JP2014164120A5 - - Google Patents
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Description
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る反射防止膜は、基板上に順に積層された１４層からなり、最も基板側にある層を第１層とする場合、屈折率２．１〜２．４からなる、第１、第３、第５、第７、第９、第１１、及び第１３層の高屈折率層と、屈折率１．３０〜１．５２からなる、第２、第４、第６、第８、第１０、及び第１２層の第１低屈折率層と、屈折率１．２０〜１．４０からなる第１４層の第２低屈折率層と、で構成され、高屈折率層のうち最も膜厚が厚い層と２番目に膜厚が厚い層のそれぞれの膜厚が、第２低屈折率層の膜厚に対して、いずれも０．６２５〜１．１０２倍の範囲にあり、反射防止膜について、４００ｎｍから１６５０ｎｍの波長域で、複数の振幅を有し、かつ短波長側から長波長側に振幅が徐々に高くなっていく反射率特性を有することを特徴としている。
Claims (7)
- 基板上に順に積層された１４層からなり、
最も基板側にある層を第１層とする場合、
屈折率２．１〜２．４からなる、第１、第３、第５、第７、第９、第１１、及び第１３層の高屈折率層と、
屈折率１．３０〜１．５２からなる、第２、第４、第６、第８、第１０、及び第１２層の第１低屈折率層と、
屈折率１．２０〜１．４０からなる第１４層の第２低屈折率層と、
で構成され、
前記高屈折率層のうち最も膜厚が厚い層と２番目に膜厚が厚い層のそれぞれの膜厚が、前記第２低屈折率層の膜厚に対して、いずれも０．６２５〜１．１０２倍の範囲にあり、 前記反射防止膜について、４００ｎｍから１６５０ｎｍの波長域で、複数の振幅を有し、かつ短波長側から長波長側に振幅が徐々に高くなっていく反射率特性を有することを特徴とする反射防止膜。 - 設計波長λ＝５３０ｎｍ、λ／４＝１．０としたとき、各層の光学膜厚ｎｄが次の各式を満足することを特徴とする請求項１に記載の反射防止膜。
第 １層 ０．０７９≦ｎｄ≦０．２８２
第 ２層 ０．２５６≦ｎｄ≦０．８６３
第 ３層 ０．２７４≦ｎｄ≦０．６８７
第 ４層 ０．２１０≦ｎｄ≦０．５９１
第 ５層 ０．５６３≦ｎｄ≦０．８９６
第 ６層 ０．１２７≦ｎｄ≦０．３２０
第 ７層 ０．８９４≦ｎｄ≦１．３３０
第 ８層 ０．１２１≦ｎｄ≦０．１３５
第 ９層 ０．８２３≦ｎｄ≦１．３２７
第１０層 ０．１５３≦ｎｄ≦０．３２２
第１１層 ０．６１５≦ｎｄ≦０．７８６
第１２層 ０．４１３≦ｎｄ≦０．５６５
第１３層 ０．２７７≦ｎｄ≦０．４００
第１４層 １．２０７≦ｎｄ≦１．３１５ - 前記高屈折率層はＴｉＯ ２ 、Ｔａ ２ Ｏ ５ 、ＨｆＯ ２ 、Ｎｂ ２ Ｏ ５ 、又はそれらとＬａ、Ｚｒの混合物であり、前記第１低屈折率層及び前記第２低屈折率層はＳｉＯ ２ 、ＭｇＦ ２ 、又はそれらの混合物であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の反射防止膜。
- 前記基板の屈折率は１．４４〜１．９０の範囲であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜。
- 前記第２低屈折率層は超低屈折率物質であり、
前記超低屈折率物質は、ウエットコートによって膜を形成したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の反射防止膜。 - 請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する１枚以上の光学基板で構成されたことを特徴とする光学系。
- 請求項６に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
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|---|---|---|---|
| JP2013034983A JP6108871B2 (ja) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 反射防止膜、光学系、及び光学機器 |
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