JP2014203837A - キーパターン検出方法、及び、アライメント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
即ち、図9及び図10に示すように、ワークピース上でキーパターンを検出するキーパターン検出方法であって、登録用ワークピースWtの撮像画像30Cを取得して撮像画像30Cに含まれる特定の領域で定義されるテンプレート画像30Cを取得するテンプレート画像形成ステップと、テンプレート画像30Cに複数の画像処理をそれぞれ施して複数のテンプレート候補画像Tx1を形成するテンプレート候補形成ステップと、処理用ワークピースWs上を撮像して処理用ワークピース撮像画像30Aを取得し、処理用ワークピース撮像画像30Aに対し、複数のテンプレート候補画像T1〜T30を用いてパターンマッチングを実施して、最も高い相関性を得られた領域をキーパターンKp1として検出するパターンマッチングステップと、を備えたキーパターン検出方法とするものである。
5 制御装置
5m メモリ
15A デバイス
30A 撮像画像
30B 撮像画像
30C 撮像画像
P パターン
Pk キーパターン
S1 フィルタ処理
S2 2値化処理
Tm テンプレート画像
T3 テンプレート候補画像
Tp ターゲットパターン
Ws 処理用ワークピース
Wt 登録用ワークピース
Claims (4)
- ワークピース上でキーパターンを検出するキーパターン検出方法であって、
登録用ワークピースの撮像画像を取得して該撮像画像に含まれる特定の領域で定義されるテンプレート画像を取得するテンプレート画像形成ステップと、
該テンプレート画像に複数の画像処理をそれぞれ施して複数のテンプレート候補画像を形成するテンプレート候補形成ステップと、
処理用ワークピース上を撮像して処理用ワークピース撮像画像を取得し、該処理用ワークピース撮像画像に対し、複数の該テンプレート候補画像を用いてパターンマッチングを実施して、最も高い相関性を得られた領域をキーパターンとして検出するパターンマッチングステップと、
を備えたキーパターン検出方法。 - 前記画像処理は、複数のエッジ検出処理と複数の閾値における二値化処理との組み合わせから少なくともなる、
ことを特徴とする請求項1に記載のキーパターン検出方法。 - 前記パターンマッチングステップでは、前記処理用ワークピース撮像画像に複数の該画像処理をそれぞれ施し、該画像処理が施された複数のワークピース撮像画像に対して複数の該テンプレート候補画像をパターンマッチングさせる、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のキーパターン検出方法。 - 請求項1〜3に記載のキーパターン検出方法を使用してワークピースを被整列物に対して整列させるアライメント方法であって、
前記処理用ワークピースは、第一方向に整列した少なくとも2以上のキーパターンを有し、
前記パターンマッチングステップでは、該処理用ワークピースの該第一方向の第一の位置において、該処理用ワークピース撮像画像を形成し、該処理用ワークピース撮像画像に対し、複数の該テンプレート候補画像を用いてパターンマッチングを実施して、最も高い相関性を得られた領域を第一キーパターンとして検出する第一キーパターン検出ステップと、
該処理用ワークピースの該第一方向の第二の位置において、該処理用ワークピース撮像画像を形成し、該処理用ワークピース撮像画像に対し複数の該テンプレート候補画像を用いてパターンマッチングを実施して、最も高い相関性を得られた領域を二キーパターンとして検出する第二キーパターン検出ステップと、
該第一キーパターン検出ステップと該第二キーパターン検出ステップとを実施した後、該第一キーパターンと該第二キーパターンとが一直線上に配置されるように被整列物に対して処理用ワークピースを相対的に回転させる整列ステップと、
を備えたアライメント方法。
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