JP2014194433A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2014194433A5
JP2014194433A5 JP2014123221A JP2014123221A JP2014194433A5 JP 2014194433 A5 JP2014194433 A5 JP 2014194433A5 JP 2014123221 A JP2014123221 A JP 2014123221A JP 2014123221 A JP2014123221 A JP 2014123221A JP 2014194433 A5 JP2014194433 A5 JP 2014194433A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample cell
sample
trace gas
radiation beam
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014123221A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014194433A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US11/240,799 external-priority patent/US7372573B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2014194433A publication Critical patent/JP2014194433A/ja
Publication of JP2014194433A5 publication Critical patent/JP2014194433A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Claims (21)

  1. 微量気体を測定することができる測定装置において、
    第1の放射ビームの光源と、
    前記光源から前記第1の放射ビームを受け取り、干渉信号を含む第2の放射ビームを形成する干渉計と、
    前記干渉計と光学的に連通する試料セルであって、
    前記試料セルの第1の端部に凹面反射視野面と、
    前記試料セルの第2の端部に前記視野面に対向する関係の球状の凹面反射対物面とを備え、前記対物面が環状の輪郭を有し、前記環状の輪郭は、前記視野面と前記対物面のそれぞれの上の複数の反射を介し前記試料セルを通って伝播する前記第2の放射ビームの処理能力を最大にするために、少なくとも1つの平面で、環状の輪郭を有しない対物面からの反射に比べて前記第2の放射ビームの各々の反射の焦点の一致を高める、前記試料セルと、
    前記試料セルを通る周囲空気の試料の流れを確立する流れ機構と、
    前記試料セルと光学的に連通する冷却検出器であって、前記試料セル内の前記試料を通って伝播する前記干渉信号を受け取る冷却検出器と、
    前記冷却検出器と電気的に連通する処理装置であって、前記干渉信号から前記周囲空気の試料内の微量気体に対する吸収プロファイルを求める処理装置と、
    前記光源、前記干渉計、前記試料セル、前記冷却検出器、前記流れ機構、および前記処理装置がその中に配置される筐体とを備え、
    前記試料セルの容積及び前記第2の放射ビームの通過数が、前記周囲空気の試料内の500ppb未満の濃度を有する微量ガスを検出するために最適化され、
    前記測定装置は、スペクトルの一部分内で前記微量気体の存在を検出することができ、スペクトルの第2の部分が、前記微量気体の存在を確認するために又は前記微量気体の濃度レベルを求めるために分析されることができる、測定装置。
  2. 微量気体を光学的に測定する方法において、
    折返し経路を形成するように、第1の端部に視野面および第2の端部に対物面を対向する関係で含む試料セルを備える、携帯型吸収分光計を提供するステップと、
    前記試料セルを通して周囲空気の試料を流すステップと、
    前記携帯型吸収分光計の試料セルにより放射ビームを受けるステップと、
    前記周囲空気の試料内で濃度が500ppb未満の微量気体を検出するために、前記試料セル内を伝播する前記放射ビームの処理能力を最大にするように、前記試料セルの体積、および前記折返し経路内の放射ビームの通過数を最適化するステップと、
    スペクトルの一部分内で前記微量気体の存在を検出するステップと、
    スペクトルの第2の部分を分析して、前記微量気体の存在を確認するために又は前記微量気体の濃度レベルを求めるステップとを含む、方法。
  3. 前記視野面が凹面反射面を含み、前記対物面が実質的に球形の凹面反射面を含み、前記対物面が、前記試料セルの前記折返し経路を通って伝播する前記放射ビームの処理能力を最大にするために、少なくとも1つの平面で焦点の一致を高める円筒形構成部品を有する、請求項2に記載の方法。
  4. 前記試料領域内の前記試料を通って伝播する干渉信号から、前記微量気体に対する吸収プロファイルを求めるステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
  5. 前記微量気体を検出するために第1の分解能で第1の吸収スペクトルを測定するステップと、より高い分解能で第2の吸収スペクトルを測定するステップとをさらに含む、請求項2に記載の方法。
  6. 前記微量気体を検出するために第1の感度で前記スペクトルの一部分を測定するステップと、前記第1の感度より高い第2の感度で前記スペクトルの第2の部分を分析するステップとをさらに含む、請求項2に記載の方法。
  7. 外部要因としての脅威レベルが高い状態では、前記測定装置による走査の間隔を短くするステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
  8. 外部要因としての脅威レベルが低い状態では、前記測定装置による走査の間隔を長くするステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
  9. 前記冷却検出器が前記第2の放射ビームの第1の信号を測定し、続いて前記第2の放射ビームの第2の信号を測定し、前記処理装置が前記第1の信号及び前記第2の信号を結合して前記微量気体の存在を示す信号を決定する、請求項1に記載の測定装置。
  10. 前記微量気体の濃度が10ppb〜50ppbである、請求項1に記載の測定装置。
  11. 前記筐体が携帯型であり、また前記気体試料を含む周囲空気を取り入れるための、前記試料セルと流体的に連通する孔を画定する、請求項1に記載の測定装置。
  12. 前記筐体が、建物用の空調システムに取付け可能である、請求項1に記載の測定装置。
  13. 前記空調システム内の汚染物質の存在を警報するための警報装置をさらに含む、請求項12に記載の測定装置。
  14. 前記試料セルの体積が0.8リットル未満である、請求項1に記載の測定装置。
  15. 前記試料セルが、5メートル〜12メートルの経路長を含む、請求項1に記載の測定装置。
  16. 前記試料セルの気体交換率が、10秒の時間間隔で80%〜95%である、請求項1に記載の測定装置。
  17. 前記気体試料が、化学兵器薬剤、有毒無機化合物、または有毒有機化合物を含む、請求項1に記載の測定装置。
  18. 前記装置の応答時間が、50ppbの、サリン、タブン、ソマン、硫黄マスタード、およびVXのうちの少なくとも1つに対して20秒未満である、請求項1に記載の測定装置。
  19. 少なくとも前記試料セルを40℃〜180℃の温度まで加熱するために、前記筐体内に配置された加熱要素をさらに含む、請求項1に記載の測定装置。
  20. 前記冷却検出器が、高温で動作して前記冷却検出器の感度を低減する待機モードを有するとともに、外部要因によって誘発されると、前記冷却検出器の温度が低減されて、前記冷却検出器の感度を向上させることができる、請求項1に記載の測定装置。
  21. 前記外部要因が、前記微量気体の検出、脅威レベル、時刻、部屋内の人数、建物内の人数のうちの1つ以上である、請求項20に記載の測定装置。
JP2014123221A 2005-09-30 2014-06-16 微量気体を測定することができる装置 Pending JP2014194433A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/240,799 US7372573B2 (en) 2005-09-30 2005-09-30 Multigas monitoring and detection system
US11/240,799 2005-09-30

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012180932A Division JP2013015526A (ja) 2005-09-30 2012-08-17 微量気体を測定することができる装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014194433A JP2014194433A (ja) 2014-10-09
JP2014194433A5 true JP2014194433A5 (ja) 2014-11-20

Family

ID=38604534

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008541166A Active JP5108780B2 (ja) 2005-09-30 2006-09-29 複数気体監視および検出システム
JP2012180932A Pending JP2013015526A (ja) 2005-09-30 2012-08-17 微量気体を測定することができる装置
JP2014123221A Pending JP2014194433A (ja) 2005-09-30 2014-06-16 微量気体を測定することができる装置

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008541166A Active JP5108780B2 (ja) 2005-09-30 2006-09-29 複数気体監視および検出システム
JP2012180932A Pending JP2013015526A (ja) 2005-09-30 2012-08-17 微量気体を測定することができる装置

Country Status (8)

Country Link
US (3) US7372573B2 (ja)
EP (1) EP1949077B1 (ja)
JP (3) JP5108780B2 (ja)
KR (1) KR101098124B1 (ja)
CN (1) CN101389948B (ja)
DE (1) DE602006019125D1 (ja)
TW (1) TWI343995B (ja)
WO (1) WO2008051202A2 (ja)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7372573B2 (en) * 2005-09-30 2008-05-13 Mks Instruments, Inc. Multigas monitoring and detection system
US8462347B2 (en) * 2005-09-30 2013-06-11 Mks Instruments, Inc. Method and apparatus for siloxane measurements in a biogas
US9001335B2 (en) 2005-09-30 2015-04-07 Mks Instruments Inc. Method and apparatus for siloxane measurements in a biogas
DE102007024198A1 (de) * 2007-05-24 2008-11-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse
US7880890B2 (en) * 2007-11-14 2011-02-01 Block Engineering, Llc MEMS michelson interferometer and method of fabrication
WO2010005343A2 (en) * 2008-07-08 2010-01-14 Marat Vadimovich Evtukhov Rebreather respiratory loop failure detector
KR20110036945A (ko) * 2008-07-25 2011-04-12 상뜨르 나쇼날 드 라 러쉐르쉬 샹띠피끄 (쎄엔알에스) 주파수 빗 광원을 갖는 푸리에 변환 분광기
FR2934417B1 (fr) 2008-07-25 2010-11-05 Centre Nat Rech Scient Composants electroniques a encapsulation integree
EP2376892A4 (en) * 2008-12-10 2012-06-06 Alltech Associates Inc COMPONENTS SUITABLE FOR USE IN DEVICES SUCH AS AN EVAPORATIVE LIGHT DIFFUSION DETECTOR
US7952772B2 (en) * 2009-05-08 2011-05-31 Honeywell International Inc. Photonic crystal fiber sensor
US8467996B2 (en) 2011-02-09 2013-06-18 Jorge E Perez Spectral analysis operating system
JP5933034B2 (ja) * 2012-01-17 2016-06-08 エムケイエス インストゥルメンツ, インコーポレイテッド バイオガス中のシロキサンを測定するための方法及び装置
CN103245616B (zh) * 2012-02-14 2015-05-13 利得仪器股份有限公司 环境监测的光径量测反射装置
DE102012006047B3 (de) * 2012-03-27 2013-08-01 Deutsches Zentrum Für Luft- Und Raumfahrt Vorrichtung zur Ermittlung von Gaskonzentrationen
CN102636440B (zh) * 2012-04-16 2015-05-20 华南理工大学 基于n-气体模型的建材燃烧产烟毒性定量评价方法及系统
US10151685B2 (en) * 2012-04-16 2018-12-11 Sensor Electronic Technology, Inc. Ultraviolet-based gas sensor
US9625372B2 (en) * 2012-04-16 2017-04-18 Sensor Electronic Technology, Inc. Ultraviolet-based ozone sensor
US10859474B2 (en) 2013-02-28 2020-12-08 TricornTech Taiwan Real-time on-site gas analysis network for ambient air monitoring and active control and response
US20140295356A1 (en) * 2013-03-29 2014-10-02 Rosemount Analytical, Inc. In situ flue gas analyzer with improved process communication
GB2514387B (en) * 2013-05-22 2015-08-12 M Squared Lasers Ltd Maturation monitoring apparatus and methods
FI125907B (en) * 2013-09-24 2016-03-31 Vaisala Oyj Method and apparatus for measuring the concentration of gases dissolved in liquids
WO2015054594A1 (en) * 2013-10-11 2015-04-16 Precisive, LLC Systems and methods for pressure differential molecular spectroscopy of compressible fluids
US9894424B2 (en) 2014-03-14 2018-02-13 Scott Technologies, Inc. Method and system for converting between protocols
CN103852439A (zh) * 2014-03-28 2014-06-11 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种挥发性有机物监测设备及方法
EP3137877B1 (en) * 2014-04-14 2019-12-25 Koninklijke Philips N.V. Temperature compensation of gas sensors
EP3029451B1 (en) * 2014-12-01 2020-11-11 Yokogawa Electric Corporation Laser gas analyzer
DE102014226845B4 (de) * 2014-12-17 2016-11-03 Siemens Aktiengesellschaft Absorptionsspektrometer
WO2017031303A1 (en) * 2015-08-18 2017-02-23 University Of Cincinnati Analyte sensor and method of use
US11029292B2 (en) * 2016-04-08 2021-06-08 Mls Acq, Inc. Method for identification and quantification of siloxanes in gaseous stream
KR20180098468A (ko) 2017-02-25 2018-09-04 (주)세성 Ec센서 부가형 가변 광 경로형 ftir가스센서 및 그를 이용한 측정방법
KR20180098469A (ko) 2017-02-25 2018-09-04 (주)세성 가변 광 경로형 ftir 가스센서 및 그를 이용한 측정방법
DE102017117709A1 (de) 2017-08-04 2019-02-21 Carl Zeiss Jena Gmbh Musterbasierte spektroskopische Gasqualitätsüberwachung
CN108310965A (zh) * 2018-01-26 2018-07-24 昆山市年沙助剂有限公司 一种氮氧化物尾气处理装置
GB201812766D0 (en) * 2018-08-06 2018-09-19 Res & Innovation Uk Optical multi-pass cells
KR101960223B1 (ko) 2018-08-13 2019-03-20 (주)세성 자동 가변 광 경로형 ftir 혼합가스측정장치
US11187585B2 (en) * 2018-10-12 2021-11-30 Mls Acq, Inc. FTIR spectrometer with optical filter for low level gas detection such as formaldehyde and ethylene oxide
US10955294B2 (en) 2019-02-04 2021-03-23 Honeywell International Inc. Optical sensor for trace-gas measurement
FR3092665A1 (fr) * 2019-02-07 2020-08-14 IFP Energies Nouvelles Procede pour la mesure de la concentration en especes gazeuses dans un biogaz
JP2020183925A (ja) * 2019-05-09 2020-11-12 株式会社堀場エステック 吸光分析システム、吸光分析システム用プログラム、吸光分析装置、及び、吸光度測定方法
FI20195572A1 (en) * 2019-06-27 2020-12-28 Gasmet Tech Oy Back-to-back spectrometer arrangement
US10900838B1 (en) 2019-09-20 2021-01-26 Honeywell International Inc. Wavemeter system using a set of optical chips
GB2589367B (en) * 2019-11-29 2022-01-12 Thermo Fisher Scient Ecublens Sarl Improvements in optical emission spectrometry
CN111007012A (zh) * 2019-12-20 2020-04-14 北京航天益来电子科技有限公司 高温多反射样品池进气装置
WO2022261522A1 (en) * 2021-06-11 2022-12-15 Cam2 Technologies, Llc Handheld gas and vapor analyzer

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4183670A (en) 1977-11-30 1980-01-15 Russell Robert B Interferometer
DE3277983D1 (en) * 1981-03-02 1988-02-18 Ici Plc Method of and apparatus for monitoring gaseous pollutants
US4538910A (en) * 1982-09-30 1985-09-03 Laser Precision Corporation Dual beam fourier spectrometer
JPS6192859U (ja) * 1984-11-22 1986-06-16
JP3004750B2 (ja) * 1991-02-23 2000-01-31 株式会社堀場製作所 フーリエ変換赤外分光計を用いた定量分析方法
TW228568B (ja) 1991-08-30 1994-08-21 Forschungsanstalt Fur Luftund Raumfahrt E V Deutsche
JPH0656734U (ja) * 1993-01-09 1994-08-05 株式会社堀場製作所 分光分析装置
US5440143A (en) * 1994-02-25 1995-08-08 On-Line Technologies, Inc. Folded-path optical analysis gas cell
US5457316A (en) * 1994-12-23 1995-10-10 Pcp, Inc. Method and apparatus for the detection and identification of trace gases
US5541728A (en) 1995-04-03 1996-07-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Solid stationary interferometer fourier transform spectrometer
JPH09229858A (ja) * 1996-02-20 1997-09-05 Horiba Ltd 赤外線ガス分析計
JPH09269292A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Kurita Water Ind Ltd 大気中の微量有機物の分析装置
US5777735A (en) 1996-09-30 1998-07-07 Minnesota Mining And Manufacturing Company In situ analysis apparatus
GB2320155B (en) * 1996-12-03 2000-11-01 Chelsea Instr Ltd Method and apparatus for the imaging of gases
US5838008A (en) * 1996-12-18 1998-11-17 University Of Wollongong Method and apparatus for measuring gas concentrations and isotope ratios in gases
CN2290850Y (zh) * 1997-04-18 1998-09-09 张尧海 便携式红外线微量气体分析仪
US6266428B1 (en) * 1998-02-06 2001-07-24 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army System and method for remote detection of hazardous vapors and aerosols
CA2338875C (en) * 1998-07-30 2009-04-28 Ion Optics, Inc. Infrared radiation sources, sensors and source combinations, and methods of manufacture
JP3818051B2 (ja) * 1999-12-10 2006-09-06 昭和電工株式会社 アンモニア中の水分濃度の測定方法、測定装置、水分が低減されたアンモニアの製造方法およびその用途
SE0001732L (sv) * 2000-05-10 2001-11-11 Medair Ab Gaskänslig sensorenhet
JP2002139431A (ja) * 2000-11-01 2002-05-17 Kurita Water Ind Ltd 気体中の微量有機物の分析装置
JP2003107036A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス検出装置
US6784428B2 (en) 2001-10-01 2004-08-31 Ud Technology Corporation Apparatus and method for real time IR spectroscopy
CN1310022C (zh) * 2001-10-26 2007-04-11 北京航天益来电子科技有限公司 气态污染物微量抽取现场分析方法及装置
JP3537425B2 (ja) 2002-03-29 2004-06-14 日本パステック株式会社 複合分析装置
CN1659416A (zh) * 2002-07-08 2005-08-24 科罗拉多州立大学董事会 具有全息读出的光学嗅觉传感器
DE102004047677B4 (de) * 2004-09-30 2007-06-21 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Verfahren und System für die Kontaminationserkennung und Überwachung in einer Lithographiebelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben der gleichen unter gesteuerten atomsphärischen Bedingungen
US7372573B2 (en) * 2005-09-30 2008-05-13 Mks Instruments, Inc. Multigas monitoring and detection system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2014194433A5 (ja)
TWI343995B (en) Multigas monitoring and detection system, and related measuring method
US20090227287A1 (en) Cell Phone Based MEMS Fourier Transform Infrared (FTIR) Gas Sensors
CN203732449U (zh) 一种腔增强激光拉曼气体浓度检测装置
Li et al. Development and field deployment of a mid-infrared CO and CO2 dual-gas sensor system for early fire detection and location
KR101326237B1 (ko) 헤이지 상태에서 자외선 다축-차등흡수분광을 사용한 대기 에어로졸 원격 감지 장치 및 방법
CN104677792A (zh) 便携式空气品质判断装置
CN103499391A (zh) 光谱测量系统
CN107044958B (zh) 一种基于紫外宽带二级吸收光谱的氧气浓度测量系统的氧气浓度测量方法
EP2500712A3 (en) Gas concentration measuring apparatus
KR20170032735A (ko) 휴대단말기 탈착형 복합 유해가스 측정 장치 및 방법
Hu et al. Improvable method for Halon 1301 concentration measurement based on infrared absorption
CN105158184A (zh) 一种基于光学积分球的气体在线分析装置
JP2013542441A (ja) ナノ粒子検出器
CN204649607U (zh) 一种快速食品检测仪
CN108459005A (zh) 一种基于前向散射方向探测的激光气体拉曼光谱检测系统
JP2005114675A (ja) 吸光式分析計
JP2018091757A (ja) ガス検知装置
Choi et al. Visualizing indoor ozone exposures via o-dianisidine based colorimetric passive sampler
Huber et al. A selective, miniaturized, low-cost detection element for a photoacoustic CO2 sensor for room climate monitoring
US20200319096A1 (en) Laser imaging of gases for concentration and location identification
CN104458702A (zh) 一种基于拉曼光谱的便携式气体爆炸物识别仪
Shah et al. Development and characterization of NDIR-based CO2 sensor for manned space missions
CN214066923U (zh) 非分散红外长光程测量池联用测量气体系统
CN104062245A (zh) 食品中重金属含量快速检测仪