JP3537425B2 - 複合分析装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料ガスを光分析
装置及び質量分析装置により分析する複合分析装置に関
する。
装置及び質量分析装置により分析する複合分析装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、分析対象の試料ガスを内部に
導入し、その試料ガス中に透過された光の変化から試料
ガスを分析する例えばフーリエ変換赤外分光光度計（Ｆ
ＴＩＲ）といった光分析装置や、試料ガスを構成する成
分の質量を分析する質量分析装置などの分析装置が多種
提供され、これら個々の分析装置は、試料ガスの種類や
その分析の目的に応じて使い分けられている。
導入し、その試料ガス中に透過された光の変化から試料
ガスを分析する例えばフーリエ変換赤外分光光度計（Ｆ
ＴＩＲ）といった光分析装置や、試料ガスを構成する成
分の質量を分析する質量分析装置などの分析装置が多種
提供され、これら個々の分析装置は、試料ガスの種類や
その分析の目的に応じて使い分けられている。
【０００３】また、近年では、有毒ガスなどの化学兵器
（ＮＢＣ兵器）を用いたテロや犯罪が増加しているた
め、有毒ガスが発生している現場において、未知のガス
をあらゆる面から早急に分析することが望まれている。
（ＮＢＣ兵器）を用いたテロや犯罪が増加しているた
め、有毒ガスが発生している現場において、未知のガス
をあらゆる面から早急に分析することが望まれている。
【０００４】さらに、地球温暖化ガスや環境ホルモンや
土壌汚染物質などの地球環境汚染物質も近年増加傾向に
あり、このような地球環境の観点からも、未知のガスの
現場における早急な分析が望まれている。
土壌汚染物質などの地球環境汚染物質も近年増加傾向に
あり、このような地球環境の観点からも、未知のガスの
現場における早急な分析が望まれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような現場には、少なくとも光分析装置と質量分析装置
とが必要となることが多く、これらの分析装置の持運び
や、組み立てに手間がかかってしまうという問題があ
る。そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、少なくと
も光分析装置と質量分析装置とを組み合わせた持運び易
い複合分析装置を提供することを目的とする。
ような現場には、少なくとも光分析装置と質量分析装置
とが必要となることが多く、これらの分析装置の持運び
や、組み立てに手間がかかってしまうという問題があ
る。そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、少なくと
も光分析装置と質量分析装置とを組み合わせた持運び易
い複合分析装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、分析対象の試料ガスを内部に導入し、前記試料ガス
中に透過された光の変化から試料ガスを分析する光分析
装置と、分析された前記試料ガスを内部に導入し、前記
試料ガスを構成する成分の質量を分析する質量分析装置
と、少なくとも前記光分析装置及び質量分析装置を収納
する可搬型ケースとを備えたことを特徴とする。例え
ば、前記光分析装置は、フーリエ変換赤外分光光度計で
あり、前記質量分析装置は、飛行時間型質量分析装置で
ある。
に、分析対象の試料ガスを内部に導入し、前記試料ガス
中に透過された光の変化から試料ガスを分析する光分析
装置と、分析された前記試料ガスを内部に導入し、前記
試料ガスを構成する成分の質量を分析する質量分析装置
と、少なくとも前記光分析装置及び質量分析装置を収納
する可搬型ケースとを備えたことを特徴とする。例え
ば、前記光分析装置は、フーリエ変換赤外分光光度計で
あり、前記質量分析装置は、飛行時間型質量分析装置で
ある。
【０００７】また、前記光分析装置における内部に導入
された試料ガスを外部に導出する導出口を、前記質量分
析装置における試料ガスを内部に導入する導入口に略対
向させて接続し、試料ガスを、前記光分析装置から質量
分析装置へと分岐することなく導いても良い。
された試料ガスを外部に導出する導出口を、前記質量分
析装置における試料ガスを内部に導入する導入口に略対
向させて接続し、試料ガスを、前記光分析装置から質量
分析装置へと分岐することなく導いても良い。
【０００８】また、前記光分析装置は、試料ガス中に光
を透過させるために前記試料ガスを内部に満たすセル容
器を備え、前記質量分析装置は、前記光分析装置のセル
容器に密着して配設されるようにしても良い。
を透過させるために前記試料ガスを内部に満たすセル容
器を備え、前記質量分析装置は、前記光分析装置のセル
容器に密着して配設されるようにしても良い。
【０００９】ここで前記複合分析装置は、さらに、前記
試料ガスを光分析装置及び質量分析装置で分析する前
に、前記試料ガスを内部に導入して分析する前置分析装
置を、前記ケース内に備えても良い。例えば、前記前置
分析装置は、前記試料ガスを光音響法により分析する光
音響分析装置である。
試料ガスを光分析装置及び質量分析装置で分析する前
に、前記試料ガスを内部に導入して分析する前置分析装
置を、前記ケース内に備えても良い。例えば、前記前置
分析装置は、前記試料ガスを光音響法により分析する光
音響分析装置である。
【００１０】またこのとき、前記前置分析装置における
内部に導入された試料ガスを外部に導出する導出口を、
前記光分析装置における試料ガスを内部に導入する導入
口に略対向させて接続し、試料ガスを、前記前置分析装
置から、前記光分析装置を経て、質量分析装置へと分岐
することなく導いても良い。
内部に導入された試料ガスを外部に導出する導出口を、
前記光分析装置における試料ガスを内部に導入する導入
口に略対向させて接続し、試料ガスを、前記前置分析装
置から、前記光分析装置を経て、質量分析装置へと分岐
することなく導いても良い。
【００１１】そして前記複合分析装置は、さらに、前記
光分析装置及び質量分析装置並びに前置分析装置から出
力される信号に基づいて演算処理を行い、前記光分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記質量分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記前置分析装
置により分析された結果を表す図表とを表示する演算処
理手段を備えても良い。
光分析装置及び質量分析装置並びに前置分析装置から出
力される信号に基づいて演算処理を行い、前記光分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記質量分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記前置分析装
置により分析された結果を表す図表とを表示する演算処
理手段を備えても良い。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態におけ
る複合分析装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、複合分析装置の外観を示す外観構成図である。
この複合分析装置は、試料ガスを内部に導入してその試
料ガスの成分に応じた信号を出力する分析機器部Ａと、
分析機器部Ａからの出力信号に基づいて演算処理し分析
結果を出力する例えばノートパソコンなどの演算処理部
Ｂとからなる。
る複合分析装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、複合分析装置の外観を示す外観構成図である。
この複合分析装置は、試料ガスを内部に導入してその試
料ガスの成分に応じた信号を出力する分析機器部Ａと、
分析機器部Ａからの出力信号に基づいて演算処理し分析
結果を出力する例えばノートパソコンなどの演算処理部
Ｂとからなる。
【００１３】分析機器部Ａは、分析対象の試料ガスを内
部に導入し、その試料ガス中に透過された赤外光のスペ
クトル変化から試料ガスを分析するフーリエ変換赤外分
光光度計（以下「ＦＴＩＲ」という）１０と、試料ガス
を内部に導入し、その試料ガスを構成する成分の質量を
分析する質量分析装置（以下「ＭＳ」という）２０と、
光音響分析装置やＸ線分析装置などの分析装置からなる
フロントエンド部３０と、ＦＴＩＲ１０及びＭＳ２０並
びにフロントエンド部３０に電源を供給するバッテリー
４０と、前記分析装置１０，２０，３０及びバッテリー
４０を収納する可搬型のケース５０とから構成される。
ここで、バッテリー４０は、例えば二次電池や燃料電池
などからなる。
部に導入し、その試料ガス中に透過された赤外光のスペ
クトル変化から試料ガスを分析するフーリエ変換赤外分
光光度計（以下「ＦＴＩＲ」という）１０と、試料ガス
を内部に導入し、その試料ガスを構成する成分の質量を
分析する質量分析装置（以下「ＭＳ」という）２０と、
光音響分析装置やＸ線分析装置などの分析装置からなる
フロントエンド部３０と、ＦＴＩＲ１０及びＭＳ２０並
びにフロントエンド部３０に電源を供給するバッテリー
４０と、前記分析装置１０，２０，３０及びバッテリー
４０を収納する可搬型のケース５０とから構成される。
ここで、バッテリー４０は、例えば二次電池や燃料電池
などからなる。
【００１４】図２は、複合分析装置の機能ブロック図で
ある。図２に示すように、ＦＴＩＲ１０は、赤外光を出
力する赤外光源部１と、赤外光源部１から出力された赤
外光を干渉させるマイケルソン干渉計からなる干渉部２
と、試料ガスを内部に導入してこれを満たし、その試料
ガス中に、干渉部２から出力される赤外光を長光路に渡
って透過させるセル容器たる長光路ガスセル３と、赤外
光の強度を検出する赤外光検出器４と、少なくとも赤外
光検出器４からの出力結果をフーリエ変換して演算処理
部Ｂに出力するＤＳＰ（Digital SignalProcessor）５
とを備えている。
ある。図２に示すように、ＦＴＩＲ１０は、赤外光を出
力する赤外光源部１と、赤外光源部１から出力された赤
外光を干渉させるマイケルソン干渉計からなる干渉部２
と、試料ガスを内部に導入してこれを満たし、その試料
ガス中に、干渉部２から出力される赤外光を長光路に渡
って透過させるセル容器たる長光路ガスセル３と、赤外
光の強度を検出する赤外光検出器４と、少なくとも赤外
光検出器４からの出力結果をフーリエ変換して演算処理
部Ｂに出力するＤＳＰ（Digital SignalProcessor）５
とを備えている。
【００１５】ＭＳ２０は、ガスに含まれる各成分をイオ
ン化して飛び立たせ、一定距離までの飛行時間からその
成分毎の質量を測定する飛行時間型質量分析装置であっ
て、真空中で試料ガスの各成分をイオン化し、電界をか
けることで加速を与えてそのイオン成分を一定方向に放
出するイオン化部２２と、放出されたイオン成分を真空
中で飛行させることにより、各イオン成分をその質量ご
とに飛行時間に差をつけて分離する質量分離部２３と、
分離された各イオン成分を検出する検出器２４とで構成
される。
ン化して飛び立たせ、一定距離までの飛行時間からその
成分毎の質量を測定する飛行時間型質量分析装置であっ
て、真空中で試料ガスの各成分をイオン化し、電界をか
けることで加速を与えてそのイオン成分を一定方向に放
出するイオン化部２２と、放出されたイオン成分を真空
中で飛行させることにより、各イオン成分をその質量ご
とに飛行時間に差をつけて分離する質量分離部２３と、
分離された各イオン成分を検出する検出器２４とで構成
される。
【００１６】図３は、長光路ガスセル３とＭＳ２０の内
部構成図である。長光路ガスセル３の内部には、干渉部
２から出力された赤外光を反射する複数の反射鏡３ｃが
配設されており、その反射鏡３ｃの個数や位置は、赤外
光を試料ガス中に透過させる距離つまり光路長に応じて
設定されている。また光路長は、数［ｃｍ］〜数十
［ｍ］であって、試料ガスの量や流量に応じて決定され
る。例えば、試料ガスが微量であれば光路長を約２０
［ｍ］に設定する。
部構成図である。長光路ガスセル３の内部には、干渉部
２から出力された赤外光を反射する複数の反射鏡３ｃが
配設されており、その反射鏡３ｃの個数や位置は、赤外
光を試料ガス中に透過させる距離つまり光路長に応じて
設定されている。また光路長は、数［ｃｍ］〜数十
［ｍ］であって、試料ガスの量や流量に応じて決定され
る。例えば、試料ガスが微量であれば光路長を約２０
［ｍ］に設定する。
【００１７】一方、ＭＳ２０の質量分離部２３は、イオ
ン化部２２から放出されるイオン成分を通すためのドリ
フトチューブ２３ａと、ドリフトチューブ２３ａを通り
抜けたイオン成分の飛行方向と逆向きに力がかかるよう
に電場勾配を作るイオン反射器２３ｂとから構成され
る。また、ＭＳ２０は、検出器２４を２つ備えており、
その１つは、ドリフトチューブ２３ａとイオン反射器２
３ｂとの接合部付近に配置され、他の１つは、イオン反
射器２３ｂにおけるドリフトチューブ２３ａと反対側の
一端に配置されている。
ン化部２２から放出されるイオン成分を通すためのドリ
フトチューブ２３ａと、ドリフトチューブ２３ａを通り
抜けたイオン成分の飛行方向と逆向きに力がかかるよう
に電場勾配を作るイオン反射器２３ｂとから構成され
る。また、ＭＳ２０は、検出器２４を２つ備えており、
その１つは、ドリフトチューブ２３ａとイオン反射器２
３ｂとの接合部付近に配置され、他の１つは、イオン反
射器２３ｂにおけるドリフトチューブ２３ａと反対側の
一端に配置されている。
【００１８】イオン化部２２から放出されるイオン成分
は、質量が略等しいものであっても、初期位置や初速度
のばらつきなどにより、飛行時間に差が生じて分解能が
低下しまうことがあるが、このイオン反射器２３ｂを備
えたことで、ドリフトチューブ２３ａを通り抜けた速度
が速いイオン成分は、上述の電場勾配に逆らってイオン
反射器２３ｂの奥まで入り込んで跳ね返り、遠回りをし
てドリフトチューブ２３ａ近くに配置された検出器２４
に検出される一方、ドリフトチューブ２３ａを通り抜け
た速度が遅いイオン成分は、イオン反射器２３ｂの奥ま
で入り込まずに跳ね返り、近道をして上述と同様、ドリ
フトチューブ２３ａ近くに配置された検出器２４に検出
される。その結果、質量が略等しい各イオン成分は、初
速度などにばらつきがあっても、検出器２４で検出され
る時間、つまり飛行時間を略等しくすることができ、分
解能を向上することができる。
は、質量が略等しいものであっても、初期位置や初速度
のばらつきなどにより、飛行時間に差が生じて分解能が
低下しまうことがあるが、このイオン反射器２３ｂを備
えたことで、ドリフトチューブ２３ａを通り抜けた速度
が速いイオン成分は、上述の電場勾配に逆らってイオン
反射器２３ｂの奥まで入り込んで跳ね返り、遠回りをし
てドリフトチューブ２３ａ近くに配置された検出器２４
に検出される一方、ドリフトチューブ２３ａを通り抜け
た速度が遅いイオン成分は、イオン反射器２３ｂの奥ま
で入り込まずに跳ね返り、近道をして上述と同様、ドリ
フトチューブ２３ａ近くに配置された検出器２４に検出
される。その結果、質量が略等しい各イオン成分は、初
速度などにばらつきがあっても、検出器２４で検出され
る時間、つまり飛行時間を略等しくすることができ、分
解能を向上することができる。
【００１９】このような飛行時間型質量分析装置である
ＭＳ２０は、原理的に測定質量範囲に上限が無く、分子
量数万〜十数万のタンパク質のような高分子を測定する
ことができる。しかも、全体的にコンパクトで操作や保
守も簡単であり測定時間も短く多数の試料を容易に処理
することが可能である。また、発生したイオン成分がほ
とんど検出器２４に到達するため感度も高く微量分析に
適している。
ＭＳ２０は、原理的に測定質量範囲に上限が無く、分子
量数万〜十数万のタンパク質のような高分子を測定する
ことができる。しかも、全体的にコンパクトで操作や保
守も簡単であり測定時間も短く多数の試料を容易に処理
することが可能である。また、発生したイオン成分がほ
とんど検出器２４に到達するため感度も高く微量分析に
適している。
【００２０】フロントエンド部３０は、試料ガスを内部
に導入して分析するものであって、例えば、試料ガスを
光音響法により分析する光音響分析装置、試料ガスから
放出されるＸ線を分析するＸ線分析装置、放射能を分析
する放射能分析装置、又は、塩素ガスや硫化水素などの
特定のガスを検出するガスセンサである。
に導入して分析するものであって、例えば、試料ガスを
光音響法により分析する光音響分析装置、試料ガスから
放出されるＸ線を分析するＸ線分析装置、放射能を分析
する放射能分析装置、又は、塩素ガスや硫化水素などの
特定のガスを検出するガスセンサである。
【００２１】フロントエンド部３０が光音響分析装置で
あれば、試料ガスを内部に導入するガスセルと、ガスセ
ル内の試料ガスに光を照射する光源部と、ガスセルから
の音を検出する検出器たるマイクロフォンとで構成され
る。
あれば、試料ガスを内部に導入するガスセルと、ガスセ
ル内の試料ガスに光を照射する光源部と、ガスセルから
の音を検出する検出器たるマイクロフォンとで構成され
る。
【００２２】また、上述のガスセンサは、セラミックを
用いてガスを検出するセラミックセンサ、電気化学的作
用によりガスを検出する電気化学センサ、光学的作用に
よりガスを検出する光学センサなどからなる。また、電
気化学センサは、例えば、試料ガスを電極上で反応さ
せ、電極反応電流をゲル状電解質を通して測定すること
により試料ガス中の特定成分を検出するゲル化電解式セ
ンサである。なお、上述の光音響分析装置、Ｘ線分析装
置、放射能分析装置、及びガスセンサを複合してフロン
トエンド部３０を構成しても良い。
用いてガスを検出するセラミックセンサ、電気化学的作
用によりガスを検出する電気化学センサ、光学的作用に
よりガスを検出する光学センサなどからなる。また、電
気化学センサは、例えば、試料ガスを電極上で反応さ
せ、電極反応電流をゲル状電解質を通して測定すること
により試料ガス中の特定成分を検出するゲル化電解式セ
ンサである。なお、上述の光音響分析装置、Ｘ線分析装
置、放射能分析装置、及びガスセンサを複合してフロン
トエンド部３０を構成しても良い。
【００２３】このような分析機器部Ａでは、試料ガス
は、まずフロントエンド部３０に導入されて、フロント
エンド部３０により分析され、次に、ＦＴＩＲ１０の長
光路ガスセル３に導入されて、ＦＴＩＲ１０により分析
される。そしてさらに、ＦＴＩＲ１０で分析された試料
ガスは、ＭＳ２０のイオン化部２２及び質量分離部２３
に導入されることで、上述のように飛行時間に基づく質
量分析が行われる。
は、まずフロントエンド部３０に導入されて、フロント
エンド部３０により分析され、次に、ＦＴＩＲ１０の長
光路ガスセル３に導入されて、ＦＴＩＲ１０により分析
される。そしてさらに、ＦＴＩＲ１０で分析された試料
ガスは、ＭＳ２０のイオン化部２２及び質量分離部２３
に導入されることで、上述のように飛行時間に基づく質
量分析が行われる。
【００２４】このように、本実施の形態では、ＦＴＩＲ
１０及びＭＳ２０のみならずフロントエンド部３０をも
備えていることによって、試料ガスの分析の幅を広げる
ことができる。また、ＭＳ２０は、試料ガスの成分をイ
オン化するように、試料ガスを破壊して分析する一方、
ＦＴＩＲ１０及びフロントエンド部３０は試料ガスを非
破壊で分析する。即ち、本実施の形態では、ＭＳ２０に
よる分析を、ＦＴＩＲ１０及びフロントエンド部３０に
よる分析の後段で行うことにより、ＦＴＩＲ１０及びフ
ロントエンド部３０による分析の前段で行う場合と比べ
て、試料ガスを正確に分析することができる。
１０及びＭＳ２０のみならずフロントエンド部３０をも
備えていることによって、試料ガスの分析の幅を広げる
ことができる。また、ＭＳ２０は、試料ガスの成分をイ
オン化するように、試料ガスを破壊して分析する一方、
ＦＴＩＲ１０及びフロントエンド部３０は試料ガスを非
破壊で分析する。即ち、本実施の形態では、ＭＳ２０に
よる分析を、ＦＴＩＲ１０及びフロントエンド部３０に
よる分析の後段で行うことにより、ＦＴＩＲ１０及びフ
ロントエンド部３０による分析の前段で行う場合と比べ
て、試料ガスを正確に分析することができる。
【００２５】そして、ＦＴＩＲ１０のＤＳＰ５は、赤外
光検出器４からの出力信号のみならず、ＭＳ２０の検出
器２４及びフロントエンド部３０のマイクロフォンから
の出力信号をも入力して、信号処理を行った後に演算処
理部Ｂに出力する。演算処理部Ｂは、分析機器部ＡのＤ
ＳＰ５からの信号出力に基づいて演算処理した結果をデ
ィスプレイ上に表示させる。
光検出器４からの出力信号のみならず、ＭＳ２０の検出
器２４及びフロントエンド部３０のマイクロフォンから
の出力信号をも入力して、信号処理を行った後に演算処
理部Ｂに出力する。演算処理部Ｂは、分析機器部ＡのＤ
ＳＰ５からの信号出力に基づいて演算処理した結果をデ
ィスプレイ上に表示させる。
【００２６】図４は、上述の結果を示す演算処理部Ｂの
画面表示図である。この演算処理部Ｂのディスプレイに
は、ＦＴＩＲ１０により分析された結果を示す赤外光吸
収スペクトルと、ＭＳ２０により分析された結果を示す
マススペクトルと、フロントエンド部３０が光音響分析
装置であれば、その光音響分析装置で分析された結果を
示すものであって、試料ガス中に含まれる各成分の濃度
を示す表とが、同時に表示される。また、フロントエン
ド部３０がＸ線分析装置であれば、試料ガスから放出さ
れるＸ線の検出結果を示す表が上記ディスプレイに表示
され、フロントエンド部３０が放射能分析装置であれ
ば、放射能分析装置で分析された結果を示す表が上記デ
ィスプレイに表示され、フロントエンド部３０がガスセ
ンサであれば、そのガスセンサで検出されたガスの濃度
を示す表が上記ディスプレイに表示される。
画面表示図である。この演算処理部Ｂのディスプレイに
は、ＦＴＩＲ１０により分析された結果を示す赤外光吸
収スペクトルと、ＭＳ２０により分析された結果を示す
マススペクトルと、フロントエンド部３０が光音響分析
装置であれば、その光音響分析装置で分析された結果を
示すものであって、試料ガス中に含まれる各成分の濃度
を示す表とが、同時に表示される。また、フロントエン
ド部３０がＸ線分析装置であれば、試料ガスから放出さ
れるＸ線の検出結果を示す表が上記ディスプレイに表示
され、フロントエンド部３０が放射能分析装置であれ
ば、放射能分析装置で分析された結果を示す表が上記デ
ィスプレイに表示され、フロントエンド部３０がガスセ
ンサであれば、そのガスセンサで検出されたガスの濃度
を示す表が上記ディスプレイに表示される。
【００２７】即ち本実施の形態における複合分析装置で
は、３つの分析装置で分析されたそれぞれの結果を、演
算処理部Ｂのディスプレイに表示させるので、試料ガス
の分析結果をより分かり易くして使い勝手を向上するこ
とができる。また、分析結果は、演算処理部Ｂのディス
プレイに同時に纏めて表示されるので、ユーザーは、そ
の分析結果を全体的に容易に把握することができる。
は、３つの分析装置で分析されたそれぞれの結果を、演
算処理部Ｂのディスプレイに表示させるので、試料ガス
の分析結果をより分かり易くして使い勝手を向上するこ
とができる。また、分析結果は、演算処理部Ｂのディス
プレイに同時に纏めて表示されるので、ユーザーは、そ
の分析結果を全体的に容易に把握することができる。
【００２８】ところで、ケース５０は、一面を開口する
略矩形箱状の収納部５１と、その開口を塞ぐようにヒン
ジにより収納部５１に開閉自在に取り付けられた蓋体５
２とで構成され、収納部５１の周壁外側には分析機器部
Ａを持ち運ぶための取手５３が取り付けられている。ま
た、収納部５１の周壁における取手５３が取り付けられ
た面と隣り合う一面には、収納部５１の内外を貫通する
開口窓５１ａが穿設されているとともに、この開口窓５
１ａを開閉する開閉扉５１ｂがヒンジなどで取着されて
いる。
略矩形箱状の収納部５１と、その開口を塞ぐようにヒン
ジにより収納部５１に開閉自在に取り付けられた蓋体５
２とで構成され、収納部５１の周壁外側には分析機器部
Ａを持ち運ぶための取手５３が取り付けられている。ま
た、収納部５１の周壁における取手５３が取り付けられ
た面と隣り合う一面には、収納部５１の内外を貫通する
開口窓５１ａが穿設されているとともに、この開口窓５
１ａを開閉する開閉扉５１ｂがヒンジなどで取着されて
いる。
【００２９】ここで、本実施の形態における複合分析装
置では、上述のＦＴＩＲ１０及びＭＳ２０並びにフロン
トエンド部３０を、上述のような可搬型のケース５０に
収納していることにより、持ち運び易くすることができ
る。
置では、上述のＦＴＩＲ１０及びＭＳ２０並びにフロン
トエンド部３０を、上述のような可搬型のケース５０に
収納していることにより、持ち運び易くすることができ
る。
【００３０】また、本実施の形態における複合装置で
は、ＦＴＩＲ１０の長光路ガスセル３と、ＭＳ２０及び
フロントエンド部３０とを近接配置し、試料ガスを分離
することなく流して上述のようにフロントエンド部３０
→ＦＴＩＲ１０→ＭＳ２０の順で各分析装置に試料ガス
を分析させる。
は、ＦＴＩＲ１０の長光路ガスセル３と、ＭＳ２０及び
フロントエンド部３０とを近接配置し、試料ガスを分離
することなく流して上述のようにフロントエンド部３０
→ＦＴＩＲ１０→ＭＳ２０の順で各分析装置に試料ガス
を分析させる。
【００３１】図５は、ケース５０の収納部５１に上述の
分析装置が配設される配置構成図である。フロントエン
ド部３０は、試料ガスを内部に導入する導入口３０ａ
を、図１に示すように開口窓５１ａの一部に臨ませるよ
うに収納部５１に収納され、これと同様に、ＭＳ２０
は、試料ガスを外部に導出する導出口２０ｂを、図１に
示すように開口窓５１ａの他の部分に臨ませるように収
納部５１に収納される。また、フロントエンド部３０の
試料ガスを外部に導出する導出口３０ｂは、導入口３０
ａと反対側に設けられており、ＭＳ２０の試料ガスを内
部に導入する導入口２０ａは、導出口２０ｂと反対側に
設けられている。
分析装置が配設される配置構成図である。フロントエン
ド部３０は、試料ガスを内部に導入する導入口３０ａ
を、図１に示すように開口窓５１ａの一部に臨ませるよ
うに収納部５１に収納され、これと同様に、ＭＳ２０
は、試料ガスを外部に導出する導出口２０ｂを、図１に
示すように開口窓５１ａの他の部分に臨ませるように収
納部５１に収納される。また、フロントエンド部３０の
試料ガスを外部に導出する導出口３０ｂは、導入口３０
ａと反対側に設けられており、ＭＳ２０の試料ガスを内
部に導入する導入口２０ａは、導出口２０ｂと反対側に
設けられている。
【００３２】ＦＴＩＲ１０の長光路ガスセル３の一面に
は、内部に試料ガスを導入する導入口３ａと、外部に試
料ガスを導出する導出口３ｂとが設けられており、この
ような長光路ガスセル３は、その導入口３ａをフロント
エンド部３０の導出口３０ｂに略対向させて、さらに、
長光路ガスセル３の導出口３ｂをＭＳ２０の導入口２０
ａに略対向させて、フロントエンド部３０及びＭＳ２０
に近接配設される。そして、赤外光源部１、干渉部２、
赤外光検出器４、ＤＳＰ５、及び、バッテリー４０は、
長光路ガスセル３におけるＭＳ２０及びフロントエンド
部３０と略対向する部位を除く周辺に沿って配設され
る。
は、内部に試料ガスを導入する導入口３ａと、外部に試
料ガスを導出する導出口３ｂとが設けられており、この
ような長光路ガスセル３は、その導入口３ａをフロント
エンド部３０の導出口３０ｂに略対向させて、さらに、
長光路ガスセル３の導出口３ｂをＭＳ２０の導入口２０
ａに略対向させて、フロントエンド部３０及びＭＳ２０
に近接配設される。そして、赤外光源部１、干渉部２、
赤外光検出器４、ＤＳＰ５、及び、バッテリー４０は、
長光路ガスセル３におけるＭＳ２０及びフロントエンド
部３０と略対向する部位を除く周辺に沿って配設され
る。
【００３３】このように、長光路ガスセル３と、ＭＳ２
０及びフロントエンド部３０とを、それぞれの導出入口
を略対向させて近接配置し、試料ガスを分離することな
く流すことによって、試料ガスを各分析装置に導く配管
の全長を短くすることができ、その結果、分析機器部Ａ
を小さくして複合分析装置全体の小型化を図ることがで
き、持運び易くすることができる。
０及びフロントエンド部３０とを、それぞれの導出入口
を略対向させて近接配置し、試料ガスを分離することな
く流すことによって、試料ガスを各分析装置に導く配管
の全長を短くすることができ、その結果、分析機器部Ａ
を小さくして複合分析装置全体の小型化を図ることがで
き、持運び易くすることができる。
【００３４】ここで、ＭＳ２０及びフロントエンド部３
０を、長光路ガスセル３に密接するように配設したり、
ＭＳ２０の導入口２０ａと長光路ガスセル３の導出口３
ｂとを直付けするとともに、フロントエンド部３０の導
出口３０ｂと長光路ガスセル３の導入口３ａとを直付け
したりしても良い。このような場合にも、上述と同様、
分析装置Ａを小さくして複合分析装置全体の小型化を図
ることができる。
０を、長光路ガスセル３に密接するように配設したり、
ＭＳ２０の導入口２０ａと長光路ガスセル３の導出口３
ｂとを直付けするとともに、フロントエンド部３０の導
出口３０ｂと長光路ガスセル３の導入口３ａとを直付け
したりしても良い。このような場合にも、上述と同様、
分析装置Ａを小さくして複合分析装置全体の小型化を図
ることができる。
【００３５】また、試料ガスを長光路ガスセル３からＭ
Ｓ２０へと導く配管の長さや、試料ガスをフロントエン
ド部３０から長光路ガスセル３へ導く配管の長さを、例
えば５［ｃｍ］以下としても良い。
Ｓ２０へと導く配管の長さや、試料ガスをフロントエン
ド部３０から長光路ガスセル３へ導く配管の長さを、例
えば５［ｃｍ］以下としても良い。
【００３６】なお、ＭＳ２０のイオン化部２２内部を真
空とするために、イオン化部２２内部を真空引きするポ
ンプと、イオン化部２２内部を長光路ガスセル３内部か
ら隔離する電磁弁とを、ケース５０内に配設しても良
い。このときには、前記電磁弁は、長光路ガスセル３の
導出口３ｂと、ＭＳ２０の導入口２０ａとの間に取り付
けられる。
空とするために、イオン化部２２内部を真空引きするポ
ンプと、イオン化部２２内部を長光路ガスセル３内部か
ら隔離する電磁弁とを、ケース５０内に配設しても良
い。このときには、前記電磁弁は、長光路ガスセル３の
導出口３ｂと、ＭＳ２０の導入口２０ａとの間に取り付
けられる。
【００３７】図６は、分析機器部Ａの蓋体５２を閉じた
状態の外観斜視図である。このような分析機器部Ａで
は、通常、図６に示すようにケース５０の蓋体５２を閉
じて持ち運び、試料ガスを分析するときには、開閉扉５
１ｂのみを開いて、開口窓５１ａから露出するフロント
エンド部３０の導入口３０ａから試料ガスを導入し、Ｍ
Ｓ２０の導出口２０ｂから試料ガスを外部に導出する。
そして、内部の各分析装置のメンテナンスなどを行うと
きには、蓋体５２を開けて行う。
状態の外観斜視図である。このような分析機器部Ａで
は、通常、図６に示すようにケース５０の蓋体５２を閉
じて持ち運び、試料ガスを分析するときには、開閉扉５
１ｂのみを開いて、開口窓５１ａから露出するフロント
エンド部３０の導入口３０ａから試料ガスを導入し、Ｍ
Ｓ２０の導出口２０ｂから試料ガスを外部に導出する。
そして、内部の各分析装置のメンテナンスなどを行うと
きには、蓋体５２を開けて行う。
【００３８】以上、本発明に係る複合分析装置につい
て、実施の形態を用いて説明したが、本発明は、これら
に限定されるものではない。例えば、本実施の形態では
ＦＴＩＲ１０を備えたが、ＦＴＩＲ１０の代わりに、ガ
スクロマトグラフとフーリエ変換赤外分光光度計とを備
えたガスクロマトグラフ・フーリエ変換赤外分光光度計
複合装置（以下「ＧＣ−ＦＴＩＲ」という）を備えても
良い。
て、実施の形態を用いて説明したが、本発明は、これら
に限定されるものではない。例えば、本実施の形態では
ＦＴＩＲ１０を備えたが、ＦＴＩＲ１０の代わりに、ガ
スクロマトグラフとフーリエ変換赤外分光光度計とを備
えたガスクロマトグラフ・フーリエ変換赤外分光光度計
複合装置（以下「ＧＣ−ＦＴＩＲ」という）を備えても
良い。
【００３９】図７（ａ）は、ＧＣ−ＦＴＩＲ１００とＭ
Ｓ２０との配置構成図を示す。ＦＴＩＲ１０を備えた場
合には、混合物の分析が難しかったが、ＧＣ−ＦＴＩＲ
１００を備えることにより、試料ガスを構成する成分ご
とに分離してＩＲ分析することができ、より正確に試料
ガスを分析することができる。
Ｓ２０との配置構成図を示す。ＦＴＩＲ１０を備えた場
合には、混合物の分析が難しかったが、ＧＣ−ＦＴＩＲ
１００を備えることにより、試料ガスを構成する成分ご
とに分離してＩＲ分析することができ、より正確に試料
ガスを分析することができる。
【００４０】ここで、ＧＣ−ＦＴＩＲ１００は、ＦＴＩ
Ｒ１０の長光路ガスセル３と同様の機能を有する長光路
ガスセル１０３を備え、長光路ガスセル１０３とＭＳ２
０のイオン化部２２とが密接するように配設されてい
る。
Ｒ１０の長光路ガスセル３と同様の機能を有する長光路
ガスセル１０３を備え、長光路ガスセル１０３とＭＳ２
０のイオン化部２２とが密接するように配設されてい
る。
【００４１】これにより、ＦＴＩＲ１０を備えたときと
同様、分析機器部Ａを小さくして複合分析装置全体の小
型化を図ることができる。また、本実施の形態では、飛
行時間型の質量分析装置であるＭＳ２０を備えたが、Ｍ
Ｓ２０の代わりにガスクロマトグラフ質量分析装置（以
下「ＧＣ−ＭＳ」という）を備えても良い。
同様、分析機器部Ａを小さくして複合分析装置全体の小
型化を図ることができる。また、本実施の形態では、飛
行時間型の質量分析装置であるＭＳ２０を備えたが、Ｍ
Ｓ２０の代わりにガスクロマトグラフ質量分析装置（以
下「ＧＣ−ＭＳ」という）を備えても良い。
【００４２】図７（ｂ）は、ＦＴＩＲ１０とＧＣ−ＭＳ
２００との配置構成図を示す。このようにＧＣ−ＭＳ２
００を備えた場合には、多成分系の試料ガスを成分ごと
に分離して定性することができる。
２００との配置構成図を示す。このようにＧＣ−ＭＳ２
００を備えた場合には、多成分系の試料ガスを成分ごと
に分離して定性することができる。
【００４３】ここで、ＧＣ−ＭＳ２００は、ＭＳ２０の
イオン化部２２と同様の機能を有するイオン化部２２２
を備え、イオン化部２２２とＦＴＩＲ１０の長光路ガス
セル３とが密接するように配設されている。これによ
り、ＭＳ２０を備えたときと同様、分析機器部Ａを小さ
くして複合分析装置全体の小型化を図ることができる。
イオン化部２２と同様の機能を有するイオン化部２２２
を備え、イオン化部２２２とＦＴＩＲ１０の長光路ガス
セル３とが密接するように配設されている。これによ
り、ＭＳ２０を備えたときと同様、分析機器部Ａを小さ
くして複合分析装置全体の小型化を図ることができる。
【００４４】さらに、ＭＳ２０の代わりに電場型の質量
分析装置を備えても良く、試料ガスの各成分をイオン化
する方法は、アルゴンイオンなどを試料ガスの構成成分
に当ててその成分をイオン化する二次イオン質量分析
（ＳＩＭＳ）法としても良い。またさらに、ＭＳ２０の
代わりに、四重極型質量分析装置を備えても良い。この
場合には、電界作用でのみ質量分析が行えるため、高速
スキャン、高速スイッチング測定が行え、さらにコスト
低減を図ることができる。
分析装置を備えても良く、試料ガスの各成分をイオン化
する方法は、アルゴンイオンなどを試料ガスの構成成分
に当ててその成分をイオン化する二次イオン質量分析
（ＳＩＭＳ）法としても良い。またさらに、ＭＳ２０の
代わりに、四重極型質量分析装置を備えても良い。この
場合には、電界作用でのみ質量分析が行えるため、高速
スキャン、高速スイッチング測定が行え、さらにコスト
低減を図ることができる。
【００４５】また、本実施の形態のＦＴＩＲ１０では、
長光路ガスセル３を備えて、この長光路ガスセル３内の
試料ガス中に赤外光を透過させて試料ガスを分析させた
が、ＦＴＩＲ１０にプリズムなどを備えてＡＴＲ（Atte
nuated Total Reflection）法による分析を行わせても
良い。さらに、本実施の形態では、気体を分析対象とし
たが、液体及び粉体を含む固体も分析対象に含めても良
い。
長光路ガスセル３を備えて、この長光路ガスセル３内の
試料ガス中に赤外光を透過させて試料ガスを分析させた
が、ＦＴＩＲ１０にプリズムなどを備えてＡＴＲ（Atte
nuated Total Reflection）法による分析を行わせても
良い。さらに、本実施の形態では、気体を分析対象とし
たが、液体及び粉体を含む固体も分析対象に含めても良
い。
【００４６】液体を分析対象とする場合には、例えば気
化装置をケース５０内に配設し、外部からケース５０へ
導入される分析対象の液体を、その気化装置で気体にし
た上で、その分析対象物をフロントエンド部３０及びＦ
ＴＩＲ１０並びにＭＳ２０に分析させる。これにより、
分析対象を広げて使い勝手を向上することができる。
化装置をケース５０内に配設し、外部からケース５０へ
導入される分析対象の液体を、その気化装置で気体にし
た上で、その分析対象物をフロントエンド部３０及びＦ
ＴＩＲ１０並びにＭＳ２０に分析させる。これにより、
分析対象を広げて使い勝手を向上することができる。
【００４７】さらに、本実施の形態では、分析対象物を
分析させるときには、フロントエンド部３０及びＦＴＩ
Ｒ１０並びにＭＳ２０の全てに対して分析を一連の動作
として行わせたが、例えばＦＴＩＲ１０だけに分析を行
わせたり、フロントエンド部３０又はＭＳ２０だけに分
析を行わせたりしても良い。
分析させるときには、フロントエンド部３０及びＦＴＩ
Ｒ１０並びにＭＳ２０の全てに対して分析を一連の動作
として行わせたが、例えばＦＴＩＲ１０だけに分析を行
わせたり、フロントエンド部３０又はＭＳ２０だけに分
析を行わせたりしても良い。
【００４８】例えば、ＦＴＩＲ１０に、一端側がケース
５０の外に出された光学結晶からなるプローブを、上述
のプリズムの代わりに備えて、ＡＴＲ（Attenuated Tot
al Reflection）法による分析を行わせる。このプロー
ブは、長光路ガスセル３と同様、ケース５０内にある干
渉部２から出力される赤外光を、内部で多重反射させる
ものである。
５０の外に出された光学結晶からなるプローブを、上述
のプリズムの代わりに備えて、ＡＴＲ（Attenuated Tot
al Reflection）法による分析を行わせる。このプロー
ブは、長光路ガスセル３と同様、ケース５０内にある干
渉部２から出力される赤外光を、内部で多重反射させる
ものである。
【００４９】そして、液体や固体の分析対象物を分析す
るときには、このケース５０外にあるプローブの一端側
を分析対象物に密着させる。これにより、赤外光は、プ
ローブの内側面で反射を繰り返しながら、プローブに案
内されるようにケース５０内から外にある分析対象物に
到達し、この分析対象物に反射されて、上述と同様にプ
ローブの内側面で反射を繰り返しながら、ケース５０内
に戻ってきて、赤外光検出器４に検出される。
るときには、このケース５０外にあるプローブの一端側
を分析対象物に密着させる。これにより、赤外光は、プ
ローブの内側面で反射を繰り返しながら、プローブに案
内されるようにケース５０内から外にある分析対象物に
到達し、この分析対象物に反射されて、上述と同様にプ
ローブの内側面で反射を繰り返しながら、ケース５０内
に戻ってきて、赤外光検出器４に検出される。
【００５０】このように、上記プローブを備えてＡＴＲ
法による分析を行うＦＴＩＲ１０は、ケース５０の外部
にある分析対象物をケース５０内部に導入することなく
分析し、フロントエンド部３０及びＭＳ２０とは独立し
て分析対象物を分析する。
法による分析を行うＦＴＩＲ１０は、ケース５０の外部
にある分析対象物をケース５０内部に導入することなく
分析し、フロントエンド部３０及びＭＳ２０とは独立し
て分析対象物を分析する。
【００５１】また、フロントエンド部３０を光音響分析
装置とするときには、この光音響分析装置を、分析対象
物にレーザーを照射して分析するいわゆるレーザーＰＡ
Ｓ（Photo Acoustic Spectroscopy）により構成しても
良く、これにより液体や固体を分析させても良い。この
ように液体や固体を分析させるときには、専用のホルダ
ーを用い、上記分析対象物をこのホルダーに固定させ
る。
装置とするときには、この光音響分析装置を、分析対象
物にレーザーを照射して分析するいわゆるレーザーＰＡ
Ｓ（Photo Acoustic Spectroscopy）により構成しても
良く、これにより液体や固体を分析させても良い。この
ように液体や固体を分析させるときには、専用のホルダ
ーを用い、上記分析対象物をこのホルダーに固定させ
る。
【００５２】さらに、ＭＳ２０のイオン化部２２に、マ
トリックス支援レーザー脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ（Ma
trix Assisted Laser Desorption/Ionization））法に
よりイオン化を行わせても良い。
トリックス支援レーザー脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ（Ma
trix Assisted Laser Desorption/Ionization））法に
よりイオン化を行わせても良い。
【００５３】上述のように、ＦＴＩＲ１０にプローブを
用いたＡＴＲ法による分析を行わせたり、フロントエン
ド部３０をレーザーＰＡＳとして構成したり、ＭＳ２０
にＭＡＬＤＩ法によるイオン化を行わせたりすること
で、例えば液体中や大気中に存在する炭疽菌などが生成
する毒素やウィルスも容易に分析することができる。
用いたＡＴＲ法による分析を行わせたり、フロントエン
ド部３０をレーザーＰＡＳとして構成したり、ＭＳ２０
にＭＡＬＤＩ法によるイオン化を行わせたりすること
で、例えば液体中や大気中に存在する炭疽菌などが生成
する毒素やウィルスも容易に分析することができる。
【００５４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る複合分析装置によれば、分析対象の試料ガスを内
部に導入し、前記試料ガス中に透過された光の変化から
試料ガスを分析する光分析装置と、分析された前記試料
ガスを内部に導入し、前記試料ガスを構成する成分の質
量を分析する質量分析装置と、少なくとも前記光分析装
置及び質量分析装置を収納する可搬型ケースとを備えた
ことを特徴とする。例えば、前記光分析装置は、フーリ
エ変換赤外分光光度計であり、前記質量分析装置は、飛
行時間型質量分析装置である。これにより、光分析装置
と質量分析装置とが可搬型のケースに収納されているの
で、持ち運び易することができる。
に係る複合分析装置によれば、分析対象の試料ガスを内
部に導入し、前記試料ガス中に透過された光の変化から
試料ガスを分析する光分析装置と、分析された前記試料
ガスを内部に導入し、前記試料ガスを構成する成分の質
量を分析する質量分析装置と、少なくとも前記光分析装
置及び質量分析装置を収納する可搬型ケースとを備えた
ことを特徴とする。例えば、前記光分析装置は、フーリ
エ変換赤外分光光度計であり、前記質量分析装置は、飛
行時間型質量分析装置である。これにより、光分析装置
と質量分析装置とが可搬型のケースに収納されているの
で、持ち運び易することができる。
【００５５】また、前記光分析装置における内部に導入
された試料ガスを外部に導出する導出口を、前記質量分
析装置における試料ガスを内部に導入する導入口に略対
向させて接続し、試料ガスを、前記光分析装置から質量
分析装置へと分岐することなく導いても良い。これによ
り、試料ガスを光分析装置から質量分析装置へと導く配
管部材を短くして装置全体の小型化を図ることができ、
さらに持ち運び易くすることができる。
された試料ガスを外部に導出する導出口を、前記質量分
析装置における試料ガスを内部に導入する導入口に略対
向させて接続し、試料ガスを、前記光分析装置から質量
分析装置へと分岐することなく導いても良い。これによ
り、試料ガスを光分析装置から質量分析装置へと導く配
管部材を短くして装置全体の小型化を図ることができ、
さらに持ち運び易くすることができる。
【００５６】また、前記光分析装置は、試料ガス中に光
を透過させるために前記試料ガスを内部に満たすセル容
器を備え、前記質量分析装置は、前記光分析装置のセル
容器に密着して配設されるようにしても良い。これによ
り、上述と同様、装置全体の小型化を図ることができ、
さらに持ち運び易くすることができる。
を透過させるために前記試料ガスを内部に満たすセル容
器を備え、前記質量分析装置は、前記光分析装置のセル
容器に密着して配設されるようにしても良い。これによ
り、上述と同様、装置全体の小型化を図ることができ、
さらに持ち運び易くすることができる。
【００５７】また、前記複合分析装置は、さらに、前記
試料ガスを光分析装置及び質量分析装置で分析する前
に、前記試料ガスを内部に導入して分析する前置分析装
置を、前記ケース内に備えても良い。例えば、前記前置
分析装置は、前記試料ガスを光音響法により分析する光
音響分析装置である。これにより、前記前置分析装置と
光分析装置と質量分析装置とがケースに収納されている
ので、試料ガスの分析の幅を広げることができる。
試料ガスを光分析装置及び質量分析装置で分析する前
に、前記試料ガスを内部に導入して分析する前置分析装
置を、前記ケース内に備えても良い。例えば、前記前置
分析装置は、前記試料ガスを光音響法により分析する光
音響分析装置である。これにより、前記前置分析装置と
光分析装置と質量分析装置とがケースに収納されている
ので、試料ガスの分析の幅を広げることができる。
【００５８】またこのとき、前記前置分析装置における
内部に導入された試料ガスを外部に導出する導出口を、
前記光分析装置における試料ガスを内部に導入する導入
口に略対向させて接続し、試料ガスを、前記前置分析装
置から、前記光分析装置を経て、質量分析装置へと分岐
することなく導いても良い。これにより、試料ガスを前
置分析装置から光分析装置へと導く配管部材を短くし
て、装置全体が大型化してしまうのを抑えることができ
る。
内部に導入された試料ガスを外部に導出する導出口を、
前記光分析装置における試料ガスを内部に導入する導入
口に略対向させて接続し、試料ガスを、前記前置分析装
置から、前記光分析装置を経て、質量分析装置へと分岐
することなく導いても良い。これにより、試料ガスを前
置分析装置から光分析装置へと導く配管部材を短くし
て、装置全体が大型化してしまうのを抑えることができ
る。
【００５９】また、前記複合分析装置は、さらに、前記
光分析装置及び質量分析装置並びに前置分析装置から出
力される信号に基づいて演算処理を行い、前記光分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記質量分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記前置分析装
置により分析された結果を表す図表とを表示する演算処
理手段を備えても良い。これにより、演算処理手段のデ
ィスプレイに前記３つの分析装置による分析結果が表示
されるので、前記分析結果をユーザーに対して分かり易
くすることができ、使い勝手を向上することができる。
光分析装置及び質量分析装置並びに前置分析装置から出
力される信号に基づいて演算処理を行い、前記光分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記質量分析装
置により分析された結果を表す図表と、前記前置分析装
置により分析された結果を表す図表とを表示する演算処
理手段を備えても良い。これにより、演算処理手段のデ
ィスプレイに前記３つの分析装置による分析結果が表示
されるので、前記分析結果をユーザーに対して分かり易
くすることができ、使い勝手を向上することができる。
【図１】本発明の実施の形態における外観構成図であ
る。
る。
【図２】同上の機能ブロック図である。
【図３】同上の長光路ガスセル及びＭＳの内部構成図で
ある。
ある。
【図４】同上の演算処理部の画面表示図である。
【図５】同上の分析機器部内の配置構成図である。
【図６】同上の分析機器部の外観斜視図である。
【図７】（ａ）は、ＧＣ−ＦＴＩＲとＭＳとの配置構成
図であり、（ｂ）は、ＦＴＩＲとＧＣ−ＭＳとの配置構
成図である。
図であり、（ｂ）は、ＦＴＩＲとＧＣ−ＭＳとの配置構
成図である。
【符号の説明】
１ 赤外光源部
２ 干渉部
３ 長光路ガスセル
３ａ 導入口
３ｂ 導出口
４ 赤外光検出器
５ ＤＳＰ
１０ ＦＴＩＲ
２０ ＭＳ
２０ａ 導入口
２０ｂ 導出口
２２ イオン化部
２３ 質量分離部
２４ 検出器
３０ フロントエンド部
３０ａ 導入口
３０ｂ 導出口
５０ ケース
５１ａ 開口窓
５１ｂ 開閉扉
５１ 収納部
５２ 蓋体
Ａ 分析機器部
Ｂ 演算処理部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０１Ｎ 27/62 Ｇ０１Ｎ 27/62 Ｋ
Ｌ
29/00 ５０１ 29/00 ５０１
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 21/00 - 21/61
G01N 23/00 - 23/227
G01N 27/64
ＰＡＴＯＬＩＳ
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
ＥＵＲＯＰＡＴ（ＱＵＥＳＴＥＬ)
ＷＰＩ／Ｌ（ＱＵＥＳＴＥＬ)
Claims (7)
- 【請求項１】 分析対象の試料ガスを内部に導入し、前
記試料ガス中に透過された光の変化から試料ガスを分析
するフーリエ変換赤外分光光度計と、 分析された前記試料ガスを内部に導入し、前記試料ガス
を構成する成分の質量を分析する質量分析装置と、前記フーリエ変換赤外分光光度計から出力される信号に
対するデジタル信号処理を行うとともに前記質量分析装
置から出力される信号に対するデジタル信号処理を行う
１つの信号処理装置と、 前記フーリエ変換赤外分光光度計、質量分析装置、及び
信号処理装置を収納する可搬型ケースとを備え、 前記フーリエ変換赤外分光光度計は、試料ガス中に光を
透過させるために前記試料ガスを内部に満すセル容器を
備え、 前記質量分析装置は、試料ガスをイオン化するイオン化
部を備え、 前記セル容器の試料ガスを外部に導出する導出口と前記
イオン化部の試料ガスを内部に導入する導入口とは、前
記セル容器とイオン化部との間を開閉する弁を挟んで直
付けされていること を特徴とする複合分析装置。 - 【請求項２】 前記複合分析装置は、さらに、 前記試料ガスをフーリエ変換赤外分光光度計及び質量分
析装置で分析する前に、前記試料ガスを内部に導入して
光音響法により分析する光音響分析装置を前記可搬型ケ
ース内に備え、 前記信号処理装置は、さらに前記光音響分析装置から出
力される信号に対するデジタル信号処理を行い、 前記光音響分析装置の試料ガスを外部に導出する導出口
と前記フーリエ変換赤外分光光度計のセル容器の試料ガ
スを内部に導入する導入口とは対向するように直付けさ
れていることを特徴とする請求項１記載の複合分析装
置。 - 【請求項３】 前記可搬型ケースには、前記質量分析装
置の試料ガスを外部に導出する導出口を露出させる開口
窓が形成されているとともに、前記開口窓を開閉する開
閉扉が取着されていることを特徴とする請求項１又は２
記載の複合分析装置。 - 【請求項４】 前記質量分析装置は、飛行時間型質量分
析装置であることを特徴とする請求項１又は２記載の複
合分析装置。 - 【請求項５】 前記質量分析装置は、四重極型質量分析
装置であることを特徴とする請求項１又は２記載の複合
分析装置。 - 【請求項６】 前記複合分析装置は、さらに、 前記信号処理装置の処理結果に基づいて、前記フーリエ
変換赤外分光光度計により分析された赤外光吸収スペク
トルと前記質量分析装置により分析された質量スペクト
ルとを同一画面上に表示する表示装置を備えることを特
徴とする請求項１又は２記載の複合分析装置。 - 【請求項７】 前記複合分析装置は、さらに、 前記信号処理装置の処理結果に基づいて、前記フーリエ
変換赤外分光光度計により分析された赤外光吸収スペク
トルと、前記質量分析装置により分析された質量スペク
トルと、前記光音響分析装置により分析された前記試料
ガス中に含まれる成分の濃度とを同一画面上に表示する
表示装置を備えることを特徴とする請求項２記載の複合
分析装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002095076A JP3537425B2 (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 複合分析装置 |
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| EP20020017989 EP1348944A1 (en) | 2002-03-29 | 2002-08-12 | Combined analyzing apparatus |
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| KR1020020071065A KR20030078612A (ko) | 2002-03-29 | 2002-11-15 | 복합 분석 장치 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002095076A JP3537425B2 (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 複合分析装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003294619A JP2003294619A (ja) | 2003-10-15 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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| EP (1) | EP1348944A1 (ja) |
| JP (1) | JP3537425B2 (ja) |
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| CN (1) | CN1532536A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014194433A (ja) * | 2005-09-30 | 2014-10-09 | Mks Instruments Inc | 微量気体を測定することができる装置 |
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-
2002
- 2002-03-29 JP JP2002095076A patent/JP3537425B2/ja not_active Expired - Fee Related
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