JP2014157970A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部回路22に接続されることなく表面層の外縁側に配置されるアース用配線26が設けられており、このアース用配線26の一部であるアース用PAD27と、当該アース用PAD27よりも一層内側に配置されて内部回路22に接続されるキャパシタ構成用配線28との間には、キャパシタ構成用配線28に接続される導体部31と絶縁層30の一部とが配置される。
【選択図】図2
Description
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
以下、本発明の半導体集積回路を具現化した第1実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、第1実施形態に係る半導体集積回路20の概略構成を示すブロック図である。図2(A)は、半導体集積回路20の電源用PAD23近傍を上方から見た上面図であり、図2(B)は、図2(A)の2B−2B線相当の切断面による断面図である。
まず、半導体集積回路20のうち表面層の一層内層側に位置する配線層よりも下層側を構成する半導体基板21を用意する。この半導体基板21は、内部回路22等を構成するための基板であり、例えば、シリコン基板上に複数の配線層が絶縁層を介して積層され形成されている。
車載機器等ではワイヤハーネスが長くなるため他の車載機器等からの影響を受けやすく、ワイヤハーネスに高周波の高電界が作用等すると、信号線、電源線やGND線に同時にノイズが伝達される場合がある。そこで、本第1実施形態の第1変形例として、図5に示すように、電源用PAD23だけでなく、信号用PAD24およびGND用PAD25のそれぞれに対しても、キャパシタ32と同様に、キャパシタ32a,32bを形成してもよい。また、キャパシタ32を、電源用PAD23、信号用PAD24およびGND用PAD25のいずれか2つに形成してもよい。このように、キャパシタ32を複数の箇所に形成することで、信号線、電源線やGND線等に同時に伝達されるノイズであっても抑制することができる。
次に、本発明の半導体集積回路を具現化した第2実施形態について、図面を参照して説明する。図6(A)は、第2実施形態に係る半導体集積回路20bの電源用PAD23近傍を上方から見た上面図であり、図6(B)は、図6(A)の6B−6B線相当の切断面による断面図である。図7(A)〜(E)および図8(A)〜(E)は、第2実施形態におけるキャパシタ35の製造工程を説明するための断面図である。
まず、上記第1実施形態と同様に、半導体基板21を用意し、図7(A)に示すように、キャパシタ構成用配線28を構成するための配線層41を半導体基板21上に生成した後、さらに、図7(B)に示すように、絶縁層42を表面側に生成する。続いて、図7(C)に示すように、各導体部33を構成するための複数の凹部43aを、絶縁層42にエッチング等してそれぞれ形成し、図7(D)に示すように、各凹部43aを埋めるように導体層44を生成する。
次に、本発明の半導体集積回路を具現化した第3実施形態について、図面を参照して説明する。図9(A)は、第3実施形態に係る半導体集積回路20cの電源用PAD23およびGND用PAD25近傍を上方から見た上面図であり、図9(B)は、図9(A)の9B−9B線相当の切断面による断面図である。図10は、図9の半導体集積回路20cの一部の回路モデルを示す説明図である。図11は、第1経路L1および第2経路L2におけるインピーダンス特性を示す説明図である。
(1)図16は、電源用PAD23およびアース用PAD27間に複数のキャパシタ70a〜70dを形成した半導体集積回路20dの概略構成を示すブロック図である。図17は、図16の半導体集積回路20dの各キャパシタ70a〜70d近傍を示す一部断面図である。
アース用PAD27と各PAD23〜25との間には、1つのキャパシタを設けることに限らず、容量を大きくするために複数のキャパシタを並列して設けることができる。例えば、図16に示す半導体集積回路20dのように、電源用PAD23およびアース用PAD27間に4つのキャパシタ70a〜70dを設けることができる。
23…電源用PAD 24…信号用PAD 25…GND用PAD
26…アース用配線
27,27a,27b…アース用PAD(アース用配線の一部)
28,28a,28b,71a,71b,72a,72b…キャパシタ構成用配線
30,74a〜74d…絶縁層
31,31a,31b,73a〜73d…導体部
33…導体部(第1の導体部) 34…導体部(第2の導体部)
32,32a,32b,35,36a,36b,70a〜70d…キャパシタ
50…保護ダイオード
L1…第1経路 L2…第2経路
Claims (5)
- 半導体基板(21)上に複数の配線層が絶縁層を介して積層される多層配線構造を有する半導体集積回路(20,20a〜20d)であって、
内部回路(22)と、
前記内部回路に接続されることなく表面層の外縁側に配置されるアース用配線(26)と、
を備え、
前記アース用配線の一部(27,27a,27b)と当該アース用配線の一部よりも一層内側に配置されて前記内部回路に接続される配線層の一部(28,28a,28b,71a,71b,72a,72b)との間には、前記アース用配線の一部および前記配線層の一部のいずれか一方に接続される導体部(31,31a,31b,33,34,73a〜73d)と前記絶縁層の一部(30,74a〜74d)とが配置されることを特徴とする半導体集積回路。 - 前記配線層の一部は、電源用配線の一部(23)、接地用配線の一部(25)、信号用配線の一部(24)の少なくともいずれか2つであることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記内部回路の保護回路として機能する保護ダイオード(50)を備え、
前記配線層の一部は、前記保護ダイオードが接続される電源用配線の一部(23)と接地用配線の一部(25)との2つであって、
前記保護ダイオードの保護対象となるノイズの周波数にて、前記保護ダイオードを経由して前記電源用配線の一部と前記接地用配線の一部とを結ぶ経路(L1)の合成インピーダンスが、前記アース用配線および前記導体部を経由して前記電源用配線の一部と前記接地用配線の一部とを結ぶ経路(L2)の合成インピーダンスよりも小さくなるように形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路。 - 前記アース用配線の一部と前記配線層の一部との間には、前記導体部として、前記アース用配線の一部に接続される複数の第1の導体部(33)と前記配線層の一部に接続される複数の第2の導体部(34)とが、前記配線層に沿う方向にて前記絶縁層の一部を介して近接して対向するように配置されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
- 前記アース用配線は、当該半導体集積回路の周囲に配置されてアース用として機能する金属導体(64)に直接接触するように形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05152291A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
JPH05283611A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2000150796A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-30 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2000311964A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2001274328A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003224195A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Ricoh Co Ltd | スタンダードセルまたはマクロセルを含む半導体集積回路、およびその配置配線方法 |
JP2005294975A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Densei Lambda Kk | ノイズフィルタ |
JP2007067207A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2009231513A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Elpida Memory Inc | 半導体装置 |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05152291A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
JPH05283611A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2000150796A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-30 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2000311964A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2001274328A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003224195A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Ricoh Co Ltd | スタンダードセルまたはマクロセルを含む半導体集積回路、およびその配置配線方法 |
JP2005294975A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Densei Lambda Kk | ノイズフィルタ |
JP2007067207A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2009231513A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Elpida Memory Inc | 半導体装置 |
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