JP2014159977A - 圧力センサ、及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施の形態に係る圧力センサは、少なくとも一部が気体と接した第1の温度センサ素子21を有する第1のセンサ27と、第2の温度センサ素子31を有する第2のセンサ37と、を備えている。さらに、本実施の形態に係る圧力センサは、第2のセンサ37を覆うカバー膜15と、第1の温度センサ素子21及び第2の温度センサ素子31に接続された検出回路60と、を備えている。
【選択図】図2
Description
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本実施の形態にかかる圧力センサを有する半導体回路について図1を参照して説明する。図1は、本実施の形態にかかる半導体チップ1の構成を模式的に示す図である。半導体チップ1は、基板10とパッド12と絶縁膜13と配線14とカバー膜15とを有している。例えば、基板10はシリコン基板などの半導体基板である。基板10上に絶縁膜13が形成されている。絶縁膜13は基板10の全面を覆っている。絶縁膜13の上にはカバー膜15が設けられている。カバー膜15は、基板10のほぼ全面に設けられている。基板10の端部には、複数のパッド12が配列されている。なお、パッド12の部分ではカバー膜15が除去され、パッド12が露出している。パッド12は、配線14と接続されている。これにより、外部からの信号の入出力が可能となる。カバー膜15は例えば、酸化膜や有機膜などの絶縁膜である。カバー膜15は、通常の半導体プロセス(層堆積、フォトリソグラフィー、エッチング、リフトオフ、アニール、スピンコート等)によって形成される。
ここで、CMOS回路領域11をチップ中央部、圧力センサ領域20をチップ端部、パッド12を反対側の端部としているが、この位置関係はこれ以外でも良い。
本実施の形態にかかる圧力センサの構成について、図9を用いて説明する。図9は、圧力センサの構成を示す平面図である。なお、本実施の形態では、第1温度センサ素子21、及び第2温度センサ素子31が4つ設けられている。図9において、4つの第1温度センサ素子21をそれぞれ第1温度センサ素子21a〜第1温度センサ素子21dとして示す。同様に、4つの第2温度センサ素子31を第2温度センサ素子31a〜第2温度センサ素子31dとして示す。なお、圧力センサの基本的構成については、実施の形態1と同様であるため、同様の内容については、説明を省略する。
本実施の形態に係る圧力センサの構成について、図10を用いて説明する。図10は、圧力センサの構成を示す断面図である。本実施の形態では、実施の形態1の構成に加えて、温度計17が用いられている。なお、実施の形態1と同様の構成については、説明を省略する。例えば、第1のセンサ27、及び第2のセンサ37は実施の形態1と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。
本実施の形態に係る圧力センサの構成について、図11を用いて説明する。図11は、圧力センサの構成を示す断面図である。本実施の形態では、実施の形態4と同様に、温度計17が用いられている。さらに、本実施の形態では、基板10上のp-n接合によって、温度計17を形成している。したがって、温度計17は絶縁膜13の下に配置される。また、絶縁膜13とカバー膜15が温度計17を覆っている。
本実施の形態に係る圧力センサの構成について、図12、及び図13を用いて説明する。図12は、圧力センサ2の構成を示す平面図である。図13は、図12のXIII−XIII断面図である。本実施の形態には、カバー膜15の上に蓋18が設けられている。蓋18は、開口部16の空間を覆う。蓋18は、第1のセンサ27の上方に配置される。蓋18は、例えば、柔軟な保護フィルムとすることができる。
本実施の形態に係る圧力センサの構成について、図14を用いて説明する。図14は、圧力センサ2の検出回路60の構成を示す回路図である。本実施の形態では、図4に示した検出回路60の構成に、スイッチ61、記憶素子62、比較器63、ヒータ抵抗64、ヒータスイッチ65が追加されている。なお、検出回路60の基本的な回路構成については、図4と同様であるため、説明を省略する。すなわち、ブリッジ回路50と差動アンプ51の構成は、図4と同様である。
本実施の形態に係る圧力センサの構成について、図15を用いて説明する。図15は、圧力センサ2の検出回路60の構成を示す回路図である。本実施の形態では実施の形態6の構成に加えて、AD変換器66が設けられている。さらに、比較器63の代わりに演算器67が設けられている。なお、検出回路の基本的構成については、実施の形態1、6で示した構成と同様であるため、適宜説明を省略する。
本実施の形態に係る圧力センサ2の構成について、図16を用いて説明する。図16は、圧力センサ2の構成を示す側面断面図である。本実施の形態では、図13と同様に蓋18が設けられている。ここでは、蓋18としては、たとえば、シリコンやガラスなどの硬い物質を用いている。蓋18は、開口部16の上側を覆っている。すなわち、第1ヒータ22、及び第1温度センサ素子21の上方に蓋18が配置される。
本実施の形態に係る圧力センサ2の構成について、図17を用いて説明する。図17は、圧力センサ2の構成を示す側面断面図である。本実施の形態では、実施の形態1の構成にから開口部16の形状を変えている。カバー膜15の開口部16の大きさを第1ヒータ22、及び第1温度センサ素子21の大きさと同程度まで小さくしている。すなわち、第1ヒータ22と第1温度センサ素子21の間の一部にカバー膜15を形成する。このように開口部16を小さくすることで、よりも大きな異物の混入を防ぐ。
本実施の形態に係る圧力センサ2の構成について、図18を用いて説明する。図18は、圧力センサの構成を示す側面断面図である。本実施の形態では、実施の形態1の構成にからカバー膜15の形状を変えている。具体的には、カバー膜15に開口部16を設けない構成としている。すなわち、カバー膜15の端部が第1のセンサ27と第2のセンサ37の間に配置されており、カバー膜15が第1のセンサ27の外周を囲んでいない構成となっている。このような構成であっても、上記の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
なお、上記の実施の形態では、温度センサ素子21、31を配線抵抗によって形成したが、図11の温度計17と同様にp-n接合によって形成するようにしてもよい。すなわち、p-n接合の順方向電圧は温度依存性を持っている。したがって、図19に示すように、配線抵抗ではなくp-n接合を有するダイオード74、75によって、温度センサ素子21、31を形成してもよい。この場合、ダイオード74、75は直接空気と接しないので、ダイオード74、75の直上に最上層配線79を配置する。そして、ダイオード74,75を最上層配線79とビア78で接続する。これにより、ビア78を介して、最上層配線79を介して空気の温度をダイオード74、75に伝えることができる。
なお、上記の実施の形態では、第1温度センサ素子21、及び第2温度センサ素子31とは別に第1ヒータ22、及び第2ヒータ32を設けたが、第1温度センサ素子21、及び第2温度センサ素子31がそれぞれヒータとして機能させてもよい。
11 CMOS回路領域
12 パッド
13 絶縁膜
14 配線
15 カバー膜
16 開口部
17 温度計
18 蓋
20 圧力センサ領域
21 第1温度センサ素子
22 第1ヒータ
27 第1のセンサ
31 第2温度センサ素子
32 第2ヒータ
37 第2のセンサ
50 ブリッジ回路
51 差動アンプ
52 負荷抵抗
53 負荷抵抗
54 センサ抵抗
55 センサ抵抗
61 スイッチ
62 メモリ
63 比較器
64 ヒータ抵抗
65 ヒータスイッチ
Claims (18)
- 少なくとも一部が気体と接した第1の温度センサ素子を有する第1のセンサと、
第2の温度センサ素子を有する第2のセンサと、
前記第2のセンサを覆うカバー膜と、
前記第1の温度センサ素子及び前記第2の温度センサ素子に接続された検出回路と、を備えた圧力センサ。 - 前記第1のセンサでは、前記第1の温度センサ素子に対して、少なくとも一つの第1のヒータが設けられ、
前記第2のセンサでは、前記第2の温度センサ素子に対して、少なくとも一つの第2のヒータが設けられている請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記第1の温度センサ素子が前記第1のヒータに対して対称配置になるよう、前記第1のヒータの周囲に複数設けられ、
前記第2の温度センサ素子が前記第2のヒータに対して対称配置になるよう、前記第2のヒータの周囲に複数設けられている請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記検出回路が前記第1の温度センサ素子と前記第2の温度センサ素子との電位差を検出する請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記検出回路が差動アンプを有しており、
前記差動アンプの入力に、前記第1の温度センサ素子及び前記第2の温度センサ素子が接続されている請求項4に記載の圧力センサ。 - 前記第1の温度センサ素子と、前記第1の温度センサ素子に接続された負荷抵抗と、前記第2の温度センサ素子と、前記第2の温度センサ素子に接続された負荷抵抗と、によってブリッジ回路が形成され、
前記ブリッジ回路が前記差動アンプに接続されている請求項5に記載の圧力センサ。 - 前記第1の温度センサ素子及び第2の温度センサ素子が、配線である請求項1に記載の圧力センサ。
- 温度に応じて前記配線の抵抗が変化する請求項7に記載の圧力センサ。
- 前記第1の温度センサ素子及び第2の温度センサ素子が、ダイオードである請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第1の温度センサ素子及び前記第2の温度センサ素子が設けられた基板に、前記第1及び第2のセンサと離間して配置され、前記カバー膜で覆われた温度計が設けられている請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記温度計が、前記基板上に設けられた配線である請求項10に記載の圧力センサ。
- 前記温度計が、前記基板に設けられたp−n接合を有している請求項10に記載の圧力センサ。
- 前記カバー膜に取り付けられ、前記第1のセンサの上方に配置された蓋をさらに有する請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記カバー膜が、前記第1のセンサが配置される開口部を備え、
前記蓋が前記開口部を覆う保護フィルムであることを特徴とする請求項13に記載の圧力センサ。 - 前記カバー膜には、前記蓋の下方に設けられ、前記第1のセンサに通じる流路が形成されている請求項13に記載の圧力センサ。
- 前記第1のセンサに設けられた第1のヒータ、及び前記第2のセンサに設けられた第2のヒータをオンオフするヒータスイッチと、
前記ヒータスイッチが前記第1のヒータ、及び前記第2のヒータをオフしたときに、前記差動アンプから出力される出力値を記憶する記憶素子と、
前記ヒータスイッチが前記第1のヒータ、及び前記第2のヒータをオンしたときに、前記記憶素子に記憶された値と、前記差動アンプからの出力値とを比較する比較器と、をさらに備えた請求項5に記載の圧力センサ。 - 基板と、
前記基板上に設けられたカバー膜と、
前記カバー膜の外側に少なくとも一部が配置された第1の温度センサ素子を有する第1のセンサと、
前記カバー膜によって覆われた第2の温度センサ素子を有する第2のセンサと、
前記第1の温度センサ素子及び前記第2のセンサに接続された検出回路と、を備えた圧力センサ。 - CMOS回路領域と圧力センサ領域とを有する基板と、
前記圧力センサ領域に配置され、少なくとも一部が気体と接した第1の温度センサ素子を有する第1のセンサと、
前記圧力センサ領域に配置され、第2の温度センサ素子を有する第2のセンサと、
前記第2のセンサを覆うカバー膜と、
前記第1の温度センサ素子及び前記第2の温度センサ素子に接続された検出回路と、を備えた半導体回路。
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JP2013029816A JP2014159977A (ja) | 2013-02-19 | 2013-02-19 | 圧力センサ、及び半導体装置 |
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5557972A (en) * | 1994-09-13 | 1996-09-24 | Teledyne Industries, Inc. | Miniature silicon based thermal vacuum sensor and method of measuring vacuum pressures |
JP2001517313A (ja) * | 1997-03-21 | 2001-10-02 | マツクス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フエルデルングデル ヴイツセンシャフテン エー フアウ | 箔マノメータ |
WO2008053729A1 (fr) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Mems Core Co., Ltd. | Capteur, dispositif de mesure et procédé de mesure |
JP2009019973A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体圧力センサ |
JP4307738B2 (ja) * | 1998-12-24 | 2009-08-05 | 三菱電機株式会社 | 圧力センサ |
JP2010025843A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010107417A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Seiko Epson Corp | 圧力センサ装置 |
-
2013
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5557972A (en) * | 1994-09-13 | 1996-09-24 | Teledyne Industries, Inc. | Miniature silicon based thermal vacuum sensor and method of measuring vacuum pressures |
JP2001517313A (ja) * | 1997-03-21 | 2001-10-02 | マツクス−プランク−ゲゼルシャフト ツール フエルデルングデル ヴイツセンシャフテン エー フアウ | 箔マノメータ |
JP4307738B2 (ja) * | 1998-12-24 | 2009-08-05 | 三菱電機株式会社 | 圧力センサ |
WO2008053729A1 (fr) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Mems Core Co., Ltd. | Capteur, dispositif de mesure et procédé de mesure |
JP2009019973A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体圧力センサ |
JP2010025843A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010107417A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Seiko Epson Corp | 圧力センサ装置 |
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