JP2014172398A - ハウジング及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るハウジングは、基材と、基材の表面に順次に形成された下地層、移行層及びカラー層と、を備える。下地層は、Ti−M層であり、移行層は、酸化層であり、カラー層は、窒化チタンアルミニウム層であり、Mは、クロム、アルミニウム及びシリコンの中の何れか1つであり、酸化層は、アルミナ層、酸化ジルコニウム又は二酸化ケイ素層である。また、本発明はハウジングの製造方法にも関し、基材を提供する工程と、真空蒸着法を介して前記基材の上面に、Ti−M層である下地層、酸化層である移行層及び窒化チタンアルミニウム層であるカラー層を順次にコーティングする工程と、を備える。
【選択図】図1
Description
(a)中間周波数マグネトロンスパッタリング蒸着装置である真空蒸着装置20及びダイス鋼からなる基材11を提供する。
(a)アークイオン蒸着装置である真空蒸着装置20及びセラミック材質の基材11を提供する。
(a)中間周波数マグネトロンスパッタリング蒸着装置である真空蒸着装置20及びステンレス材質の基材11を提供する。
ビッカース硬度計を用いて基材11及びハウジング10の硬度を測定した結果、基材11のビッカース硬度は270HV〜300HVであり、ハウジング10のビッカース硬度は700HV〜850HVに達する。
11 基材
13 下地層
15 移行層
17 カラー層
20 真空蒸着装置
21 真空チャンバ
23 冶具
25 第一ターゲット
27 第二ターゲット
28 第三ターゲット
29 第四ターゲット
Claims (9)
- 基材と、前記基材の表面に順次に形成された下地層、移行層及びカラー層と、を備え、前記下地層は、Ti−M層であり、前記移行層は、酸化層であり、前記カラー層は、窒化チタンアルミニウム層であり、Mは、クロム、アルミニウム及びシリコンの中の何れか1つであり、前記酸化層は、アルミナ層、酸化ジルコニウム又は二酸化ケイ素層であることを特徴とするハウジング。
- 前記基材は、ダイス鋼、セラミックまたはステンレスからなることを特徴とする請求項1に記載のハウジング。
- 前記下地層の厚さは、0.1μm〜0.3μmであり、前記移行層の厚さは、0.3μm〜0.5μmであり、
前記下地層において、Tiの質量は50〜70%であり、Mの質量は30〜50質量%であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のハウジング。 - 前記カラー層は、0.5μm〜1μmの厚さであり且つ紫色を呈し、前記カラー層において、窒化チタンの質量は30〜4%であり、窒化アルミニウムの質量は60〜70%であることを特徴とする請求項1に記載のハウジング。
- 基材を提供する工程と、
真空蒸着法を介して前記基材の上面に、Ti−M層である下地層、酸化層である移行層及び窒化チタンアルミニウム層であるカラー層を順次にコーティングする工程と、を備え、
前記Mは、クロム、アルミニウム及びシリコンの中の何れか1つであり、前記酸化層は、アルミナ層、酸化ジルコニウム又は二酸化ケイ素層であることを特徴とするハウジングの製造方法。 - 前記真空蒸着法は、真空蒸着装置により実現され、前記真空蒸着装置は、真空チャンバと、前記真空チャンバの中に装着された冶具、第一ターゲット、第二ターゲット、第三ターゲット及び第四ターゲットと、を備え、
前記第一ターゲットは、チタンターゲットであり、前記第二ターゲットは、クロムターゲット、アルミニウムターゲット又はシリコンターゲットであり、前記第三ターゲットは、アルミニウムターゲット、ジルコニウムターゲット又はシリコンターゲットであり、前記第四ターゲットは、質量が40〜50%のチタン及び質量が50〜60%のアルミニウムを含有していることを特徴とする請求項5に記載のハウジングの製造方法。 - 前記下地層を形成する場合、前記第一ターゲット及び前記第二ターゲットに対応する電源を起動して、前記真空チャンバ内のデューティ比を45〜55%に調節し、前記基材に対して300V〜350Vのバイアス電圧を印加した後、前記真空チャンバの中に流量が100sccm〜150sccmのアルゴンを注入し、コーティング時間を10分間〜20分間にすることを特徴とする請求項6に記載のハウジングの製造方法。
- 前記移行層を形成する場合、前記第三ターゲットに対応する電源を起動し、前記真空チャンバ内のデューティ比を40〜50%に調節し、前記基材に対して250V〜300Vのバイアス電圧を印加した後、前記真空チャンバの中に流量が100sccm〜150sccmのアルゴンを不活性気体として注入し、流量が250sccm〜300sccmの酸素を反応気体として注入し、コーティング時間を50分間〜60分間にすることを特徴とする請求項6に記載のハウジングの製造方法。
- 前記カラー層を形成する場合、前記第四ターゲットに対応する電源を起動して、前記真空チャンバ内のデューティ比を30〜45%に調節し、前記基材に対して250V〜300Vのバイアス電圧を印加し、前記真空チャンバの中に流量が60sccm〜80sccmのアルゴン及び流量が250sccm〜300sccmの窒素を持続的に注入し、コーティング時間を35分間〜45分間にすることを特徴とする請求項6に記載のハウジングの製造方法。
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