JP2014199949A - 撮像ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】実装後の回路基板と固体撮像素子との熱収縮差に起因する固体撮像素子の反りを低減することができること。【解決手段】本発明の一実施の形態において、撮像ユニット1は、固体撮像素子2と、固体撮像素子2と電気的に接続される複数の導電部4cを有し、固体撮像素子2の受光部2aを内部に収容して受光部2aとの接触を回避する凹部4aが形成された保護ガラス4と、固体撮像素子2の受光部2aに対応する開口部3aが形成され、受光部2aと開口部3aとを対向させた態様で複数の導電部4cを介して固体撮像素子2と電気的に接続されると共に、保護ガラス4における凹部4aが形成されていない側の面に接着されるプリント基板3と、保護ガラス4とプリント基板3との間に充填された接着剤5と、を備え、プリント基板3は、保護ガラス4を介して固体撮像素子2に接続される。【選択図】図1
Description
本発明は、CCDまたはCMOS等の固体撮像素子を備えた撮像ユニットに関し、特に、固体撮像素子の反りを低減可能な撮像ユニットの実装構造に関するものである。
従来から、デジタルカメラおよびデジタルビデオカメラを始め、被検体の臓器内部を観察するための内視鏡、撮像機能を備えた携帯電話機など、各種態様の電子撮像装置が登場している。電子撮像装置は、CCDまたはCMOSイメージセンサ等の固体撮像素子を備えた撮像ユニットを内蔵し、レンズ等の光学系によって固体撮像素子の受光部に被写体の光学像を結像し、この固体撮像素子の光電変換処理によって被写体の画像データを撮像する。
このような撮像ユニットの固体撮像素子は、一般に、受光部側のサブストレートに形成された複数の電極パッド上に金属バンプが各々固定されたベアチップ状態の素子であり、加熱処理等によって回路基板上にフリップチップ実装され、このような各金属バンプ等を介して回路基板の回路配線と電気的に接続される。また、このように固体撮像素子を実装後の回路基板には、この固体撮像素子の受光部を覆うように保護ガラスが接着剤等によって取り付けられる。この結果、回路基板上の固体撮像素子の受光部は、この保護ガラスの内側に封止される。
なお、このような撮像ユニットの従来例として、固体撮像素子チップを保護する保護キャップと同じ熱膨張係数の基板上に固体撮像素子チップを搭載し、このような保護キャップと基板との間に固体撮像素子チップを挟んだ態様で封止樹脂によってこれらを封止してなる固体撮像装置がある(特許文献1参照)。
ところで、フリップチップ実装等の実装技術によって回路基板に固体撮像素子を実装した場合、この実装工程における加熱処理によって、回路基板および固体撮像素子は、共に熱膨張しつつ接合される。その後、このような接合状態の回路基板および固体撮像素子は、常温まで温度低下しつつ、共に熱収縮する。しかしながら、このような回路基板および固体撮像素子の間には熱膨張係数に差があるため、これら両者の熱収縮に差が生じ、これに起因して、実装後の固体撮像素子に反りが発生するという問題点がある。
上述した固体撮像素子の反りは、固体撮像素子の受光部の平坦性を損なって被写体に焦点を合わせ難くなる等の固体撮像素子の撮像機能低下を招来する可能性がある。また、このような固体撮像素子の反りに起因する問題は、固体撮像素子の大型化および薄型化に伴って一層顕著になる。
なお、上述した特許文献1に記載の固体撮像装置では、配線基板と固体撮像素子チップとが電気的接合のためのバンプを介して接触した状態で樹脂封止されるので、この配線基板の熱収縮が固体撮像素子チップに作用してしまい、この結果、配線基板の熱収縮に起因する固体撮像素子チップの反りを低減することは困難である。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、実装後の回路基板と固体撮像素子との熱収縮差に起因する固体撮像素子の反りを低減することができる撮像ユニットを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる撮像ユニットは、固体撮像素子と、前記固体撮像素子と電気的に接続される複数の導電部を有し、前記固体撮像素子の受光部側の素子面を保護するとともに前記固体撮像素子の剛性を補強する保護ガラスと、前記固体撮像素子の受光部に対応する開口部が形成され、前記受光部と前記開口部とを対向させた態様で前記複数の導電部を介して前記固体撮像素子と電気的に接続される回路基板と、を備え、前記回路基板の熱収縮力は、前記保護ガラスによって補強された前記固体撮像素子の剛性に比して弱いことを特徴とする。
また、本発明にかかる撮像ユニットは、上記の発明において、前記固体撮像素子の熱膨張係数は、前記保護ガラスの熱膨張係数と同じであることを特徴とする。
また、本発明にかかる撮像ユニットは、上記の発明において、前記保護ガラスは、前記受光部との接触を回避する凹部が形成されたガラス部材であることを特徴とする。
また、本発明にかかる撮像ユニットは、上記の発明において、前記保護ガラスには、前記複数の導電部を配置する複数の貫通孔が形成され、前記導電部は、前記複数の貫通孔に充填される複数の導電性充填部材と、前記導電性充填部材と前記回路基板とを電気的に接続する複数の突起電極と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明にかかる撮像ユニットは、上記の発明において、前記保護ガラスは、前記固体撮像素子と前記回路基板との間に介在することを特徴とする。
本発明にかかる撮像ユニットでは、固体撮像素子と電気的に接続される複数の導電部を有して前記固体撮像素子の受光部側の素子面を保護する保護ガラスを前記固体撮像素子に取り付けて前記固体撮像素子の剛性を補強し、前記受光部と開口部とを対向させた態様で前記複数の導電部を介して前記固体撮像素子と電気的に接続される回路基板の熱収縮力が、前記保護ガラスによって補強された前記固体撮像素子の剛性に比して弱くなるようにしている。このため、実装後の回路基板と固体撮像素子との熱収縮差に起因する固体撮像素子の反りを低減できるという効果を奏する。
以下に、本発明にかかる撮像ユニットの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下では、本発明にかかる撮像ユニットの一例として、回路基板にフリップチップ実装した固体撮像素子を備える撮像ユニットを例示するが、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
(実施の形態)
図1は、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニットの一構成例を示す断面模式図である。図1に示すように、この実施の形態にかかる撮像ユニット1は、被写体の画像を撮像する固体撮像素子2と、固体撮像素子2をフリップチップ実装するプリント基板3と、この固体撮像素子2の剛性を補強するとともに受光部2aを保護する保護ガラス4と、固体撮像素子2とプリント基板3との実装強度を補強する接着剤5と、を備える。
図1は、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニットの一構成例を示す断面模式図である。図1に示すように、この実施の形態にかかる撮像ユニット1は、被写体の画像を撮像する固体撮像素子2と、固体撮像素子2をフリップチップ実装するプリント基板3と、この固体撮像素子2の剛性を補強するとともに受光部2aを保護する保護ガラス4と、固体撮像素子2とプリント基板3との実装強度を補強する接着剤5と、を備える。
固体撮像素子2は、CCDまたはCMOSイメージセンサ等に例示されるベアチップ状の半導体素子であり、被写体からの光を受光してこの被写体の画像を撮像する撮像機能を有する。具体的には、固体撮像素子2は、サブストレート等のチップ基板上に、被写体からの光を受光する受光部2aと、撮像動作を実行するための駆動回路が形成された駆動回路部2bと、駆動回路部2bと電気的に接続された複数の電極パッド2cとを備える。
受光部2aは、格子形状等の所定の形状に配置される画素群およびマイクロレンズ等を用いて実現され、固体撮像素子2のチップ基板上に形成される。駆動回路部2bは、このような受光部2aの周辺に形成される。複数の電極パッド2cは、固体撮像素子2のチップ基板に形成された配線(図示せず)を介して駆動回路部2bと電気的に接続される。なお、これら複数の電極パッド2cは、駆動回路部2bの周辺(例えば対向する2辺または4辺)に形成される。このような複数の電極パッド2cは、後述する保護ガラス4の導電部4cを介してプリント基板3と電気的に接続される。
上述したような構成を有する固体撮像素子2は、図1に示すように、保護ガラス4によって受光部2aおよび駆動回路部2bを保護された状態でプリント基板3の開口部3aと受光部2aとを対向させてプリント基板3上にフリップチップ実装される。このフリップチップ実装によって、固体撮像素子2の複数の電極パッド2cは、保護ガラス4の導電部4cを介してプリント基板3の配線層3bと電気的に接続される。このようにプリント基板3に実装された固体撮像素子2において、受光部2aは、プリント基板3の開口部3aおよび保護ガラス4を通過した被写体からの光を受光し、この受光した光を光電変換処理する。駆動回路部2bは、受光部2aによって光電変換処理された信号をもとに被写体の画像信号を生成し、この生成した画像信号を複数の電極パッド2c等を介してプリント基板3の配線層3bに出力する。
プリント基板3は、上述した固体撮像素子2の撮像機能を実現するための回路が形成された多層回路基板である。具体的には、図1に示すように、プリント基板3は、固体撮像素子2の撮像機能を実現するために必要な回路配線等がパターン形成された配線層3bを備える。また、プリント基板3の多層構造内には、上述した固体撮像素子2の受光部2aに対応する開口部3aが形成される。
開口部3aは、固体撮像素子2の受光部2aに対応して設計された開口寸法を有し、この受光部2aに対する被写体からの光の入射を可能にする。配線層3bは、上述したように固体撮像素子2の撮像機能を実現するために必要な回路配線等がパターン形成された導電層である。特に図1に図示しないが、この配線層3bには、固体撮像素子2上の保護ガラス4における複数の導電部4cに対応する複数の電極パッドが形成される。このような配線層3bの各電極パッドには、熱圧着技術または超音波接続技術等によって、これら複数の導電部4cの各突起電極4eが各々接続される。
なお、上述したような多層構造のプリント基板3は、外力の印加によって容易に変形可能である柔軟なフレキシブル回路基板であってもよいし、フレキシブル回路基板に比して変形し難いリジッド回路基板であってもよい。また、図1には、この実施の形態にかかる撮像ユニット1の一部分、具体的には固体撮像素子2およびその近傍が図示されている。すなわち、上述したプリント基板3の外形は、プレート状または帯状等の所望の外形に設計される。
保護ガラス4は、プリント基板3に実装される固体撮像素子2の受光部2a側の素子面を保護するとともに固体撮像素子2の剛性を補強するための透光性部材(より詳細には透明なガラス部材)であり、固体撮像素子2の受光部2aへの透光性および固体撮像素子2とプリント基板3との電気的接続を損なうことなく固体撮像素子2の受光部2aを封止する。具体的には、保護ガラス4は、固体撮像素子2と電気的に接続される複数の導電部4cを有する。また、保護ガラス4には、固体撮像素子2の受光部2aとの接触を回避する凹部4aと、これら複数の導電部4cを形成するための複数の貫通孔4bとが形成される。
凹部4aは、固体撮像素子2に固定する保護ガラス4と受光部2aとの接触を回避するために保護ガラス4に形成される。ここで、上述した固体撮像素子2において、受光部2aおよび駆動回路部2bは、例えば図1に示すようにシリコン基板上に少々突起している。凹部4aの形成サイズは、受光部2aおよび駆動回路部2bの突起範囲および突起高さを考慮して設定される。このような凹部4aを有する保護ガラス4は、図1に示すように、固体撮像素子2の受光部2a側の素子面に取り付けられた場合、凹部4aの内部に受光部2aおよび駆動回路部2bを収容して、これら両者との接触を回避する。この場合、固体撮像素子2の受光部2aおよび駆動回路部2bは、保護ガラス4の凹部4a内に気密封止される。
貫通孔4bは、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続する導電部4cを配置するためのものであり、プリント基板3の配線層3b上の電極パッド(図示せず)の配置に対応して保護ガラス4に複数形成される。これら複数の貫通孔4bは、固体撮像素子2の受光部2a側の素子面に保護ガラス4を固定した場合に、この固体撮像素子2における複数の電極パッド2cに通じる。
導電部4cは、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続するためのものであり、上述した複数の貫通孔4bに対応して保護ガラス4に設けられる。具体的には、複数の導電部4cの各々は、図1に示すように、貫通孔4bに充填される導電性充填材4dと配線層3bに接合される突起電極4eとを備える。
導電性充填材4dは、銀等の金属ペーストに例示される導電性の部材であり、固体撮像素子2に取り付けられた保護ガラス4の各貫通孔4bに充填される。この場合、導電性充填材4dは、貫通孔4bの底部をなす固体撮像素子2の電極パッド2cを貫通孔4b内に埋没させ且つ突起電極4eの外形サイズ以上の凹みを貫通孔4b内に形成しない程度に充填される。導電性充填材4dは、その露出面上に取り付けられた突起電極4eと固体撮像素子2の電極パッド2cとを電気的に接続する。
複数の突起電極4eは、上述したように保護ガラス4の複数の貫通孔4bに充填された各導電性充填材4dの露出面に固定され、導電性充填材4dとプリント基板3とを電気的に接続する。具体的には、複数の突起電極4eは、プリント基板3の配線層3bに形成された複数の電極パッド(図示せず)に接合され、この配線層3bと導電性充填材4dとを電気的に接続する。なお、突起電極4eは、ワイヤボンディング方式によって形成された金または銅等のスタッドバンプであってもよいし、めっき方式によって形成された金、銀、銅、インジウムまたは半田等の金属バンプであってもよい。また、突起電極4eは、金属ボールまたは表面に金属めっきを施した樹脂ボールであってもよいし、印刷等によってパターン形成された導電性接着剤であってもよい。
ここで、このような構成を有する保護ガラス4は、所定の厚みに形成されたに酸化ケイ素等を主成分とするガラス部材であり、シリコンを主成分とする半導体チップである固体撮像素子2と略同じ熱膨張係数を有する。このような保護ガラス4は、図1に示すように固体撮像素子2の受光部2a側素子面に取り付けられることによって、双方の間において剥離を招来する程の熱膨張係数差(熱膨張差および熱収縮差)を生じることなく、この固体撮像素子2の剛性を補強する。この場合、保護ガラス4は、固体撮像素子2の剛性をプリント基板3の熱収縮力に比して強い剛性に補強する。すなわち、上述したプリント基板3の熱収縮力は、保護ガラス4によって補強された固体撮像素子2の剛性に比して弱い。なお、保護ガラス4によって補強された固体撮像素子2の剛性は、固体撮像素子2の剛性と保護ガラス4の剛性とを加算した総合的な剛性である。
また、保護ガラス4は、図1に示すように固体撮像素子2とプリント基板3との間に介在し、プリント基板3の開口部3aを介して入射する被写体の光、すなわち固体撮像素子2の受光部2aが受光すべき光を受光部2a側に透過させる。さらに、保護ガラス4は、固体撮像素子2の受光部2a側への異物混入を防止する。なお、保護ガラス4は、固体撮像素子2の受光部2a側の素子面に、接着剤によって接着されてもよいし、双方の接触面に予め形成されたメタライズの加熱処理によって溶着されてもよい。以下、上述したように受光部2a側の素子面に保護ガラス4を固定した状態の固体撮像素子2を保護ガラス付の固体撮像素子2と称する。
接着剤5は、このような保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3とを確実に固定するためのものである。具体的には、接着剤5は、エポキシ系、フェノール系、シリコン系、ウレタン系またはアクリル系等の絶縁性接着剤である。接着剤5は、図1に示すように、固体撮像素子2の受光部2aとプリント基板3の開口部3aとの間の領域に進入しないように、フリップチップ実装後の保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との間隙に充填される。また、接着剤5は、このプリント基板3上の保護ガラス付の固体撮像素子2の周囲、実際には、この固体撮像素子2上の保護ガラス4の周囲に沿って裾野形状を形成する状態になるまで塗布される。これによって、接着剤5は、この保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との間隙を閉塞する。このように充填および塗布された接着剤5は、加熱処理または紫外線照射処理等によって硬化する。この結果、接着剤5は、保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3とを接着してこの保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との実装強度、すなわち保護ガラス4の各突起電極4eとプリント基板3の配線層3bとの接合強度を補強する。さらに、接着剤5は、この保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との間隙を介しての保護ガラス4上面への異物混入および受光部2aへの不要光の入射を防止する。
なお、接着剤5は、上述した絶縁性接着剤に限定されず、異方導電性接着剤であってもよい。この場合、接着剤5は、上述した保護ガラス付の固体撮像素子2のフリップチップ実装において、保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3とを接着するとともに、このフリップチップ実装された保護ガラス付の固体撮像素子2の各突起電極4eとプリント基板3の配線層3bとを各々電気的に接続する。一方、接着剤5が異方導電性接着剤である場合、上述した突起電極4eを用いずに各貫通孔4b内の導電性充填材4dと接着剤5とを直接接触させてもよい。この場合、接着剤5は、保護ガラス付の固体撮像素子2の各貫通孔4b内の導電性充填材4dとプリント基板3の配線層3bとを各々電気的に接続する。また、接着剤5は、上述した熱硬化型のものに限らず、紫外線硬化型の接着剤であってもよい。
つぎに、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニット1の製造方法について説明する。図2は、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニットの製造方法の一例を示すフローチャートである。図3は、固体撮像素子の受光部側素子面に保護ガラスを取り付ける状態を示す模式図である。図4は、固体撮像素子に取り付けた保護ガラスに複数の導電部を形成する状態を示す模式図である。図5は、プリント基板に保護ガラス付の固体撮像素子をフリップチップ実装する状態を示す模式図である。本発明の実施の形態にかかる撮像ユニット1は、上述した固体撮像素子2とプリント基板3と保護ガラス4とを撮像ユニット1の構成部品として予め準備し、接着剤5等を用いてこれらの各構成部品を組み合わせることによって製造される。
すなわち、図2に示すように、まず、固体撮像素子2に保護ガラス4を取り付ける(ステップS101)。このステップS101において、保護ガラス4は、図3に示すように、固体撮像素子2の受光部2aおよび駆動回路部2bが凹部4a内に収容され且つ固体撮像素子2の各電極パッド2cが各貫通孔4b内に収容される態様で固体撮像素子2の受光部2a側の素子面に接着または溶着される。この時点において、固体撮像素子2の受光部2aおよび駆動回路部2bは、保護ガラス4の凹部4a内に気密封止される。続いて、この固体撮像素子2に取り付けた保護ガラス4の各貫通孔4bに導電性充填材4dを各々充填し、その後、図4に示すように、各貫通孔4b内の導電性充填材4dに突起電極4eを加熱処理または超音波処理等によって各々取り付ける。この結果、固体撮像素子2上の保護ガラス4に複数の導電部4cが形成され、保護ガラス付の固体撮像素子2が製造される。
つぎに、ステップS101の工程によって製造された保護ガラス付の固体撮像素子2をプリント基板3にフリップチップ実装する(ステップS102)。このステップS102において、保護ガラス付の固体撮像素子2は、図5に示すように、プリント基板3にフリップチップ実装される。具体的には、プリント基板3は、保護ガラス4を介して固体撮像素子2の受光部2aと開口部3aとを対向させるとともに、この保護ガラス付の固体撮像素子2の各突起電極4eと配線層3b内の各電極パッドとを位置決めされる。続いて、このように位置決めされた各突起電極4eと配線層3bとを仮付けし、この仮付け後の保護ガラス付の固体撮像素子2およびプリント基板3である仮実装体をリフロー炉等の所定の加熱装置に投入し、この加熱装置によってこの仮実装体を加熱処理する。この仮実装体の加熱処理によって、保護ガラス付の固体撮像素子2の各突起電極4eは、プリント基板3の配線層3bに溶着接合され、この結果、保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3とのフリップチップ実装が達成される。この場合、保護ガラス付の固体撮像素子2は、保護ガラス4を介してプリント基板3の開口部3aと受光部2aとを対向させた状態でプリント基板3の配線層3bと電気的に接続される。
なお、このステップS102における保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との仮実装において、上述した位置決め後の保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3とに対して押圧処理または超音波処理等をさらに行って、このプリント基板3の配線層3bに保護ガラス付の固体撮像素子2の各突起電極4eを仮接合してもよい。
ここで、このフリップチップ実装後の状態において、保護ガラス付の固体撮像素子2は、保護ガラス4によって補強された剛性によってプリント基板3の熱収縮力に対抗する。この結果、保護ガラス付の固体撮像素子2は、このプリント基板3の熱収縮力に抗して反りを補正するとともに受光部2aを平坦な状態に維持している。
その後、ステップS102によるフリップチップ実装工程後の保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との間に接着剤5を充填する(ステップS103)。このステップS103において、接着剤5は、受光部2aとプリント基板3の開口部3aとの間の領域に進入しないようにフリップチップ実装後の保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との間隙に充填される。続いて、この保護ガラス付の固体撮像素子2とプリント基板3との間隙を閉塞するまで、この固体撮像素子2上の保護ガラス4の周囲に沿って裾野形状に塗布される(図1参照)。この接着剤5の充填工程によって、保護ガラス付の固体撮像素子2の各突起電極4eとプリント基板3の配線層3bとの接合強度は補強される。なお、接着剤5は、UV照射等によって常温硬化してもよいし、加熱処理によって熱硬化してもよい。
上述したステップS101〜S103の各製造工程を順次行うことによって、図1に示した構成を有する撮像ユニット1を製造することができる。このように製造された撮像ユニット1は、デジタルカメラおよびデジタルビデオカメラを始め、被検体の臓器内部を観察するための内視鏡、撮像機能を備えた携帯電話機等、各種態様の電子撮像装置に内蔵することができる。
つぎに、保護ガラス付の固体撮像素子2の反り低減作用について説明する。図6は、保護ガラスによる固体撮像素子の剛性補強によって固体撮像素子の反りを低減する状態を示す模式図である。この実施の形態にかかる撮像ユニット1における保護ガラス付の固体撮像素子2は、図2に示したステップS102において、プリント基板3が熱膨張する以前に、このプリント基板の配線層3bに仮実装される。その後、この仮実装後の保護ガラス付の固体撮像素子2は、加熱処理によってプリント基板3にフリップチップ実装される。
このステップS102において、プリント基板3は、このような加熱処理によって熱膨張し、その後、常温まで温度低下しつつ熱収縮する。この状態において、このプリント基板3上の保護ガラス付の固体撮像素子2は、プリント基板3の熱膨張力を受け、その後、図6に示すように、このプリント基板3の熱収縮力F1を受ける。ここで、保護ガラス4は、プリント基板3の剛性に比して強い剛性を有し、上述したようにプリント基板3の熱収縮力F1に比して強い剛性に固体撮像素子2の剛性を補強する。このような保護ガラス4は、このプリント基板3の熱収縮力F1に抗して、この自身の剛性に基づいた反作用力F2を固体撮像素子2に作用させる。なお、この反作用力F2は、保護ガラス付の固体撮像素子2に印加されるプリント基板3の熱収縮力F1に対抗する力である。
保護ガラス4は、上述したプリント基板3の熱収縮力F1に対抗する反作用力F2によって、温度低下時のプリント基板3の熱収縮変形に伴う固体撮像素子2の熱収縮変形を抑制し、これによって、この固体撮像素子2の熱収縮に起因する応力を十分に吸収する。この結果、保護ガラス4は、このような応力によって招来される固体撮像素子2の反りを低減する。このようにして、保護ガラス4は、加熱処理後、具体的にはプリント基板3へのフリップチップ実装後の固体撮像素子2の受光部2aの反りを補正し、これによって、この受光部2aを平坦な状態に維持する。
一方、保護ガラス4は、上述したように、所定の厚み(例えば固体撮像素子2に比して大きい厚み)に形成されたに酸化ケイ素等を主成分とするガラス部材であり、シリコンを主成分とする半導体チップである固体撮像素子2と略同じ熱膨張係数を有する。このため、上述したように固体撮像素子2に取り付けられた保護ガラス4は、その取付面すなわち受光部2a側の素子面から剥離する程の熱膨張係数差(熱膨張差および熱収縮差)を固体撮像素子2との間で生じることなく、この固体撮像素子2の剛性を補強することができる。
なお、保護ガラス4は、上述した保護ガラス付の固体撮像素子2のフリップチップ実装工程後における加熱処理(例えば、接着剤5の熱硬化処理等)の前後においても、同様に、プリント基板3の熱収縮力に抗して固体撮像素子2の反りを補正でき、この結果、このプリント基板3の熱収縮に起因する固体撮像素子2の受光部2aの反りを低減することができる。
以上、説明したように、本発明の実施の形態では、固体撮像素子と電気的に接続される複数の導電部を備えた保護ガラスを固体撮像素子の受光部側の素子面に取り付けて、この固体撮像素子の受光部側素子面を保護するとともに、この固体撮像素子の剛性を補強するように構成した。このため、この固体撮像素子の剛性を、加熱処理によってこの固体撮像素子を実装する回路基板の熱収縮力に比して強い剛性に補強することができ、この補強された剛性に基づく反作用力によって、回路基板の熱収縮変形に伴う固体撮像素子の熱収縮変形を抑制しつつ、この固体撮像素子の熱収縮に起因する応力を十分に吸収できる。この結果、加熱処理による実装後の回路基板と固体撮像素子との熱収縮差に起因する固体撮像素子の反りを低減することができる。
また、上述した保護ガラスの熱膨張係数と固体撮像素子の熱膨張係数とを略同じに設定しているため、固体撮像素子の受光部側素子面に取り付けた保護ガラスが剥離する程に大きい熱膨張係数差を固体撮像素子と保護ガラスとの間で発生させずに、この固体撮像素子の剛性を保護ガラスによって補強することができる。
なお、上述した実施の形態では、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続する導電部4cを形成するために、保護ガラス4の各貫通孔4bに導電性充填材4dを充填していたが、本発明は、これに限定されるものではない。図7は、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニットにおける導電部の変形例1の要部断面を示す模式図である。図8は、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニットにおける導電部の変形例2の要部断面を示す模式図である。
具体的には、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続する導電部は、保護ガラス4の各貫通孔4b内に内部配線をパターン形成して実現されてもよい。例えば図7に示すように、本発明の変形例1における保護ガラス4の貫通孔4bは、突起電極4eと固体撮像素子2の電極パッド2cとを電気的に接続するためのビアホールまたはスルーホールとして形成される。このような貫通孔4b内には、この電極パッド2cと電気的に接続され且つ一配線部分が貫通孔4bの外部に露出するように内部配線4fがパターン形成される。上述した突起電極4eは、このように貫通孔4bの外部に露出した内部配線4fの一部分に配置される。この変形例1にかかる撮像ユニットの導電部14cは、このような突起電極4eと内部配線4fとによって形成され、上述した実施の形態における導電部4cの場合と同様に、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続する。
一方、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続する導電部は、保護ガラス4の外壁に沿って外部配線をパターン形成して実現されてもよい。例えば図8に示すように、本発明の変形例2における保護ガラス4では、上述した貫通孔4bを形成せずに、突起電極4eと固体撮像素子2の電極パッド2cとを電気的に接続するための外部配線4gが保護ガラス4の外形に沿ってパターン形成される。上述した突起電極4eは、このようにパターン形成した外部配線4gの一配線部分に配置される。この変形例2にかかる撮像ユニットの導電部15cは、このような突起電極4eと外部配線4gとによって形成され、上述した実施の形態における導電部4cの場合と同様に、固体撮像素子2とプリント基板3とを電気的に接続する。
なお、上述した実施の形態では、先に固体撮像素子2に保護ガラス4を取り付け、その後、この保護ガラス付の固体撮像素子2をプリント基板3にフリップチップ実装していたが、これに限らず、予め導電部4cが形成された保護ガラス4をプリント基板3に実装し、その後、このプリント基板3上の保護ガラス4に固体撮像素子2を取り付けてもよい。
また、上述した実施の形態では、プリント基板3に保護ガラス付の固体撮像素子2をフリップチップ実装した場合を例示したが、これに限らず、プリント基板3に保護ガラス付の固体撮像素子2を銀ペ−スト材等の接着剤等によってダイボンディング実装し、このプリント基板3と保護ガラス付の固体撮像素子2とを金属ワイヤボンディング技術によって電気的に接続してもよい。
また、上述した実施の形態では、多層構造の回路基板であるプリント基板3を例示したが、これに限らず、本発明の実施の形態にかかる撮像ユニット内の回路基板は単層構造の回路基板であってもよい。
以上のように、本発明にかかる撮像ユニットは、CCDまたはCMOS等の固体撮像素子を備えた撮像ユニットに有用であり、特に、回路基板の熱収縮に起因する固体撮像素子の反りを低減することができる撮像ユニットに適している。
1 撮像ユニット
2 固体撮像素子
2a 受光部
2b 駆動回路部
2c 電極パッド
3 プリント基板
3a 開口部
3b 配線層
4 保護ガラス
4a 凹部
4b 貫通孔
4c,14c,15c 導電部
4d 導電性充填材
4e 突起電極
4f 内部配線
4g 外部配線
5 接着剤
2 固体撮像素子
2a 受光部
2b 駆動回路部
2c 電極パッド
3 プリント基板
3a 開口部
3b 配線層
4 保護ガラス
4a 凹部
4b 貫通孔
4c,14c,15c 導電部
4d 導電性充填材
4e 突起電極
4f 内部配線
4g 外部配線
5 接着剤
Claims (3)
- 固体撮像素子と、
前記固体撮像素子と電気的に接続される複数の導電部を有する保護ガラスであって、前記固体撮像素子の受光部を内部に収容して前記受光部との接触を回避する凹部が形成された保護ガラスと、
前記固体撮像素子の受光部に対応する開口部が形成され、前記受光部と前記開口部とを対向させた態様で前記複数の導電部を介して前記固体撮像素子と電気的に接続されると共に、前記保護ガラスにおける前記凹部が形成されていない側の面に接着される回路基板と、
前記保護ガラスと前記回路基板との間に充填された接着剤と、
を備え、
前記回路基板は、前記保護ガラスを介して前記固体撮像素子に接続されることを特徴とする撮像ユニット。 - 前記固体撮像素子の熱膨張係数は、前記保護ガラスの熱膨張係数と同じであることを特徴とする請求項1に記載の撮像ユニット。
- 前記保護ガラスには、前記凹部が形成された領域以外の領域に前記複数の導電部を配置する複数の貫通孔が形成され、
前記導電部は、
前記複数の貫通孔に充填される複数の導電性充填部材と、
前記導電性充填部材と前記回路基板とを電気的に接続する複数の突起電極と、
を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の撮像ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014136090A JP2014199949A (ja) | 2014-07-01 | 2014-07-01 | 撮像ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014136090A JP2014199949A (ja) | 2014-07-01 | 2014-07-01 | 撮像ユニット |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009213781A Division JP2011066093A (ja) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 撮像ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014199949A true JP2014199949A (ja) | 2014-10-23 |
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ID=52356647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014136090A Pending JP2014199949A (ja) | 2014-07-01 | 2014-07-01 | 撮像ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2014199949A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10335624A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 裏面照射型受光デバイス及びその製造方法 |
WO2005060004A1 (ja) * | 2003-12-18 | 2005-06-30 | Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. | 固体撮像装置、その生産方法、及びその固体撮像装置を備えるカメラ、並びに受光チップ |
-
2014
- 2014-07-01 JP JP2014136090A patent/JP2014199949A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JPH10335624A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 裏面照射型受光デバイス及びその製造方法 |
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