JP2014160432A

JP2014160432A - 加工装置

Info

Publication number: JP2014160432A
Application number: JP2013031559A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Maemoku; 芳雄前杢
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-02-20
Filing date: 2013-02-20
Publication date: 2014-09-04

Abstract

【課題】装置メーカーが位置を確認することができる加工装置を提供すること。
【解決手段】加工装置１は、被加工物を保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物を加工する加工手段２０と、加工装置１の地球上での位置を検出するＧＰＳ４０と、ＧＰＳ４０が検出した加工装置１の位置情報を通信回線２０１，２０２を通じて装置メーカーのサーバー１００に送信する送信手段５０と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、加工装置に関する。

ダイシング装置やグラインディング装置として知られる加工装置は、ミクロン単位の非常に高精度な加工を実施できることが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような加工装置は、全世界で稼働している。

特開２００８−２１３０７４号公報

日本で製造され世界各地に出荷される加工装置は、例えば、Ａ国に出荷された後に、顧客側の都合によってＢ国に移設や転売されることがある。移設や転売に際し、顧客側から装置メーカーが移設や転売のサポートを依頼される場合、装置メーカーは、どの加工装置がどこに移動されたのかを把握可能である。しかしながら、比較的にセッティングが容易であったり、顧客側の習熟度が高かったりし、顧客側から装置メーカーが移設や転売のサポートを依頼されない場合、装置メーカーのサポート無しで移設や転売が行われ、装置メーカーは、世界的にどの地域にどの加工装置がどれだけあるのかを把握することが難しくなり、装置販売に関わる戦略を立てる際に必要な情報が完全に収集できないという問題があった。

また、世界各地で稼働する加工装置は、地域ごとに特徴的な調整が行われることがある。地域ごとに行われる特徴的な調整としては、例えば、オペレーションパネルで使用される使用言語の調整がある。国や地域を越えて加工装置の移設や転売が行われる際に、使用言語が変わる場合、これまでであれば装置メーカーに依頼して、移設先の地域に合わせた使用言語のソフトをインストールする必要があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、装置メーカーが位置を確認することができる加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段とを有する加工装置において、加工装置の地球上での位置を検出するＧＰＳと、ＧＰＳが検出した加工装置の位置情報を通信回線を通じて装置メーカーのサーバーに送信する送信手段と、を備えることを特徴とする。

また、上記加工装置において、加工装置が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を装置メーカーのサーバーから受信可能であることが好ましい。

本発明の加工装置によれば、ＧＰＳが検出した加工装置の位置情報を通信回線を通じて装置メーカーのサーバーに送信するので、装置メーカーが加工装置の位置を確認することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態に係る加工装置の概略構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る加工装置の制御手段の構成例を示す概略ブロック図である。図３は、実施形態に係る加工装置とネットワークを介して接続される装置メーカーのサーバーの構成例を示す概略ブロック図である。図４は、実施形態に係る加工装置の位置の取得および実施形態に係る加工装置への制御情報の提供に関する一連の流れを示す説明図である。図５は、実施形態に係る加工装置の制御動作を表すフロー図である。図６は、装置メーカーのサーバーの制御動作を表すフロー図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る加工装置の概略構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る加工装置の制御手段の構成例を示す概略ブロック図である。実施形態に係る加工装置１は、半導体ウエーハ、ＣＳＰ基板等の板状の被加工物を切削するための加工装置である。本実施形態において、加工装置１は、図１に示すように、円盤形状のポーラスセラミックの表面（保持面に相当）に載置される被加工物を図示しない真空吸引源により吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持される被加工物を高速回転する極薄の砥石である切削ブレードにより切削する加工手段２０と、オペレータ等の作業員にとって操作しやすく見やすい位置に配置され、加工処理等に伴う各種情報を表示する表示パネルであるとともに、加工処理等に必要な加工条件やその他の情報を入力操作するためのタッチパネル構成のオペレーションパネル３０と、ＧＰＳ（Global Positioning System：全地球測位システム）衛星からのＧＰＳ信号を受信し、加工装置１の地球上での位置を検出するＧＰＳ４０と、ＧＰＳ４０が検出した加工装置１の位置情報を通信回線２０１，２０２を通じて装置メーカーのサーバー１００に送信する送信手段５０と、加工装置１全体の制御を司る制御手段６０と、を含んで構成されている。

加工装置１は、図１および図２に示すように、チャックテーブル１０上に保持された被加工物を撮像手段２３により撮像してアライメント調整用画像データを生成し、この画像データに基づいて加工手段２０と被加工物とのアライメントを調整した後、加工手段２０の切削ブレードを高速回転させつつ、チャックテーブル１０に対して加工手段２０をＺ軸移動手段２２でＺ軸方向に相対的に切り込み送りさせ、加工手段２０に対してチャックテーブル１０をＸ軸移動手段１１でＸ軸方向に相対的に加工送りさせ、チャックテーブル１０に対して加工手段２０をＹ軸移動手段２１でＹ軸方向に相対的に割り出し送りさせることで、被加工物の分割予定ラインを切削加工して切削溝を形成することができる。また、加工装置１は、同一方向の全ての分割予定ラインについて切削加工した後、チャックテーブル１０のＺ軸回りの回転により被加工物を９０度回転させ、加工手段２０により同様の切削加工を繰り返すことで、被加工物を個々のデバイスに分割することができる。ここで、加工装置１とサーバー１００とは、ネットワーク２００を介してアクセス可能である。また、加工装置１は、顧客側に設置され、サーバー１００は、装置メーカー側に設置される。

ＧＰＳ４０は、ＧＰＳ衛星からのＧＰＳ信号を受信するための受信アンテナと、ＧＰＳ信号を解析および演算して加工装置１の位置を算出する演算ユニットと、を有している。ＧＰＳ４０は、算出した加工装置１の位置を制御手段６０へ出力する。送信手段５０は、ＧＰＳ４０により検出された加工装置１の位置をネットワーク２００へ送信する。また、送信手段５０は、ネットワーク２００を介して、サーバー１００と信号を送受信する。すなわち、送信手段５０は、受信手段も兼ねており、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を装置メーカーのサーバー１００から受信する。

制御手段６０は、例えば、図２に示すように、ＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えるマイクロプロセッサ６１を主体に構成されている。制御手段６０は、Ｘ軸移動手段１１、加工手段２０、Ｙ軸移動手段２１、Ｚ軸移動手段２２、撮像手段２３、オペレーションパネル３０、ＧＰＳ４０、送信手段５０、のそれぞれをマイクロプロセッサ６１により制御する。マイクロプロセッサ６１は、記憶部６５やパネル表示画面記憶部６６から必要な情報を読み出して、表示制御部６２を介してオペレーションパネル３０の表示内容を制御する。マイクロプロセッサ６１は、オペレーションパネル３０上で作業員により指示操作された入力情報を解析する。マイクロプロセッサ６１は、解析した入力情報に基づいて各部の動作制御、表示制御を行う。マイクロプロセッサ６１は、通信制御部６４を介して、加工装置１の位置をＧＰＳ４０により検出させるタイミングと、加工装置１の位置を送信手段５０により送信させるタイミングと、を制御する。マイクロプロセッサ６１は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報をサーバー１００から受信した場合、送信手段５０が受信した制御情報を記憶部６５に記憶させた後、この制御情報に基づく制御を実行する。また、マイクロプロセッサ６１は、アライメント調整時やカーフチェック時の撮像手段２３の撮像動作を制御するとともに、撮像手段２３が撮像した画像データを処理する画像処理部６３を制御する。記憶部６５は、各種加工動作を実行するためのプログラムを格納している。また、記憶部６５は、ＧＰＳ４０で算出された加工装置１の位置、撮像手段２３が撮像した画像データ等を記憶する。パネル表示画面記憶部６６は、各種加工モード等に応じた操作キー等の表示パターンが設定された表示画面情報を格納している。また、パネル表示画面記憶部６６は、複数の言語ごとに表示画面情報を格納している。ここで、ＧＰＳ４０と送信手段５０と制御手段６０とは、供給電源の停電時や電圧降下時に加工装置１へ電力を一時的に供給するための図示しない緊急電源バッテリーにより動作可能である。

次に、図３を参照して、サーバー１００について説明する。図３は、実施形態に係る加工装置とネットワークを介して接続される装置メーカーのサーバーの構成例を示す概略ブロック図である。

サーバー１００は、いわゆるコンピュータであり、端末１１０からアクセス可能である。サーバー１００は、加工装置１の位置を取得可能であり、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信可能である。サーバー１００は、表示部１０１と、操作部１０２と、処理部１０３と、記憶部１０４と、情報通信部１０５と、を備え、これらは互いに接続され、互いに信号の受け渡しが可能である。表示部１０１は、ブラウン管やＬＣＤ等のディスプレイであり、各種画面を表示する。表示部１０１は、各種画面として、例えば、加工装置１の位置の取得を案内する取得案内画面（図示省略）、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報の送信を案内する送信案内画面（図示省略）等を表示する。操作部１０２は、キーボードやマウス等の入力装置であり、メーカー側のサーバー管理者によって操作される。処理部１０３は、各種プログラムを実行するための演算を行うＣＰＵ等で構成されており、記憶部１０４に記憶された各種プログラムを実行することで、各種処理を実行する。記憶部１０４は、各種プログラム等を実行するための作業領域となるＲＡＭ等の揮発性のメモリ、ＲＯＭやハードディスクドライブ等の不揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成される。記憶部１０４は、顧客情報データベース１０４ａと、加工装置データベース１０４ｂと、制御情報データベース１０４ｃと、を含んでいる。

顧客情報データベース１０４ａは、加工装置１を使用する顧客の情報（顧客情報）を格納している。顧客情報としては、例えば、顧客の名称（顧客名）、顧客の住所、顧客の連絡先、顧客のメールアドレス等である。加工装置データベース１０４ｂは、世界各地で稼働する加工装置１の情報（装置情報）を格納している。装置情報としては、例えば、加工装置１の地球上での位置、加工装置１の移設や譲渡の履歴、加工装置１の号機番号、加工装置１の稼働時間、加工装置１の修理・メンテナンスの履歴、加工装置１の消耗部品の交換時期等である。なお、号機番号とは、加工装置１の銘板に記載された製造番号であり、加工装置１の機種を識別することができる固有の番号である。制御情報データベース１０４ｃは、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を格納している。加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報としては、例えば、複数の言語ごとに作成されたオペレーションソフト、複数の言語ごとに作成されたオペレーションパネル３０に表示される表示画面情報、複数の言語ごとに作成されたオペレーションマニュアル、複数の言語ごとに作成された装置メーカーの連絡先情報等である。情報通信部１０５は、通信回線２０２を介してネットワーク２００と接続し、加工装置１の地球上での位置を受信したり、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信したりする。端末１１０は、いわゆるコンピュータであり、サーバー１００にアクセス可能である。端末１１０は、装置メーカー側に設置されており、メーカー側のオペレータによって操作される。

次に、図４を参照して、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を提供する一連の流れについて説明する。図４は、実施形態に係る加工装置の位置の取得および実施形態に係る加工装置への制御情報の提供に関する一連の流れを示す説明図である。

まず、加工装置１は、自身の地球上での位置を検出する（ステップＳＴ１）と、メーカー側のサーバー１００に対して、ネットワーク２００を介して、加工装置１の位置を送信する（ステップＳＴ２）。次に、サーバー１００は、加工装置１の位置を受信する（ステップＳＴ３）と、加工装置１に対して、ネットワーク２００を介して、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信する（ステップＳＴ４）。次に、加工装置１は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を受信する（ステップＳＴ５）と、この制御情報に基づく制御を実行する（ステップＳＴ６）。すると、加工装置１は、例えば、オペレーションパネル３０に表示される表示画面情報を、加工装置１が位置する地域の使用言語で表示する。以上により、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を提供する一連の流れは終了する。

次に、図５を参照して、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報の取得、および、制御情報に基づく制御の実行に関する、加工装置１の制御動作について説明する。図５は、実施形態に係る加工装置の制御動作を表すフロー図である。

まず、加工装置１の制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を検出するタイミングであるか否かを判断する（ステップＳＴ１１）。このステップＳＴ１１について詳しく説明すると、制御手段６０は、所定のタイミング（検出タイミング）に基づいて、加工装置１の地球上での位置を検出するタイミングであると判断する。検出タイミングは、例えば、加工装置１の電源を投入した時、加工装置１が電源に接続された時、加工装置１が電源から遮断された時などである。また、加工装置１が電源に接続されていない場合、所定のタイミング（検出タイミング）は、緊急電源バッテリーの蓄電量が十分であれば数日ごととし、蓄電量が減少してきたら数十日ごととしてもよい。これにより、移設中（移動中）の加工装置１の位置を検出することができ、緊急電源バッテリーの消耗を抑えることができる。

また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を検出するタイミングではないと判断する（ステップＳＴ１１否定）と、後述するステップＳＴ１４の処理を実行する。

また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を検出するタイミングであると判断する（ステップＳＴ１１肯定）と、加工装置１の地球上での位置を検出し（ステップＳＴ１２）、加工装置１の地球上での位置を記憶する（ステップＳＴ１３）。このステップＳＴ１３について詳しく説明すると、制御手段６０は、上記検出タイミングに基づいて、加工装置１の地球上での位置を検出するタイミングであると判断し、ＧＰＳ衛星からのＧＰＳ信号をＧＰＳ４０により受信させ、受信したＧＰＳ信号をＧＰＳ４０により解析および演算して加工装置１の位置を算出させ、算出した位置を記憶部６５に記憶させる。また、制御手段６０は、ＧＰＳ４０により算出されて検出された加工装置１の地球上での位置と、加工装置１の地球上での位置を検出した時のＧＰＳ信号に含まれる時刻情報と、を互いに紐付けて記憶部６５に記憶させる。

次に、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を送信するか否かを判断する（ステップＳＴ１４）。このステップＳＴ１４について詳しく説明すると、制御手段６０は、装置メーカーのサーバー１００からの送信要求（後述するステップＳＴ２２）に基づいて、加工装置１の地球上での位置を送信すると判断する。

また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を送信しないと判断する（ステップＳＴ１４否定）と、後述するステップＳＴ１７の処理を実行する。

また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を送信すると判断する（ステップＳＴ１４肯定）と、加工装置１の地球上での位置を記憶しているか否かを判断する（ステップＳＴ１５）。このステップＳＴ１５について詳しく説明すると、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置が記憶部６５に記憶されていることに基づいて、加工装置１の地球上での位置が記憶されていると判断する。

また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を記憶していないと判断する（ステップＳＴ１５否定）と、ＧＰＳ４０により加工装置１の地球上での位置を取得し（ステップＳＴ１９）、後述するステップＳＴ１６の処理を実行する。

また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を記憶していると判断する（ステップＳＴ１５肯定）と、加工装置１の地球上での位置を送信する（ステップＳＴ１６）。このステップＳＴ１６について詳しく説明すると、制御手段６０は、記憶された加工装置１の地球上での位置を記憶部６５から読み出し、有線通信回線や無線通信回線の通信回線２０１に送信手段５０を接続させ、ネットワーク２００を介して装置メーカーのサーバー１００に加工装置１の地球上での位置を送信する。また、制御手段６０は、加工装置１の地球上での位置を検出した日時（ＧＰＳ４０より取得した時刻）、加工装置１の号機番号、加工装置１の稼働時間等の各種情報も送信する。また、制御手段６０は、ステップＳＴ１９において加工装置１の地球上での位置を取得した場合、ＧＰＳ４０により検出された加工装置１の地球上での位置を送信する。

次に、制御手段６０は、装置メーカーのサーバー１００から制御情報を受信したか否かを判断する（ステップＳＴ１７）。このステップＳＴ１７について詳しく説明すると、制御手段６０は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を装置メーカーのサーバー１００から受信したことに基づいて、制御情報を受信したと判断する。

また、制御手段６０は、装置メーカーのサーバー１００から制御情報を受信していないと判断する（ステップＳＴ１７否定）と、加工装置１の地球上での位置の送信に関する制御動作を終了する。

また、制御手段６０は、装置メーカーのサーバー１００から制御情報を受信したと判断する（ステップＳＴ１７肯定）と、制御情報に基づく制御を実行し（ステップＳＴ１８）、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報の取得、および、制御情報に基づく制御の実行に関する制御動作を終了する。ステップＳＴ１８について詳しく説明すると、制御手段６０は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報に基づく制御を実行させる。制御手段６０が実行する制御情報に基づく制御としては、例えば、加工装置１が位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションソフトのインストール、加工装置１が位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションパネル３０に表示される表示画面情報のインストール、加工装置１が位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションマニュアルのインストール、加工装置１が位置する地域における装置メーカー側の連絡先情報の表示等である。

次に、図６を参照して、加工装置１の地球上での位置の送信要求、および、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報の送信に関する、装置メーカーのサーバー１００の制御動作について説明する。図６は、装置メーカーのサーバーの制御動作を表すフロー図である。

まず、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置を送信させるか否かを判断する（ステップＳＴ２１）。このステップＳＴ２１について詳しく説明すると、サーバー１００は、装置メーカー側のオペレータにより端末１１０から送信指示が入力されたことに基づいて、加工装置１の地球上での位置を送信させると判断する。

また、サーバー１００は、装置メーカー側のオペレータから送信指示がなければ（ステップＳＴ２１否定）、加工装置１の地球上での位置の送信要求に関する制御動作を終了する。

また、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置を送信させると判断する（ステップＳＴ２１肯定）と、有線通信回線や無線通信回線の通信回線２０２に情報通信部１０５を接続させ、ネットワーク２００を介して加工装置１の地球上での位置の送信要求を送信する（ステップＳＴ２２）。

次に、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置を受信したか否かを判断する（ステップＳＴ２３）。このステップＳＴ２３について詳しく説明すると、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置を装置メーカーのサーバー１００が受信したことに基づいて、加工装置１の地球上での位置を受信したと判断する。

また、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置を受信していない場合（ステップＳＴ２３否定）、加工装置１の地球上での位置を受信するまでステップＳＴ２３を繰り返し実行する。

また、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置を受信したと判断する（ステップＳＴ２３肯定）と、加工装置１の地球上での位置を記憶する（ステップＳＴ２４）。このステップＳＴ２４について詳しく説明すると、サーバー１００は、記憶部１０４の加工装置データベース１０４ｂに加工装置１の地球上での位置を記憶させ、位置情報を更新させる。また、サーバー１００は、加工装置１の地球上での位置とともに送信されてきた加工装置１の地球上での位置を検出した日時（ＧＰＳより取得した時刻）、加工装置１の号機番号、加工装置１の稼働時間等の各種情報を加工装置データベース１０４ｂに記憶させ、各種情報を更新させる。

次に、サーバー１００は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信するか否かを判断する（ステップＳＴ２５）。このステップＳＴ２５について詳しく説明すると、サーバー１００は、装置メーカー側のオペレータにより端末１１０から送信指示が入力されたことに基づいて、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信すると判断する。

また、サーバー１００は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信しないと判断する（ステップＳＴ２５否定）と、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報の送信に関する制御動作を終了する。

また、サーバー１００は、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を送信すると判断する（ステップＳＴ２５肯定）と、制御情報を送信し（ステップＳＴ２６）、加工装置１の地球上での位置の送信要求、および、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報の送信に関する制御動作を終了する。ステップＳＴ２６について詳しく説明すると、サーバー１００が送信する制御情報は、例えば、加工装置１が位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションソフト、加工装置１が位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションパネル３０の表示画面情報、加工装置１が位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションマニュアル、加工装置１が位置する地域における装置メーカー側の連絡先情報等である。また、サーバー１００は、加工装置１の制御手段６０に実行させる制御情報（プログラムのインストール、情報の表示等）も送信する。

以上のように、実施形態に係る加工装置１によれば、ＧＰＳ４０が検出した加工装置１の地球上での位置を装置メーカーのサーバー１００に通信回線２０１，２０２を介して送信することができるので、装置メーカーが加工装置１の地球上での位置を確認することができる。

また、装置メーカーが加工装置１の地球上での位置を確認することができるので、世界的にどの地域にどの加工装置１がどれだけあるのかを把握することも可能である。

また、装置メーカーは、世界的にどの地域にどの加工装置１がどれだけあるのかを把握することができるので、サーバー１００から制御情報を加工装置１へ送信したり、メーカー側のサービスマンを加工装置１の設置場所へ派遣したりすることができる。したがって、装置メーカーは、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた調整を加工装置１に施すことができる。

また、加工装置１は、この加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を装置メーカーのサーバー１００から受信可能であるので、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報として、位置する地域の使用言語で作成されたオペレーションソフト等を装置メーカー側から直接受信することができる。したがって、装置メーカーは、装置メーカー側のサービスマン等を加工装置１の設置場所へ派遣することなく、加工装置１が使用される地域特性に合わせた制御情報をインストールしたりアップデートしたりすることができる。

また、装置メーカーは、世界的にどの地域にどの加工装置１がどれだけあるのかを把握することができるので、装置販売に関わる戦略を立てる際に必要な情報を収集することができ、加工装置１の世界的なサポート体制の構築にも役立てることができる。

また、位置情報とともに号機番号や稼働時間等の各種情報も加工装置１から装置メーカーのサーバー１００へ送信されるので、装置メーカーは、世界的に各地で稼働する加工装置１の使用状況を把握することができ、加工装置１の種類や使用状況から各地域における生産動向などを把握することもできる。

なお、上記実施形態においては、加工装置１は、被加工物を切削砥石で切削するダイシング装置であったが、被加工物を研削砥石で研削するグラインディング装置、被加工物をレーザーやウォータージェットで切断するカッティング装置であってもよい。すなわち、加工装置１は、被加工物に対して切削、切断等の加工処理を施すことができる加工装置であればよい。これにより、装置メーカーは、種々の加工装置の地球上での位置を把握することができる。

また、加工装置１は、記憶部６５に記憶させた加工装置１の地球上での位置と、ＧＰＳ４０により検出された加工装置１の地球上での現在位置とが相違する場合、設置場所が移動されたと判断し、装置メーカーのサーバー１００からの位置の送信要求の有無にかかわらず、記憶部６５に記憶された位置と上記現在位置とを装置メーカーのサーバー１００に送信することが好ましい。これにより、装置メーカーは、加工装置１が移動（移設）されたことを効率よく把握することができる。

また、ＧＰＳ４０により加工装置１の高度を検出してもよい。これにより、被加工物を吸引保持するチャックテーブル１０に作用する真空吸引源の真空度を、加工装置１が設置されている場所の高度に適した真空度に調整することができる。真空吸引源の真空度の調整は、メーカー側のサーバー１００から制御情報として送信してもよく、ＧＰＳ４０が検出した高度に基づいて制御手段６０が自動的に調整してもよい。

また、装置メーカーのサーバー１００により加工装置１のオペレーションパネル３０の表示画面を見ることができるようにしてもよい。これにより、顧客側の作業員が何に困っているのかを把握することができ、装置メーカー側のオペレータが端末１１０から加工装置１を遠隔操作して問題解決することもできる。

また、種々の言語ごとに作成されたオペレーションソフト、種々の言語ごとに作成されたオペレーションパネル３０の表示画面情報、種々の言語ごとに作成されたオペレーションマニュアル、種々の言語ごとに作成された装置メーカー側の連絡先情報等を加工装置１の記憶部６５に予め記憶させておき、装置メーカーのサーバー１００から送信される制御情報を、加工装置１が位置する地域の地域特性に合わせた仕様（言語等）に切り替えるための指示信号としてもよい。これにより、通信量を抑えることができる。

また、装置メーカーのサーバー１００から加工装置１に送られる制御情報として、加工装置１の機能追加のプログラム、加工装置１の機能制限の解除指示等であってもよい。これにより、加工装置１の機能を追加したり、機能制限を解除したりすることができる。

また、加工装置１の地球上での位置の送信は、定期的でも、任意でもよく、加工装置１が電源に接続されている場合、定期的および任意に送信し、加工装置１が電源に接続されていない場合、任意に送信してもよい。これにより、緊急電源バッテリーの電力の消費を抑えることができる。また、任意の場合は、装置メーカーのサーバー１００から送信要求を通信回線２０１，２０２を通じて送ることで、位置情報を送信させてもよい。

１加工装置
１０チャックテーブル
２０加工手段
４０ＧＰＳ
５０送信手段（送受信手段）
６２表示制御部
６３画像処理部
１００サーバー
２０１通信回線
２０２通信回線

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された前記被加工物を加工する加工手段とを有する加工装置において、
前記加工装置の地球上での位置を検出するＧＰＳと、
前記ＧＰＳが検出した前記加工装置の位置情報を通信回線を通じて装置メーカーのサーバーに送信する送信手段と、を備える加工装置。
前記加工装置が位置する地域の地域特性に合わせた制御情報を前記装置メーカーの前記サーバーから受信可能である請求項１記載の加工装置。