JP2014211362A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 吸収スペクトルにおいて吸収ピークを呈するターゲットガスが供給される空間と、
   少なくとも前記吸収ピークに属する波長の光を生成可能である光源と、
   前記光源から放射されて前記空間を伝播した光を検出可能である光検出部と、を備えるガス検出装置であって、
   前記吸収スペクトルの前記吸収ピークに対して透過スペクトルの透過ピークが波長軸上で重畳するように複数の光学的開口が規則的に配置され、前記光源からの光を受けて表面プラズモンポラリトンが励起されて前記光学的開口の間隔に応じた前記透過ピークの光を透過する導電性薄膜と、
   前記光源から放射された光の前記空間への伝播を中継する、若しくは前記光源から放射されて前記空間を伝播した光の前記光検出部への伝播を中継する窓材を更に備え、
   前記導電性薄膜が、少なくとも前記光源から前記光検出部に至る光路上の前記窓材上に設けられ、かつ前記空間内の前記ターゲットガスに接触可能に設けられる、ガス検出装置。
2. 前記複数の光学的開口は、前記導電性薄膜の平面において互いに直交関係の第１及び第２方向に沿って所定間隔をあけて２次元状に配置される、請求項１に記載のガス検出装置。
3. 前記複数の光学的開口が、前記第１方向に沿って前記光学的開口が配置された第１及び第２光学的開口列を含み、前記第２光学的開口列が、前記第１光学的開口列に対して前記第２方向に隣接して配置され、前記第２光学的開口列における前記光学的開口の配列位置が、前記第１光学的開口列における前記光学的開口の配列位置に対して前記所定間隔の半分の値だけ前記第１方向にシフトしている、請求項２に記載のガス検出装置。
4. 前記第１方向に沿って前記光学的開口が配置された光学的開口列において隣接する前記光学的開口同士の間隔と、当該光学的開口列における前記光学的開口に対して斜め方向において隣接する他の光学的開口列における前記光学的開口との間隔とが等しい、請求項２又は３に記載のガス検出装置。
5. 前記複数の光学的開口は、各々、三角格子の構成単位の三角形の頂点に対応する位置に設けられる、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のガス検出装置。
6. 前記導電性薄膜が、銀、金、銅、クロム、アルミニウム、及び鉄から成る群から選択される、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のガス検出装置。
7. 前記空間が、ガス導入部及びガス排出部を有するガスセルにより画定される、請求項１乃至６のいずれか一項に記載のガス検出装置。
8. 前記空間が、ガス導入部及びガス排出部を有するガスセルにより画定され、当該ガスセルの反射性の内面には前記導電性薄膜が設けられる、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のガス検出装置。
9. 前記空間が、反射性の球面により画定され、当該球面上に前記導電性薄膜が設けられる、請求項１乃至８のいずれか一項に記載のガス検出装置。