CN115597771B - 传感器标定方法及高精度标定系统装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及微压标定技术领域，特别涉及一种传感器标定方法及高精度标定系统装置：对工作的待测传感器施加压力，使待测传感器产生电压信号；接受电压信号进行增幅并输出；对待测传感器高温老化；对老化后的待测传感器进行高温补偿，并持续通入压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第一次标定数据；对高温补偿后的待测传感器进行常温标定，持续通入上述气源，检测增幅电压信号变化值，得到第二次标定数据；对常温标定后的待测传感器进行低温补偿，持续通入上述气源，检测增幅电压信号变化值，得到第三次标定数据；对低温补偿后的待测传感器结合三次标定数据及标准表的压力值进行精度划分，此方法改善了标定装置系统性不足的问题。

Description

传感器标定方法及高精度标定系统装置

技术领域

本发明涉及微压标定技术领域，其特别涉及一种传感器标定方法及高精度标定系统装置。

背景技术

传统高精度标定系统装置在进行极为细小的微差压检测时，变动越小越难实现稳定及精确检测，对传感器的标定工艺影响较大，现有标定方法大多流程工艺参差不齐，导致系统性不足。

发明内容

为了解决标定工艺系统性不足的问题，本发明提供一种传感器标定方法及高精度标定系统装置。

本发明为解决上述技术问题，提供如下技术方案如下：一种传感器标定方法，用于标定气压微压传感器，包括以下步骤：对工作的待测传感器施加以至少毫秒级的速度控制开关的开合及关闭的气压变动范围0.1pa以内稳定3-5秒的压力稳定气源，使待测传感器产生电压信号；接受电压信号进行增幅，输出增幅电压；先对待测传感器进行温度大于等于60℃，时间大于等于160小时的高温压力老化；然后对高温压力老化后的待测传感器进行高温补偿，并在补偿过程中持续通入前述的压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第一次标定数据；对高温补偿后的待测传感器进行常温标定，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第二次标定数据；对常温标定后的待测传感器进行低温补偿，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第三次标定数据；对低温补偿后的待测传感器结合三次标定数据及标准表的压力值进行全量程范围内的精度划分。

优选地，对老化后的待测传感器进行高温补偿之前还包括以下步骤：检测输入的压力稳定气源，得出实际压力数值；判断实际压力数值与预设压力数值在第一预设时间内压力差值的波动范围是否超过预设范围；若在第一预设时间内，波动范围未超过预设范围，则输入该气源；若在第一预设时间段内波动范围超过预设范围，则在第二预设时间内持续进行压力数据采集，得到动态数据；若在第二预设时间段内，所述动态数据保持固定值，或与对应的预设压力数值的压力差值波动范围在预设范围内，则输入该气源；以此往复，直到输入气压在需求气压数值范围。

优选地，对待测传感器进行全量程范围内的精度划分包括如下步骤：通过上位机将标准表的压力值传输至温度补偿系统；比较标准表压力值，校准待测传感器得到精度值；在全量程范围内对待测传感器进行精度划分。

优选地，对电压信号增幅为自动增幅，增幅倍数大于等于八倍。

优选地，高温补偿过程的环境温度大于等于60℃，低温补偿过程的环境温度小于等于0℃。

优选地，常温标定为多量程的多点标定，且每量程标定点大于等于五点。

本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案：一种高精度标定系统装置，用于对传感器进行标定，包括温度补偿系统，所述高精度标定系统装置可与外界排气设备连接以向所述温度补偿系统标定提供稳定微压，所述温度补偿系统检测到稳定气压时，以此稳定压力对待测传感器进行标定。

所述高精度标定系统装置还包括电压增幅系统，所述电压增幅系统用于为待测传感器的输出电压值进行增幅。

所述高精度标定系统装置还包括上位机，所述上位机与所述电压增幅系统及温度补偿系统信号连接，用于控制上述系统执行指令操作。

与现有技术相比，本发明所提供的一种传感器标定方法及高精度标定系统装置，具有如下的有益效果：

1.一种传感器标定方法，用于标定气压传感器，包括以下步骤：对工作的待测传感器施加压力，使待测传感器产生电压信号；接受电压信号进行增幅，输出增幅电压；对待测传感器进行高温压力老化；对老化后的待测传感器进行高温补偿，并持续通入压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第一次标定数据；对高温补偿后的待测传感器进行常温标定，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第二次标定数据；对常温标定后的待测传感器进行低温补偿，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第三次标定数据；对低温补偿后的待测传感器结合三次标定数据及标准表的压力值进行全量程范围内的精度划分。通过此方法，能有效改善热漂移也即温度漂移现象，受环境温度影响更小，使传感器测试的数值更精确，且此方法的生产的传感器成本可控，可维护性强，能极大降低生产成本，且各步骤之间联系紧密，标定结果共用进而改善了标定装置系统系不足的问题。

2.对老化后的待测传感器进行高温补偿之前还包括以下步骤：检测输入的压力稳定气源，得出实际压力数值；输入预设压力数值，对比实际压力数值；判断实际压力数值与预设压力数值在第一预设时间内压力差值的波动范围是否超过预设范围；若在第一预设时间内，波动范围未超过预设范围，则输入该气源；若在第一预设时间段内波动范围超过预设范围，则在第二预设时间内持续进行压力数据采集，得到动态数据；若在第二预设时间段内，所述动态数据保持固定值，或与对应的预设压力数值的压力差值波动范围在预设范围内，则输入该气源；以此往复，直到输入气压在需求气压数值范围。通过此设计，输入高精度标定系统装置的气源压力更为稳定及精确，标定数据的可靠程度更高。

3.对待测传感器进行全量程范围内的精度划分包括如下步骤：通过上位机将标准表的压力值传输至温度补偿系统；比较标准表压力值，校准待测传感器得到精度值；在全量程范围内对待测传感器进行精度划分。通过此设计，待测传感器的精度更为准确，在工作中收外界影响更小，且抗温差的能力提升，进而使得传感器的寿命有一定提升。

4.对电压信号增幅为自动增幅，增幅倍数大于等于八倍。压力细微变化产生的电压信号十分微弱，在对传感器进行标定时，电压信号检测及确定结果不方便，通过此设计，将微弱电压信号进行足够倍数的增幅，使得检测更加方便，数值更加直观反映变化情况及检测结果。

5.高温压力老化过程采用的温度大于等于60℃，老化时间大于等于160小时。通过此设计，能极大提高传感器的耐热程度，降低高温对传感器的影响，提高测量精确程度。

6.高温补偿过程的环境温度大于等于60℃，低温补偿过程的环境温度小于等于0℃。通过此设计，使得传感器的适用范围更广，且即使偏离常温时传感器的热漂移现象也会有一定程度降低，使检测数据更可靠。

7.常温标定为多量程的多点标定，且每量程标定点大于等于五点。通过此设计，保证在常温下有足够的数据量作为检测依据，避免检测结果的偶然性，进一步提高了检测的准确性。

8.一种高精度标定系统装置，用于对传感器进行标定，包括温度补偿系统，高精度标定系统装置可与外界排气设备连接以向温度补偿系统标定提供稳定微压，温度补偿系统检测到稳定气压时，以此稳定压力对待测传感器进行标定。热漂移现象是影响压力传感器的重要指标，热漂移受温度影响较大，温度补偿系统包括对待测传感器的高温、常温及低温补偿，使待测传感器的热漂移现象降低，通过此设计，高精度标定系统装置能对不同温度下的待测传感器通入稳定微压，以此检测电压变化并作为标定数值，使标定数值误差更小，更具可信度。

9.高精度标定系统装置还包括电压增幅系统，电压增幅系统用于为待测传感器的输出电压值进行增幅。通过此设计，能高效且精确的对待测传感器进行标定，使数据更精细更可靠。

10.高精度标定系统装置还包括上位机，上位机与电压增幅系统及温度补偿系统信号连接，用于控制上述系统执行指令操作。通过此设计，上位机可对系统的数据进行分析处理，并根据处理结果生成下一步指示传输给对应的系统，以此提高效率，实现智能化标定。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明第一实施例提供的高精度标定系统装置的示意图。

图2是传感器标定方法的具体步骤。

图3是高温补偿之前的具体步骤。

图4是待测传感器精度划分的具体步骤。

图5是微压输出装置的结构示意图。

附图标识说明：

1、高精度标定系统装置；2、微压输出装置；

11、电压增幅系统；12、温度补偿系统；21、缓冲电动压力泵；22、高频电动阀；23、缓冲管道；24、压力结构。

具体实施方式

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图2，本发明提供一种传感器标定方法，用于标定气压传感器，包括以下步骤：

S1：对工作的待测传感器施加压力，使待测传感器产生电压信号；

S2：接受电压信号进行增幅，输出增幅电压；

S3：对传感器进行高温压力老化；

S4：对老化后的待测传感器进行高温补偿，并持续通入压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第一次标定数据；

S5：对高温补偿后的待测传感器进行常温标定，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第二次标定数据；

S6：对常温标定后的待测传感器进行低温补偿，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第三次标定数据；

S7：对低温补偿后的待测传感器结合三次标定数据及标准表的压力值进行全量程范围内的精度划分。

需要说明的是，对待测传感器标定完成后会进行零漂筛选也即零点热漂移筛选，以使传感器的精度值更准确，零漂筛选过程需要对待测传感器进行量程读取，并与实际的量程数据匹配，数值一致则匹配成功，匹配成功后将对待测传感器进行持续通电，并将压力清零后记为一组待测零漂数据；在进行常温标定及高/低温补偿过程中会持续通入稳定微压作为标定的标定压力。

具体的，增幅电压过程为对初始电压信号进行精密模数转换和数字化建模，扩大数值；检测增幅电压信号也即检测电压信号的数字化模型数据。

此外，本方法在进行高温老化能降低传感器的热敏感度，使环境温度对传感器的影响降低，进一步的，在高温补偿及低温补偿下进行标定，能检测出传感器受温差较大的传感器也即不合格的传感器，初步筛选出合格的传感。

可以理解地，通过此方法，能有效改善零点热漂移，使传感器受环境温度影响更小，测试的数值更精确，且此方法的生产的传感器成本可控，因此可维护性强，能极大降低生产成本，且各步骤之间联系紧密，标定结果共用进而改善了标定装置系统系不足的问题。

进一步的，常温标定具体为：标定压力逐步按预设压力点增加，并在各稳态预设压力点存储标定数据，即压力值与传感器信号数据等各成对存储和多点线性化标定；然后压力逐步由高降低，同样在各稳态预设压力点，将稳态压力参考压力值与传感器标定后的压力值比较和检定，并存储作为后续精度划分和分类的基础数据；

高/低温补偿标定具体过程为：在高/低温补偿标定中，获得高/低温的未补偿温度漂移压力偏差数据，可与常温压力偏差数据比较，计算得到高/低温时的温度漂移温补系数；然后同样可检定高/低温补偿压力偏差数据，也存储作为后续精度划分和分类的基础数据。

进一步的，请结合图1及图3，对老化后的待测传感器进行高温补偿之前还包括以下步骤：

S31：检测输入的压力稳定气源，得出实际压力数值；输入预设压力数值，对比实际压力数值；

S32：判断实际压力数值与预设压力数值在第一预设时间内压力差值的波动范围是否超过预设范围；

S33：若在第一预设时间内，波动范围未超过预设范围，则输入该气源；

S34：若在第一预设时间段内波动范围超过预设范围，则在第二预设时间内持续进行压力数据采集，得到动态数据；

S35：若在第二预设时间段内，所述动态数据保持固定值，或与对应的预设压力数值的压力差值波动范围在预设范围内，则输入该气源；

S36：以此往复，直到输入气压在需求气压数值范围。

可以理解地，通过此设计，输入高精度标定系统装置1的气源压力更为稳定及精确，标定数据的可靠程度更高。

进一步的，请参阅图4，对待测传感器进行全量程范围内的精度划分包括如下步骤：

S71：通过上位机将标准表的压力值传输至温度补偿系统12；

S72：比较标准表压力值，校准待测传感器得到最小精度值；

S73：在全量程范围内对待测传感器进行精度划分。

可以理解地，通过此设计，待测传感器的精度更为准确，在工作中收外界影响更小，且抗温差的能力提升，进而使得传感器的寿命有一定提升。

进一步的，高温压力老化过程采用的温度大于等于60℃，采用的压力为传感器额定最大压力的三分之二，老化时间大于等于160小时。

需要说明的是，高精度传感器的温度适用范围较小，在极端环境中极大的温差会严重影响传感器的精度甚至功能，先进行高温压力老化及高温补偿可以提高传感器的高温耐受能力，降低高温的影响。

具体的，在本发明实施例中，高温压力老化过程采用的温度为70℃，老化时间为168小时。

可以理解地，通过此设计，能极大提高传感器的耐热程度，降低高温对传感器的影响，提高测量精确程度。

进一步的，高温补偿过程的环境温度大于等于60℃，低温补偿过程的环境温度小于等于0℃。

具体的，在本发明具体实施例中，高温补偿过程的环境温度为70℃，低温补偿过程的环境温度小于等于-10℃。

可以理解地，通过此设计，使得传感器的适用范围更广，且即使偏离常温时传感器的热漂移现象也会有一定程度降低，使检测数据更可靠。

进一步的，常温标定为多量程的多点标定，且每量程标定点大于等于五点。

需要说明的是，多点标定应该采用相同的标定标准，进行不同位置的标定，以便减小偶然误差，使传感器的数据更为可靠。

可以理解地，通过此设计，保证在常温下有足够的数据量作为检测依据，避免检测结果的偶然性，进一步提高了检测的准确性。

请参阅图1，本发明第一实施例提供一种高精度标定系统装置1，包括温度补偿系统12，高精度标定系统装置1可与外界排气设备连接以向温度补偿系统12标定提供稳定微压，温度补偿系统12检测到稳定气压时，以此稳定压力对待测传感器进行标定。

需要说明的是，温度补偿系统12包括对待测传感器的高温、常温及低温补偿，使待测传感器的热漂移现象降低，且不同温度补偿下，通入的稳定微压不变，以此确认待测传感器的精度偏差，也即受温度影响大小。

此外，稳定气压的数值根据不同传感器量程会有不同，通入量也会有差别，这里不做限制，以实际需求为准。

可以理解地，通过此设计，微差压传感器能在高温、常温及低温情况下分别进行标定，减小偶然因素影响，使得传感器的检测结果更加准确。

具体的，高精度标定系统装置1能对不同温度下的待测传感器通入稳定微压，待测传感器检测到瞬时稳定的气压会以此压力作为标定值。

进一步的，高精度标定系统装置1还包括电压增幅系统11，电压增幅系统11用于为待测传感器的输出电压值进行增幅。

需要说明的是，零点热漂移简称零漂，是影响压力传感器的重要指标，零点热漂移受温度影响及反向漏电影响较大，温度补偿系统12则为待测传感器受稳定影响提供了抗性，降低了环境温度对待测传感器的影响。

可以理解地，通过零漂筛选，能高效且精确的对待测传感器进行标定，使数据更精细更可靠。

进一步的，高精度标定系统装置1还包括上位机，上位机与电压增幅系统11及温度补偿系统12信号连接，用于控制上述系统执行指令操作。

需要说明的是，上位机包括信息接收模块，分析处理模块，指令模块及信息输出模块。能实现与高精度标定系统装置1内的系统信息互换，且能更具接收的信息进行对应分析处理，并根据处理结果生成下一步指令，控制对应系统进行工作。

可以理解地，通过此设计，上位机与系统信息互换，分析，提高了效率，实现智能化标定。

进一步的，对电压信号增幅为自动增幅，增幅倍数大于等于八倍。

需要说明的是，压力细微变化产生的电压信号十分微弱，在对传感器进行标定时，电压信号检测及确定结果不方便，将微弱电压信号进行增幅能更直观地看出压力的变化。

可选的，在本发明具体实施例中，采用其它设备对电压信号进行增幅，增幅倍数为八倍。

可以理解地，通过此设计，将微弱电压信号进行足够倍数的增幅，使得检测更加方便，数值更加直观反映变化情况及检测结果。

进一步的，零漂筛选的测试环境温度为20℃-32℃。20℃-32℃为常温温度范围。

需要说明的是，传感器工作大多数在常温范围内，进行零漂筛选时，能在常温范围内检测传感器各性能指标，使得传感器的适用范围更广，且偏离常温时传感器的热漂移现象会相对增多。

可以理解地，传感器在偏离常温时会受一定程度的温度影响，采用高温补偿及低温补偿可以降低影响程度，但不能完全杜绝影响的存在，以此数据作为检测标准数据会降低数据的可靠程度。

进一步的，零漂筛选的筛选时间大于等于七天。

需要说明的是，零漂筛选的筛选时间需要剔除断电时间。

可以理解地，通过此设计，零漂筛选结果更为全面具体，数据可靠程度更高。

可选地，请参阅图5，稳定微压的输入可采用微压输出装置2，稳定微压输入装置包括缓冲电动压力泵21及高频电动阀22用于产生并释放气压，储存并检测气体的压力结构24。

具体的，缓冲电动压力泵21通过高频电动阀22释放气源，高频电动阀22以至少毫秒级的速度控制开关的开合及关闭。

更具体的，压力结构24包括串联连接的多个子压力结构。

需要说明的是，缓冲电动压力泵21输出的气源压力高，对压力系统输出压力源有一定的冲击振荡和扰动，使用高频电动阀22，能将流量控制在较小范围内，提高输送频率，减少了气源大流量地冲击影响。

可选地，压力结构24为多个串联的子压力结构，各子压力结构之间，压力结构24与高频电动阀22之间均采用缓冲管道23输送气源。

可以理解地，通过此设计，会使得气源在传递过程中压力依次减弱，降低减小前阶压力补给给后阶压力的冲击影响，使得压力能更快稳定，测量更精准。

更具体的，缓冲电动压力泵21输出气源压力大于等于10Kpa，与缓冲电动压力泵21出口连接的高频电动阀22以至少毫秒级的速度控制开关的开合及关闭，高频电动阀22在抵消一部分气源压力后释放气源进入压力结构24，并依次经过串连子压力结构及缓冲管道23缓冲减压后，从最后一级子压力结构输出，输出压力小于等于1Kpa，且输出气压可以在变动范围0.1pa以内稳定3-5秒，最后通过排气口排出，以此满足微压传感器标定需求的稳定微压地提供。

在本发明所提供的实施例中，应理解，“与A对应的B”表示B与A相关联，根据A可以确定B。但还应理解，根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。

在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

与现有技术相比，本发明所提供给的一种多语言翻译模型构建方法、翻译方法及计算机存储介质具有如下的有益效果：

1.一种传感器标定方法，用于标定气压传感器，包括以下步骤：对工作的待测传感器施加压力，使待测传感器产生电压信号；接受电压信号进行增幅，输出增幅电压；对待测传感器进行高温压力老化；对老化后的待测传感器进行高温补偿，并持续通入压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第一次标定数据；对高温补偿后的待测传感器进行常温标定，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第二次标定数据；对常温标定后的待测传感器进行低温补偿，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第三次标定数据；对低温补偿后的待测传感器结合三次标定数据及标准表的压力值进行全量程范围内的精度划分。通过此方法，能有效改善热漂移也即温度漂移现象，受环境温度影响更小，使传感器测试的数值更精确，且此方法的生产的传感器成本可控，可维护性强，能极大降低生产成本。

2.对老化后的待测传感器进行高温补偿之前还包括以下步骤：检测输入的压力稳定气源，得出实际压力数值；输入预设压力数值，对比实际压力数值；判断实际压力数值与预设压力数值在第一预设时间内压力差值的波动范围是否超过预设范围；若在第一预设时间内，波动范围未超过预设范围，则输入该气源；若在第一预设时间段内波动范围超过预设范围，则在第二预设时间内持续进行压力数据采集，得到动态数据；若在第二预设时间段内，所述动态数据保持固定值，或与对应的预设压力数值的压力差值波动范围在预设范围内，则输入该气源；以此往复，直到输入气压在需求气压数值范围。通过此设计，输入高精度标定系统装置的气源压力更为稳定及精确，标定数据的可靠程度更高。

3.对待测传感器进行全量程范围内的精度划分包括如下步骤：通过上位机将标准表的压力值传输至温度补偿系统；比较标准表压力值，校准待测传感器得到精度值；在全量程范围内对待测传感器进行精度划分。通过此设计，待测传感器的精度更为准确，在工作中收外界影响更小，且抗温差的能力提升，进而使得传感器的寿命有一定提升。

4.对电压信号增幅为自动增幅，增幅倍数大于等于八倍。压力细微变化产生的电压信号十分微弱，在对传感器进行标定时，电压信号检测及确定结果不方便，通过此设计，将微弱电压信号进行足够倍数的增幅，使得检测更加方便，数值更加直观反映变化情况及检测结果。

5.高温压力老化过程采用的温度大于等于60℃，老化时间大于等于160小时。通过此设计，能极大提高传感器的耐热程度，降低高温对传感器的影响，提高测量精确程度。

6.高温补偿过程的环境温度大于等于60℃，低温补偿过程的环境温度小于等于0℃。通过此设计，使得传感器的适用范围更广，且即使偏离常温时传感器的热漂移现象也会有一定程度降低，使检测数据更可靠。

7.常温标定为多量程的多点标定，且每量程标定点大于等于五点。通过此设计，保证在常温下有足够的数据量作为检测依据，避免检测结果的偶然性，进一步提高了检测的准确性。

8.一种高精度标定系统装置，用于对传感器进行标定，包括温度补偿系统，高精度标定系统装置可与外界排气设备连接以向温度补偿系统标定提供稳定微压，温度补偿系统检测到稳定气压时，以此稳定压力对待测传感器进行标定。热漂移现象是影响压力传感器的重要指标，热漂移受温度影响较大，温度补偿系统包括对待测传感器的高温、常温及低温补偿，使待测传感器的热漂移现象降低，通过此设计，高精度标定系统装置能对不同温度下的待测传感器通入稳定微压，以此检测电压变化并作为标定数值，使标定数值误差更小，更具可信度。

9.高精度标定系统装置还包括电压增幅系统，电压增幅系统用于为待测传感器的输出电压值进行增幅。通过此设计，能高效且精确的对待测传感器进行标定，使数据更精细更可靠。

10.高精度标定系统装置还包括上位机，上位机与电压增幅系统及温度补偿系统信号连接，用于控制上述系统执行指令操作。通过此设计，上位机可对系统的数据进行分析处理，并根据处理结果生成下一步指示传输给对应的系统，以此提高效率，实现智能化标定。

以上对本发明实施例公开的一种传感器标定方法及高精度标定系统装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种传感器标定方法，用于标定气压微压传感器，其特征在于：

对工作的待测传感器施加以至少毫秒级的速度控制开关的开合及关闭的气压变动范围0.1pa以内稳定3-5秒的压力稳定气源，使待测传感器产生电压信号；

接受电压信号进行增幅，输出增幅电压；

先对待测传感器进行温度大于等于60℃，时间大于等于160小时的高温压力老化；

然后对高温压力老化后的待测传感器进行高温补偿，并在补偿过程中持续通入前述的压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第一次标定数据；

对高温补偿后的待测传感器进行常温标定，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第二次标定数据；

对常温标定后的待测传感器进行低温补偿，并持续通入上述压力稳定气源，检测增幅电压信号变化值，得到第三次标定数据；

对低温补偿后的待测传感器结合三次标定数据及标准表的压力值进行全量程范围内的精度划分。

2.如权利要求1所述的传感器标定方法，其特征在于：对老化后的待测传感器进行高温补偿之前还包括以下步骤：

检测输入的压力稳定气源，得出实际压力数值；

判断实际压力数值与预设压力数值在第一预设时间内压力差值的波动范围是否超过预设范围；

若在第一预设时间内，波动范围未超过预设范围，则输入该气源；

若在第一预设时间段内波动范围超过预设范围，则在第二预设时间内持续进行压力数据采集，得到动态数据；

若在第二预设时间段内，所述动态数据保持固定值，或与对应的预设压力数值的压力差值波动范围在预设范围内，则输入该气源；

以此往复，直到输入气压在需求气压数值范围。

3.如权利要求1所述的传感器标定方法，其特征在于：对待测传感器进行全量程范围内的精度划分包括如下步骤：

通过上位机将标准表的压力值传输至温度补偿系统；

比较标准表压力值，校准待测传感器得到最小精度值；

在全量程范围内对待测传感器进行精度划分。

4.如权利要求1所述的传感器标定方法，其特征在于：对电压信号增幅为自动增幅，增幅倍数大于等于八倍。

5.如权利要求1所述的传感器标定方法，其特征在于：高温补偿过程的环境温度大于等于60℃，低温补偿过程的环境温度小于等于0℃。

6.如权利要求5所述的传感器标定方法，其特征在于：常温标定为多量程的多点标定，且每量程标定点大于等于五点。

7.一种高精度标定系统装置，用于对传感器进行标定，运用如权利要求1-6中任一项所述的传感器标定方法进行标定，其特征在于：所述高精度标定系统装置包括温度补偿系统，所述高精度标定系统装置可与外界排气设备连接以向所述温度补偿系统标定提供稳定微压，所述温度补偿系统检测到稳定气压时，以此稳定压力对待测传感器进行标定。

8.如权利要求7所述的高精度标定系统装置，其特征在于：所述高精度标定系统装置还包括电压增幅系统，所述电压增幅系统用于为待测传感器的输出电压值进行增幅。

9.如权利要求8所述的高精度标定系统装置，其特征在于：所述高精度标定系统装置还包括上位机，所述上位机与所述电压增幅系统及温度补偿系统信号连接，用于控制上述系统执行指令操作。

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