JP2014228490A - 変位計測装置及び変位計測方法 - Google Patents
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Description
前記第1及び第2の回折格子は、前記光源からの光線の進路に沿って配置され、相対移動可能であり、回折光をそれぞれ発生する。
前記第1の光センサは、前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による+n次回折光(nは1以上の自然数)の進路に沿う一組の回折光の干渉光を検出する。
前記第2の光センサは、前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による−n次回折光の進路に沿う一組の回折光の干渉光を検出する。
前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による+n次回折光(nは1以上の自然数)の進路に沿う一組の回折光の干渉光が第1の光センサで検出される。
前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による−n次回折光の進路に沿う一組の回折光の干渉光が第2の光センサで検出される。
そして、前記第1の光センサ及び前記第2の光センサにより得られた信号に基づき、前記格子線の方向に沿う軸周りの、前記第1及び前記第2の回折格子の相対的な回転の角度変位が算出される。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る変位計測装置の基本的な光学系の構成を模式的に示す図である。
回折光23:回折格子21の+1次回折光と回折格子22の0次光
回折光24:回折格子21の−1次回折光と回折格子22の0次光
回折光25:回折格子21の0次光と回折格子22の+1次回折光
回折光26:回折格子21の0次光と回折格子22の−1次回折光
図7は、本発明の第2の実施形態に係る変位計測装置の光学系を示す図である。本実施形態に係る変位計測装置内の光学部品の構成は、上記第1の実施形態に係る変位計測装置100の構成と実質的に同じである。異なる点は、演算回路40による処理である。図7に示すように、演算回路40は、第1のPD31及び第2のPD32のうちいずれか1つ、ここでは第1のPD31で得られた信号に基づき、回折格子21及び22の相対的なz方向の変位Δzを算出する。
図1を参照して、例えば第1の回折格子21に対して第2の回折格子22がz方向に変位すると、回折光23及び25のそれぞれの行路(光路)差が発生する。したがって、第1の回折格子21による回折光23と、第2の回折格子22による回折光25との干渉光27による干渉縞が発生する。第1のPD31は、この干渉縞の光量の変化を検出する。
図10は、回折格子21及び22間のチルト量Δθ(図1参照)に応じて、第1のPD31の受光領域に入射する干渉光27の変化を示す。チルト量が大きくなるにしたがって、干渉縞の発生が顕著になりその干渉縞の数が多くなる。図10の最も左の図では、チルトが発生しておらず、第1のPD31は、上述したように一様な光量の干渉光27を受けることができ、これによりz方向の回折格子21及び22間の変位の計測精度を一定に維持できる。しかし、例えば図10の右側2つの図のように、所定量以上のチルトが発生すると、第1のPD31の受光領域で受ける光量は安定せず、z方向の回折格子21及び22間の変位の計測精度が低下する。
図11は、基本的なチルトの補正処理のフローチャートを示す。この変位計測装置の電源ONとされると(ステップ101)、第1のPD31及び第2のPD32でそれぞれ干渉光27及び28が受光さることにより、演算回路40は、それらの電圧値を得る(ステップ102)。演算回路40は、それらの差分値を算出し(ステップ103)、その差分値が閾値T(図6参照)以下であるか否かを判定する(ステップ104)。差分値が閾値T以下である場合、チルト量が許容範囲内であるとして、演算回路40は、z方向の変位を計測する(ステップ107)。
図12は、回折格子対20のうち第1の回折格子21及び第2の回折格子22のうちいずれか1つを駆動することによりチルトを調整する調整機構を示す斜視図である。図13は、その平面図である。これらの図の例では、第1の回折格子21は固定であり、第2の回折格子22を調整機構60が駆動する構成となっている。
上記調整機構を用いる形態に限られず、演算回路40はソフトウェアによりチルトを補正してもよい。図16は、この補正処理を示すフローチャートである。例えば、演算回路40は、図8に示したように、チルトが発生していない状態の第1のPD31の検出信号Sと変位量との関係をメモリしておく(ステップ200)。このステップ200は、装置の設計段階や製造段階で行われればよい。ステップ201〜205は、上記ステップ101〜105と同様である。
20…回折格子対
21…第1の回折格子
21a、22a…格子線
22…第2の回折格子
22a…格子線
23、25…+n次(+1次)回折光
24、26…−n次(−1次)回折光
27、28…干渉光
30…直進光
31…第1のPD
32…第2のPD
40…演算回路
51、52…実装基板
54…スリット
55(55a、55b、55c)…孔部
60、70…調整機構
65…駆動部
67…圧電アクチュエータ
100…変位計測装置
Claims (10)
- 光源と、
前記光源からの光線の進路に沿って配置され、相対移動可能であり、回折光をそれぞれ発生する第1の回折格子及び第2の回折格子と、
前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による+n次回折光(nは1以上の自然数)の進路に沿う一組の回折光の干渉光を検出する第1の光センサと、
前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による−n次回折光の進路に沿う一組の回折光の干渉光を検出する第2の光センサと
を具備する変位計測装置。 - 請求項1に記載の変位計測装置であって、
前記第1の光センサ及び前記第2の光センサにより得られた信号に基づき、前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子のそれぞれの格子線の方向に沿う軸周りの、前記第1及び前記第2の回折格子の相対的な回転の角度変位を算出する処理部をさらに具備する
変位計測装置。 - 請求項2に記載の変位計測装置であって、
前記処理部は、前記第1及び前記第2の光センサで得られた信号の差分値に基づき、前記角度変位を算出する
変位計測装置。 - 請求項2または3に記載の変位計測装置であって、
前記処理部は、前記第1及び前記第2の光センサのうちいずれか1つにより得られた信号に基づき、前記第1及び前記第2の回折格子の光軸に沿う方向の変位を検出する
変位計測装置。 - 請求項4に記載の変位計測装置であって、
前記処理部は、前記角度変位を補正する処理を実行する
変位計測装置。 - 請求項5に記載の変位計測装置であって、
前記処理部は、前記算出した角度変位が閾値を超えるか否かを判定し、前記角度変位が前記閾値を超える場合、前記角度変位を補正する処理を実行する
変位計測装置。 - 請求項5に記載の変位計測装置であって、
前記処理部は、前記それぞれの検出値の差分が閾値を超える場合、前記角度変位を補正する処理を実行する
変位計測装置。 - 請求項5から7のうちいずれか1項に記載の変位計測装置であって、
前記角度変位の方向に前記第1または前記第2の回折格子を回転させる調整機構をさらに具備し、
前記処理部は、前記算出した角度変位に基づき、前記調整機構を制御する
変位計測装置。 - 請求項1から8のうちいずれか1項に記載の変位計測装置であって、
前記第1の光センサは、前記第1の回折格子から発生する0次光が前記第2の回折格子に入射することで発生する前記第2の回折格子の+1次回折光と、前記第1の回折格子から発生する+1次回折光が前記第2の回折格子に入射して前記第2の回折格子から発生する0次光との干渉光を検出し、
前記第2の光センサは、前記第1の回折格子から発生する0次光が前記第2の回折格子に入射することで発生する前記第2の回折格子の−1次回折光と、前記第1の回折格子から発生する−1次回折光が前記第2の回折格子に入射して前記第2の回折格子から発生する0次光との干渉光を検出する
変位計測装置。 - 光源からの光線の進路に沿って配置され、相対移動可能であり、同じ方向に格子線を有し、回折光をそれぞれ発生する第1の回折格子及び第2の回折格子を用いて、変位を計測する方法であって、
前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による+n次回折光(nは1以上の自然数)の進路に沿う一組の回折光の干渉光を第1の光センサで検出し、
前記第1の回折格子及び前記第2の回折格子で発生した回折光のうち、前記第1の回折格子による−n次回折光の進路に沿う一組の回折光の干渉光を第2の光センサで検出し、
前記第1の光センサ及び前記第2の光センサにより得られた信号に基づき、前記格子線の方向に沿う軸周りの、前記第1及び前記第2の回折格子の相対的な回転の角度変位を算出する
変位計測方法。
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JPS55101804A (en) * | 1979-01-31 | 1980-08-04 | Toshiba Corp | Positioning apparatus |
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