JP6273111B2 - 力センサ及びその信頼性を試験するための方法 - Google Patents

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Description

本発明は、測定物体上に作用する力の測定信号を生成するために測定物体に動作上で接続された測定素子を有する変換器、及び互いに独立した前記測定信号の相互に対応する信号を伝送するように構成された少なくとも2つの伝送チャネルを備えた力センサに関する。本発明はまた、少なくとも1つのこのような力センサを備えた振動エンジン及び/又は回転エンジン用の監視システムに関する。本発明はさらに、このような力センサの動作上の信頼性を試験するための方法に関する。
このような力センサは、EP0116810A1から知られる。力センサは、2つのピエゾ電気変換器を備えた加速度計並びに両方の変換器上で作用する共通振動錘及び一方の変換器上でだけ作用する追加の振動錘によって形成される測定物体によって構成される。2つの変換器の感度及びこれらに作用する慣性力は、加速力の作用下で2つの変換器が等しい出力信号を各々が伝えるように選択される。2つの変換器の感度のマッチングに起因して、相互に対応する測定信号を、生成することができ、各変換器用に設けられたそれぞれの伝送チャネルによって伝送することができる。
冗長センサは、非常に高い信頼性が特定の測定のために要求される用途において一般に使用される。冗長測定方法は、測定の信頼性を高めるために、相互に対応する測定信号、特に所与の時間における同じパラメータの測定信号を比較することにある。比較を行うために、両方の信号は、理想的には同じであるべきである。
2チャネル振動測定の特定のケースでは、しかしながら、2つの力センサ、特に2つの加速度計を、エンジン内の正確に同じ点に設置できないという理由で、完全に同じである2つの別個の信号を得ることが非常に困難であることを、経験は示している。この理由のために、EP0116810A1による、2つの別々の変換器素子が1つの共通筐体中に組み込まれているいわゆるデュアル加速度計が開発された。この取り組みの冗長性は、共通プレロード・システム、共通振動錘であるが各チャネル用に1つの2つの別々のピエゾ電気変換器素子を含む。測定チェーンの残りのものは、すなわち、伝送ケーブル及び電荷増幅器は、別々であり完全に分離された伝送チャネルとして維持される。
しかしながら、システムがうまく機能するためには、デュアル加速度計の2つの伝送チャネルは、正確にマッチングしなければならない。このマッチングは、感度、周波数応答、キャパシタンス及び共振などの性能特性を含む。マッチングは、しばしば製造することを困難にし、多数のピエゾ電気素子の利用及び長時間を必要とする変換器素子の校正をやはり必要とする。温度応答及び個別の長時間エージングを近いかたちで行うことが、やはり重要である。従って、このようなデュアル加速度計の製造は、非常にコストがかかることがある。信号のミスマッチ又は十分には一致しないマッチングはまた、非常に頻繁に誤ったアラームの原因となる。加えて、このような装置のサイズ及び重量は、優先事項が小さなサイズ及び重量である航空機エンジン上に搭載する際に不利益を示すことがある。
EP0116810A1
上に述べた欠点のうちの少なくとも1つを改善すること並びに初めに扱った力センサのより容易な生産を可能にすること並びに/又はその構造サイズの削減を可能にすること並びに/又は、特に、その動特性及び/若しくは温度応答及び/若しくは周波数応答に関する少なくとも1つの改善した動作特性を有する力センサを提供することが、本発明の目的である。このような力センサの有利な用途を提供することが、本発明のさらなる目的である。特に、動作における既知の力センサの少なくとも1つの欠点を回避することによって、このような力センサの動作上の信頼性を試験するための方法を提供することが、本発明のもう1つの目的である。
これらの目的のうちの少なくとも1つが、請求項1による力センサ、請求項16による監視システム、及び請求項17及び18による試験方法によって達成される。従属請求項は、好ましい実施例を規定する。
従って、本発明による力センサでは、少なくとも2つの伝送チャネルは、各伝送チャネルの出力部のところで伝送された信号を検証することができるように、同じ変換器に並列に接続される。このようにして、測定物体上に作用する力に対応する相互に対応する測定信号を、特に所与の時間又は時間間隔で、少なくとも1つの測定物体に動作上で接続されている同じ変換器から伝送チャネルへと供給することができる。このように、両方の伝送チャネルにおける測定信号は、変換器の同じ測定素子から得られるので、測定物体上に作用する力に基づくことが可能である。
これによって、変換器は、好ましくは、単一の測定素子を含むだけである。
これは、必要とする変換器の数を減少させることができ、追加の対応する変換器の性能特性に関する変換器特性のどちらかといえば複雑なマッチングを省くことができるので、力センサの製造コストを減少させることができるという、経済的な利点を有する。特に、変換器の1回の校正だけが必要であり得るので、コストを低下させ、2つのチャネルのミスマッチに起因する生産における不合格品を減少させるという結果をもたらす。さらにその上、センサ・システムの残りの部分に対する変換器性能特性のマッチングを必要としないであろう。特に、変換器内に設けられた測定素子は、特に高品質なものでなくともよい。例えば、任意のピエゾ電気材料を、特に、材料の温度応答において比較的低い精度を有する材料を、使用することができる。
その上、力センサのサイズ及び/又は重量の削減の構造的な利点を、力センサの構成部品の数を減少させることによって実現することができる。本発明による力センサの提案した構造的な特徴はまた、既存のシステムへの容易な改造を可能にすることができ、特に、提案した構造的な特徴を、既に存在する力センサの代わりに適用することができ、センサ及び/又はケーブル配線の形態及び取り付けにおける変更を必要としないはずである。
同時に、測定システムの高い信頼性を、維持する又は高めることさえできる。特に、各伝送チャネル用に別々の変換器を有する冗長性態様をダウングレードしても、これらの伝送チャネル用の共通素子として1つだけの変換器を適用することの動作上の利点によって補償することができる又は改善することさえできることが、本発明の中で認識されている。
これらの動作上の利点は、単一の性能特性、特に、単一の動的挙動、単一の温度応答、等を示す変換器を含むことができることであり、これが、それぞれの伝送チャネルにおける出力信号の完全な比較を可能にする。その上、独立した変換器のために、周波数応答及び/又は共振周波数に関する性能特性の向上を期待することができる。提案した力センサが故障しやすい要素を少ししか含まないので、もう1つの動作上の利点をより高い信頼性及びより長い平均故障時間間隔(MTBF)に見ることができ、MTBFは累積動作時間当たりの累積故障数に対応する。
さらなる動作上の利点は、機能の検証可能性及び不具合検出可能性の強化であってもよい。最新の航空宇宙産業及び工業的用途においては、問題となるのは、故障の数ではなく、検出されないで残る故障の数であるので、この利点は、極めて重要である場合がある。特に、事実上故障のすべての原因を、本発明による力センサにおいて検出可能にすることができるが、これは、従来技術のシステムでは不可能である。不具合検出に関して、標準組み込み型試験(BIT)システムのライン・モニタリング及びコンタクト・モニタリングを採用することができる。不具合試験のための有利な方法を、さらに下記に記述する。
好ましい構成によれば、少なくとも2つの伝送チャネルに接続された変換器は、測定物体に動作上で接続されている単一の変換器である。より好ましくは、力センサは、1つのこのような変換器を本当に備えるだけである。このようにして、上に既に詳細に説明したように、力センサの生産コスト、重量及びサイズを最小にすることができ、同時に動作上の高い信頼性を実現することができる。
原理的には、少なくとも2つの変換器を力センサ中へと取り込み、各変換器は、測定物体に動作上で接続された測定素子を備え、少なくとも2つのそれぞれの伝送チャネルが各変換器に接続されることによって、1つよりも多くの変換器の冗長性の利点をやはり、少なくとも2つの伝送チャネル用の共通変換器の、上に述べた動作上の利点と組み合わせることもできる。しかしながら、最新の変換器、特にピエゾ電気測定素子に基づく変換器は、処理技術及び製造技術の改善のおかげで非常に信頼性の高い構成部品になってきていることに留意されたい。従って、変換器の冗長性を、重要性の低い要因にすることができる。従来技術のシステムの現場での経験は、しかしながら、故障の大部分が、伝送チャネルにおいて、特にそのコネクタ内及び伝送ケーブル内で生じることを示しており、これは本発明による力センサ・システム内の完全な冗長性を好ましくは残す。
各伝送チャネルの出力部のところでの伝送した信号の検証に関して、様々な可能性が考えられる。第1の好ましい検証方法によれば、伝送した信号は、特に伝送した信号の比較によって、互いに関係付けられる。述べたような比較器回路を、伝送チャネルの出力部のところに又は伝送チャネル内の中間構成要素として設けることができる。測定エラー及び/又は伝送エラーの発生を、次に、比較した伝送信号が上回る所定の差異値に基づいて認識することができる。この方法では、伝送チャネルの完全さの行われている永続的なチェックを行う。
第2の好ましい検証方法によれば、伝送された信号は、期待される信号値に関連して個別に調査される。例えば、既知の測定条件下での測定又は少なくとも1つの試験信号の注入を、伝送された信号のある種の期待値を与えるために使用することができる。試験信号の述べたような検証回路を、各伝送チャネルの出力部のところに又は各伝送チャネル内の中間構成要素として設けることができる。最も好ましくは、両方の検証方法が、本発明による力センサにおいて適用可能である。
好ましくは、各伝送チャネルによって個別に伝送される相互に対応する測定信号は、特に、特定の時間又は時間間隔又は周期的な時間間隔において測定物体上に作用する力と同じパラメータを表すものである。このパラメータは、測定物体の加速度、速度、変位、圧力、又は圧力変化を含むことができる。
第1の好ましい配置によれば、測定物体は、前記測定信号が、振動錘の加速の結果として振動錘上に作用する力を表すような少なくとも1つの振動錘を含む。このようにして、加速度計を実現することができる。このような加速度計は、加速度計が小さなセンサ・サイズを必要とし同時に力測定の非常に高い信頼性を要求する用途領域にしばしば利用されるので、力センサの特に有利な動作分野を構成することができる。
第2の好ましい配置によれば、測定物体は、前記測定信号が、前記ガス及び/又は液体の圧力及び/又は圧力変化を表すような少なくとも1つのガス及び/又は液体を含む。このようにして、圧力変換器を実現することができる。特に、メンブランを、力センサの内側又は外側に配置することができ、このメンブラン上にガス及び/又は液体の圧力及び/又は圧力変化が作用する。好ましくは、変換器の測定素子が、その時にはメンブランに接続される。
好ましくは、特に上記の配置の両方において、変換器は、前記測定素子によって生成される前記測定信号を集めるための正電極及び負電極を備える。従って、測定素子から得られる測定信号を、好ましくはこれらの電極のところで取り出すことができる。好ましくは、各電極は、各伝送チャネルに接続される。
第1の好ましい構成によれば、伝送チャネルは、それぞれの電極のうちの少なくとも1つに実質的に直接接続される。これによって、各伝送チャネルについて、別々の接点が、好ましくは前記電極のうちの少なくとも1つの上に、より好ましくは前記電極の各々の上に形成される。最も好ましくは、伝送チャネルの各々は、それぞれの電極のもう一方の端部に好ましくは接続される。このようにして、センサ筐体の内側の接続部を含む伝送チャネルの基本的に全長にわたって、冗長性を維持することができる。
第2の好ましい構成によれば、伝送チャネルのうちの少なくとも2つが、それぞれの電極に接続され、そこでは伝送チャネルが電極に接続された共通接続ラインを含む。より好ましくは、伝送チャネルは、電極に接続されている共通接続ライン上に共通ノードを有する。好ましくは、共通ノードは、伝送チャネルのおそらく長い距離にわたって冗長性を維持するために、電極にごく近接して設置される。このように、共通接続ラインは、伝送ラインの全長に対して好ましくは比較的短い。特に、共通接続ライン及び/又は共通ノードは、伝送チャネルの伝送ケーブル用の電極とコネクタとの間に及び/又は変換器が配置される筐体の内側に好ましくは配置される。
或いは、コネクタを配線すること及び/又は伝送ケーブルを搭載することを容易にするために、共通接続ラインはまた、伝送チャネルのいくつかの伝送ケーブル用の共通コネクタの内側に及び/又は変換器が配置される筐体の外側に延びることができる。これによって、共通ノードをまた、伝送チャネルのいくつかの伝送ケーブル用の共通コネクタの内側に及び/又は変換器が配置される筐体の外側に配置することができる。その上、共通ノードをまた、伝送チャネルのさらに上流に、特に伝送ケーブル用の共通コネクタのさらに上流に配置することができ、伝送ラインの主要部は、好ましくは2つの完全な冗長伝送チャネルとして依然として形成される。一実例として、伝送ラインの全長の少なくとも3分の2、より好ましくは、伝送ラインの全長の少なくとも90パーセントは、少なくとも2つの別々の伝送チャネルによって好ましくは形成される。
この第2の好ましい構成では、センサ内部のすべての部品が両方の伝送チャネルに対して共通であるので、好ましくはセンサ自体の冗長性がない。しかしながら、センサ配置のコストは、少ない数の部品を使用するので、低減され、その信頼性が向上する。
信頼性の観点から、コネクタが通常は全体の測定システムの最も弱い部品であることを経験が示すという理由で、測定システムは、好ましくは最少の可能な数のコネクタを含む。しかしながら、測定システムを据え付け且つ維持するための実施上の問題は、ある数のコネクタの存在を要求する。コネクタの比較的低い信頼性についてわかっているので、変換器と電子ユニットとの間の伝送チャネルの試験可能性を提供することが極めて有用であることが、本発明において理解されてきている。
好ましくは、少なくとも1つの伝送チャネルを電極に接続する少なくとも1つのコネクタが設けられる。より好ましくは、それぞれのコネクタが前記伝送チャネルの各々に対して設けられ、このコネクタによって、それぞれの伝送チャネルが前記電極に接続される。これが、コネクタを含む伝送チャネルの完全な冗長性の利点を有することができ、その結果、やはり、コネクタが潜在的な不具合発生源として容易に検証可能である。もう1つの好ましい構成では、共通コネクタが前記伝送チャネル用に設けられ、このコネクタによって、伝送チャネルが前記電極に共通に接続される。これが、伝送チャネルの単純化した配線又は搭載を可能にする。
コネクタは、好ましくは正極及び負極を備える。これらの極の各々は、接続ワイアを介して対応する電極に好ましくは接続される。各伝送チャネルについて、それぞれのコネクタの極に搭載される伝送ケーブルが、好ましくは設けられる。好ましくは、コネクタは、その上に伝送ケーブルを搭載することを容易にするために、変換器の相互に反対の側に配置される。
好ましくは、コネクタは、変換器が封入される筐体の壁に一体化される。より好ましくは、コネクタは、筐体壁を通って延びる。これらのコネクタを、これ以降、フィード・スルー・コネクタと呼ぶ。各伝送チャネルの伝送ケーブルを、筐体の外部からそれぞれのフィード・スルー・コネクタに好ましくは差し込むことができる。このように、伝送チャネルの据え付けを容易にすることができる。好ましくは、測定物体は、筐体内に部分的に又は完全に含まれる。
好ましくは、変換器は、ベース・プレート上に搭載される。ベース・プレート、変換器及び測定物体は、好ましくは直列に配置される。これによって、変換器の測定素子は、ベース・プレートと測定物体との間に好ましくは機械的にクランプされる。特にボルト及びナットを含むプレロード配置が、変換器の機械的なクランプを実現するために好ましくは適用される。特に、変換器とベース・プレート及び/又は筐体壁との間に配置された絶縁プレートによって、変換器は、ベース・プレート及び/又は筐体壁から好ましくは電気的に絶縁される。
好ましい構成によれば、第1の伝送チャネルが、測定素子の一方の端部のところで電極に接続され、第2の伝送チャネルが、測定素子の反対側の端部のところで電極に接続される。これは、変換器に並列な容易にした伝送チャネルの配線、特に、それぞれのコネクタの容易にした配線を可能にする。
好ましくは、変換器の測定素子は、ピエゾ電気測定素子、特にピエゾ電気プレートの積層体によって構成される。このようなピエゾ電気部材から作られた測定素子は、力センサの様々な目的とされる応用領域において、特に、航空機エンジン及び/又はガス・タービンなどの振動エンジン及び/又は回転エンジン用の監視システムの分野において、よく証明され且つ試験されるという利点を有する。原理的には、しかしながら、やはり、測定物体上に加えられる力に敏感な他の測定素子が考えられる。
好ましい構成によれば、電極は、ピエゾ電気プレートの積層体の一方の端部から反対側の端部へとピエゾ電気プレートの積層体を通って延びる。その上、電極は、ピエゾ電気プレートの積層体を通り蛇行した経路で好ましくは延びる。これによって、各電極は、連続して相互接続されるいくつかのコンタクト・プレートによって好ましい構成とされる。コンタクト・プレートは、積層体内の各ピエゾ電気プレートのそれぞれの正に帯電した側又は負に帯電した側の上に好ましくは設置される。これによって、コンタクト・プレートは、これらの間の導電性インターコネクタによって一緒に好ましくは連続して接続され、インターコネクタの各々は、ピエゾ電気プレートの外側面に沿って延びる。電極は、コンタクト・プレート及び導電性インターコネクタの遷移領域のところで好ましくは曲げられて、ピエゾ電気プレートの積層体を通って延びる電極の蛇行した形状を形成する。伝送チャネルへの、特にそれぞれのコネクタへの電気的コンタクトは、蛇行した電極の各端部のところに好ましくは設けられる。
好ましくは、各伝送チャネルは、信号増幅器を含む。各信号増幅器は、変換器が中に配置される筐体から外側のそれぞれの伝送チャネル内に好ましくは含まれる。より好ましくは、それぞれの信号増幅器は、各伝送チャネルの出力部のところに配置される。好ましくは、信号増幅器は、単一の電子ユニット内に含まれる。その上、信号増幅器は、それぞれの伝送チャネルのコネクタ及び/又は伝送ケーブルを介して変換器に好ましくは接続される。好ましくは、信号増幅器は、DCデカップリング手段、フィルタ、積分器及びグランドに対して完全にフローティングの入力部を与えるための手段のうちの少なくとも1つを含む。これらの構成要素、中でも最も注目すべきはDCデカップリング手段が、信号増幅器の出力部のところで所望の品質の信号を供給するため、特に、高精度の測定値を供給するため及び/又は下記にさらに詳細に述べる方法でセンサ信頼性の試験を可能にするためには不可欠であることが、見出されている。好ましくは、DCデカップリングは、信号増幅器の正の入力部及び負の入力部のところに設置されたシリアル・キャパシタによって実現される。
好ましくは、少なくとも1つのシリアル・スイッチが、信号増幅器の選択的な適用を可能にするために、少なくとも1つの信号増幅器の入力部の前に、好ましくは各信号増幅器の入力部の前に配置される。これは、不具合箇所検出のさらなる改善に寄与することができる。
好ましくは、試験信号注入器が、伝送チャネルのうちの少なくとも1つの中に設けられる。試験信号注入器は、それぞれの伝送チャネルの信号増幅器の入力部のところに好ましくは設けられる。
第1の好ましい構成によれば、試験信号注入器は、伝送チャネルのうちの1つだけに含まれる。本発明による力センサでは、単一の試験信号注入器のこのような配置は、潜在的な不具合発生源に関してそれぞれの伝送チャネルを試験するだけでなく、このような試験信号注入器が設けられていない他の伝送チャネルもまた、及び下記に詳細に述べるように、全体の力センサの本質的に内部の他の潜在的な不具合発生源もまた試験することを可能にすることができる。従って、本発明による力センサ内の単一の試験信号注入器の配置は、必要な構成要素の数を都合よく削減することによって、高い信頼性基準を与えることができる。
第2の好ましい構成によれば、それぞれの試験信号注入器は、少なくとも2つの伝送チャネル内に含まれる。試験信号注入器のこのような冗長性によって、信頼性基準を、さらに強化することができ、潜在的な不具合発生源の位置関係決定を、さらに容易にすることができる。好ましくは、試験信号注入器は、それぞれの伝送チャネルの信号増幅器の入力部のところに設けられる。
好ましくは、試験信号注入器は、少なくとも1つの信号発生器及び少なくとも1つの信号コンバータ、特にキャパシタを備え、信号発生器によって生成される試験信号を、伝送チャネル中へと供給することができる対応する電荷へと変換する。より好ましくは、試験信号注入器は、少なくとも1つの信号インバータをさらに備え、信号発生器によって生成されたものと同じであるが反転した試験信号を作り出し、これをやはり、伝送チャネル中へと供給することができる。
従って、本発明はまた、上に記述したような少なくとも1つの試験信号注入器を含む試験ユニットを備え、上に記述した方式で力センサ内に含まれる。
従って、本発明は、少なくとも1つの試験信号注入器を備えた力センサの動作上の信頼性を試験するための第1の方法をさらに含む。本試験方法は、試験信号が試験信号注入器によって少なくとも1つの伝送チャネル中へと注入されるステップを好ましくは含む。好ましくは、試験信号は、それぞれの伝送チャネルの信号増幅器の入力部のところに注入される。好ましくは、試験信号は、信号発生器によって生成され、信号コンバータによって、特に1つ又は複数の注入キャパシタによって注入される。
好ましくは、試験方法は、試験信号が注入された伝送チャネル内で試験信号が評価されるステップをさらに含む。これによって、試験信号は、好ましくは信号増幅器を通過し、それぞれの伝送チャネル内の信号増幅器の出力部のところに出力信号として現れる。好ましくは、この出力信号は、試験信号によってトラバースされている少なくとも1つの構成要素、特に信号増幅器の伝送特性を確認するために使用される。
好ましくは、試験方法は、試験信号が注入されなかったもう1つの伝送チャネルにおいて、試験信号が評価されるステップをさらに含む。これによって、特に、試験信号が、伝送チャネルの信号増幅器の入力部のところに注入されているときに、試験信号は、好ましくは、試験信号が力センサの変換器の方向に注入されている伝送チャネルをトラバースする。試験信号は、次に、変換器に、好ましくは並列接続で接続された他の伝送チャネルに好ましくは入る。これによって、試験信号は、好ましくはやはり変換器を通過する。
他の伝送チャネルへの転送処理の後で、試験信号は、他の伝送チャネル内の信号増幅器に好ましくは伝送される。最終的に、試験信号は、好ましくは試験信号が始めに注入されなかった他の伝送チャネルの信号増幅器の出力部のところに出力信号として現れる。好ましくは、この出力信号は、これにより、試験信号によってトラバースされた構成要素、特にそれぞれの信号増幅器並びに/又はそれぞれの伝送ラインの一方若しくは両方及び/又は変換器の伝送特性を確認するために使用される。
このようにして、一方の伝送チャネルへの試験信号の注入は、好ましくは、各信号増幅器における対応する出力信号に基づいて力センサの実質的にすべての構成部品が完璧に機能することを確認することを可能にする。各信号増幅器のさらに上流の残りの伝送ラインにおけるこれらの出力信号の確認によって、残りの伝送ラインにおけるこのような出力信号の他の利用者の伝送特性を、やはり試験することができるはずである。
このように、測定信号の伝送ラインにおける故障の実質的にすべての発生源を、本発明による力センサにおいて、特に、上に記述した方法を適用することによって検出可能にすることができる。対照的に、従来技術のシステムは、試験信号が注入された伝送チャネルの点からさらに上流に配置されている構成要素の伝送特性の検証を本当に可能にするだけである。その結果、力センサの変換器及び伝送チャネルの残りの部品などの試験信号注入から下流の従来技術のシステム中に含まれる少なくとも一部の構成要素を、従って検証することができない。本発明によって大部分を削減する又は削除することさえできるそれらの検証不可能な不具合発生源は、最新の航空宇宙用途及び工業的用途における主要な関心事である。
本発明は、力センサの動作上の信頼性を試験するための第2の方法をさらに含む。その方法では、変換器によって生成され且つ伝送チャネルによって別々に伝送された測定信号は、好ましくは互いに比較される。これによって、測定信号は、単一の変換器だけによって好ましくは供給される。この比較の結果は、次に信号の正確さを評価するために好ましくは使用される。好ましくは、信号は、それぞれの信号増幅器によって信号の比較の前に別々に増幅される。
第1の試験方法及び/又は第2の試験方法は、通常の測定条件下で力センサを動作させる前に及び/又は動作中に好ましくは適用される。これによって、通常の力センサ動作中には第2の試験方法は、変換器に接続された第1の伝送チャネルの出力と第2の伝送チャネルの出力との永続的な比較を好ましくは含む。好ましくは、2つの伝送チャネルの所定の差を超えるときには、アラームがトリガされる。好ましくは、不具合認識及び不具合箇所検出の2つの異なる方法が結局はより高い動作信頼性を生むことができるので、力センサは、第1の試験方法及び第2の試験方法の両方を動作させるように構成される。
本発明はまた、上に記述したような少なくとも1つの力センサが含まれる振動エンジン及び/又は回転エンジン、特に航空機エンジン及び/又はガス・タービン用の監視システムを含む。これによって、力センサは、監視しようとするエンジン又は他の構造物に好ましくは直接搭載される。力センサの好ましい搭載は、特に、変換器が上に搭載される力センサのベース・プレートを貫通するボルトによる固定を含む。
本発明は、図面を参照して好ましい実施例の手段によって、以降により詳細に説明され、図面は、本発明のさらなる特性及び利点を図示する。図、説明、及び特許請求の範囲は、当業者が、やはり別々の予想することができ、さらに適切な組み合わせで使用することができる組み合わせで、多数の特徴を含む。
第1の実施例による加速度計の模式的表示図である。 第2の実施例による加速度計の感知ユニットの模式的表示図である。 図2に示した加速度計の感知ユニット中のピエゾ電気変換器の詳細図である。 第3の実施例による加速度計の模式的表示図である。 図1、図2及び図4に示した加速度計中へとやはり組み込むことができる電子ユニットの模式的表示図である。
図1は、加速度計の形態での力センサ1を示す。加速度計1は、感知ユニット2及び感知ユニット2からの測定値を表す出力信号を伝えるための電子ユニット3を備える。感知ユニット2及び電子ユニット3は、2つの伝送チャネル4、5を介して相互接続され、これによって相互に対応する測定信号を、感知ユニット2から電子ユニット3へと伝送することができる。
感知ユニット2は、ベース・プレート6を含み、この上に、感知ユニット2を、特にボルトによって監視しようとするエンジン又は他の構造物上に搭載することができる。ベース・プレート6の搭載面の反対側には、筐体7が配置される。筐体7内部には、ピエゾ電気変換器8が、ベース・プレート6上に配置される。ピエゾ電気変換器8上には、振動錘9が配置される。このように、ベース・プレート6、ピエゾ電気変換器8及び振動錘9の直列配置が形成される。
ピエゾ電気変換器8は、ベース・プレート6及び振動錘9からはこれらの間に配置したそれぞれの絶縁プレート10、11によって電気的に絶縁される。ベース・プレート6、絶縁プレート10、ピエゾ電気変換器8、絶縁プレート11及び振動錘9の直列配置は、プレロード固定法によって機械的にしっかりと留められる。プレロード固定法は、前記直列配置の中心を通って延びるボルト12及び振動錘9上のナット13を含む。
ピエゾ電気変換器8は、ピエゾ電気測定素子15によって生成される測定信号を集めるための正電極16と負電極17との間に配置されたピエゾ電気測定素子15を備える。振動錘9は、振動錘9の加速の結果としての振動錘9上に作用する力を表す測定信号を、測定素子15内で生成することができる方法でピエゾ電気測定素子15に動作上で接続される測定物体を、このように構成する。
筐体7中へと一体化されたものには、2つの電気的に分離されたフィード・スルー・コネクタ18、19が含まれる。フィード・スルー・コネクタ18、19は、筐体7の壁を横並びで貫通する。各フィード・スルー・コネクタ18、19は、正極20、21及び負極22、23を含む。各フィード・スルー・コネクタ18、19の正極20、21は、筐体7の内側でそれぞれの正の接続ワイア24、25を介してピエゾ電気変換器8の正電極16に接続される。対応して、各フィード・スルー・コネクタ18、19の負極22、23は、筐体7の内側でそれぞれ負の接続ワイア26、27を介してピエゾ電気変換器8の負電極17に接続される。
正の接続ワイア24、25は、ピエゾ電気変換器8の正電極16にごく近接した共通ノード28のところで交わる。負の接続ワイア26、27は、ピエゾ電気変換器8の負電極17にごく近接した共通ノード29のところで交わる。共通ノード28、29から、それぞれの共通コネクタラインが、それぞれ正電極16及び負電極17まで導く。このようにして、フィード・スルー・コネクタ18、19は、ピエゾ電気変換器8に並列に接続される。
それぞれの伝送チャネル4、5は、伝送ケーブル31、32をさらに含む。各伝送ケーブル31、32は、正の信号ライン33、34及び負の信号ライン35、36を含む。正の信号ライン33、34が正極20、21と電気的に接触し、負の信号ライン35、36が負極22、23と電気的に接触するような方法で、各伝送ケーブル31、32は、フィード・スルー・コネクタ18、19中に差し込まれる。
電子ユニット3は、2つの実質的に同一のサブユニット41、42を備える。サブユニット41、42は、正の信号入力部43、44及び負の信号入力部45、46をそれぞれ備え、これらは伝送ケーブル31、32のそれぞれの信号ライン33、34、35、36に接続される。サブユニット41、42は、それぞれ信号出力部65、66をさらに備え、その上に各伝送チャネル4、5用の出力信号が与えられる。このようにして、ピエゾ電気変換器8によって生成された相互に対応する測定信号を、それぞれの伝送ケーブル31、32を介して各サブユニット41、42に伝送することができ、それぞれの信号出力部65、66を介して各サブユニット41、42から出力信号として伝えることができる。2つの区別された信号進路が、図1中に文字A及びBによって示される。
この取り組みの冗長性は、共通ピエゾ電気変換器素子8、プレロード・ボルト12及びナット13によって構成される共通プレロード・システム、共通振動錘9及び共通筐体7並びにベース・プレート6を含むが、各チャネルA及びBに対して1つの、2つの別々のフィード・スルー・コネクタ18、19を除く。従って、加速度計1は、変換器素子8に並列に接続された2つの出力コネクタ18、19を有する1つの単一ピエゾ電気変換器素子8によって特徴付けられる。
感知ユニット2が振動すると、振動錘9の慣性力は、作用する慣性力及びこれによって感知ユニット2が受ける加速度に対応する電荷を、ピエゾ電気効果を介して生成する共通ピエゾ電気変換器8上に作用するであろう。電荷は、チャネルA及びBの別々のフィード・スルー・コネクタ18、19の両方に現れるであろう。
電荷信号は、次に電子ユニット3へ伝送ケーブル31、32によって搬送される。電子ユニット3のサブユニット41、42は、それぞれの信号増幅器51、52を各々備える。単純化のために、これらの電荷増幅器51、52は、図1では非常に基本的な配線略図によって記号を用いて表されるが、DCデカップリング手段、フィルタ、積分器、グランドに対して完全にフローティングである入力を与えるための手段、等を含み、非常に精巧であり得る。前記DCデカップリング手段は、図1、図4及び図5に示した電荷増幅器51、52の正入力部及び負入力部の両方に置かれたシリアル・キャパシタから特に構成することができる。これによって、電荷増幅器51、52が電気的に並列に接続されるピエゾ電気変換器素子8、73とともに、電荷増幅器51、52の得られる入力インピーダンスが、ピエゾ電気変換器素子8、73によって生成される電荷に関する電荷分割器として働くような方法で、シリアル・キャパシタは、好ましくは設けられる。
各信号増幅器51、52の入力部のところには、試験信号を注入することを可能にする試験信号注入装置62、63が設けられる。各試験信号注入装置62、63は、一対の注入キャパシタ53、54及び55、56、信号発生器57、58並びにインバータ59、60を備える。試験信号は、それぞれの信号発生器57、58によって生成される。同じであるが反転された信号が、それぞれのインバータ59、60によって作り出される。キャパシタ53、54、55、56は、試験信号電圧を対応する電荷へと変換する。
試験の方法は、信号発生器57によって生成された試験信号を、チャネルAの電荷増幅器51の入力部のところに注入キャパシタ53、55手段によって注入することで構成される。試験信号は、電荷増幅器51を通過し、チャネルAの電荷増幅器51の出力部のところに出力信号として現れる。この出力信号を確認することによって、電荷増幅器51の伝送特性が、完璧に機能するものであることを検査することができる。
信号発生器57によって生成され且つキャパシタ53、55によって注入された試験信号はしかも、電荷増幅器51の入力部から伝送ケーブル31を通り感知ユニット2に向けて伝送され、コネクタ18を介して感知ユニット2に入るであろう。2つの伝送チャネル4、5、特に2つのコネクタ18、19が、ピエゾ電気変換器8に並列に接続されるので、試験信号はまた、信号進路B用の感知ユニット2の出力部のところに、すなわちコネクタ19のところに現れるであろう。そこから、試験信号は、サブユニット42の電荷増幅器52の入力部へ伝送ケーブル32を通って通過し、次に電荷増幅器52を通過し、最終的にチャネルBの電荷増幅器52の出力部のところに出力信号として現れる。この出力信号を確認することによって、電荷増幅器52の伝送特性が、完璧な機能であるものであることを検査することができる。出力信号の利用者により信号進路A及びBのさらに上流の試験信号を確認することによって、残りの伝送ラインを、やはり試験することができる。
図2は、本発明による加速度計の感知ユニット72の第2の実施例を描く。図1に示した感知ユニット2のそれぞれの構成部品に直接対応する感知ユニット72の構成要素を、同じ参照符号によって示す。
感知ユニット72のピエゾ電気変換器73は、感知ユニット2中のピエゾ電気変換器8に照らして相応に配置される。ピエゾ電気変換器73は、多数のピエゾ電気プレート75によって構成された測定素子74を備える。一実例として、図2は、測定素子74中に含まれる5つのピエゾ電気プレート75を示す。しかしながら、任意の別の数のピエゾ電気プレート75を、測定素子74中に含むことができる。ピエゾ電気プレート75は、互いに上に積み重ねられる。対応する帯電した側が互いに隣り合うような方法で、ピエゾ電気プレート75は積み重ねられる。
ピエゾ電気変換器73は、正電極76及び負電極77をさらに含む。ピエゾ電気プレート75の間には、ピエゾ電気プレート75の積層体を通る蛇行した経路でピエゾ電気プレート75の実質的にすべての正に帯電した側に沿って延びる正電極76が、設けられる。同様の方式で、ピエゾ電気プレート75の積層体を通る蛇行した経路でピエゾ電気プレート75の実質的にすべての負に帯電した側に沿って延びる負電極77が、設けられる。このようにして、正電極76及び負電極77は、実質的に測定素子74の第1の端部から測定素子の第2の端部へとピエゾ電気プレート75の積層体を通って蛇行する。
2つのフィード・スルー・コネクタ78、79は、筐体7の壁の中に一体化される。各コネクタ78、79は、正極80、81及び負極82、83を含む。従って、図2に示したコネクタ78、79を通る2つの異なる信号進路A、Bは、図1に示した加速度計1の信号進路A、Bに対応する。2つのコネクタ78、79を筐体7の2つの反対側の側面上に示したが、コネクタ78、79をまた、同一場所に配置する又は電気的に分離されたコンタクト極80、82及び81、83を有する1つのコネクタへと物理的に一体化することができる。
コネクタ78、79の正極80、81は、それぞれの正の接続ワイア84、85を介して正電極76に各々直接接続される。これによって、コネクタ78の正の接続ワイア84が、正電極76の第1の端部88に接続され、他方のコネクタ79の正の接続ワイア85が、正電極76の第2の端部89に接続される。同様に、コネクタ78、79の負極82、83は、それぞれの負の接続ワイア86、87を介して負電極77に各々直接接続される。これによって、コネクタ78の負の接続ワイア86が、負電極77の第1の端部90に接続され、他方のコネクタ79の負の接続ワイア87が、負電極77の第2の端部91に接続される。このようにして、コネクタ78、79が、ピエゾ電気変換器の電極76、77の反対側の端部88、90及び89、91のところでピエゾ電気変換器73に並列に接続される。
従って、チャネルAに対応する第1のフィード・スルー・コネクタ78の正極80及び負極82は、接続ワイア84、86を使用してピエゾ電気プレート75の積層体の第1の端部88、90のところでそれぞれ正電極76及び負電極77に接続される。チャネルBに対応する第2のフィード・スルー・コネクタ79の正極81及び負極83は、接続ワイア85、87を使用してピエゾ電気プレート75の積層体の第2の端部89、91のところでそれぞれ正電極76及び負電極77に接続される。
これと同様に、チャネルAにおいて第1のコネクタ78の負極82のところに与えられる電気信号は、接続ワイア86、87及びすべての対応する接続部を含む負電極77のチェーン全体が完全である場合には、チャネルBにおいて第2のコネクタ79の負極83へ通過できるだけである。対応する考察を、正電極76のチェーン全体に適用する。従って、感知ユニット72の機能をやはり検証するために、図1に関連して上に記述した試験方法を有利なことに適用することができる。
図3は、図2に示した感知ユニット72内のピエゾ電気変換器73の模式的な分解図である。ピエゾ電気プレート75は、円形の表面を有する。正電極76は、ピエゾ電気プレート75の表面と一致する正のコンタクト・プレート95を含む。正のコンタクト・プレート95は、ピエゾ電気プレート75の2つの正に帯電した面の間に挟まれる。同様に、負電極77は、ピエゾ電気プレート75の表面と一致する負のコンタクト・プレート96を含む。負のコンタクト・プレート96は、ピエゾ電気プレート75の2つの負に帯電した面の間に挟まれる。
それぞれの電極76、77のコンタクト・プレート95、96は、間に配置された導電性インターコネクタ97、98によって直列に相互接続される。各導電性インターコネクタ97、98は、ピエゾ電気プレート75の外側面に沿って延びる。電極76、77は、コンタクト・プレート95、96と導電性インターコネクタ97、98との間のそれぞれの遷移領域のところで曲げられる。このようにして、電極76、77の蛇行した経路が形成される。
図3にさらに示したものは、正電極76及び負電極77の上側端部88、90及び下側端部89、91であり、これらに別々の信号チャネルA、Bが接触する。従って、正電極76は、各伝送チャネル4、5を別々に接触させるための別々の接点88、89を含む。対応して、負電極77は、各伝送チャネル4、5を別々に接触させるための別々の接点90、91を含む。
図4は、本発明による加速度計101の第3の実施例を示す。図1に示した加速度計1のそれぞれの構成要素に直接対応する加速度計101の構成要素を、同じ参照符号によって示す。
加速度計101の感知ユニット102は、単一フィード・スルー・コネクタ118が筐体7の壁の中に一体化されることだけが、加速度計1の感知ユニット2とは異なる。フィード・スルー・コネクタ118の正極120は、正の接続ワイア124を介して正電極16と直接接続される。フィード・スルー・コネクタ118の負極122は、負の接続ワイア126を介して負電極17と直接接続される。
伝送チャネル104、105のそれぞれの信号ケーブル131、132は、単一コネクタ118に並列に相互接続される。各信号ケーブル131、132は、正の信号ライン133、134及び負の信号ライン135、136を含む。正の信号ライン133、134は、単一フィード・スルー・コネクタ118にごく近接した共通ノード128のところで交わる。負の信号ライン133、134は、単一フィード・スルー・コネクタ118にごく近接した共通ノード129のところで交わる。共通ノード128、129から、それぞれの共通コネクタラインが、それぞれコネクタ118の正極120まで及びコネクタ118の負極122まで導く。このようにして、伝送チャネル104、105はやはり、ピエゾ電気変換器108に並列に接続される。
図5は、上に記述した電子ユニット3の代わりに適用することができる電子ユニット140を示す。図1及び図4に示した電子ユニット3のそれぞれの構成要素に直接的に対応する電子ユニット140の構成要素を、同じ参照符号によって示す。
電子ユニット140は、2つの実質的に同一のサブユニット141、142を備える。各サブユニット141、142の入力部43、44及び45、46の後に、それぞれシリアル・スイッチ145、146が配置される。スイッチ145、146は、加速度計1、101内のサブユニット141、142の、特にサブユニットのそれぞれの信号増幅器51、52及び/又は試験信号注入装置62、63の選択的な適用を可能にする。従って、サブユニット141、142の一方だけを、又は両方を、それぞれの伝送ケーブル31、32、131、123に選択的に接続することができる、又は何も接続しないことができる。サブユニット141、142のこの選択的な適用は、潜在的な不具合箇所の検出をさらに改善することを可能にする。
全体では、本発明の上記の例示的な実施例では、単一変換器素子を有するが2つの別々のコネクタA及びBを有する加速度計を使用するデュアル・チャネル測定システムを、提示してきた。ピエゾ電気変換器素子の個々の(正及び負)電極を、筐体に一体化された2つの別々のフィード・スルー・コネクタに並列に電気的に接続することができる。
1つの好ましい実施例は、正電極及び負電極が積層体の第1の端部から反対側の第2の端部までピエゾ電気プレートの積層体を通って蛇行することで特徴付けられる。第1のフィード・スルー・コネクタAの正極及び負極を、ピエゾ電気プレートの積層体の第1の端部のところでそれぞれ正電極及び負電極に接続することができ、第2のフィード・スルー・コネクタBの正極及び負極を、ピエゾ電気プレートの積層体の第2の端部のところでそれぞれ正電極及び負電極に接続することができる。これと同様に、第1のコネクタAの負極のところに与えられる電気信号は、すべての接続ワイアを含む負電極のチェーン全体が完全である場合には、第2のコネクタBの負極へ通過できるだけである。同じ理由付けを、正電極に関して適用可能である。
このような例示的な冗長測定システムの残りの部品を、従来技術のシステムに対して同じように保つことができ、多くの部品では同じに保つことができる、即ち、2つの別々の伝送ケーブルを、共通素子デュアル・センサのところでコネクタA及びBに接続することができ、別々の電荷増幅器へと導くことができる。
本発明による例示的な方法は、チャネルBに対するチャネルAの出力の永続的な比較を含む。2つのチャネルの所定の差を超えるときには、アラームがトリガされる。
本発明によるような共通素子デュアル・センサ振動感知システムの一実例はまた、電荷増幅器及び測定システムの上流構成要素だけでなく共通素子デュアル・センサを含む電荷増幅器の下流の構成要素をも含む全体の振動感知システムを試験するための組み込み型試験(=BIT)構成を含むことができる。チャネルA及びチャネルBの電荷増幅器の入力部において、試験信号の注入を可能にする手段を設けることができる。チャネルAの電荷増幅器の入力部のところに個別の校正した電荷信号を注入することによって、BITシーケンスを実現することができる。この試験信号は、チャネルAの電荷増幅器及び残りの上流構成要素を通過することができ、システムの出力部Aのところで最終的に確認することができる。同じ信号は、注入点から下流へチャネルAの伝送ケーブルを通って共通素子デュアル変換器へ並びにそこからチャネルBの伝送ケーブルを上りチャネルBの電荷増幅器及び残りの上流構成要素を通って通過することができ、システムの出力部Bのところで確認することができる。
この試験方法は、チャネルA及びチャネルBのすべての機能部品を含む全体のシステムを試験することを可能にすることができる。BIT試験を次に、チャネルBの電荷増幅器における電荷信号の注入とともに繰り返すことができ、これに応じてチャネルB及びチャネルAの出力部のところで確認することができる。これは全体のシステムを試験するために厳密には必ずしも必要ではないが、故障を検出したケースでは、システムのどの部分で故障を見つけることができるかの、いくつかのさらなる兆候を与える。図5に示した任意選択の構成によれば、電荷増幅器の入力部のところでのシリアル・スイッチの選択的な使用で、故障の潜在的な箇所のさらに精度を高めることが可能である。
デュアル・チャネル加速度計を使用する従来技術のデュアル・システムは、いくつかの共通モード故障、即ち、両方のチャネルA及びBの良い機能を含むはずである故障を有する場合がある。これは、2つのチャネルに共通である部品の故障に起因する。これらの構成部品は、特にデュアル・センサ及び共通錘の筐体並びにプレロード・ボルト及びナットであるが、変換器が設備内に少しでも存在するかどうかという事実でもある。
本発明による共通素子デュアル・センサを使用する本発明による振動感知システムは、従来技術のシステムと比較していくつかの追加の共通モード故障を有することがある。これは、やはりピエゾ電気変換器素子を両方のチャネル用の共通素子とすることができるという事実に起因することがある。本発明によるシステムは、しかしながら、従来技術システムには当てはまらない事実上すべての故障を検出することができるという理由で、従来技術システムよりもはるかに優れている場合がある。
前述の記載から、本発明による力センサ及びその動作上の信頼性を試験するための方法の数多くの修正は、特許請求の範囲によってのみ規定される本発明の保護の範囲から離れずに当業者には明白である。
1 力センサ又は加速度計
2 感知ユニット
3 電子ユニット
4 伝送チャネル
5 伝送チャネル
6 ベース・プレート
7 筐体
8 ピエゾ電気変換器
9 測定物体又は振動錘
10 絶縁プレート
11 絶縁プレート
12 ボルト
13 ナット
15 ピエゾ電気測定素子
16 正電極
17 負電極
18 フィード・スルー・コネクタ
19 フィード・スルー・コネクタ
20 正極
21 正極
22 負極
23 負極
24 正の接続ワイア
25 正の接続ワイア
26 負の接続ワイア
27 負の接続ワイア
28 共通ノード
29 共通ノード
31 伝送ケーブル
32 伝送ケーブル
33 正の信号ライン
34 正の信号ライン
35 負の信号ライン
36 負の信号ライン
41 サブユニット
42 サブユニット
43 正の信号入力部
44 正の信号入力部
45 負の信号入力部
46 負の信号入力部
51 電荷増幅器又は信号増幅器
52 電荷増幅器又は信号増幅器
53 注入キャパシタ
54 注入キャパシタ
55 注入キャパシタ
56 注入キャパシタ
57 信号発生器
58 信号発生器
59 インバータ
60 インバータ
62 試験信号注入装置
63 試験信号注入装置
65 信号出力部
66 信号出力部
72 感知ユニット
73 ピエゾ電気変換器
74 測定素子
75 ピエゾ電気プレートの積層体
76 正電極
77 負電極
78 フィード・スルー・コネクタ
79 フィード・スルー・コネクタ
80 正極
81 正極
82 負極
83 負極
84 正の接続ワイア
85 正の接続ワイア
86 負の接続ワイア
87 負の接続ワイア
88 第1の端部又は接点
89 第2の端部又は接点
90 第1の端部又は接点
91 第2の端部又は接点
95 正のコンタクト・プレート
96 負のコンタクト・プレート
97 導電性インターコネクタ
98 導電性インターコネクタ
101 加速度計
104 伝送チャネル
105 伝送チャネル
118 フィード・スルー・コネクタ
120 正極
122 負極
124 正の接続ワイア
126 負の接続ワイア
128 共通ノード
129 共通ノード
131 信号ケーブル
132 信号ケーブル
133 正の信号ライン
134 正の信号ライン
135 負の信号ライン
136 負の信号ライン
140 電子ユニット
141 サブユニット
142 サブユニット
145 シリアル・スイッチ
146 シリアル・スイッチ
A 信号進路又はチャネル
B 信号進路又はチャネル

Claims (17)

  1. 測定物体(9)上に作用する力の測定信号を生成するために前記測定物体(9)に動作上で接続された測定素子(15、74)を有する変換器(8、73)と、
    互いに独立した前記測定信号の相互に対応する信号を伝送するように構成された少なくとも2つの伝送チャネル(4、5、104、105)であって、各伝送チャネルが正の信号ラインと負の信号ラインを含む、伝送チャネルと
    を備えた力センサにおいて、
    前記伝送チャネル(4、5、104、105)は、各伝送チャネル(4、5、104、105)の出力部のところで前記伝送信号が検証され得るように、前記同じ変換器(8、73)に並列に接続され
    前記変換器が、前記測定素子(15、74)によって生成される前記測定信号を集めるために正電極及び負電極(16、17、76、77)を備え、前記電極(16、17、76、77)の各々が、前記伝送チャネル(4、5、104、105)の各々に接続されることを特徴とする、力センサ。
  2. 前記変換器(8、73)が、前記測定物体(9)に動作上で接続された単一の変換器であることを特徴とする、請求項1に記載の力センサ。
  3. 前記測定物体は、前記測定信号が振動錘(9)の加速の結果として前記振動錘(9)上に作用する力を表すように少なくとも1つの振動錘(9)を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の力センサ。
  4. 前記測定物体は、前記測定信号がガス及び/又は液体の圧力及び/又は圧力変化を表すように少なくとも1つの前記ガス及び/又は液体を含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の力センサ。
  5. 前記伝送チャネル(4、5、104、105)のうちの少なくとも1つを前記電極(16、17、76、77)に接続する少なくとも1つのコネクタ(18、19、78、79、118)が、設けられることを特徴とする、請求項に記載の力センサ。
  6. 前記変換器(8、73)が、筐体(7)内に封入され、前記コネクタ(18、19、78、79、118)が、前記筐体(7)の壁に一体化されることを特徴とする、請求項に記載の力センサ。
  7. 前記伝送チャネル(4、5、104、105)の第1のものが、前記測定素子(15、74)の一方の端部のところで前記電極(16、17、76、77)に接続され、且つ前記伝送チャネル(4、5、104、105)の第2のものが、前記測定素子(15、74)の反対側の端部のところで前記電極(16、17、76、77)に接続されることを特徴とする、請求項1、5、6のいずれか一項に記載の力センサ。
  8. 前記測定素子が、ピエゾ電気測定素子(15、74)であることを特徴とする、請求項1からまでのいずれか一項に記載の力センサ。
  9. 前記ピエゾ電気測定素子(15、74)が、ピエゾ電気プレート(75)の積層体によって構成されることを特徴とする、請求項に記載の力センサ。
  10. 前記電極(16、17、76、77)が、前記ピエゾ電気プレート(75)の積層体を通る蛇行した経路で延びることを特徴とする、請求項に記載の力センサ。
  11. 前記伝送チャネル(4、5、104、105)の各々が、信号増幅器(51、52)を含むことを特徴とする、請求項1から10までのいずれか一項に記載の力センサ。
  12. 前記信号増幅器(51、52)が、前記信号のDC部分を分離するための手段を備えることを特徴とする、請求項11に記載の力センサ。
  13. 試験信号注入装置(62、63)が、前記伝送チャネル(4、5、104、105)のうちの少なくとも1つに設けられることを特徴とする、請求項1から12までのいずれか一項に記載の力センサ。
  14. 前記試験信号注入装置(62、63)が、前記信号増幅器(51、52)のうちの少なくとも1つの入力部のところに設けられることを特徴とする、請求項13に記載の力センサ。
  15. 請求項1から14までのいずれか一項による少なくとも1つの力センサを備えた、振動エンジン及び/又は回転エンジン、特に航空機エンジン及び/又はガス・タービン用の監視システム。
  16. 請求項1から14までのいずれか一項による力センサの動作上の信頼性を試験するための方法において、前記変換器(8、73)によって生成され且つ前記伝送チャネル(4、5、104、105)によって伝送された複数の前記測定信号が、比較され、前記比較の結果が、前記伝送された信号の正確さを評価するために使用されることを特徴とする、方法。
  17. 請求項13又は14に記載の力センサの動作上の信頼性を試験するための方法において、試験信号が、前記試験信号注入装置(62、63)によって前記伝送チャネル(4、5、104、105)のうちの少なくとも1つへと注入され、前記試験信号は、前記試験信号が注入された前記伝送チャネル(4、5、104、105)において及び前記試験信号が注入されなかったもう1つの伝送チャネル(4、5、104、105)において評価されることを特徴とする、方法。
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