acrylate copolymer epoxy resins, copolymerized epoxy resins of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, and a CTBN modified epoxy resin.

その他の液状2官能性エポキシ樹脂としては、ビニルシクロヘキセンジエポキシド、(3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、(3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート等の脂環族エポキシ樹脂を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Other liquid bifunctional epoxy resins include vinylcyclohexene diepoxide, (3 ′, 4′-epoxycyclohexylmethyl) -3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, and (3 ′, 4′-epoxy-6′-methyl). And alicyclic epoxy resins such as (cyclohexylmethyl) -3,4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

上記多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサンなどの水酸基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl -3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin, Poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenol Le ethers, calixarenes, calix resorcin arenes, or the like ethers of a resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

上記熱反応性化合物の配合量としては、アルカリ溶解性樹脂との当量比(カルボキシル基などのアルカリ溶解性基:エポキシ基などの熱反応性基)が1:0.1〜1:10であることが好ましい。このような配合比の場合、現像が容易となる。上記当量比は、1:0.2〜1:5であることがさらに好ましい。
その他、従来公知の熱硬化触媒、熱可塑性樹脂、無機充填剤、着色剤、有機溶剤などを適宜配合できる。
As a compounding quantity of the said thermoreactive compound, equivalent ratio (alkali-soluble groups, such as a carboxyl group: thermal-reactive groups, such as an epoxy group) with alkali-soluble resin is 1: 0.1 to 1:10. It is preferable. In such a blending ratio, development becomes easy. The equivalent ratio is more preferably 1: 0.2 to 1: 5.
In addition, conventionally known thermosetting catalysts, thermoplastic resins, inorganic fillers, colorants, organic solvents, and the like can be appropriately blended.

以下、実施例、比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例、比較例によって制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not restrict | limited by these Examples and a comparative example.

(実施例1,2、比較例1)
<イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂の合成例>
撹拌機、窒素導入管、分留環、冷却環を取り付けたセパラブル3つ口フラスコに、3,5−ジアミノ安息香酸を12.5g、2,2’−ビス[4―(4―アミノフェノキシ)フェニル]プロパンを8.2g、NMPを30g、γ−ブチロラクトンを30g、4,4’オキシジフタル酸無水物を27.9g、トリメリット酸無水物を3.8g加え、窒素雰囲気下、室温、100rpmで4時間撹拌した。次いでトルエンを20g加え、シリコン浴温度180℃、150rpmでトルエン及び水を留去しながら4時間撹拌してイミド環を有するアルカリ溶解性樹脂溶液を得た。
Examples 1 and 2 and Comparative Example 1
<Synthesis example of an alkali-soluble resin having an imide ring>
In a separable three-necked flask equipped with a stirrer, nitrogen inlet tube, fractional ring, and cooling ring, 12.5 g of 3,5-diaminobenzoic acid, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] propane (8.2 g), NMP (30 g), γ-butyrolactone (30 g), 4,4′-oxydiphthalic anhydride (27.9 g) and trimellitic anhydride (3.8 g) were added at room temperature under a nitrogen atmosphere at 100 rpm. Stir for 4 hours. Next, 20 g of toluene was added and stirred for 4 hours while distilling off toluene and water at a silicon bath temperature of 180 ° C. and 150 rpm to obtain an alkali-soluble resin solution having an imide ring.

<樹脂組成物の調製>
下記表1記載の配合に従って、実施例に記載の材料をそれぞれ配合、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルにて混練し、樹脂層(A)及び(B)用の樹脂組成物を調製した。表中の値は、特に断りが無い限り、質量部である。
<Preparation of resin composition>
In accordance with the formulation shown in Table 1 below, the materials described in the examples were respectively blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare resin compositions for the resin layers (A) and (B). did. The values in the table are parts by mass unless otherwise specified.

<樹脂層(A)の形成工程>
銅厚18μmで回路が形成されているフレキシブルプリント配線基材を用意し、メック社CZ−8100を使用して、前処理を行った。その後、前記前処理を行ったフレキシブルプリント配線板に、実施例1、2及び比較例1の樹脂組成物を夫々表1に示すコーティング方法にて乾燥後で25μmになるようにコーティングを行った。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、樹脂層(A)を形成した。
<Formation process of resin layer (A)>
A flexible printed wiring substrate in which a circuit was formed with a copper thickness of 18 μm was prepared, and pre-treatment was performed using MEC CZ-8100. Then, the flexible printed wiring board which performed the said pre-processing was coated so that it might become 25 micrometers after drying with the coating method shown in Table 1, respectively for the resin composition of Examples 1, 2 and Comparative Example 1. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer (A).

<樹脂層(B)の形成工程>
上記樹脂層(A)上に実施例1及び2の感光性熱硬化性樹脂組成物を表1に示すコーティング方法にて乾燥後で10μmになるようにコーティングを行った。その後、熱風循環式乾燥炉にて90℃/30分にて乾燥し、樹脂層(B)を形成した。なお、比較例1には、樹脂層(B)の形成は行わなかった。
<Formation step of resin layer (B)>
The photosensitive thermosetting resin compositions of Examples 1 and 2 were coated on the resin layer (A) by a coating method shown in Table 1 so as to have a thickness of 10 μm after drying. Then, it dried at 90 degreeC / 30 minutes with the hot-air circulation type drying furnace, and formed the resin layer (B). In Comparative Example 1, the resin layer (B) was not formed.

<現像性(パターニング)、硬化特性評価>
実施例1,2では、上記で得られた樹脂層(A)と(B)を備えるフレキシブルプリント配線板に対して、ORC社HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)にて表1に示す露光量でネガ型のパターン状に光照射した。次いで90℃で60分間加熱処理を行った。その後、30℃の、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液中に基材を浸漬して3分間現像を行い、現像性の可否を評価した。比較例1では、上記で得られた樹脂層(A)を備えるフレキシブルプリント配線板に対して、実施例1と同様に、現像性の可否を評価した。得られた結果を表1に示す。
<Developability (patterning) and evaluation of curing characteristics>
In Examples 1 and 2, with respect to the flexible printed wiring board provided with the resin layers (A) and (B) obtained above, the exposure amount shown in Table 1 with ORC HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) is used. Light was irradiated in a negative pattern. Next, heat treatment was performed at 90 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the substrate was immersed in a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. and developed for 3 minutes to evaluate the developability. In Comparative Example 1, the possibility of developability was evaluated in the same manner as in Example 1 for the flexible printed wiring board provided with the resin layer (A) obtained above. The obtained results are shown in Table 1.

次いで熱風循環式乾燥炉を用いて150℃/60分間熱処理を行い、パターン状の硬化塗膜を得た。得られた硬化塗膜に対し、MIT試験(R=0.38mm/宇部興産(株)製ユーピレックス12.5μmの基材使用)及び表面硬度試験(鉛筆硬度試験)を実施し、屈曲性及び表面硬度(耐衝撃性)を評価した。得られた結果を下記の表1に示す。   Next, heat treatment was performed at 150 ° C./60 minutes using a hot air circulation drying oven to obtain a patterned cured coating film. An MIT test (R = 0.38 mm / upilex 12.5 μm base material manufactured by Ube Industries, Ltd.) and a surface hardness test (pencil hardness test) were conducted on the obtained cured coating film, and the flexibility and surface Hardness (impact resistance) was evaluated. The obtained results are shown in Table 1 below.

Figure 2014228665
*1酸価86mgKOH/g Mw:10000
*2ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量:380)(三菱化学(株)製)
*3オキシム型光重合開始剤(BASF社製)
*4ビスフェノールF型エポキシアクリレート(日本化薬(株)製)
*5トリメチロールプロパンEO 変性トリアクリレート(東亞合成(株)製)
*6ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量:900)(三菱化学(株)製)
*7ビスフェノールA型エポキシ樹脂(分子量:500)(三菱化学(株)製)
*8アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤 (BASF社製)
Figure 2014228665
* 1 Acid value 86 mg KOH / g Mw: 10,000
* 2 Bisphenol A type epoxy resin (Molecular weight: 380) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 3 Oxime-type photopolymerization initiator (BASF)
* 4 Bisphenol F epoxy acrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
* 5 Trimethylolpropane EO modified triacrylate (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
* 6 Bisphenol A epoxy resin (Molecular weight: 900) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 7 Bisphenol A type epoxy resin (Molecular weight: 500) (Mitsubishi Chemical Corporation)
* 8 Acylphosphine oxide photopolymerization initiator (BASF)

表1に示す評価結果から、実施例1及び2のフレキシブルプリント配線板は、比較例1のフレキシブルプリント配線板と同様に微細なパターン形成が可能で、屈曲性及び耐衝撃性(表面硬度)については大幅に優れていることが分かる。   From the evaluation results shown in Table 1, the flexible printed wiring boards of Examples 1 and 2 can form a fine pattern similarly to the flexible printed wiring board of Comparative Example 1, and bendability and impact resistance (surface hardness). Can be seen to be significantly better.

1 フレキシブルプリント配線基材
2 銅回路
3 樹脂層
4 樹脂層
5 マスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible printed wiring board 2 Copper circuit 3 Resin layer 4 Resin layer 5 Mask

Claims (2)

フレキシブルプリント配線板上に、アルカリ現像型感光性樹脂組成物(A1)からなる樹脂層(A)を少なくとも一層形成する工程、
前記樹脂層(A)上に、イミド環を有するアルカリ溶解性樹脂、光塩基発生剤、及び熱反応性化合物を含む感光性熱硬化性樹脂組成物(B1)からなる樹脂層(B)を少なくとも一層形成する工程、
前記工程にて形成した樹脂層(A)と(B)に、パターン状に光を照射する工程、
前記工程にて光照射した樹脂層(A)と(B)を加熱する工程、及び、
前記光照射された樹脂層(A)と(B)をアルカリ現像して、カバーレイ、及びソルダーレジストのうちの少なくともいずれか一方を形成する工程、
を含むことを特徴とするフレキシブルプリント配線板の製造方法。
A step of forming at least one resin layer (A) made of the alkali-developable photosensitive resin composition (A1) on the flexible printed wiring board;
On the resin layer (A), at least a resin layer (B) comprising a photosensitive thermosetting resin composition (B1) containing an alkali-soluble resin having an imide ring, a photobase generator, and a heat-reactive compound. A step of forming one layer,
Irradiating the resin layers (A) and (B) formed in the step with light in a pattern;
Heating the resin layers (A) and (B) irradiated with light in the step; and
A step of alkali-developing the light-irradiated resin layers (A) and (B) to form at least one of a coverlay and a solder resist;
The manufacturing method of the flexible printed wiring board characterized by including.
請求項1に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法により製造されたことを特徴とするフレキシブルプリント配線板。   A flexible printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a flexible printed wiring board according to claim 1.
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