JP2014157154A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】改良した監視及び/又はテスト操作性を有する測定回路を提供する。
【解決手段】測定回路は評価回路（１３、６３）と、測定対象物（７）から測定信号を発生させるように構成された検出要素（６、５５）、及び測定信号を評価回路に伝送する伝送線（２６、６９）を備えた検出回路（３９、４０）と、 信号注入器（１２）、及びこの信号注入器（１２）の信号出力を検出回路（３９、４０）と接続して、伝送線（２６、６９）を伝わってテスト信号が評価回路（１３、６３）に伝送可能であるようにしてテスト信号を検出回路（３９、４０）に送る注入線（２０）とを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、
評価回路と、
測定対象物から測定信号を発生させるように構成された検出要素、及び前記測定信号を前記評価回路に伝送する伝送線を備えた検出回路と、
信号注入器、及び該信号注入器の信号出力を前記検出回路に接続して、テスト信号が前記伝送線を伝わって前記検出回路に伝送可能となるようにして前記テスト信号を前記検出回路に送る注入回路と、
を具備した測定回路に関する。

こういった測定回路は、例えば、振動を検出するのに用いることができる。特に、測定対象物は、飛行機のエンジン、或いはガスタービン又は蒸気タービン等の地上タービン等の回転機械、又は任意の他の回転構造体によって構成することができる。

この種の測定装置は米国特許第６，４９８，５０１Ｂ２号明細書から既知である。この回路の検出要素は圧電変換器によってもたらされる。検出回路は圧電変換器に並列に接続された２つの注入コンデンサを更に含んでいる。注入コンデンサの双方は、補助テスト信号を、信号注入コンデンサを用いて信号注入器の出力から検出回路に注入することができるように注入線に接続されている。次いで、テスト信号は各伝送線を介して各注入点から評価回路に伝送される。このことによって、監視された振動機械の動作の際だけでなく、振動機械が停止しているときにも、測定回路はこの測定回路の品質を評価することができる。このようにして、測定回路の永久的監視を達成することができる。

この測定回路の欠点は、この測定回路の内部の内蔵されたテスト装置（ＢＩＴＥ：built-in test equipment）が、各伝送線の適切な機能性と外部部品への適切な接続性に関する監視に制限されていることである。何故ならば、これらのみがテスト信号を評価回路に受け渡すのに使用されるからである。しかしながら、補助テスト信号を各信号注入コンデンサによって検出要素の各端子に順に回すときに、検出要素自身をテストすることはできない。しかしながら、検出回路の品質は測定要素の信頼性にとって非常に重要なものである。

別の欠点は、各信号注入コンデンサを設けることが必要であるということである。一般に、所望の高信頼性のこういった付加的部品は、製品コストの増加につながる。一方、付加的部品は本質的に故障に関する或る一定の確率を有するものであり、従って、測定回路におけるエラーの起こり得る発生源に寄与することとなろう。

米国特許第６，４９８，５０１Ｂ２号明細書

本発明の目的は、前述の欠点のうち少なくとも１つを改善すると共に、改良したＢＩＴＥ機能性を有する最初に述べた測定回路を提供することにある。特に、電流測定回路に存在するエラーの起こり得る発生源を、この発明による新しく提案した回路設計によってより良好に識別可能にするか、又は低減し或いは除去することとなろう。

これらの目的のうち少なくとも１つは請求項１による測定回路によって達成される。各従属項は好ましい各実施例を規定する。

従ってこの発明は、テスト信号を、検出要素を通して送ることができるようにして、注入線及び伝送線を、検出要素を介して直列に相互接続することを提案するものである。このようにして、伝送線の監視及び/又はテスト、及び測定回路の接続性の他に、測定回路の機能性を、検出要素の機能性の監視及び/又はテストに拡張することができる。こうして、検出要素に関係した起こり得るエラー発生源を識別可能にすることができる。

更に、検出要素を通してテスト信号を直接送ることによって、各付加的注入コンデンサの供給を省略することができる。こうして、各注入コンデンサの機能性に関係する、起こり得るエラーの発生源を除去することができる。また、測定回路全体の複雑さを低減することができ、このことは一層高信頼性でかつ安価な回路設計につながる。

好ましくは、注入線及び伝送線は、それらの直列接続部を除いて、検出要素を介して相互に離隔している。こうして、テスト信号は検出要素を通すだけで、好ましくは注入線に送ることができる。好ましくは、伝送線及び信号注入器の間の唯一の物理的接続は、こうして検出要素を介して設けられている。このことは検出要素に関係した品質係数の一義的な検証可能性に寄与するものである。

好ましくは、注入線を介して適切なテスト信号をもたらすために、テスト信号注入回路の以下の各構成の少なくとも１つを適用する。

信号注入回路は好ましくはグランドに接続される。注入線は好ましくは、特に信号注入器を介してグランドに接続される。このことは、注入線に沿って本質的に存在する容量と並行にテスト信号を伝送するのに活用することができる。テスト信号は好ましくは、接地された注入線及び信号発生器の間の電位の差に対応する。好ましくは、検出要素上のテスト信号用の供給電極は、こうして注入線及び信号注入器を介してグランドに接続されている。このようにして、検出回路におけるテスト信号の有利な注入、及び評価回路への一致した伝送を達成することができる。

更に、この目的に対して、テスト信号に低い出力インピーダンスをもたらすために、信号注入器が好ましくは構成される。特に、信号注入器の信号出力は好ましくは高くとも１０Ω、より好ましくは最大でも０．５Ωのオーミックインピーダンスを有する。この結果、好ましくは、接地された注入線と低いオーミックインピーダンスの信号発生器との間の電位の差に対応するテスト信号が得られる。低いオーミックインピーダンスのこういったテスト信号は、好ましくは、その値を検出要素のインピーダンス値に一致させるために発生される。特に、検出要素の故障及び/又は品質低下の場合には、検出要素のインピーダンスは非常に低くても良い。

好ましい構成によれば、信号注入器は信号発生器及び発生した信号用の変圧器を含んでいる。この変圧器の一次巻線は、好ましくは信号増幅器に接続されている。この変圧器の二次巻線は、好ましくは注入線に接続されている。特に、二次巻線は好ましくはグランドに接地されている。

変圧器は好ましくは、信号注入器の信号出力のインピーダンス値を望ましい値に、特に、前述した通りのインピーダンス値に一致させるために適用される。好ましくは、注入線に接続した変圧器の二次巻線のインダクタンスは望ましいインピーダンス値と一致する。別の好ましい構成によれば、信号注入器は望ましいインピーダンス値を示す信号発生器によって構成される。

好ましくは、信号注入器は、注入線を介して伝送されるテスト信号を用いて検出要素の供給電極において電荷を発生させることができるようになっている。好ましくは、信号注入器によってもたらされるテスト信号には交流電圧を含む。より好ましくは、テスト信号は、発生させることができるか又は検出要素によって発生されることが想定される、各測定信号の周波数帯に対応する所定の周波数範囲の外側にある周波数を含んでいる。代替的に又は付加的に、テスト信号は直流(ＤＣ)信号を含んでいても良い。

好ましくは、注入線及び伝送線又は幾つかの伝送線は共通のエンクロージャー、特に、ケーブルを通して伸長している。注入線及び伝送線の双方又は幾つかの伝送線を共通のエンクロージャーに集積化又は部分的に集積化することは、より安価な回路設計に寄与する。エンクロージャーは好ましくは注入線及び伝送線又は幾つかの伝送線用の共通の電磁遮蔽を構成する。外部摂動を弱めるか、又は除去するためにこの遮蔽を適用することができる。

しかしながら、その結果、遮蔽と、注入線及び各伝送線によって構成される導体のおのおのとの間の実効容量は本質的に存在する場合がある。従って、信号注入器及び評価回路の間に見られる、結果として生じる容量は、評価回路で評価すべき伝送された信号に影響を及ぼし得る。好ましくは、遮蔽はグランドに接続されている。このようにして、評価回路で評価すべき伝送された信号の伝達関数における、この結果として生じる信号の望ましくない関与を効果的に回避することができる。

更に、注入線及び各伝送線の導体間の実効容量は本質的に存在する場合がある。従って、これらの容量のおのおのが、注入された信号及び/又は評価回路で評価すべき伝送された信号に影響する場合もある。好ましくは、注入線及び/又は伝送線のうちの少なくとも１つは、別個のエンクロージャー、特に外部摂動を弱めるか又は除去するための各電磁遮蔽を通して単独で伸長する。好ましくは、別個の遮蔽はグランドに接続されている。このようにして、注入線及び各伝送線の導体間の実効容量にテスト信号を直接注入することは有効に除去することができる。こうして、評価回路に伝送された信号の電達関数における実効容量の望ましくない関与を回避することができる。

好ましくは、注入線に対して別個の遮蔽が設けられると共に、少なくとも１つの伝送線に対して、又は幾つかの伝送線に対して一緒に別個の遮蔽が設けられる。より好ましくは、注入線用の、また各伝送線用の別個の電磁遮蔽が設けられる。各別個の遮蔽は好ましくはグランドに接続されている。

前述した共通の及び/又は別個の遮蔽に関して、異なる遮蔽概念が考えられる。即ち、第１の好ましい構成によれば、別個の遮蔽のみが注入線及び/又は単一の伝送線又は複数の伝送線に対して設けられる。第２の好ましい構成によれば、注入線及び伝送線のおのおのが伸長する共通遮蔽のみが適用される。第３及び最も好ましい構成によれば、注入線及び少なくとも１つの伝送線用の共通遮蔽、及び共通の電磁遮蔽内部の注入線及び少なくとも１つの伝送線のおのおの用の別個の遮蔽の双方が設けられる。このようにして、測定回路はその測定及びテストの機能性の望ましい信頼性に適合することができる。

特に、異なる遮蔽の概念は、注入線及び/又は単一の伝送線或いは複数の伝送線に対して使用すべきケーブルの長さに応じて適用しても良い。ケーブルが長ければ長い程、より大きな数の各電磁遮蔽が好ましくは適用される。電界に対する耐性が増大することに加えて、検出要素の容量の変化に関するテスト感度をこうして改善することができる。

好ましくは、検出要素、及び注入線及び/又は伝送線の少なくとも一部分は、センサーハウジングによって囲まれる。このようにして、測定対象物に対して近接するか又は望ましい距離を置いて取り付け可能なセンサーを設けることができる。好ましくは、センサーのコンパクトな設計を許容するために、評価回路及び/又は信号注入器はハウジングの外側に配置される。

好ましくは、注入線及び/又は伝送線が通るセンサーハウジングの各壁部の内側に各出力通路が設けられる。より好ましくは、各出力通路はセンサーハウジングにおける出力端子として設けられると共に、この出力端子のおのおのに検出要素を接続するために、それぞれの接続ワイヤーがハウジングの内側に設けられる。注入線及び/又は各伝送線の外部の部分は好ましくはハウジングの外側からそれぞれの出力端子に差し込むことができる。

好ましくは、検出要素はセンサーハウジングの各壁部から電気的に絶縁されっている。こうして、検出要素は好ましくはハウジングの内部に電気的に浮遊して設けられる。更に、注入線及び/又は伝送線は好ましくはセンサーハウジングの各壁部から絶縁されている。その結果、ハウジング及び注入線の間、及び/又はハウジング及び注入線及び/又は伝送線の間の実効容量が本質的に存在する場合がある。センサー、特に、センサーハウジングは好ましくはグランドに接地されている。こうして、評価回路で評価すべき伝送された信号の伝達関数における実効容量の望ましくない関与を回避することができる。

好ましくは、検出要素は圧電検出要素である。特に、検出要素は圧電板の積層体（積み重ね状体）を含んでいる。こういった圧電部材から作られる測定要素は、測定回路の種々の対象とする用途分野で、特に、航空機エンジン及び/又はガスタービン等の振動及び又は回転エンジン用の監視システムの分野で十分に証明されテストされるという利点を有する。特に、或る一定の用途にとって、誘導性、容量性、抵抗性又は電気光学的要素等の別の検出要素もまた考えられることがわかる。好ましくは、検出要素は変換器、特に、圧電変換器である。

好ましくは、検出要素は、テスト信号を注入する少なくとも１つの供給電極、及び測定信号及び/又はテスト信号を伝える少なくとも１つの出力電極を含んでいる。好ましくは、各電極には逆の両極性が与えられる。注入線は好ましくは少なくとも１つの供給電極に接続されると共に、伝送線は好ましくは出力電極に接続され、或いは多数の伝送線は好ましくは各出力電極に接続されている。好ましくは、異極性は少なくとも１つの供給電極に対して、また少なくとも１つの伝送電極に対して与えられる。好ましくは、これらの電極のうちの少なくとも２つは、検出要素の対向端部に設けられている。

好ましくは、評価回路は少なくとも１つの信号増幅器、特に、電荷増幅器を含んでいる。信号増幅器は好ましくは伝送線に接続され、こうして、伝送線を伝わって伝送される信号を表わす信号を伝えるように構成されている。好ましい構成によれば、信号増幅器は好ましくは帰還コンデンサが設けられた演算増幅器である。好ましくは、評価回路及び信号注入器は共通のエレクトロニクスユニット中に包まれている。

好ましくは、テスト信号が各測定信号に対して単独に又は付加的に少なくとも１つの伝送線を介して評価回路に伝送可能となるように測定回路が構成される。こうして、測定回路のテスト及び/又は監視は、好ましくは一方で測定動作の際に行うことができ、また他方で測定動作から独立して行うことができる。

測定回路をテストする好ましい方法は、評価回路の出力において、特に、信号増幅器の出力において伝送線を介して伝送されるテスト信号を評価することを含んでいる。好ましくは、テスト信号の評価が行われる評価回路に評価論理回路が設けられている。好ましくは、検出要素又は信号注入器及び/又は注入線及び/又は伝送線の何れかの故障又は品質低下が、期待値に対する評価されたテスト信号の低下によって同定される。

また、測定回路における種々の短絡は、伝送されたテスト信号の評価によって好ましくは検出可能とされる。これらの短絡は、特に、導体間において、遮蔽及び導体間において、検出回路間において又はセンサーの内部の絶縁体間において起こり得る。更に、グランドへの接地の断線が好ましくは検出可能とされる。こういった断線は、センサーの接地、特に、センサーハウジングの接地、遮蔽の接地、又は信号注入器の接地を含んでいても良い。

第１の好ましい構成において、前述の測定回路は、特に、テスト用途用に使用される非対称の測定回路として実施される。第２の好ましい構成において、測定回路は、更に以下において述べるような付加的冗長性特徴を有する対称な測定回路として実施される。こういった対称な測定回路は、好ましくは、監視用途、特定の安全性完全性レベル（ＳＩＬ: safety integrity level）要求を有する用途、測定回路をアクセスすることが困難な場所に取り付ける用途、又は遠く離れた場所において適用される。

この第２の好ましい構成において、検出要素は測定対象物から付加的測定信号を発生するように構成されると共に、検出回路は付加的測定信号を評価回路に伝送する検出要素に接続された付加的伝送線を含んでいる。このことによって、測定回路の冗長的機能性がもたらされる。測定回路のより高い信頼性に加えて、このことは、測定回路における品質低下又は故障に関するより高い検出可能性に寄与することもできる。

好ましくは、注入線及び付加的伝送線は、テスト信号が伝送線及び/又は付加的伝送線を伝わって評価回路に伝送可能となるようにして検出要素を介して直列に相互接続される。このようにして、注入線を伝送線及び付加的伝送線に直列接続することが、好ましくは検出要素を介して確立される。こうして、伝送線及び付加的伝送線を介してテスト信号を伝送することは、評価回路において冗長にチェックすることができる。このことは、測定回路における品質低下又は故障に対するより高い検出可能性に更に寄与する。

測定回路の正常動作の際に、伝送線を伝わって伝送されるテスト信号、及び付加的伝送路を伝わって伝送されるテスト信号には、好ましくは実質的に同一の振幅が与えられる。好ましい構成によれば、伝送線を伝わって伝送されるテスト信号、及び付加的伝送路を伝わって伝送されるテスト信号にはまた、同じ位相が与えられる。

好ましくは、注入線及び付加的伝送線は、それらが直列接続されている点を除き検出要素を介して相互に分離している。こうして、テスト信号は検出要素を通すだけで好ましく付加的伝送線に送ることができる。好ましくは、付加的伝送線及び信号注入器の間の唯一の物理的接続は、こうして検出要素を介して設けられている。このことは検出要素に関係する各品質係数の一義的検証可能性に寄与するものである。更に、伝送線及び付加的伝送線はまた好ましくは相互に分離して、検出要素から評価回路への各信号伝送を相互に独立にすることができる。このようにして、測定回路における故障又は品質低下の種々の発生源を更に認識可能にすることができる。

好ましくは、同一の信号注入器から発生したテスト信号は、検出要素を通して伝送線及び付加的伝送線に送ることができる。より好ましくは、検出要素に注入されたテスト信号はまた、同一の注入線を介しても供給される。このようにして、伝送線に送られるテスト信号と、付加的伝送線に送られるテスト信号と間の望ましくない相違のリスクを最小化することができる。

このために、注入線の端部では、テスト信号を検出要素を通して２つの反対方向に送ることができるようにして、２つの供給電極が好ましくは検出要素上に設けられている。好ましくは、各供給電極、及び伝送線に接続された各出力電極の間の各容量は実質的に等しい。好ましい構成において、この２つの供給電極は、検出要素の内部に位置する共通の供給電極によって供給される。この共通の供給電極は、好ましくは検出要素の途中に設けられている。

測定信号及び付加的な測定信号の発生を許容するために、検出要素は好ましくは、特に共通の供給電極によって２つの検出ユニットに分割される。この２つの検出ユニットは好ましくは、同一の測定条件の下で測定対象物から実質的に対応する測定信号を発生することができるようになっている。好ましくは、対応する各測定信号は、実質的に同一の振幅を有する測定信号及び付加的測定信号としてもたらされる。好ましい構成によれば、測定信号及び付加的測定信号には逆位相が与えられる。

圧電検出素子の場合、各検出ユニットは好ましくは同数の圧電板を含んでいる。好ましくは、各検出ユニットは実質的に等しい容量を有する。

好ましくは、伝送線及び付加的伝送線用の検出要素上に、２つの別個の出力電極が設けられている。各出力電極は好ましくは検出要素の各検出ユニット上に設けられている。好ましくは、出力電極は検出要素の対向端部上に設けられている。このようにして、検出要素は好ましくは対称的に伝送線及び付加的伝送線に接続されている。

好ましくは、評価回路は第１の信号増幅器及び第２の信号増幅器を含んでいる。この場合、第１の信号増幅器は第１の伝送線を伝わって伝送される信号を表わす信号を伝えるように構成されている。また、第２の信号増幅器は付加的伝送線を伝わって伝送される信号を表わす信号を伝えるように構成されている。好ましい構成によれば、各信号増幅器は好ましくは各帰還コンデンサが設けられた演算増幅器である。

好ましくは、評価回路は加算増幅器及び/又は差動増幅器を含んでいる。この場合、加算増幅器は伝送線及び付加的伝送線を伝わって伝送される信号の和を表わす信号を伝えるように構成されている。また、差動増幅器は伝送線及び付加的伝送線を伝わって伝送される信号の差分を表わす信号を伝えるように構成されている。このことは、以下に述べるように、測定回路の有利なテスト方法に利用することができる。

好ましい構成によれば、加算増幅器及び/又は差動増幅器は、それぞれの信号の処理を継続すると共に、対応する出力信号を伝えるために、伝送線用の信号増幅器及び付加的伝送線用の信号増幅器の双方に接続されている。更にまた、伝送線及び付加的伝送線を介して伝送される信号を表わす各出力信号を伝えるために、各出力増幅器は好ましくは、伝送線用の信号増幅器及び付加的伝送線用の信号増幅器に接続されている。好ましくは、評価論理回路は各出力信号の評価を行う評価回路において、特に、以下に説明するような方法で設けられている。

対称的測定回路をテストする好ましい方法は、評価回路の各出力において伝送線及び付加的伝送線を介して伝送される各信号を評価することを含む。この評価は好ましくは、各伝送された信号を相互に及び/又は期待値と比較することを含む。代替的に又は付加的に、伝送線及び付加的伝送線を介して伝送される各信号の差分及び/又は和が評価回路の各出力において評価される。この評価は好ましくは、差分信号及び加算信号を相互に比較すること、及び/又は期待値と比較することを含んでいる。

好ましい構成によれば、加算信号が期待され伝送されたテスト信号の２倍の値に対応しないときに、故障又は品質低下が検出される。差分信号が期待され伝送されたテスト信号の２倍の値に対応しないときにも、好ましくは故障又は品質低下が検出される。伝送された各信号のうちの出力信号が、期待され伝送された測定信号、及び期待され伝送されたテスト信号の重畳に単独に対応しないときにも、好ましくは故障又は品質低下が検出される。

好ましくは、測定動作の際に、測定回路のテストを好ましくは実行することができる。この場合、伝送された各信号は好ましくは各測定信号及びテスト信号の重畳を含んでいる。何らの測定動作も起こらないときに、測定回路のテストもまた好ましくは実行される。この場合、伝送された各信号は好ましくは各テスト信号のみを含んでいる。

テスト方法の好ましい構成によれば、測定動作を実行することなく得られる出力信号は、測定動作の際の出力信号の評価用の比較値として使用される。特に、測定動作を実行することなく得られる伝送された信号の加算信号は、測定動作の際に得られる伝送された信号の加算信号用の基準値として使用することができる。

前述した測定回路の可能な用途分野には、振動センサー、加速度計、圧力センサー、音響放出センサー又は同様の検出装置がある。振動センサーの場合、測定対象物は好ましくは、回転機械又は検出要素に動作可能なように接続された任意の他の振動構造体を含んでいる。加速度計の場合、測定対象物は好ましくは、検出要素には機械的に結合した振動質量を含んでいる。圧力センサーの場合、測定対象物には好ましくは、例えば、被膜を介して検出要素に動作可能なように接続することができる気体及び/又は液体を含んでいる。音響放出センサーの場合、測定対象物には好ましくは、測定要素によって検出することができる音波の放出源を含んでいる。

この発明の更なる諸特性及び利点を図示する図面を参照して、好ましい各実施例を用いることによって、以下においてこの発明をより詳細に説明する。各図、説明、及び特許請求の範囲は、当業者がまた別個に熟慮し得ると共に、更なる適切な組合せで使用し得る組合せで以って多数の特徴を備えている。

第１の実施例による測定回路の概略的表現である。 第２の実施例による測定回路の概略的表現である。 第３の実施例による測定回路の概略的表現である。

図１に示す測定回路１はセンサー２及びエレクトロニクスユニット３を含んでいる。センサー２及びエレクトロニクスユニット３は接続ケーブル４によって接続されている。センサー２は検出要素６が配置されているハウジング５を含んでいる。検出要素６は動作可能なように測定対象物７と接続されると共に、測定対象物７から測定信号を発生するように構成されている。

検出要素６は、第１の電極９及び第２の電極１０の間に配置された圧電板８の積層体を含んでいる。検出要素６における圧電板８の分極方向もまた図１に示されている。第１の電極は、テスト信号を検出要素６に注入することができる供給電極９を構成する。第２の電極は、注入されたテスト信号及び/又は測定信号を伝えることができる出力電極１０を構成する。供給電極９及び出力電極１０は逆極性を有する。検出要素６の内部容量の値は以降Ｃ6として表わされる。供給電極９及び出力電極１０は、検出要素６がハウジング５の内部に電気的に浮遊して配置されるようにして、ハウジング５の各壁部から電気的に絶縁されている。ハウジング５はグランド１１に接地されている。

エレクトロニクスユニット３は共通ハウジング１４の内部に配置された信号注入器１２及び評価回路１３を含んでいる。信号注入器１２は信号発生器１５及び変圧器１６を含んでいる。変圧器１６は一次巻線１７及び二次巻線１８を含んでいる。一次巻線１７は信号発生器１５に接続されている。二次巻線１８はグランド１９に接地されている。二次巻線１８は非常に小さいインダクタンスを有する。こうして、変圧器１６は信号発生器１５によって発生した信号を非常に低いインピーダンスの信号に変換することができるようになっている。

変圧器１６の二次巻線１８はまた注入線２０に接続されている。注入線２０の他方の端部は供給電極９に接続されている。従って、検出要素６は信号注入器１２に接続されると共に、信号注入器１２を介してグランド１９に接地されている。こうして、信号発生器１５によって発生したテスト信号は、変圧器１６によって非常に低いオーミックインピーダンスのテスト信号に変換することができると共に、注入線２０を介して供給電極９に伝送することができる。このようにして、信号注入器１２及び注入線２０を含んだテスト信号注入回路２１が設けられる。信号発生器１５によってもたらされたテスト信号は交流（ＡＣ）である。この結果、供給電極９及び出力電極１０の極性は連続的に反転される。しかしながら、各圧電板８の分極方向は変化しない。

評価回路１３は電荷増幅器２２及び評価論理回路３８を含んでいる。電荷増幅器２２は帰還コンデンサ２４及びグランド２５への接続部を有する演算増幅器２３を含んでいる。明確にするために、二次部品及び関連するフィルタは示していない。評価論理回路３８は電荷増幅器２２の出力に接続されている。

電荷増幅器２２の入力は、伝送線２６によって検出要素６の出力電極１０に接続されている。このようにして、検出要素６及び伝送線２６を含んだ検出回路３９が設けられている。注入線２０及び伝送線２６は検出要素６を介して直列に相互接続されている。こうして、信号注入器１２から検出要素６に注入されたテスト信号を、検出要素６を通して送ることができると共に、伝送線２６を介して出力電極１０から評価回路１３に伝送することができる。更に、検出要素６で発生した測定信号は伝送線２６を介して出力電極１０から評価回路１３に伝送することができる。

伝送線２６及び注入線２０は、ハウジング５の各壁部の内部のそれぞれの出力端子２７、２８を介してセンサーハウジング５を通っている。ハウジング５の外部の伝送線２６及び注入線２０の外部の各部分は、出力端子２７、２８に差し込まれている。ハウジング５の内部では、出力端子２７、２８のおのおのが、各内部配線２９、３０によって検出要素６の供給電極９及び出力電極１０のうちの一方に接続されている。内部配線２９、３０はこうして伝送線２６の内部部分及び注入線２０の内部部分を構成している。内部配線２９、３０はセンサーハウジング５から電気的に絶縁されると共に、それとの間で各容量３１、３２を形成する。これらの容量の各値は以降Ｃ３１、Ｃ３２として表わされる。

センサー２及びエレクトロニクスユニット３の間において、伝送線２６及び注入線２０は接続ケーブル４によって囲まれている。ケーブル４は伝送線２６及び注入線２０に対して共通の外側の電磁遮蔽３３を含んでいる。伝送線２６及び注入線２０はこうして、センサー２及びエレクトロニクスユニット３の間の距離の実質的一部分に亘って共通の遮蔽３３を通して伸長している。

その端部の一方において、共通の遮蔽３３はグランド３４に接地している。伝送線２６及び注入線２０は共通の遮蔽３３から電気的に絶縁されると共に、それとの間で各容量３５、３６を形成する。これらの容量の各値は以降Ｃ３５、Ｃ３６として表わされる。更に、各容量３７はケーブル４の内部の伝送線２６及び注入線２０の導体間で形成される。この容量の値は以降Ｃ３７として表わされる。

こうして、測定回路１によって注入線２０を通して交流テスト電圧Ｕｔを検出要素６の一方の端部に加えることによって、テスト信号を注入させる。テスト電圧Ｕｔは、グランド１９に接地された非常に低いインピーダンス信号注入器１２によって生成される。その結果として、電荷Ｑｔは検出要素６の内部容量Ｃ６を通して、また注入線２０及び伝送線２６の各導体の容量３７と平行に電荷増幅器２２の入力に伝送され、注入される。この電荷ＱｔはＱｔ = Ｕｔ * (Ｃ６ + Ｃ３７)によって与えられる。

テスト信号の周波数及び振幅は、広い限界内で、好ましくはセンサー２によって測定される信号の有益な周波数帯の外側の周波数で自由に選択することができる。通常の機能状態において、テスト信号は前述したような大きさＱｔを有する電荷増幅器２２に現れることとなろう。センサー出力における又はセンサー６内部での接続が失敗すると、電荷増幅器２２でのテスト信号がＱｔ = Ｕｔ * Ｃ３７に減少する。評価ユニット１３で接続が失敗すれば、得られるテスト信号Ｑｔは零となろう。

容量３１、３２、３５、及び３６は、検出要素６の内部容量Ｃ６、及び注入線２０及び伝送線２６の導体間の容量３７と共にコンデンサ網を形成する。変圧器１６の二次巻線１８及び電荷増幅器２２の入力の間に見られる実効容量は、Ｑｔの大きさを決定することとなろう。遮蔽３３の接地３４、及びハウジング５の接地１１は、容量３１、３２、３５、及び３６が、評価回路１３で評価される伝達関数に関与することを防止する。

更に、開接点の前述した主な故障を検出することができるだけでなく、導体２０、２６間、導体２０、２６の何れかと遮蔽３３の間、センサー２内部の検出要素６間又はセンサー２内部の絶縁体３１、３２間の起こり得る短絡も検出することができる。また、ケーブル４の接地３４又はセンサー２の接地１１の断線を、提案した測定回路によって検出することができる。

遮蔽３３を加えることによって、テスト信号が電荷増幅器２２に現れたときに、コンデンサの或る一定のグループがテスト信号に影響を及ぼすことを修正することができる。各電界に対しての耐性と共に、検出要素６の内部容量Ｃ６の変化の測定に関する感度を改善するために、異なる遮蔽概念が可能である。１つ又は幾つかの伝送線２６は、外部の共通遮蔽３３を用いて又はそれ無しで別個に遮蔽することができる。

図２は検出要素の容量の変化に関するテスト感度を改善するために、こういった異なる遮蔽概念が適用された測定回路４１を示している。図１に示した測定回路１に関して対応する各要素は同一の参照番号で表わされている。

測定回路４１はセンサー２及びエレクトロニクスユニット３の間の接続ケーブル４４を含んでいる。この接続ケーブル４４は、伝送線２６及び注入線２０が伸長する共通の遮蔽３３を含んでいる。この共通の遮蔽３３の内部には、伝送線２６のみが伸長する別個の電磁遮蔽４５が配置されている。更には、注入線２０のみが伸長する別の別個の電磁遮蔽４６が、共通遮蔽３３の内部に配置されている。各別個の遮蔽４５、４６はグランド４７、４８への接続部をそれぞれ含んでいる。

別個の電磁遮蔽４５及び４６を適用することによって、伝送線２６及び注入線２０の導体間の容量３７の影響を除去することができる。図１に示す導体容量Ｃ３７の影響を除去することによって、遮蔽４５、４６の付加により、長い各ケーブルを使用するときの検出要素６の容量値Ｃ６の変化、特に容量値Ｃ６の非常に小さい変化を決定することができる。更に、これによって、図１に示したケーブル容量３７を通してテスト信号を直接注入することができる。図２に示す測定回路４１において、電荷増幅器でのＱｔは、このようにＱｔ = Ｕｔ * Ｃ６によって与えられる。

図１及び図２に描かれたような非対称の測定回路に適用されたこの発明は、各テスト用途に十分に適している。しかしながら、用途によっては、冗長性特徴が特に望ましい場合がある。この種の用途には、監視用途、特定の安全性完全性レベル（ＳＩＬ: Safety Integrity Level）要求を有する用途、アクセスするのが困難な場所及び遠く離れた場所に測定回路が取り付けられる用途がある。冗長性特徴を追加することは、図３に示すように、専用のテスト入力を有する検出要素に接続された付加的伝送線を有する、電気的に対称の測定回路に本発明を適用することによって達成される。

図３はセンサー５２及びエレクトロニクスユニット５３を備えた測定回路５１を示している。図１及び図２に示す測定回路１及び４１に関して対応する各要素は同一の参照番号で表わしている。

検出要素５５は、電気的に浮遊してセンサー５２のハウジング５の内部に配置されている。検出要素５５は２つの検出ユニット５６及び５７から構成されている。各検出ユニット５６、５７は動作可能なように測定対象物７に接続されている。このようにして、第１の測定信号は検出ユニット５６、５７の一方から発生させることができると共に、付加的な第２の測定信号は検出ユニット５６、５７の他方から発生させることができる。各検出ユニット５６、５７は各供給電極５８、５９及び各出力電極６０、６１を含んでいる。検出ユニット５６及び５７の内部容量の値は以降Ｃ５６及びＣ５７としてそれぞれ表わされる。検出ユニット５６及び５７には、それらの内部容量Ｃ５６及びＣ５７の実質的に等しい値、即ち、Ｃ５６〜＝Ｃ５７が与えられる。

概略的に図３に表わされるように、検出要素５５は圧電板６２の積層体から構成される。積層体６２の途中には、供給電極５８及び５９の双方を構成する供給電極が設けられている。積層体６２の底部及び頂部には、出力電極６０、６１を構成する出力電極が配置されている。

エレクトロニクスユニット５３は、共通ハウジング１４に囲まれた信号注入器１２及び評価回路６３を含んでいる。評価回路６３は第１の電荷増幅器２２及び第２の電荷増幅器６４を含んでいる。評価回路６３は、第１の電荷増幅器２２及び第２の電荷増幅器６４の出力に双方が接続された差分増幅器６５及び加算増幅器６６を更に含んでいる。差分増幅器６５は、第１の電荷増幅器２２及び第２の電荷増幅器６４の出力の信号の差分を表わす信号を伝えるように構成される。加算増幅器６６は、第１の電荷増幅器２２及び第２の電荷増幅器６４の出力の信号の和を表わす信号を伝えるように構成される。

評価回路６３は電荷増幅器２２の出力に接続された第１の出力増幅器６７、及び電荷増幅器６４の出力に接続された第２の出力増幅器６８を更に含んでいる。出力増幅器６７、出力増幅器６８、差分増幅器６５、及び加算増幅器６６の各出力は評価論理回路３８に接続されている。

供給電極５８、５９の双方は注入線２０を介して信号注入器１２に接続されている。第１の検出ユニット５６の出力電極６０は、伝送線２６を介して第１の電荷増幅器２２の入力に接続されている。第２の検出ユニット５７の出力電極６１は、第１の伝送線２６に加えて設けられた第２の伝送線６９を介して第２の電荷増幅器６４の入力に接続されている。このようにして、検出要素５５、第１の伝送線２６、及び付加的な第２の伝送線６９を備えた検出回路４０が設けられている。

第２の伝送線６９はハウジング５の各壁部の内部の出力端子７１を介してセンサーハウジング５を通っている。出力端７１は伝送線２６及び注入線２０の出力端子２７、２８に隣接して配設されている。第２の伝送線６９の外部の部分は出力端子７１に差し込まれている。ハウジング５の内部では、各内部配線７５によって出力端子７１は第２の検出ユニット５７の出力電極６１に接続されている。内部配線７５はこうして第２の伝送線６９の内部部分を構成する。内部配線２９、３０に対応する内部配線７５はまた、センサーハウジング５から電気的に絶縁されると共に、それとの間で各容量７２を形成する。容量７２の値は以降C７２として表わされる。

センサー５２及びエレクトロニクスユニット５３の間において、第２の伝送線６９、伝送線２６、及び注入線２０は接続ケーブル５４によって囲まれている。ケーブル５４は、第２の伝送線６９、第１の伝送線２６、及び注入線２０に対して共通の外側電磁遮蔽３３を含んでいる。第２の伝送線６９、第１の伝送線２６、及び注入線２０はこのように、センサー５２及びエレクトロニクスユニット５３の間の距離の相当の部分に亘って共通遮蔽３３を通して伸長している。

共通遮蔽３３の内部では、第２の伝送線６９のみが伸長する別個の電磁遮蔽７３が配置される。別個の電磁遮蔽７３は、注入線２０の別個の電磁遮蔽４６に隣接すると共に、伝送線２６の別個の電磁遮蔽４５に隣接して配設されている。別個の電磁遮蔽７３には、またグランド７４への各接地部が設けられている。

共通遮蔽３３の内部の各別個の電磁遮蔽４５、４６、及び７３を適用することによって、第１の伝送線２６、第２の伝送線６９、及び注入線２０の導体間の容量の影響を除去することができる。図３に示す測定回路５１にテスト信号Ｕｔを注入することによって、Ｑｔ_Ａ = Ｕｔ * Ｃ５６によって与えられる、第１の電荷増幅器２２の入力における電荷Ｑｔ_Ａがこうして生成される。相応じて、Ｑｔ_Ｂ = Ｕｔ * Ｃ５７によって与えられる、第２の電荷増幅器６４の入力における電荷Ｑｔ_Ｂが生成される。２つの容量値Ｃ５６及びＣ５７は等しくなるように選択されるので、正常な測定条件の下で、等しい電荷Ｑｔ = Ｑｔ_Ａ = Ｑｔ_Ｂが第１の電荷増幅器２２及び第２の電荷増幅器６４に伝送される。

こうして、図３に示す対称的な測定回路５１において、検出要素５５の途中に位置すると共に、別個の遮蔽４６に囲まれた注入線２０に接続された共通供給電極５８、５９によって、テスト信号を検出要素５５を通して注入することができる。供給電極５８、５９はグランド１９に接地されている。遮蔽４６もまたグランド４８に接地されている。

共通供給電極５８、５９は、図１及び図２に示す検出要素６を、２つの検出ユニット５６及び５７を有する検出要素５５に分離する。この場合、２つの検出ユニット５６及び５７のおのおのは、それぞれの圧電要素を含んでいる。検出要素５５は、第１の伝送線２６の一方の端部及び第２の伝送線６９の一方の端部に対称に接続されており、これらもまた別個に遮蔽されている。

反対側の端部では、第１の伝送線２６の導体は、帰還コンデンサ２４を有する演算増幅器２３を備えた電荷増幅器２２に接続されている。同様に、第２の伝送線６９の導体は、帰還コンデンサ２４を有する対応する演算増幅器２３から成る電荷増幅器６４に接続されている。電荷増幅器２２、６４の双方の帰還コンデンサ２４は同一の容量値Ｃｆを有する。電荷増幅器２２及び６４の出力は差分増幅器６５及び加算増幅器６６に接続されている。

２つの検出ユニット５６、５７は圧電部材６２を含んでおり、１つの部材６２は、例えば、多数の圧電ディスクの積層体である。２つの検出ユニット５６、５７は共通の供給電極５８、５９の両側に位置すると共に、各共通モードを拒絶できるようにするために等しい容量Ｃ５６及びＣ５７を有している。

測定回路５１は好ましくは圧電振動センサー又は圧電加速度計として使用される。測定回路５１はまた、例えば、圧力センサー、音響放出センサー又は任意の他の圧電センサーとして適用することができる。

圧電加速度計の場合、例えば、検出ユニット５６及び５７は測定対象物７の一定の加速度に対してそれぞれの電荷Ｑ_Ａ及びＱ_Ｂを引き渡す。Ｑ_Ａ及びＱ_Ｂは逆極性(Ｑ_Ａ= −Ｑ_Ｂ)で同じ大きさを有する。Ｑ_Ａ及びＱ_Ｂはそれぞれ電荷増幅器２２及び６４の入力に伝送され、注入される。電荷増幅器２２及び６４の出力はそれぞれＵ_Ａ及びＵ_Ｂである。Ｕ_Ａ及びＵ_Ｂは、
Ｕ_Ａ＝−Ｑ_Ａ／Ｃ_ｆ 及び Ｕ_Ｂ＝−Ｑ_Ｂ／Ｃ_ｆ
によって与えられる。

各等式における負の符号は各電荷増幅器の伝達関数に起因する。Ｑ_Ａ= −Ｑ_Ｂにおいて、
Ｕ_Ａ＝−Ｑ_Ａ／Ｃ_ｆ＝−（−Ｑ_Ｂ）／Ｃ_ｆ＝Ｑ_Ｂ／Ｃ_ｆ＝−Ｕ_Ｂ
という結果になる。

Ｕ_Ａ及びＵ_Ｂは逆位相(Ｕ_Ａ= −Ｕ_Ｂ)で同じ振幅を有する。センサー及び伝送線の検診を行うために、交流(ＡＣ)テスト信号Ｕｔ(テスト信号は直流(ＤＣ)信号でもあり得よう)は、共通電極５８、５９によって検出要素５５を通して注入される。その結果として、圧電要素６２はそれぞれ電荷Ｑｔ_Ａ及びＱｔ_Ｂを供給する。Ｑｔ_Ａ及びＱｔ_Ｂは同じ大きさで同じ極性(Ｑｔ_Ａ=Ｑｔ_Ｂ)を有する。Ｑｔ_Ａ及びＱｔ_Ｂは、
Ｑｔ_Ａ = Ｕｔ * Ｃ５６、及び Ｑｔ_Ｂ= Ｕｔ * Ｃ５７
によって与えられる。

Ｑｔ_Ａ及びＱｔ_Ｂはそれぞれ電荷増幅器２２及び６４の入力に伝送され、注入される。その結果として、電荷増幅器２２及び６４の出力はそれぞれ電圧Ｕｔ_Ａ及びＵｔ_Ｂである。Ｕｔ_Ａ及びＵｔ_Ｂは、
Ｕｔ_Ａ＝−Ｑｔ_Ａ／Ｃ_ｆ 及び Ｕｔ_Ｂ＝−Ｑｔ_Ｂ／Ｃ_ｆ
によって与えられる。

各等式における負の符号は各電荷増幅器の伝達関数に起因する。Ｑｔ_Ａ =Ｑｔ_Ｂにおいて、
Ｕｔ_Ａ＝−Ｑｔ_Ａ／Ｃ_ｆ＝−Ｑｔ_Ｂ／Ｃ_ｆ＝−Ｕｔ_Ｂ
という結果になる。

Ｕｔ_Ａ及びＵｔ_Ｂは同じ振幅及び位相(Ｕｔ_Ａ =Ｕｔ_Ｂ)を有する。

ここで、測定信号及びテスト信号の重ね合せを考察すると、通常の条件で、差分増幅器６５の出力は、
Ｕ_{ｏｕｔ６５} = Ｕ_Ａ+ Ｕｔ_Ａ−(Ｕ_Ｂ+Ｕｔ_Ｂ) = Ｕ_Ａ −Ｕ_Ｂ+ Ｕｔ_Ａ −Ｕｔ_Ｂ
によって与えられるという結果になる。

Ｕ_Ａ = −Ｕ_Ｂ及びＵｔ_Ａ =Ｕｔ_Ｂにおいて、
Ｕ_{ｏｕｔ６５} = ２Ｕ_Ａ = −Ｕ_Ｂ （１）
という結果になる。

同様に、通常の条件の下で、加算増幅器６６の出力は、
Ｕ_{ｏｕｔ６６} = Ｕ_Ａ + Ｕｔ_Ａ + (Ｕ_Ｂ+Ｕｔ_Ｂ) = Ｕ_Ａ +Ｕ_Ｂ+ Ｕｔ_Ａ +Ｕｔ_Ｂ
によって与えられる。

Ｕ_Ａ = −Ｕ_Ｂ及びＵｔ_Ａ = Ｕｔ_Ｂにおいて、
Ｕ_{ｏｕｔ６５} = ２Ｕｔ_Ａ = ２Ｕｔ_Ｂ （２）
という結果になる。

差分増幅器６５及び加算増幅器６６に加えて、電荷増幅器２２及び６４の出力にそれぞれ対応する信号を伝えるために、２つの付加的出力増幅器６７及び６８が設けられる。出力増幅器６７及び６８の出力は、

Ｕ_{ｏｕｔ６７} = Ｕ_Ａ + Ｕｔ_Ａ （３）
Ｕ_{ｏｕｔ６８} = Ｕ_Ｂ + Ｕｔ_Ｂ （４）
によってそれぞれ与えられる。

等式（１）から（４）に従う各信号は、次いで評価論理回路において評価される。これらの信号の評価は、以下の事項を可能にする。
ａ）検出要素、接続部又は伝送線の何れかにおける障害を検出すると共に、一部に制限する、及び
ｂ）従って回路の冗長性をもたらす機能が残る経路（Ａ又はＢ）を選択する。

前述した測定回路１、４１、５１は、参照によって本願に含まれる米国特許第ＵＳ６,４９８,５０１Ｂ２号明細書に開示されている測定回路の更なる進展を表わすと共に、任意の他の部品及び/又は構成及び/又は本願で開示する用途を含むことができる。

以上の説明から、この発明による測定回路の多数の変更態様は、特許請求の範囲によってのみ規定されるこの発明の保護の範囲から逸脱することなく、当業者にとって明瞭である。

１、４１、５１ 測定回路
２、５２ センサー
３、５３ エレクトロニクスユニット
４、４４、５４ 接続ケーブル
５ ハウジング
６、５５ 検出要素
７ 測定対象物
８ 圧電板
９、５８、５９ 供給電極
１０、６０、６１ 出力電極
１１、１９、２５、３４、４７、４８、７４ グランド（接地）
１２ 信号注入器
１３、６３ 評価回路
１４ 共通ハウジング
１５ 信号発生器
１６ 変圧器
１７ 一次巻線
１８ 二次巻線
２０ 注入線
２１ テスト信号注入回路
２２ （第１の）電荷増幅器
２３ 演算増幅器
２４ 帰還コンデンサ
２６ 第１の伝送線
２７、２８、７１ 出力端子
２９、３０、７５ 内部配線
３１、３２、３５、３６、３７ 容量
３３ 共通の電磁遮蔽
３８ 評価論理回路
３９、４０ 検出回路
４５、４６、７３ 別個の電磁遮蔽
５６、５７ 検出ユニット
５８、５９ 供給電極
６２ 積層体
６４ 第２の電荷増幅器
６５ 差動増幅器
６６ 加算増幅器
６７ 第１の出力増幅器
６８ 第２の出力増幅器
６９ 第２の伝送線
Ｃ６、Ｃ３１、Ｃ３２、Ｃ３５、Ｃ３６、Ｃ３７、Ｃ５６、Ｃ５７、Ｃ７２、Ｃｆ 容量値
Ｕｔ、Ｕ_Ａ、Ｕ_Ｂ、Ｕｔ_Ａ、Ｕｔ_Ｂ 電圧
Ｑｔ、Ｑｔ_Ａ、Ｑｔ_Ｂ、Ｑ_Ａ、Ｑ_Ｂ 電荷

Claims (16)

1. 評価回路（１３、６３）と、
   測定対象物（７）から測定信号を発生させるように構成された検出要素（６、５５）、及び前記測定信号を前記評価回路に伝送する伝送線（２６、６９）を備えた検出回路（３９、４０）と、
   信号注入器（１２）を含む注入回路（２１）、及び該信号注入器（１２）の信号出力を前記検出回路（３９、４０）と接続して、前記伝送線（２６、６９）を伝わってテスト信号が前記評価回路（１３、６３）に伝送可能であるように、前記テスト信号を前記検出回路（３９、４０）に送る注入線（２０）と、を具備してなる測定回路において、
   前記テスト信号を前記検出要素（６、５５）を通して供給することができるように、前記注入線（２０）及び前記伝送線（２６、６９）が前記検出要素（６、５５）を介して直列に相互接続されていることを特徴とする前記測定回路。
2. 請求項１に記載の測定回路において、前記信号注入器（１２）がグランド（１９）に接地されていることを特徴とする前記測定回路。
3. 請求項１又請求項２に記載の測定回路において、前記信号注入器（１２）の信号出力は大きくとも１０Ω、より好ましくは大きくとも０．５Ωのオーミックインピーダンス値を有することを特徴とする前記測定回路。
4. 請求項１から３の何れか１つに記載の測定回路において、前記信号注入器（１２）は変圧器（１６）を含み前記信号注入器（１２）の前記信号出力のインピーダンス値を所望の値と一致させることを特徴とする前記測定回路。
5. 請求項１から４の何れか１つに記載の測定回路において、前記注入線（２０）及び前記伝送線（２６、６９）は共通の電磁遮蔽（３３）を通して伸長することを特徴とする前記測定回路。
6. 請求項５に記載の測定回路において、前記注入線（２０）及び/又は前記伝送線（２６、６９）用の別個の電磁遮蔽（４５、４６、７３）が、特に、前記共通の電磁遮蔽（３３）の内部に設けられていることを特徴とする前記測定回路。
7. 請求項１から６の何れか１つに記載の測定回路において、前記検出要素（６、５５）は前記測定対象物（７）から付加的測定信号を発生させるように構成され、前記検出回路（３９，４０）は前記検出要素（６、５５）に接続されて、前記付加的測定信号を前記評価回路（１３、６３）に伝送する付加的伝送線（２６、６９）を含んでいることを特徴とする前記測定回路。
8. 請求項７に記載の測定回路において、前記注入線（２０）及び前記付加的伝送線（２６、６９）は、前記テスト信号が前記付加的伝送線（２６、６９）を伝わって前記評価回路（１３、６３）に伝送可能であるように、前記検出要素（６、５５）を介して直列に相互接続されることを特徴とする前記測定回路。
9. 請求項８に記載の測定回路において、前記テスト信号を２つの反対方向に前記検出要素（６、５５）を通して送ることができるように、前記注入線（２０）の端部において、２つの供給電極（９、５８、５９）が前記検出要素（６、５５）上に設けられていることを特徴とする前記測定回路。
10. 請求項９に記載の測定回路において、前記２つの供給電極（９、５８、５９）は前記検出要素（６、５５）の内部に位置する共通の電極によって供給されることを特徴とする前記測定回路。
11. 請求項９又は１０に記載の測定回路において、前記供給電極（９、５８、５９）において、前記検出要素（６、５５）は実質的に等しい容量を有する２つの検出ユニット（５６、５７）に分割されることを特徴とする前記測定回路。
12. 請求項７から１１の何れか１つに記載の測定回路において、伝送線（２６，６９）及び付加的伝送線（２６、６９）に対して、別個の出力電極（１０、６０、６１）が前記検出要素（６、５５）上に設けられていることを特徴とする前記測定回路。
13. 請求項１２に記載の測定回路において、前記出力電極（１０、６０、６１）は前記検出要素（６、５５）の対向端部上に設けられていることを特徴とする前記測定回路。
14. 請求項１から１３の何れか１つに記載の測定回路において、前記検出要素（６、５５）は圧電検出要素であることを特徴とする前記測定回路。
15. 請求項７から１４の何れか１つに記載の測定回路において、前記評価回路（１３、６３）は、前記伝送線（２６、６９）を伝わって伝送される信号を表わす信号を伝えるように構成された第１の信号増幅器（２２、６４、６７、６８）と、付加的伝送線（２６、２７）を伝わって伝送される信号を表わす信号を伝えるように構成された第２の信号増幅器（２２、６４、６７、６８）と、を備えたことを特徴とする前記測定回路。
16. 請求項７から１５の何れか１つに記載の測定回路において、前記評価回路（１３、６３）は前記伝送線（２６、６９）及び前記付加的伝送線（２６、６９）を伝わって伝送される信号の和を表わす信号を伝えるように構成された加算増幅器（６６）、及び/又は前記伝送線（２６、６９）及び前記付加的伝送線（２６、６９）を伝わって伝送される信号の差分を表わす信号を伝えるように構成された差分増幅器（６５）を備えたことを特徴とする前記測定回路。