JP2014216601A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
最近、被処理物を熱処理するために必要な光のエネルギー量が増大しつつある。これに伴い、熱処理装置においては、各光照射部におけるフラッシュランプに電力を供給するコンデンサとして、容量が大きいものを用いることが必要となる。
このような大容量のコンデンサを備えた熱処理装置においては、コンデンサから光照射部におけるフラッシュランプに電力を供給することにより、当該フラッシュランプを点灯すると、当該光照射部の温度は、当該フラッシュランプからの光によるエネルギーによって大きく上昇し、その後、降下する。そして、各光照射部においては樹脂材料などが利用されているため、光照射部の温度が樹脂材料の耐熱温度を超えるときには、当該光照射部の温度が適宜の温度に降下するまで、フラッシュランプの点灯を待機することが必要となる。ここで、2つの光照射部の点灯動作を交互に行うことにより、一方の光照射部の点灯動作を実行している間に、他方の光照射部の冷却を十分に行うことができれば、問題はない。
前記複数の光照射部には、それぞれ温度測定手段が設けられており、
前記制御部は、前記複数の光照射部のいずれかの判断用温度が、予め設定された動作制御温度に達したときに、前記判断用温度が前記動作制御温度に達していない他の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯するものであることを特徴とする。
また、前記制御部は、前記光照射部の前記判断用温度が前記動作制御温度に達する前において、前記光照射部の各々を点灯したときの当該光照射部の予測温度を求め、これらの予測温度のうち最も低い温度の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯するものであることが好ましい。
図1は、本発明の熱処理装置の一例における構成を示す説明図である。この熱処理装置は、それぞれ複数の棒状のフラッシュランプ15を有する第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bと、第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bの各々に電力を供給する共通のコンデンサ(図示省略)を有する電力供給部20と、第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bにおけるフラッシュランプ15の各々のトリガー棒(図示省略)に電圧を印加するトリガー回路25と、電力供給部20およびトリガー回路25を制御する制御部30とを備えてなる。
このチャンバ11には、それぞれチャンバ11の外部からランプ収納室S1に通ずる吸気口12および排気口13が形成されている。そして、熱処理装置の作動時には、吸気口12および排気口13を介して、チャンバ11におけるランプ収納室S1内に冷却風Rが流通される。
また、チャンバ11におけるランプ収納室S1および処理室S2は、フラッシュランプ15からの光を透過する、例えば石英ガラスよりなる光透過窓部材14によって仕切られている。
また、ランプ収容室S1には、当該ランプ収容室S1内の温度を測定する温度測定手段16が配置されている。
チャンバ11における処理室S2におけるフラッシュランプ15の下方位置には、被処理物Wが載置される載置台17が設けられている。
また、第1の光照射部10aにおけるプラッシュランプ15の数は、例えば30本である。
記憶部31に記憶される動作制御温度T0 は、フラッシュランプ15の具体的な仕様などによって異なるが、例えば60〜65℃の範囲で選択されることが好ましい。
記憶部31に記憶された非常時点灯パターンP2は、第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bのいずれかの判断用温度が動作制御温度T0 に達したときに、判断用温度が動作制御温度T0 に達していない第1の光照射部10aまたは第2の光照射部10bを選択して当該フラッシュランプ15を点灯する動作を行う点灯パターンである。
また、図6は、制御部30による第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bの点灯動作の制御フロー図である。
そして、この常時点灯パターンP1に従って、第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bのいずれかを選択して当該フラッシュランプ15を点灯する動作を、第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bの各々について順次繰り返すことにより、第1の光照射部10aおよび第2の光照射部10bの各々における載置台17に載置された被処理物Wの熱処理が実行される。
(1)図1に示す熱処理装置は、2つの光照射部を有するものであるが、本発明の熱処理装置は、3つ以上の光照射部を有するものであってもよい。このような熱処理装置においては、判断用温度が動作制御温度T0 に達していない光照射部の各々を点灯したときの当該光照射部の予測温度を求め、複数の光照射部のいずれかの判断用温度が動作制御温度に達したときに、光照射部の予測温度のうち最も低い温度の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯することが好ましい。ここで、光照射部の予測温度は、当該光照射部の判断用温度が動作制御温度T0 に達する前において、温度測定手段によって測定された測定値に基づいて求めることができる。このような構成によれば、判断用温度が動作制御温度T0 に達していない複数の光照射部のうち一の光照射部の温度が他の光照射部の温度よりも大きく上昇することを抑制することができる。
(2)温度測定手段による光照射部の温度の測定は、フラッシュランプの点灯直後に限定されず、例えばコンデンサの充電が終了した直後であってもよい。
(3)光照射部の判断用温度が動作制御温度T0 に達する前においては、第1の光照射部の点灯動作および第2の光照射部の点灯動作を交互に行うよう制御することは必須ではない。
例えば第1の光照射部の点灯動作を2回連続して行った後、第2の光照射部の点灯動作を2回連続して行うよう制御してもよい。
また、光照射部の各々を点灯したときの当該光照射部の予測温度を求め、これらの予測温度のうち最も低い温度の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯するよう制御してもよい。ここで、光照射部の予測温度は、当該光照射部の判断用温度が動作制御温度T0 に達する前において、温度測定手段によって測定された測定値に基づいて求めることができる。このような構成によれば、複数の光照射部のうち一の光照射部の温度が他の光照射部の温度よりも大きく上昇することを抑制することができる。
10b 第2の光照射部
11 チャンバ
12 吸気口
13 排気口
14 光透過窓部材
15 フラッシュランプ
16 温度測定手段
17 載置台
20 電力供給部
25 トリガー回路
30 制御部
31 記憶部
32 ランプ点灯制御部
33 判断部
R 冷却風
S1 ランプ収納室
S2 処理室
W 被処理物
Claims (3)
- 被処理物に光を照射することによって当該被照射物を加熱するフラッシュランプをそれぞれに有する複数の光照射部と、これらの光照射部の各々に電力を供給する共通のコンデンサを有する電力供給部と、この電力供給部を制御する制御部とを備えてなり、前記複数の光照射部のうち一の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯する動作を、前記複数の光照射部の各々について順次繰り返すことにより、前記被処理物の熱処理を実行する熱処理装置であって、
前記複数の光照射部には、それぞれ温度測定手段が設けられており、
前記制御部は、前記複数の光照射部のいずれかの判断用温度が、予め設定された動作制御温度に達したときに、前記判断用温度が前記動作制御温度に達していない他の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯するものであることを特徴とする熱処理装置。 - 前記判断用温度は、前記温度測定手段による測定値、または前記温度測定手段による過去の測定値から予測される予測値であることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記制御部は、前記光照射部の前記判断用温度が前記動作制御温度に達する前において、前記光照射部の各々を点灯したときの当該光照射部の予測温度を求め、これらの予測温度のうち最も低い温度の光照射部を選択して当該フラッシュランプを点灯するものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の熱処理装置。
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