JP2014153770A - 画像処理装置、画像処理方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャックまたは該静電チャックに吸着されたウェハを測定対象とした温度計測装置が計測した温度分布を画像として取得する画像認識部と、該画像から測定対象の形状を示す情報を取得する形状認識部と、形状認識部が取得した情報を用いて、該画像における測定対象のサイズ、位置、角度のうち、少なくとも一つを調整する画像処理部とを具備することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
また、一般に物体表面の温度分布を測定する方法として、物体から放射される赤外線量を測定するサーモグラフィーもある。
Xa=xa×r/rp+x
Ya=ya×r/rp+y
Xb=xb×r/rp+x
Yb=yb×r/rp+y
なお、比較する内容によっては、例えば、大きさが所定のものになるようになど、大きさ、角度および位置のうち、いずれかが所定のものになるに調整するようにしてもよい。
20…ウェハ
30…サーモグラフィー
40…画像処理装置
41…画像データ取得部
42…エッジ検出部
43…外周円検出部
44…ピン穴検出部
45…サイズ位置調整部
46…不要部削除部
47…不要部記憶部
48…対象温度領域抽出部
49…出力部
50…出力装置
100…温度分布測定システム
401…画像認識機構
402…形状認識機構
403…画像処理機構
Claims (10)
- 静電チャックまたは該静電チャックに吸着されたウェハを測定対象とした温度分布を計測する温度計測装置が計測した温度分布を画像として取得する画像認識部と、
前記画像から前記測定対象の形状を示す情報を取得する形状認識部と、
前記形状認識部が取得した前記情報を用いて、前記画像における前記測定対象のサイズ、位置、角度のうち少なくとも一つを調整する画像処理部と
を具備することを特徴とする画像処理装置。 - 前記画像処理装置は、さらに、前記形状認識部で得られた情報を用いて、前記調整結果から不要部分を除去することを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記温度分布を計測する手法として、サーモグラフィー、もしくは熱電対アレイを用いることを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記形状認識部は、前記画像における隣接する画素との温度差を用いたエッジ検出手法を用いて形状を示す情報を取得することを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記形状認識部は、前記測定対象の形状を示す情報として、前記静電チャックの形状を特徴づける構造を検出することを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記静電チャックの形状を特徴づける構造は、複数のピン穴であることを特徴とする請求項5に記載の画像処理装置。
- 前記画像処理部は、前記画像における前記測定対象のサイズ、角度または位置のうち、少なくとも一つが所定のものになるように、前記画像を調整することを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記形状認識部は、前記エッジ検出手法を用いて、前記画像が表す温度分布における前記測定対象の外周円を検出し、該外周円を用いて、前記静電チャックの形状を特徴づける構造を検出することを特徴とする請求項5に記載の画像処理装置。
- 静電チャックまたは該静電チャックに吸着されたウェハを測定対象とした温度分布を計測する温度計測装置が計測した温度分布を画像として取得する第1の過程と、
前記画像から前記測定対象の形状を示す情報を取得する第2の過程と、
前記第2の過程にて取得した前記情報を用いて、前記画像における前記測定対象のサイズ、位置、角度のうち少なくとも一つを調整する前記第2の過程にて取得した前記情報を用いて、前記画像における前記測定対象のサイズ、位置、角度のうち、少なくとも一つを調整する第3の過程と
を有することを特徴とする画像処理方法。 - コンピュータを、
静電チャックまたは該静電チャックに吸着されたウェハを測定対象とした温度分布を計測する温度計測装置が計測した温度分布を画像として取得する画像認識部、
前記画像から前記測定対象の形状を示す情報を取得する形状認識部、
前記形状認識部が取得した前記情報を用いて、前記画像における前記測定対象のサイズ、位置、角度のうち、少なくとも一つを調整する画像処理部
として機能させるためのプログラム。
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JP2017084975A (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-18 | オムロン株式会社 | 位置検出装置、位置検出方法、情報処理プログラム、および記録媒体 |
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JP2006128205A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | ウェハ支持部材 |
JP2006237023A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Taiheiyo Cement Corp | 静電チャック |
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CN107066638A (zh) * | 2015-10-28 | 2017-08-18 | 欧姆龙株式会社 | 位置检测装置、位置检测方法、信息处理程序及记录介质 |
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JP5987715B2 (ja) | 2016-09-07 |
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